JP2020159755A - ガス検量装置 - Google Patents
ガス検量装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020159755A JP2020159755A JP2019056992A JP2019056992A JP2020159755A JP 2020159755 A JP2020159755 A JP 2020159755A JP 2019056992 A JP2019056992 A JP 2019056992A JP 2019056992 A JP2019056992 A JP 2019056992A JP 2020159755 A JP2020159755 A JP 2020159755A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- temperature
- cantilever
- thermoelectromotive force
- humidity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 71
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims abstract description 9
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 145
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 7
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 4
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 4
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 229910018487 Ni—Cr Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 1
- 239000002803 fossil fuel Substances 0.000 description 1
- 210000002816 gill Anatomy 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000572 poisoning Toxicity 0.000 description 1
- 230000000607 poisoning effect Effects 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
Description
<実施形態1>
<実施形態1 概要>
<実施形態1 構成>
また、バックグラウンド熱起電力情報として、測定環境温度と湿度が測定対象ガス濃度指示値に与える濃度値(ppm)を保持してもよい。例えば、図4や図5で示したように、その温度や湿度によってガス濃度指示値に変動を及ぼす。そのような濃度値としての変動分をバックグラウンド熱起電力情報として保持してもよい。
<実施形態1 ハードウェア>
<実施形態1 処理の流れ>
<実施形態1 効果>
<実施形態2>
<実施形態2 概要>
<実施形態2 構成>
<実施形態2 効果>
<実施形態3>
<実施形態3 概要>
<実施形態3 構成>
<効果>
0101 カンチレバー
0102 マイクロヒーター
0103 測温接点
0104 冷接点
0105 ガス流路
0106 サーミスタ
0107 熱起電力取得部
0108 測定環境温度取得部
0109 バックグラウンド熱起電力情報保持部
0110 差分取得部
0111 差分値出力部
Claims (5)
- 基板エッチングによって形成されたカンチレバーと、
カンチレバーの根元近傍に配置されるマイクロヒーターと、
熱電対であって、前記マイクロヒーターによって昇温されるカンチレバーの先端付近に配置される測温接点と、カンチレバーの根本付近に配置される冷接点と、
測温接点近傍に検量対象ガスを流すガス流路と、
からなるガス検量装置であって、
ガス流路に流したガスによって測温接点と冷接点との間の温度差によって生じる熱起電力を取得する熱起電力取得部と、
測定環境温度を取得する測定環境温度取得部と、
測定環境温度に応じて測温接点に生じるバックグラウンド熱起電力情報を保持するバックグラウンド熱起電力情報保持部と、
測定環境温度での熱起電力取得部で取得した熱起電力と、保持されている測定環境温度でのバックグラウンド熱起電力との差分値を取得する差分値取得部と、
取得した差分値を出力する差分値出力部と、
を有するガス検量装置。 - バックグラウンド熱起電力情報は、測定環境温度として想定される温度範囲の下限近傍と上限近傍における測定環境湿度として想定される下限湿度と上限湿度の四環境での起電力情報に基づいて生成される情報である請求項1に記載のガス検量装置。
- バックグラウンド熱起電力情報は、前記下限温度での下限湿度での起電力と、下限温度での上限湿度での起電力の央点値と、前記上限温度での下限湿度での起電力と、上限温度での上限湿度の起電力の央点値とを結ぶ直線上の値によって構成されている請求項2に記載のガス検量装置。
- 検量対象ガスは、水素である請求項1から請求項3のいずれか一に記載のガス検量装置。
- 測定環境温度取得部は、カンチレバー根元近傍のマイクロヒーターの熱影響を十分軽減した位置に設置されるサーミスタである請求項1から請求項4のいずれか一に記載のガス検量装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019056992A JP7183093B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | ガス検量装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019056992A JP7183093B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | ガス検量装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020159755A true JP2020159755A (ja) | 2020-10-01 |
JP7183093B2 JP7183093B2 (ja) | 2022-12-05 |
Family
ID=72642792
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019056992A Active JP7183093B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | ガス検量装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7183093B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005043208A (ja) * | 2003-07-22 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサとそれを用いた燃料電池システムおよび自動車 |
JP2010266265A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 可燃性ガス検出装置 |
JP2011133401A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Horiba Ltd | ガス濃度測定装置 |
JP2013228346A (ja) * | 2012-03-25 | 2013-11-07 | Mitsuteru Kimura | 時間積分出力した熱伝導型センサ、及びこれを用いた水素ガスセンサと絶対湿度センサおよび熱伝導型センサチップ |
JP2014132232A (ja) * | 2013-01-06 | 2014-07-17 | Mitsuteru Kimura | 酸素を含む水素吸収膜を用いた水素ガスセンサ |
JP2015227818A (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-17 | 木村 光照 | 露点検出可能な絶対湿度センサ |
US20160109395A1 (en) * | 2014-10-21 | 2016-04-21 | University Of South Carolina | Microcantilever Based Selective Volatile Organic Compound (VOC) Sensors and Methods |
-
2019
- 2019-03-25 JP JP2019056992A patent/JP7183093B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005043208A (ja) * | 2003-07-22 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサとそれを用いた燃料電池システムおよび自動車 |
JP2010266265A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 可燃性ガス検出装置 |
JP2011133401A (ja) * | 2009-12-25 | 2011-07-07 | Horiba Ltd | ガス濃度測定装置 |
JP2013228346A (ja) * | 2012-03-25 | 2013-11-07 | Mitsuteru Kimura | 時間積分出力した熱伝導型センサ、及びこれを用いた水素ガスセンサと絶対湿度センサおよび熱伝導型センサチップ |
JP2014132232A (ja) * | 2013-01-06 | 2014-07-17 | Mitsuteru Kimura | 酸素を含む水素吸収膜を用いた水素ガスセンサ |
JP2015227818A (ja) * | 2014-05-30 | 2015-12-17 | 木村 光照 | 露点検出可能な絶対湿度センサ |
US20160109395A1 (en) * | 2014-10-21 | 2016-04-21 | University Of South Carolina | Microcantilever Based Selective Volatile Organic Compound (VOC) Sensors and Methods |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7183093B2 (ja) | 2022-12-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4063898A (en) | Combustible gases detector | |
EP2280251B1 (en) | Thermal flow meter | |
US11467110B2 (en) | Method for operating a sensor device | |
US11255733B2 (en) | Environment sensor | |
US8721970B2 (en) | Temperature and humidity compensated single element pellistor | |
JP2008145133A (ja) | 放射温度計 | |
JP7168069B2 (ja) | 濃度測定器 | |
JP5986833B2 (ja) | 可燃性ガス検出装置 | |
JP7183093B2 (ja) | ガス検量装置 | |
JP5927647B2 (ja) | ガス検知器 | |
WO2011152776A1 (en) | Temperature measurement system and method for a temperature measurement system comprising at least one thermocouple | |
JP6685766B2 (ja) | 圧力変化測定装置、高度測定装置、及び圧力変化測定方法 | |
US20200049647A1 (en) | Sensor Device and Electronic Assembly | |
JP5592495B2 (ja) | 可燃性ガス検出装置 | |
JP2011133401A (ja) | ガス濃度測定装置 | |
JP2013113778A (ja) | 露点センサ及び露点の測定方法 | |
JP6300203B2 (ja) | ガス検知器 | |
JP2013210356A (ja) | 温度測定装置 | |
JP2006162423A (ja) | フローセンサ | |
CA1087869A (en) | Combustible gases detector | |
KR101381572B1 (ko) | 온도센서 및 상기 온도센서를 구비하는 온도측정장치 | |
JP4750327B2 (ja) | 半導体式検知装置及びその出力算出方法 | |
CA1087868A (en) | Combustible gases detector | |
JP2016217813A (ja) | 熱式流量計及びその傾斜誤差改善方法 | |
EP2085773A1 (en) | Temperature and humidity compensated single element pellistor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220926 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221115 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20221122 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7183093 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |