JP2018114736A - 液体吐出装置および液体吐出装置の駆動方法 - Google Patents

Abstract

【課題】気体流路を減圧から加圧に移行する際の圧力変化の応答性を維持しつつ、減圧の際には減圧の状態が維持され易くする。【解決手段】液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、液体流路の一部を減圧して液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、減圧脱泡室に連通する気体流路と、気体流路に連通する加圧室と、気体流路を介して減圧脱泡室と加圧室とに連通するポンプと、気体流路から分岐して連通し、ポンプによって減圧されるバッファー室と、を備える液体吐出装置。【選択図】図４

Description

本発明は、インク等の液体を吐出する技術に関する。

ノズルからインク等の液体を吐出する液体吐出装置では、液体を流通させる液体流路の他に、弁などの駆動用の気体を流通させる気体流路を備え、その気体流路が加圧室と減圧室とで兼用される場合がある。例えば特許文献１では、液体流路を減圧して気泡を取り除く減圧脱泡室と、ダイヤフラムが設けられた加圧室と、これら加圧室および減圧脱泡室（減圧室）に連通する気体流路とを備える。気体流路はポンプに連通しているので、気体流路をポンプで減圧すれば、減圧脱泡室が減圧されて、液体流路を流通する液体から気泡を取り除くことができる。また気体流路をポンプで加圧すれば、加圧室が加圧されてダイヤフラムを駆動することができる。

特開２０１０−０５２３２０号公報

しかしながら、特許文献１のように加圧室と減圧脱泡室とで気体流路を兼用する構成では、減圧から加圧に移行する際に、気体流路の体積を大きくするほど、加圧の到達目標圧力に達するまでに時間がかかり、圧力変化の応答性が低下してしまう。気体流路の体積を小さくすれば、減圧から加圧に移行する際の圧力変化の応答性の低下を抑制できるが、気体流路の体積を小さくすると、減圧を行う際に減圧の状態が維持され難くなってしまう。以上の事情を考慮して、本発明は、気体流路を減圧から加圧に移行する際の圧力変化の応答性を維持しつつ、減圧の際には減圧の状態が維持され易くすることを目的とする。

［態様１］
以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様（態様１）に係る液体吐出装置は、液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、液体流路の一部を減圧して液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、減圧脱泡室に連通する気体流路と、気体流路に連通する加圧室と、気体流路を介して減圧脱泡室と加圧室とに連通するポンプと、気体流路から分岐して連通し、ポンプによって減圧されるバッファー室と、を備える。以上の態様によれば、気体流路に連通するバッファー室がポンプによって減圧されるので、減圧の際にはバッファー室の分だけ気体流路の体積を大きくしたのと同様の減圧効果が得られる。したがって、バッファー室がない場合に比較して、気体流路Ａの減圧の際、減圧脱泡室の減圧によって気泡の排出が進んでも、減圧の状態が維持され易くなる。また、バッファー室は気体流路から分岐して連通するので、ポンプによって減圧から加圧に移行する際には、例えばバッファー室までの流路を遮断したり、流路抵抗を高めたりすることで、バッファー室が圧力変化の影響を受け難くすることができる。したがって、気体流路を減圧から加圧へ移行する際の圧力変化の応答性を維持しつつ、減圧の際には減圧の状態が維持され易くすることができる。

［態様２］
態様１の好適例（態様２）において、気体流路とバッファー室との間に設けられ、気体流路とバッファー室との間を連通または遮断する弁を備える。以上の態様によれば、ポンプによる減圧の際には、弁によって気体流路とバッファー室との間を連通することで、バッファー室の分だけ気体流路の体積を大きくしたのと同様の減圧効果が得られる。したがって、バッファー室がない場合に比較して、気体流路Ａの減圧の際、減圧脱泡室の減圧によって気泡の排出が進んでも、減圧の状態が維持され易くなる。また、ポンプによって減圧から加圧に移行する際には、弁によって気体流路とバッファー室との間を遮断することで、バッファー室を加圧しなくてよくなる。したがって、減圧から加圧に移行する際には、バッファー室が圧力変化の影響を受けなくすることができるので、圧力変化の応答性を維持することができる。また、本態様では、弁によって気体流路とバッファー室との間を連通または遮断することができるので、１つのポンプを気体流路の減圧用と加圧用として用いることができる。

［態様３］
態様１の好適例（態様３）において、気体流路とバッファー室との間に設けられ、気体流路とバッファー室との間を仕切る気体透過膜を備える。以上の態様によれば、気体透過膜を介して気体流路とバッファー室とが連通しているので、ポンプによる減圧の際に、バッファー室の分だけ気体流路の体積を大きくしたのと同様の減圧効果を得られる。このため、減圧脱泡室の減圧による気泡の排出が進んでも、減圧の状態が維持され易くなる。また、ポンプによって減圧から加圧に移行する際には、気体透過膜によって気体流路からバッファー室に気体が移動する速度を低下させることができるので、バッファー室が圧力変化の影響を受け難くすることができる。したがって、減圧から加圧に移行する際には、気体流路とバッファー室との間を連通または遮断する弁を設けなくても、圧力変化の応答性を維持できる。このような本態様によれば、例えば短時間の加圧に対してはバッファー室への気体の移動を抑制できるので圧力変化の応答性を維持することができ、長時間の減圧に対しては負圧の状態を長く維持することができる。

［態様４］
態様３の好適例（態様４）において、気体流路とバッファー室との間を連通または遮断する弁を備え、バッファー室の一端と他端が別々に気体流路に連通し、バッファー室の一端は、気体透過膜を介して気体流路に連通し、バッファー室の他端は、弁を介して気体流路に連通する。以上の態様によれば、ポンプによる減圧の際には、弁によって気体流路とバッファー室との間を連通することで、気体流路を減圧する際の圧力変化の応答性を維持することができる。また、気体流路とバッファー室との間を弁により遮断しても、気体透過膜を介して気体流路とバッファー室とが連通しているので、バッファー室の分だけ気体流路の体積を大きくしたのと同様の減圧効果を得られる。このため、バッファー室がない場合に比較して、減圧脱泡室の減圧による気泡の排出が進んでも、減圧の状態が維持され易くなる。また、ポンプによって減圧から加圧に移行する際には、弁によって気体流路とバッファー室との間を遮断することで、バッファー室を加圧しなくてよくなる。さらに気体透過膜によって気体流路からバッファー室に気体が移動する速度を低下させることもできるので、バッファー室が圧力変化の影響を受け難くできる。したがって、気体透過膜と弁の一方だけを備える場合に比較して、減圧から加圧に移行する際の圧力変化の応答性を維持できる。また、本態様では、弁によって気体流路とバッファー室との間を連通または遮断できるので、１つのポンプを減圧用と加圧用として用いることができる。

［態様５］
態様１から態様４の何れかの好適例（態様５）において、ポンプは、第１ポンプと第２ポンプとを含み、第１ポンプは、バッファー室を介さずに気体流路に連通し、第２ポンプは、バッファー室を介して気体流路に連通する。以上の態様によれば、第１ポンプはバッファー室を介さずに気体流路に連通し、第２ポンプはバッファー室を介して気体流路に連通するから、例えば第２ポンプでバッファー室を減圧し、第１ポンプで気体流路を減圧することができる。したがって、１つのポンプでバッファー室と気体流路を減圧させる場合に比較して、各ポンプの負担を減らすことができるので、各ポンプの構成を簡素化できる。

［態様６］
態様５の好適例（態様６）において、第１ポンプで加圧し、第２ポンプで減圧する。以上の態様によれば、第１ポンプで加圧し、第２ポンプで減圧するから、１つのポンプで加圧と減圧を行う場合に比較して、ポンプの構成を簡素化できる。また、加圧用の第１ポンプと減圧用の第２ポンプを設けることで、加圧と減圧を別々に行うことができるので、気体流路において加圧と減圧の両方の状態を維持し易い。

［態様７］
態様１から請求項６の好適例（態様７）において、装置本体を備え、バッファー室は、装置本体内に配置される。以上の態様によれば、液体吐出装置の装置本体内（例えば脚部内の空間などの空きスペース）にバッファー室を配置することで、バッファー室を大型化することができる。

［態様８］
本発明の好適な態様（態様８）に係る液体吐出装置の駆動方法は、液体吐出装置の駆動方法であって、液体吐出装置は、液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、液体流路の一部を減圧して液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、減圧脱泡室に連通する気体流路と、気体流路に連通する加圧室と、気体流路を介して減圧脱泡室と加圧室とに連通するポンプと、気体流路から分岐して連通し、気体流路の減圧によって減圧されるバッファー室と、気体流路とバッファー室との間に設けられ、気体流路とバッファー室との間を連通または遮断する弁と、を備え、弁で気体流路とバッファー室との間を連通して、ポンプによる減圧を行い、弁で気体流路とバッファー室との間を遮断して、ポンプによる加圧を行う。以上の態様によれば、弁で気体流路とバッファー室との間を連通して、ポンプによる減圧を行うことで、バッファー室の分だけ気体流路の体積を大きくしたのと同様の減圧効果が得られる。したがって、バッファー室がない場合に比較して、気体流路Ａの減圧の際、減圧脱泡室の減圧による気泡の排出が進んでも、減圧の状態が維持され易くなる。また、弁で気体流路とバッファー室との間を遮断して、ポンプによる加圧を行うことで、ポンプによって減圧から加圧に移行する際には、バッファー室を加圧しなくてよくなる。したがって、減圧から加圧に移行する際には、バッファー室が圧力変化の影響を受けなくすることができるので、圧力変化の応答性を維持できる。

［態様９］
本発明の好適な態様（態様９）に係る液体吐出装置の駆動方法は、液体吐出装置の駆動方法であって、液体吐出装置は、液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、液体流路の一部を減圧して液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、減圧脱泡室に連通する気体流路と、気体流路に連通する加圧室と、気体流路を介して減圧脱泡室と加圧室とに連通するポンプと、気体流路から分岐して連通し、気体流路の減圧によって減圧されるバッファー室と、気体流路とバッファー室との間に設けられ、気体流路とバッファー室との間を閉塞する気体透過膜と、を備え、ポンプは、バッファー室を介さずに気体流路に連通する第１ポンプとバッファー室を介して気体流路に連通する第２ポンプとを含み、第２ポンプで減圧し、第１ポンプで加圧する。以上の態様によれば、気体透過膜を介して気体流路とバッファー室とが連通しているので、第２ポンプによる減圧の際に、バッファー室の分だけ気体流路の体積を大きくしたのと同様の減圧効果を得られる。このため、減圧脱泡室での気泡の排出が進んでも、減圧の状態が維持され易くなる。また、第１ポンプによる加圧の際には、気体透過膜によって気体流路からバッファー室に気体が移動する速度を低下させることができるので、バッファー室が圧力変化の影響を受け難くすることができる。したがって、減圧から加圧に移行する際には、気体流路とバッファー室との間を連通または遮断する弁を設けなくても、圧力変化の応答性を維持できる。

本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置の構成図である。 液体吐出ヘッドの分解斜視図である。 図２に示す液体吐出ヘッドのＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。 第１実施形態の圧力調整機構の構成を説明するための図である。 ポンプにより減圧脱泡室を減圧するための減圧シーケンスを示す図である。 第１実施形態の変形例における圧力調整機構の構成を説明するための図である。 第２実施形態における圧力調整機構を説明するための図である。 第２実施形態の変形例における圧力調整機構の構成を説明するための図である。 第３実施形態における圧力調整機構を説明するための図である。

＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る液体吐出装置１０の部分的な構成図である。第１実施形態の液体吐出装置１０は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の媒体１１に吐出するインクジェット方式の印刷装置である。図１に示す液体吐出装置１０は、脚部１０４を有する略箱状の装置本体１０２を備える。脚部１０４は、装置本体１０２の底部に設けられ、装置本体１０２を支持する。図１では、液体吐出装置１０の左右に２つの脚部１０４を備える場合を例示したが、液体吐出装置１０の４つの角部にそれぞれ１つずつ合計４つの脚部１０４を備えるようにしてもよい。装置本体１０２内には、制御装置１２と搬送機構１５とキャリッジ１８と液体吐出ヘッド２０とが配置される。装置本体１０２には、インクを貯留する液体容器１４が装着される。

液体容器１４は、液体吐出装置１０の本体に着脱可能な箱状の容器からなるインクタンクタイプのカートリッジである。なお、液体容器１４は、箱状の容器に限られず、袋状の容器からなるインクパックタイプのカートリッジであってもよい。液体容器１４には、インクが貯留される。インクは、黒色インクであってもよく、カラーインクであってもよい。液体容器１４に貯留されるインクは、液体吐出ヘッド２０に圧送される。

制御装置１２は、液体吐出装置１０の各要素を統括的に制御する。搬送機構１５は、制御装置１２による制御のもとで媒体１１をＹ方向に搬送する。液体吐出ヘッド２０は、液体容器１４から供給されるインクを制御装置１２による制御のもとで複数のノズルＮの各々から媒体１１に吐出する。

液体吐出ヘッド２０はキャリッジ１８に搭載される。図１では、キャリッジ１８に１つの液体吐出ヘッド２０を搭載した場合を例示したが、これに限られず、キャリッジ１８に複数の液体吐出ヘッド２０を搭載してもよい。制御装置１２は、Ｙ方向に交差（図１では直交）するＸ方向にキャリッジ１８を往復させる。媒体１１の搬送とキャリッジ１８の往復との反復に並行して液体吐出ヘッド２０が媒体１１にインクを吐出することで媒体１１の表面に所望の画像が形成される。なお、キャリッジ１８には、複数の液体吐出ヘッド２０を搭載してもよい。Ｘ−Ｙ平面（媒体１１の表面に平行な平面）に垂直な方向をＺ方向と表記する。

図２は、液体吐出ヘッド２０の分解斜視図である。図３は、図２に示す液体吐出ヘッド２０のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。図２および図３に示すように、液体吐出ヘッド２０は、弁機構ユニット４１と流路ユニット４２と液体吐出部４４と流路部品４６とを備える。液体吐出部４４は、複数のノズルＮからインクを吐出する。流路ユニット４２は、弁機構ユニット４１を経由したインクを液体吐出部４４に供給する液体流路Ｄが内部に形成された構造体である。液体吐出部４４は、液体容器１４から流路部品４６および流路ユニット４２を介して供給されるインクを媒体１１に吐出する。弁機構ユニット４１は、流路部品４６から供給されるインクの液体流路Ｄの開閉を制御する後述の開閉弁Ｂを内包する。弁機構ユニット４１は、流路ユニット４２に、その側面からＸ方向に張り出すように設置される。他方、流路部品４６は、流路ユニット４２の側面に対向するように設置される。流路部品４６の上面と弁機構ユニット４１の底面とは、Ｚ方向に相互に間隔をあけて対向する。流路部品４６内の液体流路Ｄと弁機構ユニット４１内の液体流路Ｄとは相互に連通する。

液体吐出部４４は、圧力室基板４８２と振動板４８３と圧電素子４８４と筐体部４８５と封止体４８６とが流路基板４８１の一方側に配置されるとともに、他方側にノズル板４８７および緩衝板４８８が配置された構造体である。流路基板４８１と圧力室基板４８２とノズル板４８７とは例えばシリコンの平板材で形成され、筐体部４８５は例えば樹脂材料の射出成形で形成される。複数のノズルＮはノズル板４８７に形成される。ノズル板４８７のうち流路基板４８１とは反対側の表面が吐出面（液体吐出部４４のうち媒体１１との対向面）に相当する。

複数のノズルＮは、第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２とに区分される。第１ノズル列Ｌ１および第２ノズル列Ｌ２の各々は、Ｙ方向に沿って配列された複数のノズルＮの集合である。第１ノズル列Ｌ１と第２ノズル列Ｌ２とは、Ｘ方向に相互に間隔をあけて並列する。なお、第１ノズル列Ｌ１の各ノズルＮと第２ノズル列Ｌ２の各ノズルＮとでＹ方向の位置を相違させること（いわゆる千鳥配置またはスタガ配置）も可能である。

図３に示すように、本実施形態の液体吐出部４４は、第１ノズル列Ｌ１に対応する構造（図３の左側部分）と第２ノズル列Ｌ２に対応する構造（図３の右側部分）とが、Ｘ方向の仮想線Ｏ−Ｏに対して略線対称に形成され、両構造は実質的に共通する。このため、以下では、主に第１ノズル列Ｌ１に対応する構造（図３の仮想線Ｏ−Ｏよりも左側部分）に着目して説明する。

流路基板４８１には、開口部４８１Ａと分岐流路（絞り流路）４８１Ｂと連通流路４８１Ｃとが形成される。分岐流路４８１Ｂおよび連通流路４８１ＣはノズルＮ毎に形成された貫通孔であり、開口部４８１Ａは複数のノズルＮにわたり連続する開口である。緩衝板４８８は、流路基板４８１のうち圧力室基板４８２とは反対側の表面に設置されて開口部４８１Ａを閉塞する平板材（コンプライアンス基板）である。開口部４８１Ａ内の圧力変動は緩衝板４８８により吸収される。

筐体部４８５には、流路基板４８１の開口部４８１Ａに連通する共通液室（リザーバー）ＳＲが形成される。図３の左側の共通液室ＳＲは、第１ノズル列Ｌ１を構成する複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する空間であり、これら複数のノズルＮにわたり連続する。図３の右側の共通液室ＳＲは、第２ノズル列Ｌ２を構成する複数のノズルＮに供給されるインクを貯留する空間であり、これら複数のノズルＮにわたり連続する。各共通液室ＳＲには、上流側から供給されるインクが流入する流入口Ｒｉｎが形成される。

圧力室基板４８２にはノズルＮ毎に開口部４８２Ａが形成される。振動板４８３は、圧力室基板４８２のうち流路基板４８１とは反対側の表面に設置された弾性変形可能な平板材である。圧力室基板４８２の各開口部４８２Ａの内側で振動板４８３と流路基板４８１とに挟まれた空間は、共通液室ＳＲから分岐流路４８１Ｂを介して供給されるインクが充填される圧力室（キャビティ）ＳＣとして機能する。各圧力室ＳＣは、流路基板４８１の連通流路４８１Ｃを介してノズルＮに連通する。

振動板４８３のうち圧力室基板４８２とは反対側の表面にはノズルＮ毎に圧電素子４８４が形成される。各圧電素子４８４は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた駆動素子である。駆動信号の供給により圧電素子４８４が変形することで振動板４８３が振動すると、圧力室ＳＣ内の圧力が変動して圧力室ＳＣ内のインクがノズルＮから吐出される。封止体４８６は、複数の圧電素子４８４を保護する。なお、圧電素子４８４は、不図示のフレキシブルプリントケーブル（ＦＰＣ：Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）やチップオンフィルム（ＣＯＦ：Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）などを経由して制御装置１２に接続される。

弁機構ユニット４１と流路ユニット４２とは、液体流路Ｄと気体流路Ａを備えた流路構造体として機能する。液体流路Ｄは、ノズルＮに連通する流路である。気体流路Ａは、液体流路Ｄの開閉弁Ｂの制御を行う加圧室ＲＣと、気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣを介して液体流路Ｄの脱泡（インクから気泡を取り除く動作）を行う減圧脱泡室Ｑに連通する。

先ず、開閉弁Ｂと加圧室ＲＣについて説明する。弁機構ユニット４１の内部には、液体流路Ｄの一部を構成する上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２と、気体流路Ａに連通する加圧室ＲＣとが形成される。上流側流路Ｒ１は、流路部品４６を介して液体圧送機構１６に接続される。液体圧送機構１６は、液体容器１４に貯留されたインクを加圧状態で液体吐出ヘッド２０に供給（すなわち圧送）する機構である。上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２との間には開閉弁Ｂが設置され、下流側流路Ｒ２と加圧室ＲＣとの間には可撓膜７１が介在する。

開閉弁Ｂは、液体吐出部４４にインクを供給する液体流路Ｄを開閉する弁機構である。開閉弁Ｂは、弁体Ｖを備える。弁体Ｖは、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２との間に設けられ、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とを連通（開状態）または遮断（閉状態）する。弁体Ｖには、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが遮断される方向に付勢するバネＳｐが設けられている。したがって、弁体Ｖに力が作用していないときには、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが遮断される。他方、バネＳｐの付勢力に抗して弁体Ｖに力がかかってＺ方向の正側に移動することで、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが連通する。

加圧室ＲＣには袋状体７３が設置される。袋状体７３は、ゴム等の弾性材料で形成された袋状の部材である。袋状体７３は、気体流路Ａの加圧により膨張するとともに減圧により収縮する。袋状体７３は、流路部品４６内の気体流路Ａを介して圧力調整機構５０に接続される。本実施形態の圧力調整機構５０は、気体流路Ａの加圧と減圧を行うポンプ（例えば後述する図４のポンプＰ）を備える。ポンプは、加圧用と減圧用とを兼用する１つのポンプで構成してもよく、加圧用のポンプと減圧用のポンプなどのように複数のポンプで構成してもよい。ポンプは、制御装置１２からの指示に応じて複数のシーケンスから選択されたシーケンスにより駆動される。複数のシーケンスには、気体流路Ａに空気を供給する加圧シーケンスと、気体流路Ａから空気を吸引する減圧シーケンスとが含まれる。加圧シーケンスによって気体流路Ａが加圧（空気が供給）されることで袋状体７３は膨張し、減圧シーケンスによって気体流路Ａが減圧（空気が吸引）されることで袋状体７３は収縮する。なお、圧力調整機構５０の具体的な構成については後述する。

袋状体７３が収縮した状態では、下流側流路Ｒ２内の圧力が所定の範囲内に維持されている場合には、弁体ＶがバネＳｐに付勢されて上方（Ｚ方向の負側）に押しつけられ、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが遮断される。他方、液体吐出部４４によるインクの吐出や外部からの吸引に起因して下流側流路Ｒ２内の圧力が所定の閾値を下回る数値まで低下すると、弁体ＶがバネＳｐによる付勢力に対抗して下方（Ｚ方向の正側）に移動し、上流側流路Ｒ１と下流側流路Ｒ２とが連通される。また、圧力調整機構５０による加圧で袋状体７３が膨張すると、袋状体７３による押圧によって、バネＳｐの付勢力に抗して可撓膜７１が弁体Ｖを押し下げて、Ｚ方向の正側に移動する。したがって、可撓膜７１による押圧により弁体Ｖが移動して開閉弁Ｂが開放される。すなわち、下流側流路Ｒ２内の圧力の高低に関わらず、圧力調整機構５０による加圧で強制的に開閉弁Ｂを開放することが可能である。圧力調整機構５０による加圧で強制的に可撓膜７１を可動して開閉弁Ｂを開放するのは、例えば液体吐出ヘッド２０に最初にインクを充填（以下「初期充填」という）する場合、クリーニングの際にノズルＮからインクを排出する場合が挙げられる。

次に、気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣと減圧脱泡室Ｑについて説明する。流路ユニット４２には、鉛直空間ＲＶに連通するフィルター室ＲＦと減圧脱泡室Ｑとが形成されている。減圧脱泡室Ｑは、液体流路Ｄの一部を減圧してインクから気泡を取り除くための空間である。減圧脱泡室Ｑは、インクから取り除かれた気泡（気体）が一時的に滞留する脱泡空間として機能する。なお、減圧脱泡室Ｑは、互いに連通する減圧室と脱泡室との２つの空間に分けて構成し、減圧室と脱泡室との連通部分に開閉弁または逆止弁を設けるようにしてもよい。

フィルター室ＲＦには、フィルターＦが設けられている。フィルターＦは、液体吐出部４４に液体流路Ｄを横断するように設置され、インクに混入した気泡や異物を捕集する。具体的には、フィルターＦは、空間ＲＦ１と空間ＲＦ２とを仕切るように設置される。上流側の空間ＲＦ１は弁機構ユニット４１の下流側流路Ｒ２に連通し、下流側の空間ＲＦ２は鉛直空間ＲＶに連通する。

鉛直空間ＲＶは、インクを一時的に貯留するための空間である。鉛直空間ＲＶには、フィルターＦを通過したインクが空間ＲＦ２から流入する流入口Ｖｉｎと、インクがノズルＮ側に流出する流出口Ｖｏｕｔとが形成される。流入口Ｖｉｎは、流出口Ｖｏｕｔと比較して鉛直方向の上方（Ｚ方向の負側）に位置する。このような構成によれば、空間ＲＦ２内のインクは、流入口Ｖｉｎを介して鉛直空間ＲＶに流入し、鉛直空間ＲＶ内のインクは流出口Ｖｏｕｔを介して共通液室ＳＲに流入する。共通液室ＳＲに流入したインクは、開口部４８１Ａを経由して各圧力室ＳＣに供給されて、各ノズルＮから吐出される。

気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣは減圧脱泡室Ｑと液体流路Ｄの複数の箇所を仕切るように設置される。ただし、気体透過膜の配置位置や数は例示したものに限られない。例えば液体流路Ｄの１カ所の部分（例えば気体透過膜ＭＣの部分）だけに気体透過膜を設けるようにしてよい。気体透過膜ＭＡは、鉛直空間ＲＶと減圧脱泡室Ｑとの間に介在する。気体透過膜ＭＢは、共通液室ＳＲと減圧脱泡室Ｑとの間に介在する。気体透過膜ＭＣは、空間ＲＦ１と減圧脱泡室Ｑとの間に介在する。気体透過膜ＭＡ〜ＭＣは、気体（空気）は透過させるけれどもインク等の液体は透過させない気体透過性の膜体（気液分離膜）であり、例えば公知の高分子材料で形成される。フィルターＦで捕集された気泡は、気体透過膜ＭＣを透過することで減圧脱泡室Ｑに排出され、インクから取り除かれる。またフィルターＦを通過してしまった気泡も、空間ＲＦ１から流入口Ｖｉｎを介して鉛直空間ＲＶに流入し、鉛直空間ＲＶに流入する。したがって、鉛直空間ＲＶに流入した気泡も気体透過膜ＭＡを透過することで、減圧脱泡室Ｑに排出される。

また、共通液室ＳＲには排出口Ｒｏｕｔが形成される。排出口Ｒｏｕｔは、共通液室ＳＲの天井面４９に形成された流路である。共通液室ＳＲの天井面４９は、流入口Ｒｉｎ側から排出口Ｒｏｕｔ側にかけて高くなる傾斜面（平面または曲面）である。したがって、流入口Ｒｉｎから進入した気泡も排出口Ｒｏｕｔ側に誘導され、気体透過膜ＭＢを透過することで、減圧脱泡室Ｑに排出される。

減圧脱泡室Ｑは、気体流路Ａに連通しているので、圧力調整機構５０で気体流路Ａを減圧することで、減圧脱泡室Ｑが減圧される。減圧脱泡室Ｑが減圧されると、液体流路Ｄ内の気泡が気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣを通過する。気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣを通過して減圧脱泡室Ｑに移動した気体は、気体流路Ａを通って装置外部に排出される。こうして、液体流路Ｄから気泡が取り除かれる。

なお、本実施形態の液体流路Ｄは、流路ユニット４２から弁機構ユニット４１を経由して流路部品４６の内部に至る排出経路７６を有する。排出経路７６は、流路ユニット４２の内部流路（具体的には液体吐出部４４にインクを供給するための流路）に連通する経路である。具体的には、排出経路７６は、各液体吐出部４４の共通液室ＳＲの排出口Ｒｏｕｔと鉛直空間ＲＶとに連通する。

排出経路７６の弁機構ユニット４１側の端部は、閉塞弁７８に接続される。閉塞弁７８が設置される位置は任意であるが、図３では流路部品４６内に閉塞弁７８を設置した構成を例示している。閉塞弁７８は、通常状態では排出経路７６を閉塞し（ノーマリークローズ）、一時的に排出経路７６を大気に開放可能な弁機構である。

上述のとおり、本実施形態の液体吐出ヘッド２０では、気体流路Ａが加圧室ＲＣと減圧脱泡室Ｑに連通している。したがって、圧力調整機構５０によって気体流路Ａを加圧することで、加圧室ＲＣの袋状体７３を膨張させて開閉弁Ｂを開放出来ると共に、圧力調整機構５０によって気体流路Ａを減圧することで、減圧脱泡室Ｑを減圧させて液体流路Ｄから気体を取り除くことができる。

ところで、本実施形態のように、加圧室ＲＣと減圧脱泡室Ｑとで気体流路Ａを兼用する構成では、気体流路Ａを減圧から加圧に移行する際に、気体流路Ａの体積を大きくするほど、加圧の到達目標圧力に達するまでに時間がかかり、圧力変化の応答性が低下してしまう。気体流路Ａの体積を小さくすれば、減圧から加圧に移行する際の圧力変化の応答性の低下を抑制できるが、気体流路Ａの体積を小さくすると、減圧を行う際に減圧の状態が維持され難くなってしまう。

そこで、第１実施形態の圧力調整機構５０は、例えば後述する図４に示すように、気体流路Ａから分岐して連通するバッファー室５４を備え、バッファー室５４がポンプＰによって減圧されるようにすることで、減圧の際にはバッファー室５４の分だけ気体流路Ａの体積を大きくしたのと同様の減圧効果が得られるようにしている。すなわち、本実施形態によれば、バッファー室５４を設けることで、気体流路Ａ自体の体積を大きくすることなく、減圧の際に気体流路Ａの体積を大きくしたのと同様の減圧効果（圧力の減衰速度の低下）が得られる。バッファー室５４は気体流路Ａから分岐して連通するので、ポンプＰによって減圧から加圧に移行する際には、例えばバッファー室５４までの流路を遮断したり、流路抵抗を高めたりすることで、バッファー室５４が圧力変化の影響を受け難くすることができる。したがって、気体流路Ａを減圧から加圧へ移行する際の圧力変化の応答性を維持しつつ、減圧の際には減圧の状態が維持され易くすることができる。なお、バッファー室５４は、装置本体１０２のうち液体吐出ヘッド２０以外の空きスペース（例えば装置本体１０２内の空間や脚部１０４内の空間）に配置することで、バッファー室５４を大型化することができる。ただし、バッファー室５４を液体吐出ヘッド２０に配置してもよい。

以下、このような第１実施形態における圧力調整機構５０の具体的な構成について説明する。図４は、第１実施形態の圧力調整機構５０の構成を説明するための図である。なお、図４では、加圧室ＲＣや減圧脱泡室Ｑなどの各部の構成を簡略的に示している（後述する図６乃至図９においても同様である）。図４に示すように、第１実施形態の圧力調整機構５０は、気体流路Ａの減圧と加圧が可能なポンプＰと、気体流路Ａから分岐して連通するバッファー室５４とを備える。気体流路Ａとバッファー室５４との間には、気体流路Ａとバッファー室５４との間を連通または遮断する弁５６が設けられている。具体的には、バッファー室５４と気体流路Ａとは、気体流路Ａから分岐する流路５２で接続されており、この流路５２に弁５６が設けられている。図４の弁５６は、開閉弁で構成され、制御装置１２によって制御される。

このような構成の圧力調整機構５０によれば、ポンプＰによる減圧の際には、弁５６によって気体流路Ａとバッファー室５４との間を連通することで、バッファー室５４の分だけ気体流路Ａの体積を大きくしたのと同様の減圧効果が得られる。したがって、バッファー室５４がない場合に比較して、気体流路Ａの減圧の際、減圧脱泡室Ｑの減圧によって図４の矢印のように気泡Ｂｕの排出が進んでも、減圧の状態が維持され易くなる。

他方、ポンプＰによって減圧から加圧に移行する際には、弁５６によって気体流路Ａとバッファー室５４との間を遮断することで、バッファー室５４を加圧しなくてよくなる。したがって、減圧から加圧に移行する際には、バッファー室５４が圧力変化の影響を受けなくすることができるので、圧力変化の応答性を維持できる。

ここで、バッファー室５４を設けた場合の減圧脱泡室Ｑの減圧状態を、バッファー室５４を設けない場合と比較しながら説明する。図５は、ポンプＰにより減圧脱泡室Ｑを減圧するための減圧シーケンスを示す図である。図５では、バッファー室５４を設けた第１実施形態の減圧シーケンスを実線で示し、バッファー室５４を設けない比較例の減圧シーケンスを破線で示している。図５において、横軸は１時間単位の経過時間［ｈ］であり、縦軸は減圧脱泡室Ｑの圧力［ｋＰａ］である。所定時間後の減圧脱泡室Ｑの圧力（脱泡圧力）は、ボイルの法則によって算出できる。

本実施形態の減圧シーケンスは、ポンプＰの駆動が開始されてから目標とする到達圧力Ｔまでと、その到達圧力Ｔから次にポンプＰの駆動が開始されるまでを１つのシーケンスとする。図５では、１つの減圧シーケンスを示しており、実際のポンプＰの駆動では、所定時間ごと（例えば１時間ごと）に減圧シーケンスを繰り返して、液体流路Ｄから気泡Ｂｕを排出する。

図５に示すように、本実施形態の減圧シーケンスでは、減圧脱泡室Ｑの圧力が０の状態から、ポンプＰを駆動して減圧する。そして、減圧脱泡室Ｑの圧力が目標の到達圧力Ｔ（例えば−３０ｋＰａ〜−６０ｋＰａ）に到達すると、ポンプＰを停止する。その後は、減圧脱泡室Ｑでの脱泡が進み、減圧脱泡室Ｑへ気体が流入するので徐々に圧力が減衰（上昇）する。バッファー室５４を設けた場合（実線）には、バッファー室５４を設けない場合（破線）に比較して、到達圧力Ｔまで減圧した後に減圧脱泡室Ｑでの脱泡が進んでも、減圧脱泡室Ｑの圧力の減衰速度が小さくなる（上昇速度が緩やかになる）ことが分かる。したがって、バッファー室５４を設けた場合（実線）には、バッファー室５４を設けない場合（破線）に比較して、減圧の状態が維持され易くなる。

このように、本実施形態の圧力調整機構５０によれば、気体流路Ａを減圧から加圧へ移行する際の圧力変化の応答性を維持しつつ、減圧の際には減圧の状態が維持され易くすることができる。なお、図４の構成によれば、弁５６によって気体流路Ａとバッファー室５４との間を連通または遮断できるので、１つのポンプＰを気体流路Ａの減圧用と加圧用として用いることができる。

（第１実施形態の変形例）
図６は、第１実施形態の変形例における圧力調整機構５０の構成を説明するための図である。以下に例示する各変形例および各実施形態において作用や機能が同様である要素については、図１乃至図５の説明で使用した符号を流用して各々の詳細な説明を適宜に省略する。図６の構成では、加圧用の第１ポンプＰ１と減圧用の第２ポンプＰ２とで、ポンプＰを構成する。図６の弁５６は、三方弁により構成され、制御装置１２によって制御される。弁５６は、気体流路Ａのうちバッファー室５４よりも下流側に設けられている。弁５６は、弁５６は、この弁５６よりも上流側の流路Ａ０と下流側における第１ポンプＰ１が設けられる流路Ａ１とを連通するか、流路Ａ０と第２ポンプＰ２が設けられる流路Ａ２とを連通するかを切り替える切替弁である。制御装置１２によって弁５６の駆動が制御される。

図６のバッファー室５４は、第２ポンプＰ２が設けられる流路Ａ２に連通する。したがって、第１ポンプＰ１は、バッファー室５４を介さずに気体流路Ａに連通し、第２ポンプＰ２は、バッファー室５４を介して気体流路Ａに連通する。

このような構成によれば、制御装置１２は、第２ポンプＰ２でバッファー室５４を減圧し、第１ポンプＰ１で気体流路Ａを加圧することができる。したがって、１つのポンプでバッファー室５４と気体流路Ａを加減圧させる場合に比較して、各ポンプＰ１、Ｐ２の負担を減らすことができるので、各ポンプＰ１、Ｐ２の構成を簡素化できる。

また、図６の構成では、減圧の際には、制御装置１２は弁５６で流路Ａ０と流路Ａ２とを連通し、流路Ａ０と流路Ａ１とを遮断して、第２ポンプＰ２によりバッファー室５４を減圧しながら、気体流路Ａの減圧を行う。これにより、減圧の際にはバッファー室５４の分だけ気体流路Ａの体積を大きくしたのと同様の減圧効果が得られる。したがって、バッファー室５４がない場合に比較して、気体流路Ａの減圧の際、減圧脱泡室Ｑの減圧によって気泡の排出が進んでも、減圧の状態が維持され易くなる。

他方、減圧から加圧に切り替える際には、制御装置１２は弁５６で流路Ａ０と流路Ａ１とを連通し、流路Ａ０と流路Ａ２とを遮断して、第１ポンプＰ１により気体流路Ａの加圧を行う。これにより、減圧から加圧に移行する際には、バッファー室５４を加圧しなくてよくなる。したがって、減圧から加圧に移行する際には、バッファー室５４が圧力変化の影響を受けなくすることができるので、圧力変化の応答性を維持できる。また、図６の構成では、加圧用のポンプＰ１と減圧用の第２ポンプＰ２を設けることで、加圧と減圧を別々に行うことができるので、気体流路Ａにおいて加圧と減圧の両方の状態を維持し易い。このような図６の構成によれば、例えば短時間の加圧に対してはバッファー室５４への気体の移動を抑制できるので圧力変化の応答性を維持することができ、長時間の減圧に対しては負圧の状態を長く維持することができる。

＜第２実施形態＞
本発明の第２実施形態について説明する。図７は、第２実施形態における圧力調整機構５０を説明するための図であり、図４に対応する。図７の構成において、図４の構成と異なるのは、弁５６を設ける代わりに、気体流路Ａとバッファー室５４との間を仕切る気体透過膜５８を設けた点である。気体透過膜５８は、所定の透過率で気体（空気）は透過させることができる気体透過性の膜体（気液分離膜）であり、例えば公知の高分子材料で形成される。なお、第２実施形態の気体透過膜５８としては、上述した気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣと同様の膜で構成してもよく、気体透過膜ＭＡ、ＭＢ、ＭＣとは異なる膜で構成してもよい。第２実施形態の気体透過膜５８は、少なくとも気体透過膜５８を設けない場合に比較して、減圧脱泡室Ｑの圧力の減衰速度が緩やかになるような気体透過率を有する膜を用いる。なお、気体透過膜５８の気体透過率に応じて、減圧脱泡室Ｑの圧力の減衰速度を変えることができる。

図７の気体透過膜５８は、流路５２に設けられている。また、図７の構成では、加圧と減圧を行う第１ポンプＰ１と減圧を行う第２ポンプＰ２とで、ポンプＰを構成する。第２ポンプＰ２は、流路５２’を介してバッファー室５４に連通する。第１ポンプＰ１と第２ポンプＰ２とは減圧脱泡室Ｑの目標とする到達圧力Ｔが異なり、第２ポンプＰ２による到達圧力の方が、第１ポンプＰ１による到達圧力よりも低い。例えば第１ポンプＰ１の減圧脱泡室Ｑの到達圧力Ｔを−３０ｋＰａとし、第２ポンプＰ２の減圧脱泡室Ｑの到達圧力を−６０ｋＰａとする。

図７の構成によれば、気体透過膜５８を介して気体流路Ａとバッファー室５４とが連通しているので、第２ポンプＰ２による減圧の際に、バッファー室５４の分だけ気体流路Ａの体積を大きくしたのと同様の減圧効果を得られる。このため、減圧脱泡室Ｑでの気泡の排出が進んでも、減圧の状態が維持され易くなる。また、第１ポンプＰ１による加圧の際には、気体透過膜５８によって気体流路Ａからバッファー室５４に気体が移動する速度を低下させることができるので、バッファー室５４が圧力変化の影響を受け難くすることができる。したがって、減圧から加圧に移行する際には、図４のような弁５６を設けなくても、圧力変化の応答性を維持できる。

また、図７の構成によれば、減圧脱泡室Ｑの到達圧力Ｔに応じて、第１ポンプＰ１と第２ポンプＰ２を使い分けることができる。例えば減圧脱泡室Ｑの到達圧力Ｔが高い第１ポンプＰ１を用いることで、ポンプの寿命を延ばすことができる。他方、減圧脱泡室Ｑの到達圧力Ｔが低い第２ポンプＰ２を用いることで、脱泡速度を速めることができる。しかも減圧脱泡室Ｑの到達圧力Ｔが低い第２ポンプＰ２による減圧の際にバッファー室５４も減圧され、減圧脱泡室Ｑの到達圧力が高い第１ポンプＰ１による減圧の際にはバッファー室５４は減圧されない。これによれば、減圧脱泡室Ｑの到達圧力Ｔが低い方が、減圧脱泡室Ｑの到達圧力が高い場合よりも減衰速度が大きくなるので、それを抑えることで減圧状態を長く保つことができる。

（第２実施形態の変形例）
図８は、第２実施形態の変形例における圧力調整機構５０の構成を説明するための図であり、図７に対応する。図８の構成では、図７の第２ポンプＰ２をシリンジポンプで構成した場合を例示する。図８の第２ポンプＰ２は、シリンダーＰ２ＡとピストンＰ２Ｂを備える。ピストンＰ２Ｂは、シリンダーＰ２Ａ内をスライド可能である。図８の構成では、シリンダーＰ２ＡとシリンダーＰ２Ａとの間の空間がバッファー室５４として機能する。

図８の構成では、例えば第２ポンプＰ２で減圧する際には、ピストンＰ２Ｂを駆動することによって、減圧脱泡室Ｑを減圧することができる。このような図８の構成によっても、第２実施形態と同様の効果を奏することができる。また、図８では、第２ポンプＰ２をシリンジポンプで構成するので、圧力調整機構５０の構成を簡素化できる。なお、ピストンＰ２Ｂは、制御装置１２によって制御されるモーター（図示略）によって駆動してもよく、また手動で駆動してもよい。手動でピストンＰ２Ｂを駆動するようにすれば、モーターなどが不要となるので、部品点数を少なくできる。

＜第３実施形態＞
本発明の第３実施形態について説明する。図９は、第３実施形態における圧力調整機構５０を説明するための図であり、図４に対応する。図９では、弁５６と気体透過膜５８の両方を備える圧力調整機構５０を例示する。ポンプＰは、図４と同様に、減圧と加圧が可能なポンプである。図９の圧力調整機構５０は、バッファー室５４の一端と他端が別々に気体流路Ａに連通し、バッファー室５４の一端は、気体透過膜５８を介して気体流路Ａに連通し、バッファー室５４の他端は、弁５６を介して気体流路Ａに連通する。

具体的には、気体流路Ａから分岐する流路５２を介して、バッファー室５４の一端が気体流路Ａに連通し、気体流路Ａから分岐する流路５３を介して、バッファー室５４の他端が気体流路Ａに連通する。流路５２に弁５６が設けられ、流路５３に気体透過膜５８が設けられる。なお、図９では、弁５６が設けられる流路５２の方が、気体透過膜５８が設けられる流路５３よりも上流側に配置される場合を例示しているが、これに限られず、弁５６が設けられる流路５２の方が、気体透過膜５８が設けられる流路５３よりも下流側に配置されるようにしてもよい。

図９の構成によれば、ポンプＰによる減圧の際には、弁５６によって気体流路Ａとバッファー室５４との間を連通することで、気体流路Ａを減圧する際の圧力変化の応答性を維持することができる。また、気体流路Ａとバッファー室５４との間を弁５６により遮断しても、気体透過膜５８を介して気体流路Ａとバッファー室５４とが連通しているので、バッファー室５４の分だけ気体流路Ａの体積を大きくしたのと同様の減圧効果を得られる。このため、バッファー室５４がない場合に比較して、減圧脱泡室Ｑの減圧による気泡Ｂｕの排出が進んでも、減圧の状態が維持され易くなる。

また、ポンプＰによって減圧から加圧に移行する際には、弁５６によって気体流路Ａとバッファー室５４との間を遮断することで、バッファー室５４を加圧しなくてよくなる。さらに気体透過膜５８によって気体流路Ａからバッファー室５４に気体が移動する速度を低下させることもできるので、バッファー室５４が圧力変化の影響を受け難くできる。したがって、気体透過膜５８と弁５６の一方だけを備える場合に比較して、減圧から加圧に移行する際の圧力変化の応答性を維持できる。また、弁５６によって気体流路Ａとバッファー室５４との間を連通または遮断できるので、１つのポンプＰを減圧用と加圧用として用いることができる。

＜変形例＞
以上に例示した各実施形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）上述した実施形態では、液体吐出ヘッド２０を搭載したキャリッジ１８をＸ方向に沿って反復的に往復させるシリアルヘッドを例示したが、液体吐出ヘッド２０を媒体１１の全幅にわたり配列したラインヘッドにも本発明を適用可能である。

（２）上述した実施形態では、圧力室ＳＣに機械的な振動を付与する圧電素子４８４を利用した圧電方式の液体吐出ヘッド２０を例示したが、加熱により圧力室の内部に気泡を発生させる発熱素子を利用した熱方式の液体吐出ヘッドを採用することも可能である。

（３）上述した実施形態で例示した液体吐出装置１０は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器に採用され得る。もっとも、本発明の液体吐出装置１０の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を吐出する液体吐出装置１０は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を吐出する液体吐出装置１０は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。

１０…液体吐出装置、１０２…装置本体、１０４…脚部、１１…媒体、１２…制御装置、１４…液体容器、１５…搬送機構、１６…液体圧送機構、１８…キャリッジ、２０…液体吐出ヘッド、４１…弁機構ユニット、４２…流路ユニット、４４…液体吐出部、４６…流路部品、４８１…流路基板、４８１Ａ…開口部、４８１Ｂ…流路、４８１Ｃ…連通流路、４８２…圧力室基板、４８２Ａ…開口部、４８３…振動板、４８４…圧電素子、４８５…筐体部、４８６…封止体、４８７…ノズル板、４８８…緩衝板、４９…天井面、５０…圧力調整機構、５２、５２’…流路、５３…流路、５４…バッファー室、５６…弁、５８…気体透過膜、７１…可撓膜、７３…袋状体、７６…排出経路、７８…閉塞弁、Ａ…気体流路、Ａ０…流路、Ａ１…流路、Ａ２…流路、Ｂ…開閉弁、Ｂｕ…気泡、Ｄ…液体流路、Ｆ…フィルター、Ｌ１…第１ノズル列、Ｌ２…第２ノズル列、ＭＡ、ＭＢ、ＭＣ…気体透過膜、Ｎ…ノズル、Ｏ−Ｏ…仮想線、Ｐ…ポンプ、Ｐ１…第１ポンプ、Ｐ２…第２ポンプ、Ｐ２Ａ…シリンダー、Ｐ２Ｂ…ピストン、Ｑ…減圧脱泡室、Ｒｉｎ…流入口、Ｒｏｕｔ…排出口、Ｒ１…上流側流路、Ｒ２…下流側流路、ＲＣ…加圧室、ＲＦ…フィルター室、ＲＦ１…空間、ＲＦ２…空間、ＲＶ…鉛直空間、Ｓｐ…バネ、ＳＣ…圧力室、ＳＲ…共通液室、Ｖ…弁体、Ｖｉｎ…流入口、Ｖｏｕｔ…流出口、Ｔ…到達圧力。

Claims (9)

1. 液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
   前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
   前記減圧脱泡室に連通する気体流路と、
   前記気体流路に連通する加圧室と、
   前記気体流路を介して前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通するポンプと、
   前記気体流路から分岐して連通し、前記ポンプによって減圧されるバッファー室と、を備える
   液体吐出装置。
2. 前記気体流路と前記バッファー室との間に設けられ、前記気体流路と前記バッファー室との間を連通または遮断する弁を備える
   請求項１の液体吐出装置。
3. 前記気体流路と前記バッファー室との間に設けられ、前記気体流路と前記バッファー室との間を仕切る気体透過膜を備える
   請求項１の液体吐出装置。
4. 前記気体流路と前記バッファー室との間を連通または遮断する弁を備え、
   前記バッファー室の一端と他端が別々に前記気体流路に連通し、
   前記バッファー室の一端は、前記気体透過膜を介して前記気体流路に連通し、
   前記バッファー室の他端は、前記弁を介して前記気体流路に連通する
   請求項３の液体吐出装置。
5. 前記ポンプは、第１ポンプと第２ポンプとを含み、
   前記第１ポンプは、前記バッファー室を介さずに前記気体流路に連通し、
   前記第２ポンプは、前記バッファー室を介して前記気体流路に連通する
   請求項１から請求項４の何れかの液体吐出装置。
6. 前記第１ポンプで加圧し、前記第２ポンプで減圧する
   請求項５の液体吐出装置。
7. 装置本体を備え、
   前記バッファー室は、前記装置本体内に配置される
   請求項１から請求項６の何れかの液体吐出装置。
8. 液体吐出装置の駆動方法であって、
   前記液体吐出装置は、
   液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
   前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
   前記減圧脱泡室に連通する気体流路と、
   前記気体流路に連通する加圧室と、
   前記気体流路を介して前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通するポンプと、
   前記気体流路から分岐して連通し、前記気体流路の減圧によって減圧されるバッファー室と、
   前記気体流路と前記バッファー室との間に設けられ、前記気体流路と前記バッファー室との間を連通または遮断する弁と、を備え、
   前記弁で前記気体流路と前記バッファー室との間を連通して、前記ポンプによる減圧を行い、
   前記弁で前記気体流路と前記バッファー室との間を遮断して、前記ポンプによる加圧を行う
   液体吐出装置の駆動方法。
9. 液体吐出装置の駆動方法であって、
   前記液体吐出装置は、
   液体を吐出するノズルに連通する液体流路と、
   前記液体流路の一部を減圧して前記液体から気泡を取り除くための減圧脱泡室と、
   前記減圧脱泡室に連通する気体流路と、
   前記気体流路に連通する加圧室と、
   前記気体流路を介して前記減圧脱泡室と前記加圧室とに連通するポンプと、
   前記気体流路から分岐して連通し、前記気体流路の減圧によって減圧されるバッファー室と、
   前記気体流路と前記バッファー室との間に設けられ、前記気体流路と前記バッファー室との間を閉塞する気体透過膜と、を備え、
   前記ポンプは、前記バッファー室を介さずに前記気体流路に連通する第１ポンプと、前記バッファー室を介して前記気体流路に連通する第２ポンプとを含み、
   前記第２ポンプで減圧し、前記第１ポンプで加圧する
   液体吐出装置の駆動方法。
   

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