JP2020150415A - 弾性波デバイスおよびその製造方法、ウエハ、フィルタ並びにマルチプレクサ - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 209
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims abstract description 18
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 12
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 10
- YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N germanium oxide Inorganic materials O=[Ge]=O YBMRDBCBODYGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N oxogermanium Chemical compound [Ge]=O PVADDRMAFCOOPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 6
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 6
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 5
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 4
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical group [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N dioxoiridium Chemical compound O=[Ir]=O HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000457 iridium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
図2(a)から図4(a)は、実施例1に係る弾性波デバイスの製造方法を示す断面図である。図2(a)に示すように、表面が粗面である支持基板10を準備する。図2(b)に示すように、支持基板10上に絶縁層17を例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)法、スパッタリング法または真空蒸着法を用い形成する。支持基板10と絶縁層17との界面50は粗面となる。絶縁層17の上面を例えばCMP(Chemical Mechanical Polishing)法を用い平坦化する。
比較例を用い絶縁層17を設ける理由を説明する。絶縁層17を設けず、支持基板10と絶縁層11との界面の表面粗さが異なる弾性波共振器を作製した。作製条件は以下である。
支持基板10:サファイア基板
絶縁層11:厚さが0.4λの酸化シリコン膜
圧電基板12:厚さが0.4λの42°回転Yカットタンタル酸リチウム基板
サンプルA:約100nm
サンプルB:約10nm
サンプルC:1nm以下(ほぼ鏡面)
図7(b)は、実施例2の変形例1に係るデュプレクサの回路図である。図7(b)に示すように、共通端子Antと送信端子Txとの間に送信フィルタ40が接続されている。共通端子Antと受信端子Rxとの間に受信フィルタ42が接続されている。送信フィルタ40は、送信端子Txから入力された高周波信号のうち送信帯域の信号を送信信号として共通端子Antに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。受信フィルタ42は、共通端子Antから入力された高周波信号のうち受信帯域の信号を受信信号として受信端子Rxに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。送信フィルタ40および受信フィルタ42の少なくとも一方を実施例2のフィルタとすることができる。
11、17 絶縁層
12 圧電基板
13 接合層
15 電極指
18 櫛型電極
20 弾性波共振器
22 IDT
33 レーザ光
50−52 界面
Claims (11)
- 支持基板と、
前記支持基板上に設けられた圧電基板と、
前記圧電基板上に設けられた一対の櫛型電極と、
前記支持基板と前記圧電基板との間に設けられ、前記支持基板の屈折率よりも低い屈折率を有する第1絶縁層と、
前記第1絶縁層と前記支持基板との間に設けられ、前記支持基板との間の第1面の表面粗さは前記第1絶縁層との間の第2面の表面粗さより大きく、前記第1絶縁層より屈折率の高い第2絶縁層と、
を備える弾性波デバイス。 - 前記第1絶縁層および前記第2絶縁層の弾性定数の温度係数の符号は前記圧電基板の弾性定数の温度係数の符号と反対である請求項1に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1絶縁層および前記第2絶縁層の音速は、前記支持基板の音速より遅い請求項2に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1絶縁層と前記第2絶縁層との主成分は同じであり、前記第2絶縁層は前記第1絶縁層に添加されていない不純物を含む請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1絶縁層および前記第2絶縁層の主成分は酸化シリコンであり、前記第2絶縁層の酸化ゲルマニウムまたは酸化ジルコニウムの濃度は前記第2絶縁層の酸化ゲルマニウムまたは酸化ジルコニウムの濃度より高い請求項1から3のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記第1面の算術平均粗さは10nm以上であり、前記第2面の算術平均粗さは1nm以下である請求項1から5のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
- 前記支持基板は多結晶基板または単結晶基板であり、
前記支持基板の側面には前記支持基板の構成元素を主成分とする複数の改質領域が平面方向に設けられている請求項1から6のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。 - 請求項1から7のいずれか一項に記載の弾性波デバイスを含むフィルタ。
- 請求項8に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
- 支持基板と、
前記支持基板上に設けられた圧電基板と、
前記支持基板と前記圧電基板との間に設けられ、前記支持基板の屈折率よりも低い屈折率を有する第1絶縁層と、
前記第1絶縁層と前記支持基板との間に設けられ、前記支持基板との間の第1面の表面粗さは前記第1絶縁層との間の第2面の表面粗さより大きく、前記第1絶縁層より屈折率の高い第2絶縁層と、
を備えるウエハ。 - 支持基板と、前記支持基板上に設けられた圧電基板と、前記支持基板と前記圧電基板との間に設けられ、前記支持基板の屈折率よりも低い屈折率を有する第1絶縁層と、前記第1絶縁層と前記支持基板との間に設けられ、前記支持基板との間の第1面の表面粗さは前記第1絶縁層との間の第2面の表面粗さより大きく、前記第1絶縁層より屈折率の高い第2絶縁層と、を備える複合基板に前記圧電基板側からレーザ光を照射し前記支持基板内に改質領域を形成する工程と、
前記改質領域に沿って前記複合基板を割断する工程と、
を含む弾性波デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019046395A JP7403960B2 (ja) | 2019-03-13 | 2019-03-13 | 弾性波デバイスおよびその製造方法、フィルタ並びにマルチプレクサ |
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---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020150415A true JP2020150415A (ja) | 2020-09-17 |
JP7403960B2 JP7403960B2 (ja) | 2023-12-25 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP7403960B2 (ja) |
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