JP2020151874A - 液体吐出ヘッド、ヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Abstract

【課題】吐出特性のばらつきを低減する。【解決手段】液体を吐出する複数のノズル１１と、複数のノズル１１に各々連通する複数の圧力室２１と、複数の圧力室２１に各々連通する複数の個別供給流路２２と、２以上の個別供給流路２２にそれぞれ供給口５４を介して連通する複数の共通供給流路支流５２と、複数の共通供給流路支流５２に連通する共通供給流路本流５６とを備え、共通供給流路支流５２の一部の壁面は供給側ダンパ６２で形成した変位可能な壁面であり、変位可能な壁面に対向する共通供給流路支流５２の底面（壁面）１５２には、供給口５４が配置される供給口配置領域１５２ａと、供給口５４が配置されない供給口非配置領域１５２ｂとがあり、供給口配置領域１５２ａと変位可能な壁面との距離ｈ１は、供給口非配置領域１５２ｂと変位可能な壁面との距離ｈ２よりも短い（ｈ１＜Ｈ２）。【選択図】図４

Description

本発明は液体吐出ヘッド、ヘッドモジュール、ヘッドユニット、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

液体を吐出する液体吐出ヘッドにおいては、液体吐出に伴う圧力変動が共通流路を介して他の圧力室に伝播し、吐出速度や吐出滴量などの吐出特性を変動させるクロストークを抑制する必要がある。

従来、例えば、ノズルが二次元状にマトリクス配置された液体吐出ヘッドにおいて、ノズル開口を備える圧力室、圧力室と連通するインク供給路、インク供給路の開口に接続された複数の支流と、複数の支流が接続された本流とを有し、複数の支流のインク供給口と対向する位置に、支流の一部を構成する膜状のダンパを備えるものが知られている（特許文献１）。

特開２００６−０８２３９４号公報

ところで、特許文献１に開示されているように、支流の壁面にダンパ（変位可能な部材）を配置するとき、ダンパと供給口との距離を短くすることで振動抑制効果を高めることができる。

しかしながら、ダンパと供給口との距離を短くすると、支流の流路断面積が小さくなり、流体抵抗が大きくなる。支流の流体抵抗が大きくなると、支流の上流側に繋がるノズルと下流側に繋がるノズル間の圧力損失の差が大きくなり、吐出速度や吐出量などの吐出特性のばらつきが大きくなるという課題が生じる。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、吐出特性のばらつきを低減することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の請求項１に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する複数のノズルと、
前記複数のノズルに各々連通する複数の圧力室と、
前記複数の圧力室に各々連通する複数の個別供給流路と、
２以上の前記個別供給流路にそれぞれ供給口を介して連通する複数の共通供給流路支流と、
前記複数の共通供給流路支流に連通する共通供給流路本流と、を備え、
前記共通供給流路支流の一部の壁面は変位可能な壁面であり、
前記変位可能な壁面に対向する前記共通供給流路支流の壁面には、前記供給口が配置される供給口配置領域と、前記供給口が配置されない供給口非配置領域と、があり、
前記供給口配置領域と前記変位可能な壁面との距離は、前記供給口非配置領域と前記変位可能な壁面との距離よりも短い
構成とした。

本発明によれば、吐出特性のばらつきを低減することができる。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図である。 同じく分解斜視説明図である。 同じく流路構成を説明する平面説明図である。 同じく図３のＡ−Ａ線に沿う断面説明図である。 同じく共通供給流路支流部分の要部拡大断面斜視説明図である。 本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの流路構成を説明する平面説明図である。 同じく共通供給流路支流部分の要部拡大断面斜視説明図である。 本発明の第２実施形態に係る液体吐出ヘッドの流路構成を説明する平面説明図である。 同じく共通供給流路支流部分の要部拡大断面斜視説明図である。 本発明に係るヘッドモジュールの一例の分解斜視説明図である。 同ヘッドモジュールのノズル面側から見た分解斜視説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の概略説明図である。 同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。 液体循環装置の一例のブロック説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の他の例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。本発明の第１実施形態について図１ないし図５を参照して説明する。図１は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図２は同じく分解斜視説明図である。図３は同じく流路構成を説明する平面説明図、図４は同じく図３のＡ−Ａ線に沿う断面説明図、図５は同じく共通供給流路支流部分の要部拡大断面斜視説明図である。

この液体吐出ヘッド１は、ノズル板１０と、流路板（個別流路部材）２０と、振動板部材３０と、共通流路部材５０と、ダンパ部材６０と、フレーム部材８０と、駆動回路１０２を実装した基板（フレキシブル配線基板）１０１などを備えている。

ノズル板１０には、液体を吐出する複数のノズル１１を有している。複数のノズル１１は、二次元状にマトリクス配置されて、ノズル群ＮＧ（ＮＧ１、ＮＧ２：図２）を構成している。

個別流路部材２０は、複数のノズル１１に各々連通する複数の圧力室（個別液室）２１と、複数の圧力室２１に各々通じる複数の個別供給流路２２と、複数の圧力室２１に各々通じる複数の個別回収流路２３とを形成している。

振動板部材３０は、圧力室２１の変形な可能な壁面である振動板３１を形成し、振動板３１には圧電素子４０が一体に設けられている。また、振動板部材３０には、個別供給流路２２に通じる供給側開口３２と、個別回収流路２３に通じる回収側開口３３とが形成されている。圧電素子４０は、振動板３１を変形させて圧力室２１内の液体を加圧する圧力発生手段である。

共通流路部材５０は、２以上の個別供給流路２２に通じる複数の共通供給流路支流５２と、２以上の個別回収流路２３に通じる複数の共通回収流路支流５３とを交互に隣接して形成している。

共通流路部材５０には、個別供給流路２２の供給側開口３２と共通供給流路支流５２を通じる供給口５４となる貫通孔と、個別回収流路２３の回収側開口３３と共通回収流路支流５３を通じる回収口５５となる貫通孔が形成されている。

また、共通流路部材５０は、複数の共通供給流路支流５２に通じる１又は複数の共通供給流路本流５６と、複数の共通回収流路支流５３に通じる１又は複数の共通回収流路本流５７を形成している。なお、図３では、説明を分かりやすくするため、１つのノズル群ＮＧの両側に、共通供給流路本流５６と共通回収流路本流５７が配置された構成で図示している。

共通供給流路本流５６はフレーム部材８０に設けた供給ポート８１に通じ、共通回収流路本流５７はフレーム部材８０に設けた回収ポート８２に通じている。

ダンパ部材６０は、共通供給流路支流５２の一部の壁面を形成する供給側ダンパ６２と、共通回収流路支流５３の一部の壁面を形成する回収側ダンパ６３を構成している。供給側ダンパ６２は、共通供給流路支流５２の供給口５４に対向して変位可能な壁面を形成する。回収側ダンパ６３は、共通回収流路支流５３の回収口５５に対向して変位可能な壁面を形成する。

なお、ダンパ部材６０のダンパ材料としては、有機溶剤に強い金属薄膜又は無機薄膜を用いることが好ましい。ダンパ部材６０の供給側ダンパ６２、回収側ダンパ６３の部分の厚みは１０μｍ以下が好ましい。

ここで、共通供給流路支流５２の壁面の内、供給側ダンパ６２で形成される変位可能な壁面に対向する壁面（本実施形態では底面）１５２には、供給口５４が配置される供給口配置領域１５２ａと、供給口５４が配置されない供給口非配置領域１５２ｂとがある。

そして、共通供給流路支流５２は、液体の流れ方向と直交する方向の断面形状において、供給口配置領域１５２ａと変位可能な壁面（供給側ダンパ６２）との距離ｈ１が、供給口非配置領域１５２ｂと変位可能な壁面（供給側ダンパ６２）との距離ｈ２よりも短くなる（ｈ１＜ｈ２）形状にしている。

ここでは、共通供給流路支流５２の両側の供給口配置領域１５２ａの間に凹部を設けて、変位可能な壁面に対して、供給口非配置領域１５２ｂを供給口配置領域１５２ａよりも深くしている。この場合、共通供給流路支流５２は、液体の流れ方向と直交する方向の断面形状において凸形状となり、供給口非配置領域１５２ｂの両側に供給口配置領域１５２ａが配置される。

同様に、共通回収流路支流５３の壁面の内、回収側ダンパ６３で形成される変位可能な壁面に対向する壁面（本実施形態では底面）１５３には、回収口５５が配置される回収口配置領域１５３ａと、回収口５５が配置されない回収口非配置領域１５３ｂとがある。

そして、共通回収流路支流５３は、液体の流れ方向と直交する方向の断面形状において、回収口配置領域１５３ａと変位可能な壁面（回収側ダンパ６３）との距離ｈ１１が、回収口非配置領域１５３ｂと変位可能な壁面（回収側ダンパ６３）との距離ｈ１２よりも短くなる（ｈ１１＜ｈ１２）形状にしている。

ここでは、共通回収流路支流５３の両側の回収口配置領域１５３ａの間に凹部を設けて、変位可能な壁面（回収側ダンパ６３）に対して、回収口非配置領域１５３ｂを回収口配置領域１５３ａよりも深くしている。この場合、共通回収流路支流５３は、液体の流れ方向と直交する方向の断面形状において凸形状となり、回収口非配置領域１５３ｂの両側に回収口配置領域１５３ａが配置される。

この液体吐出ヘッド１においては、液体は共通供給流路本流５６から共通供給流路支流５２を通り、供給口５４から圧力室２１へ供給され、ノズル１１から液体が吐出される。ノズル１１から吐出されない液体は、回収口５５から共通回収流路支流５３を通り、共通回収流本流５７に流れ、回収ポート８２から外部の循環装置を経て供給ポート８１を通じて、再度、共通供給流路本流５６に供給される。

ここで、ノズル１１から液体を吐出するとき、圧力室２１で発生した圧力変動が共通供給流路支流５２に伝搬するが、変位可能な壁面をなす供給側ダンパ６２によって圧力変動が抑制される。

例えば、図３において、ノズル１１からの液体吐出によって圧力室１２に通じる供給口５４Ａから伝播する圧力振動は、共通供給流路支流５２内を供給口５４Ａから球面上に広がる。供給口５４Ａに対応するノズル１１Ａと隣接するノズル１１はノズル１１Ｂ，１１Ｃであり、これらに対応する供給口５４は供給口５４Ｂ、５４Ｃである。

このとき、供給口５４Ａと供給口５４Ｂの距離ｂ、供給口５４Ａと供給口５４Ｃとの距離ｃよりも、供給口５４Ａと供給側ダンパ６２との距離ｈ１を短くすることで、供給口５４Ａから伝播する圧力振動を、供給口５４Ｂ、５４Ｃに到達するよりも先に供給側ダンパ６２に到達させ、抑制することができる。

したがって、供給口５４Ａと供給側ダンパ６２との距離ｈ１は短い方が良いが、共通供給流路支流５２の流路断面積が小さくなると、流体抵抗が大きくなる。その結果、支流の上流側に繋がるノズル１１と下流側に繋がるノズル１１間の圧力損失の差が大きくなり、吐出速度や吐出量などの吐出特性のばらつきが大きくなり、また、液体を循環するときの流量を稼ぐことができなくなる。

そこで、本実施形態では、共通供給流路支流５２の底面１５２の供給口５４を形成していない供給口非配置領域１５２ｂが凹む凹部を設け、共通供給流路支流５２の流路断面積を確保しつつ、供給口配置領域１５２ａと供給側ダンパ６２との距離ｈ１を短く保っている。

これにより、液体吐出時の圧力振動（クロストーク）を抑制し、吐出特性のばらつきを低減し、共通供給流路支流５２での循環流量を確保することができる。

共通回収流路支流５３についても、上述した共通供給流路支流５２と同様に構成することで、液体吐出時の圧力振動（クロストーク）を抑制し、吐出特性のばらつきを低減し、共通回収流路支流５３での循環流量を確保することができる。

なお、本実施形態では、共通供給流路支流５２及び共通回収流路支流５３を同様な構成にしているが、いずれか一方のみを本実施形態の構成とすることもできる。つまり、共通供給流路支流５２の供給口配置領域１５２ａと供給口非配置領域１５２ｂの関係のみを本実施形態の構成とすることができる。あるいは、共通回収流路支流５３の回収口配置領域１５３ａと回収口非配置領域１５３ｂの関係のみを本実施形態の構成とすることができる。

次に、本発明の第２実施形態について図６及び図７を参照して説明する。図６は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの流路構成を説明する平面説明図、図７は同じく共通供給流路支流部分の要部拡大斜視説明図である。

本実施形態でも、共通供給流路支流５２は、液体の流れ方向と直交する方向の断面形状において、供給口配置領域１５２ａと変位可能な壁面（供給側ダンパ６２）との距離ｈ１が、供給口非配置領域１５２ｂと変位可能な壁面（供給側ダンパ６２）との距離ｈ２よりも短くなる（ｈ１＜ｈ２）形状にしている。

ここでは、共通供給流路支流５２の底面１５２の中央部に凸部を設けて、供給口配置領域１５２ａの変位可能な壁面（供給側ダンパ６２）に対して、供給口非配置領域１５２ｂを供給口配置領域１５２ａよりも深くしている。この場合、共通供給流路支流５２は、液体の流れ方向と直交する方向の断面形状において凹形状となり、供給口配置領域１５２ａの両側に供給口非配置領域１５２ｂが配置される。

これにより、前記第１実施形態と同様に、液体吐出時の圧力振動（クロストーク）を抑制し、吐出特性のばらつきを低減し、共通供給流路支流５２での循環流量を確保することができる。

また、共通回収流路支流５３についても、共通供給流路支流５２と同様な構成とすることで、前記第１実施形態と同様に、液体吐出時の圧力振動（クロストーク）を抑制し、吐出特性のばらつきを低減し、共通回収流路支流５３での循環流量を確保することができる。

なお、本実施形態でも、共通供給流路支流５２及び共通回収流路支流５３を同様な構成にしているが、いずれか一方のみを本実施形態の構成とすることもできる。つまり、共通供給流路支流５２の供給口配置領域１５２ａと供給口非配置領域１５２ｂの関係のみを本実施形態の構成とすることができる。あるいは、共通回収流路支流５３の回収口配置領域１５３ａと回収口非配置領域１５３ｂの関係のみを本実施形態の構成とすることができる。

次に、本発明の第３実施形態について図８及び図９を参照して説明する。図８は同実施形態に係る液体吐出ヘッドの流路構成を説明する平面説明図、図９は同じく共通供給流路支流部分の要部拡大斜視説明図である。

本実施形態の液体吐出ヘッド１は、非循環型ヘッドであり、前記第１、第２実施形態における回収側の流路を持たないヘッドである。

つまり、共通流路部材５０には、個別供給流路２２の供給側開口３２と共通供給流路支流５２を通じる供給口５４となる貫通孔が形成されている。また、共通流路部材５０は、複数の共通供給流路支流５２に通じる１又は複数の共通供給流路本流５６を形成している。

ダンパ部材６０は、共通供給流路支流５２の一部の壁面を形成する供給側ダンパ６２を構成している。供給側ダンパ６２は、共通供給流路支流５２の供給口５４に対向して変位可能な壁面を形成する。

ここで、共通供給流路支流５２の壁面の内、供給側ダンパ６２で形成される変位可能な壁面に対向する壁面（本実施形態では底面）１５２には、供給口５４が配置される供給口配置領域１５２ａと、供給口５４が配置されない供給口非配置領域１５２ｂとがある。

そして、共通供給流路支流５２は、液体の流れ方向と直交する方向の断面形状において、供給口配置領域１５２ａと変位可能な壁面（供給側ダンパ６２）との距離ｈ１が、供給口非配置領域１５２ｂと変位可能な壁面（供給側ダンパ６２）との距離ｈ２よりも短くなる（ｈ１＜ｈ２）形状にしている。

ここでは、共通供給流路支流５２の底面１５２を段差形状として、変位可能な壁面に対して、供給口非配置領域１５２ｂを供給口配置領域１５２ａよりも深くしている。

これにより、液体吐出時の圧力振動（クロストーク）を抑制し、吐出特性のばらつきを低減し、共通供給流路支流５２での循環流量を確保することができる。

次に、本発明に係るヘッドモジュールの一例について図１０及び図１１を参照して説明する。図１０は同ヘッドモジュールの分解斜視説明図、図１１は同ヘッドモジュールのノズル面側から見た分解斜視説明図である。

ヘッドモジュール１００は、液体を吐出する液体吐出ヘッドである複数のヘッド１と、複数のヘッド１を保持するベース部材１０３と、複数のヘッド１のノズルカバーとなるカバー部材１１３とを備えている。

また、ヘッドモジュール１００は、放熱部材１０４と、複数のヘッドに対して液体を供給する流路を形成しているマニホールド１０５と、フレキシブル配線部材１０１と接続するプリント基板（ＰＣＢ）１０６と、モジュールケース１０７とを備えている。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図１２及び図１３を参照して説明する。図１２は同装置の概略説明図、図１３は同装置のヘッドユニットの一例の平面説明図である。

この液体を吐出する装置である印刷装置５００は、連続体５１０を搬入する搬入手段５０１と、搬入手段５０１から搬入された連続体５１０を印刷手段５０５に案内搬送する案内搬送手段５０３と、連続体５１０に対して液体を吐出して画像を形成する印刷を行う印刷手段５０５と、連続体５１０を乾燥する乾燥手段５０７と、連続体５１０を搬出する搬出手段５０９などを備えている。

連続体５１０は搬入手段５０１の元巻きローラ５１１から送り出され、搬入手段５０１、案内搬送手段５０３、乾燥手段５０７、搬出手段５０９の各ローラによって案内、搬送されて、搬出手段５０９の巻取りローラ５９１にて巻き取られる。

この連続体５１０は、印刷手段５０５において、搬送ガイド部材５５９上をヘッドユニット５５０に対向して搬送され、ヘッドユニット５５０から吐出される液体によって画像が印刷される。

ここで、ヘッドユニット５５０には、本発明に係る２つのヘッドモジュール１００Ａ、１００Ｂを共通ベース部材５５２に備えている。

そして、ヘッドモジュール１００の搬送方向と直交する方向におけるヘッド１の並び方向をヘッド配列方向とするとき、ヘッドモジュール１００Ａのヘッド列１Ａ１，１Ａ２で同じ色の液体を吐出する。同様に、ヘッドモジュール１００Ａのヘッド列１Ｂ１、１Ｂ２を組とし、ヘッドモジュール１００Ｂのヘッド列１Ｃ１、１Ｃ２を組とし、ヘッド列１Ｄ１、１Ｄ２を組として、それぞれ所要の色の液体を吐出する。

次に、液体循環装置の一例について図１４を参照して説明する。図１４は同循環装置のブロック説明図である。なお、ここでは１つのヘッドのみ図示しているが、複数のヘッドを配列する場合には、マニホールドなどを介して複数のヘッドの供給側、回収側にそれぞれ供給側液体経路、回収側液体経路を接続することになる。

液体循環装置６００は、供給タンク６０１、回収タンク６０２、メインタンク６０３、第１送液ポンプ６０４、第２送液ポンプ６０５、コンプレッサ６１１、レギュレータ６１２、真空ポンプ６２１、レギュレータ６２２、供給側圧力センサ６３１、回収側圧力センサ６３２などで構成されている。

ここで、コンプレッサ６１１及び真空ポンプ６２１は、供給タンク６０１内の圧力と回収タンク６０２内の圧力とに差圧を生じさせる手段を構成している。

供給側圧力センサ６３１は、供給タンク６０１とヘッド１との間であって、ヘッド１の供給ポート８１に繋がった供給側液体経路に接続されている。回収側圧力センサ６３２は、ヘッド１と回収タンク６０２との間であって、ヘッド１の回収ポート８２に繋がった回収側液体経路に接続されている。

回収タンク６０２の一方は、第１送液ポンプ６０４を介して供給タンク６０１と接続されており、回収タンク６０２の他方は第２送液ポンプ６０５を介してメインタンク６０３と接続されている。

これにより、供給タンク６０１から供給ポート８１を通ってヘッド１内に液体が流入し、回収ポート８２から回収タンク６０２へ回収され、第１送液ポンプ６０４によって回収タンク６０２から供給タンク６０１へ液体が送られることによって、液体が循環する循環経路が構成される。

ここで、供給タンク６０１にはコンプレッサ６１１がつなげられており、供給側圧力センサ６３１で所定の正圧が検知されるように制御される。一方、回収タンク６０２には真空ポンプ６２１がつなげられており、回収側圧力センサ６３２で所定の負圧が検知されるよう制御される。

これにより、ヘッド１内を通って液体を循環させつつ、メニスカスの負圧を一定に保つことができる。

また、ヘッド１のノズル１１から液体を吐出すると、供給タンク６０１及び回収タンク６０２内の液体量が減少していく。そのため、適宜、第２送液ポンプ６０５を用いて、メインタンク６０３から回収タンク６０２に液体を補充する。

なお、メインタンク６０３から回収タンク６０２への液体補充のタイミングは、回収タンク６０２内の液体の液面高さが所定高さよりも下がったときに液体補充を行うなど、回収タンク６０２内に設けた液面センサなどの検知結果によって制御することができる。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置としての印刷装置の他の例について図１５及び図１６を参照して説明する。図１５は同装置の要部平面説明図、図１６は同装置の要部側面説明図である。

この印刷装置５００は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液滴吐出ヘッドであるヘッド１及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０のヘッド１は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド１は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド１は、前述した液体循環装置６００と接続されて、所要の色の液体が循環供給される。

この印刷装置５００は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着してヘッド１に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド１の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えばヘッド１のノズル面をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの印刷装置５００においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じてヘッド１を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図１７を参照して説明する。図１７は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニット４４０、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、ヘッド１で構成されている。

なお、この液体吐出ユニット４４０の例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０を更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図１８を参照して説明する。図１８は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニット４４０は、流路部品４４４が取付けられたヘッド１と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド１と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が３０ｍＰａ・ｓ以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、ＤＮＡ、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、３次元造形用材料液等の用途で用いることができる。

液体を吐出するエネルギー発生源として、圧電アクチュエータ（積層型圧電素子及び薄膜型圧電素子）、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものが含まれる。

「液体吐出ユニット」は、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体が含まれる。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構、液体循環装置の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。このチューブを介して、液体貯留源の液体が液体吐出ヘッドに供給される。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

なお、ここでは、「液体吐出ユニット」について、液体吐出ヘッドとの組み合わせで説明しているが、「液体吐出ユニット」には上述した液体吐出ヘッドを含むヘッドモジュールやヘッドユニットと上述したような機能部品、機構が一体化したものも含まれる。

「液体を吐出する装置」には、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、ヘッドモジュール、ヘッドユニットなどを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて液体を吐出させる装置が含まれる。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を 気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては、他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

なお、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ 液体吐出ヘッド
１０ ノズル板
１１ ノズル
２０ 個別流路部材
２１ 圧力室
２２ 個別供給流路
２３ 個別回収流路
３０ 振動板部材
４０ 圧電素子
５０ 共通流路部材
５２ 共通供給流路支流
５３ 共通回収流路支流
５４ 供給口
５５ 回収口
５６ 共通供給流路本流
５７ 共通回収流路本流
１００ ヘッドモジュール
１５２ 共通供給流路支流の底面
１５２ａ 供給口配置領域
１５２ｂ 供給口非配置領域
１５３ 共通回収流路支流の底面
１５３ａ 回収口配置領域
１５３ｂ 回収口非配置領域
４０３ キャリッジ
４４０ 液体吐出ユニット
５００ 印刷装置（液体を吐出する装置）
５５０ ヘッドユニット
６００ 液体循環装置

Claims (15)

1. 液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルに各々連通する複数の圧力室と、
   前記複数の圧力室に各々連通する複数の個別供給流路と、
   ２以上の前記個別供給流路にそれぞれ供給口を介して連通する複数の共通供給流路支流と、
   前記複数の共通供給流路支流に連通する共通供給流路本流と、を備え、
   前記共通供給流路支流の一部の壁面は変位可能な壁面であり、
   前記変位可能な壁面に対向する前記共通供給流路支流の壁面には、前記供給口が配置される供給口配置領域と、前記供給口が配置されない供給口非配置領域と、があり、
   前記供給口配置領域と前記変位可能な壁面との距離は、前記供給口非配置領域と前記変位可能な壁面との距離よりも短い
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記供給口非配置領域の両側に、それぞれ前記供給口配置領域が設けられている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記供給口配置領域の両側に、それぞれ前記供給口非配置領域が設けられている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記複数の圧力室に各々連通する複数の個別回収流路と、
   ２以上の前記個別回収流路にそれぞれ回収口を介して連通する複数の共通回収流路支流と、
   前記複数の共通回収流路支流に連通する共通回収流路本流と、を備えている
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記共通回収流路支流の一部の壁面は変位可能な壁面であり、
   前記変位可能な壁面に対向する前記共通回収流路支流の壁面には、前記回収口が配置される回収口配置領域と、前記回収口が配置されない回収口非配置領域と、があり、
   前記回収口配置領域と前記変位可能な壁面との距離は、前記回収口非配置領域と前記変位可能な壁面との距離よりも短い
   ことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記回収口非配置領域の両側に、それぞれ前記回収口配置領域が設けられている
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記回収口配置領域の両側に、それぞれ前記回収口非配置領域が設けられている
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
8. 液体を吐出する複数のノズルと、
   前記複数のノズルに各々連通する複数の圧力室と、
   前記複数の圧力室に各々連通する複数の個別供給流路と、
   ２以上の前記個別供給流路にそれぞれ供給口を介して連通する複数の共通供給流路支流と、
   前記複数の共通供給流路支流に連通する共通供給流路本流と、
   前記複数の圧力室に各々連通する複数の個別回収流路と、
   ２以上の前記個別回収流路にそれぞれ回収口を介して連通する複数の共通回収流路支流と、
   前記複数の共通回収流路支流に連通する共通回収流路本流と、
   前記共通回収流路支流の一部の壁面を形成する変位可能な部材と、を備え、
   前記変位可能な部材に対向する前記共通回収流路支流の壁面には、前記回収口が配置される回収口配置領域と、前記回収口が配置されない回収口非配置領域と、があり、
   前記回収口配置領域と前記変位可能な部材との距離は、前記回収口非配置領域と前記変位可能な部材との距離よりも短い
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
9. 前記回収口非配置領域の両側に、それぞれ前記回収口配置領域が設けられている
   ことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記回収口配置領域の両側に、それぞれ前記回収口非配置領域が設けられている
    ことを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
11. 請求項１ないし１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッドが複数配列されている
    ことを特徴とするヘッドモジュール。
12. 請求項１１に記載のヘッドモジュールが並べて配置されている
    ことを特徴とするヘッドユニット。
13. 請求項１ないし１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、請求項１１に記載のヘッドモジュール、又は、請求項１２に記載のヘッドユニットを含む
    ことを特徴とする液体吐出ユニット。
14. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
    ことを特徴とする請求項１３に記載の液体吐出ユニット。
15. 請求項１ないし１０のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、請求項１１に記載のヘッドモジュール、請求項１２に記載のヘッドユニット、請求項１３又は請求項１４に記載の液体吐出ユニット、の少なくともいずれかを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。

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