JP2020139963A - 分光装置を校正する方法および校正された分光装置を生産する方法 - Google Patents
分光装置を校正する方法および校正された分光装置を生産する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020139963A JP2020139963A JP2020101783A JP2020101783A JP2020139963A JP 2020139963 A JP2020139963 A JP 2020139963A JP 2020101783 A JP2020101783 A JP 2020101783A JP 2020101783 A JP2020101783 A JP 2020101783A JP 2020139963 A JP2020139963 A JP 2020139963A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- spectral sensitivity
- sensitivity
- wavelength
- index indicating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 13
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 231
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 206
- 238000012886 linear function Methods 0.000 claims description 23
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 23
- 238000013041 optical simulation Methods 0.000 claims description 16
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 15
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 claims 2
- FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)N1C2=C(NC([C@H](C1)NC=1OC(=NN=1)C1=CC=CC=C1)=O)C=CC=C2 FGUUSXIOTUKUDN-IBGZPJMESA-N 0.000 claims 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 description 4
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/0297—Constructional arrangements for removing other types of optical noise or for performing calibration
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/02—Details
- G01J3/06—Scanning arrangements arrangements for order-selection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/18—Generating the spectrum; Monochromators using diffraction elements, e.g. grating
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/30—Measuring the intensity of spectral lines directly on the spectrum itself
- G01J3/36—Investigating two or more bands of a spectrum by separate detectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
Description
図1の模式図は、分光装置および校正装置を示す。図1には、分光装置の断面が示される。
図2の模式図は、分光ユニット104を示す斜視図である。
図4のブロック図は、信号処理機構を示す。
図5のグラフは、センサーの分光感度および輝線校正用の被測定光の輝線スペクトルの例を示す。
分光感度141−1,141−2,・・・,141−40の各々は、スリット板115、凹面回折格子116およびリニアアレイセンサー112の配置、形状、大きさ等により変化する。このため、分光特性が精度よく求められるためには、演算機構139に格納された分光感度140−1,140−2,・・・,140−40を、スリット板115、凹面回折格子116およびリニアアレイセンサーの配置、形状、大きさ等に応じて変更し、真の分光感度141−1,141−2,・・・,141−40にそれぞれ近づけなければならない。以下では、演算機構139に格納された分光感度140−1,140−2,・・・,140−40を真の分光感度141−1,141−2,・・・,141−40にそれぞれ近づけることを分光装置100の校正という。
校正装置142は、図1に示されるように、HgCdランプ143および制御演算機構144を備える。
輝線校正用の被測定光は、図5に示されるように、輝線成分145−1,145−2,145−3,145−4,145−5および145−6を含む。輝線成分145−1,145−2,145−3,145−4,145−5および145−6の波長は、それぞれ404.55nm,435.84nm,508.58nm,546.07nm,578nmおよび647.85nmである。輝線成分145−1,145−2,145−3,145−4,145−5および145−6は、分光装置100の校正に用いられる。
分光装置100の校正においては、第1のモデル、第2のモデルまたは第3のモデルが用いられる。第1のモデルおよび第2のモデルは、参考例である。
第1のモデル、第2のモデルおよび第3のモデルの各々においては、センサー119−1,119−2,・・・,119−40が位置iにより識別される。位置iは、互いに異なる40個の値i1,i2,・・・,i40のいずれかをとる。センサー119−1,119−2,・・・,119−40が位置以外の指標により識別されてもよい。例えば、センサー119−1,119−2,・・・,119−40が基準分光感度の中心波長、画素番号等により識別されてもよい。
第1のモデルが用いられる場合は、中心波長λG(i)が位置iのn次関数で表される式(1)が作成される。
第2のモデルは、第1のモデルの問題を解決するために提供される。
12.1 第3のモデルの作成
第3のモデルは、第2のモデルの問題を解決するために提供される。
図20のフローチャートは、第3のモデルを用いた分光装置の校正の手順を示す。
以下では、波長がλHgCd(k)である輝線成分が位置Ikにあるセンサーおよび位置Ik+1にあるセンサーにまたがって入射するとする。位置Ik+1にあるセンサーの基準分光感度の中心波長は、位置Ikにあるセンサーの基準分光感度の中心波長に隣接する。輝線成分の識別番号kは、1,2,・・・,K0のいずれかの値をとるとする。
校正された分光装置の生産においては、図23に示されるように、ステップS21において分光装置100が準備され、ステップS22において準備された分光装置100が校正される。ステップS21においては、分光装置100の校正を行う事業者が分光装置100を製作することにより分光装置100が準備されてもよいし、分光装置100の校正を行う事業者が他の事業者から分光装置100を仕入れることにより分光装置100が準備されてもよい。
111 光学系
112 リニアアレイセンサー
115 スリット板
116 凹面回折格子
119−1,119−2,・・・,119−40 センサー
122 スリット
143 HgCdランプ
Claims (10)
- a) 被測定光をスペクトルに変換する光学系と、スペクトルに含まれる複数の波長成分の各々のエネルギー量を示す信号を出力するセンサーを備えることにより複数の信号を出力する複数のセンサーを備える受光センサーと、を備える分光装置を校正の対象にする工程と、
b) 前記複数のセンサーの各々について、センサーの基準分光感度を求める工程と、
c) 前記複数のセンサーの各々について、工程b)において求められたセンサーの基準分光感度を示す指標を求める工程と、
d) 前記複数のセンサーの各々について、工程c)において求められたセンサーの基準分光感度を示す指標からのセンサーの分光感度を示す指標のずれが前記分光装置の機械的誤差を示す指標の1次関数により表されるモデルを作成する工程と、
e) 工程d)において作成されたモデルに含まれるセンサーの分光感度を示す指標により示されるセンサーの分光感度がセンサーにより出力される信号に適合するように前記分光装置の機械的誤差を示す指標を求める工程と、
f) 前記複数のセンサーの各々について、工程d)において作成されたモデルおよび工程e)において求められた前記分光装置の機械的誤差を示す指標を用いて、センサーの基準分光感度を示す指標からのセンサーの分光感度を示す指標のずれを求める工程と、
g) 前記複数のセンサーの各々について、工程b)において求められたセンサーの基準分光感度および工程f)において求められたセンサーの基準分光感度を示す指標からのセンサーの分光感度を示す指標のずれを用いて、センサーの分光感度を求める工程と、
を備える分光装置を校正する方法。 - 工程c)において求められたセンサーの基準分光感度を示す指標は、センサーの基準分光感度の中心波長および半値幅であり、
工程d)において作成されたモデルに含まれるセンサーの分光感度を示す指標は、センサーの分光感度の中心波長および半値幅であり、
工程d)は、前記複数のセンサーの各々について、センサーの基準分光感度の中心波長からのセンサーの分光感度の中心波長のずれが前記分光装置の機械的誤差を示す指標の第1の1次関数により表される第1の式を作成し、センサーの基準分光感度の半値幅からのセンサーの分光感度の半値幅のずれが前記分光装置の機械的誤差を示す指標の第2の1次関数により表される第2の式を作成し、
工程d)において作成されるモデルは、第1の式および第2の式からなる
請求項1の分光装置を校正する方法。 - 前記受光センサーは、受光面を有し、
前記複数のセンサーは、前記受光面において第1の方向に配列され、
前記光学系は、第2の方向に伸び前記受光面に至る光軸を有し、
工程d)において作成されたモデルに含まれる前記分光装置の機械的誤差を示す指標は、前記第1の方向についての前記受光センサーの配置誤差、前記第2の方向についての前記受光センサーの配置誤差および前記第1の方向と前記受光面に至る光軸とに直交する軸の周りを周る回転方向についての前記受光センサーの配置誤差の全部または一部を含む
請求項1または2の分光装置を校正する方法。 - 前記光学系は、
スリットが形成されたスリット板と、
主断面および回折面を有する回折格子と、
を備え、
前記光学系は、前記スリットから前記回折面に至る光軸を有し、
工程d)において作成されたモデルに含まれる前記分光装置の機械的誤差を示す指標は、前記主断面と平行をなし前記スリットから前記回折面に至る光軸と垂直をなす方向についての前記スリットの幅の製作誤差を含む
請求項1から3までのいずれかの分光装置を校正する方法。 - 前記光学系は、
主断面を有する回折格子
を備え、
工程d)において作成されたモデルに含まれる前記分光装置の機械的誤差を示す指標は、前記主断面が同一平面上に維持される回転方向についての前記回折格子の配置誤差を含む
請求項1から4までのいずれかの分光装置を校正する方法。 - 工程e)は、
複数の輝線成分を含む輝線校正用の被測定光を前記分光装置に測定させ、
前記複数の輝線成分の各々について、輝線成分の波長において感度を有する第1のセンサーおよび第2のセンサーを選択し、第1のセンサーの分光感度の輝線成分の波長における感度である第1の感度、第2のセンサーの分光感度の輝線成分の波長における感度である第2の感度、第1のセンサーにより出力される信号である第1の信号、第2のセンサーにより出力される信号である第2の信号を用いて、第1の信号に対する第2の信号の比からの第1の感度に対する第2の感度の比のずれの前記複数の輝線成分についての合計が最小となるように前記分光装置の機械的誤差を示す指標を求めることにより、分光感度の集合を信号の集合に適合させる
請求項1から5までのいずれかの分光装置を校正する方法。 - 工程e)は、
複数の輝線成分を含む輝線校正用の被測定光を前記分光装置に測定させ、
前記複数の輝線成分の各々について、輝線成分の波長において感度を有する第1のセンサーおよび第2のセンサーを選択し、第1のセンサーの分光感度の輝線成分の波長における感度である第1の感度、第2のセンサーの分光感度の輝線成分の波長における感度である第2の感度、第1のセンサーにより出力される信号である第1の信号、第2のセンサーにより出力される信号である第2の信号を用いて、第1の信号からの第1の感度のずれの絶対値が大きくなるほど絶対値が大きくなる因子と第2の信号からの第2の感度のずれの絶対値が大きくなるほど絶対値が大きくなる因子との和の前記複数の輝線成分についての合計が最小になるように前記分光装置の機械的誤差を示す指標を求めることにより、分光感度の集合を信号の集合に適合させる
請求項1から5までのいずれかの分光装置を校正する方法。 - 前記輝線校正用の被測定光が、HgCdランプにより放射され、波長が404.55nmである輝線成分、波長が435.84nmである輝線成分、波長が508.58nmである輝線成分、波長が546.07nmである輝線成分、波長が578nmである輝線成分および波長が647.85nmである輝線成分を含む
請求項6または7の分光装置を校正する方法。 - 工程b)は、センサーの基準分光感度を光学シミュレーションにより求め、
工程d)は、前記分光装置の機械的誤差を示す指標の単位量のずれに対するセンサーの分光感度を示す指標のずれ量を光学シミュレーションにより求め、工程d)において作成されたモデルに含まれる前記分光装置の機械的誤差を示す指標の1次関数において前記分光装置の機械的誤差を示す指標に求めた単位誤差量当たりのずれ量を加減算する
請求項1から8までのいずれかの分光装置を校正する方法。 - h) 分光装置を準備する工程と、
i) 請求項1から9までのいずれかの分光装置を校正する方法により工程h)において準備された分光装置を校正する工程と、
を備える校正された分光装置を生産する方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015149428 | 2015-07-29 | ||
JP2015149428 | 2015-07-29 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017531107A Division JP6717307B2 (ja) | 2015-07-29 | 2016-07-06 | 分光装置を校正する方法および校正された分光装置を生産する方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020139963A true JP2020139963A (ja) | 2020-09-03 |
JP2020139963A5 JP2020139963A5 (ja) | 2020-10-15 |
JP6844735B2 JP6844735B2 (ja) | 2021-03-17 |
Family
ID=57884742
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017531107A Active JP6717307B2 (ja) | 2015-07-29 | 2016-07-06 | 分光装置を校正する方法および校正された分光装置を生産する方法 |
JP2020101783A Active JP6844735B2 (ja) | 2015-07-29 | 2020-06-11 | 分光装置を校正する際に用いられるモデルを作成する方法および校正された分光装置を生産する方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017531107A Active JP6717307B2 (ja) | 2015-07-29 | 2016-07-06 | 分光装置を校正する方法および校正された分光装置を生産する方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10768048B2 (ja) |
JP (2) | JP6717307B2 (ja) |
WO (1) | WO2017018142A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7137321B2 (ja) * | 2018-02-28 | 2022-09-14 | 浜松ホトニクス株式会社 | 可動回折格子、外部共振器型レーザモジュール、可動回折格子の製造方法 |
WO2020254438A1 (en) * | 2019-06-18 | 2020-12-24 | ams Sensors Germany GmbH | Spectral reconstruction of detector sensitivity |
US11372734B1 (en) | 2021-01-26 | 2022-06-28 | International Business Machines Corporation | Database recovery based on workload priorities |
CN114088351B (zh) * | 2021-10-01 | 2023-06-20 | 中航洛阳光电技术有限公司 | 一种多光谱自动校准系统 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0692703A1 (en) * | 1994-07-15 | 1996-01-17 | Unicam Limited | Wavelength calibration of optical spectrometers |
JP2000121436A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Yokogawa Electric Corp | 光スペクトラムアナライザ |
JP2001165770A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-06-22 | Agilent Technol Inc | マルチポイント波長校正方法 |
JP2002168690A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Yokogawa Electric Corp | 光強度の測定装置及び測定方法 |
JP2004108808A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Canon Inc | 分光器の波長校正方法 |
JP2006177785A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Konica Minolta Sensing Inc | 分光輝度計の校正用基準光源、これを用いた校正方法、及び校正システムの動作プログラム |
JP2007010364A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Konica Minolta Sensing Inc | 分光装置の波長校正方法及び分光装置 |
JP2007192747A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Konica Minolta Sensing Inc | 分光特性測定装置、シフト量導出方法 |
JP2011242314A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Konica Minolta Sensing Inc | 分光特性測定装置およびその校正方法 |
JP2013088263A (ja) * | 2011-10-17 | 2013-05-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 分光装置校正方法 |
JP2014098653A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-05-29 | Konica Minolta Inc | 分光測定装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3925301B2 (ja) * | 2001-07-12 | 2007-06-06 | コニカミノルタセンシング株式会社 | 分光特性測定装置および同装置の分光感度の波長シフト補正方法 |
US7557826B2 (en) * | 2006-04-04 | 2009-07-07 | Sony Corporation | Method for device spectral sensitivity reconstruction |
-
2016
- 2016-07-06 WO PCT/JP2016/069999 patent/WO2017018142A1/ja active Application Filing
- 2016-07-06 US US15/746,216 patent/US10768048B2/en active Active
- 2016-07-06 JP JP2017531107A patent/JP6717307B2/ja active Active
-
2020
- 2020-06-11 JP JP2020101783A patent/JP6844735B2/ja active Active
- 2020-08-06 US US16/986,884 patent/US11307093B2/en active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0692703A1 (en) * | 1994-07-15 | 1996-01-17 | Unicam Limited | Wavelength calibration of optical spectrometers |
JP2000121436A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-28 | Yokogawa Electric Corp | 光スペクトラムアナライザ |
JP2001165770A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-06-22 | Agilent Technol Inc | マルチポイント波長校正方法 |
JP2002168690A (ja) * | 2000-12-04 | 2002-06-14 | Yokogawa Electric Corp | 光強度の測定装置及び測定方法 |
JP2004108808A (ja) * | 2002-09-13 | 2004-04-08 | Canon Inc | 分光器の波長校正方法 |
JP2006177785A (ja) * | 2004-12-22 | 2006-07-06 | Konica Minolta Sensing Inc | 分光輝度計の校正用基準光源、これを用いた校正方法、及び校正システムの動作プログラム |
JP2007010364A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-01-18 | Konica Minolta Sensing Inc | 分光装置の波長校正方法及び分光装置 |
JP2007192747A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Konica Minolta Sensing Inc | 分光特性測定装置、シフト量導出方法 |
JP2011242314A (ja) * | 2010-05-20 | 2011-12-01 | Konica Minolta Sensing Inc | 分光特性測定装置およびその校正方法 |
JP2013088263A (ja) * | 2011-10-17 | 2013-05-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 分光装置校正方法 |
JP2014098653A (ja) * | 2012-11-15 | 2014-05-29 | Konica Minolta Inc | 分光測定装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
ZHIMIN PENG ET AL.: "A Novel Wavelength Calibration for Fiber-Optical Spectrographs Based on the Grating-Diffractive Equa", APPLIED SPECTROSCOPY, vol. Volume 62, Number 7, JPN6016037513, 2008, pages 819 - 823, ISSN: 0004431177 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2017018142A1 (ja) | 2018-05-31 |
US10768048B2 (en) | 2020-09-08 |
US20200363262A1 (en) | 2020-11-19 |
JP6844735B2 (ja) | 2021-03-17 |
US20200088575A1 (en) | 2020-03-19 |
WO2017018142A1 (ja) | 2017-02-02 |
JP6717307B2 (ja) | 2020-07-01 |
US11307093B2 (en) | 2022-04-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6844735B2 (ja) | 分光装置を校正する際に用いられるモデルを作成する方法および校正された分光装置を生産する方法 | |
JP4660694B2 (ja) | 分光装置の波長校正方法及び分光装置 | |
JP5340878B2 (ja) | イメージングスペクトログラフのキャリブレーションを行う方法 | |
US11530950B2 (en) | Spectral analysis system, mobile device having a spectral analysis system, method for determining a correction function for the imaging correction of a spectrum captured by a spectral analysis system, and computer program | |
JP3702889B2 (ja) | 分光装置及び分光装置の補正方法 | |
JP2020139963A5 (ja) | 分光装置を校正する際に用いられるモデルを作成する方法および校正された分光装置を生産する方法 | |
JP6733667B2 (ja) | 分光測色装置、および分光反射率の算出方法 | |
WO2012111455A1 (ja) | 分光特性測定装置、分光特性測定装置の補正方法、およびプログラム | |
JP2021067611A5 (ja) | ||
JP6520529B2 (ja) | 分光装置を校正する方法および校正された分光装置を生産する方法 | |
CN105606220A (zh) | 一种优化波长矫正方法及采用该方法的分光测色仪 | |
KR20240056522A (ko) | 분광계 디바이스 교정 방법 | |
Jehle et al. | Detection and correction of radiance variations during spectral calibration in APEX | |
JP6683201B2 (ja) | 分光測色装置、および変換ルール設定方法 | |
JP5530337B2 (ja) | ブラッグ波長推定方法及びその装置 | |
Workman Jr | The essential aspects of multivariate calibration transfer | |
KR101054017B1 (ko) | 분광기의 보정방법 | |
CN112798105A (zh) | 光学测定装置的线性校正方法、光学测定方法以及光学测定装置 | |
WO2022153963A1 (ja) | 光学特性測定装置、波長ずれ補正装置、波長ずれ補正方法並びにプログラム | |
Zong | Wavelength calibration method for spectroradiometers with picometer uncertainties | |
WO2019039025A1 (ja) | 波長シフト補正システムおよび波長シフト補正方法 | |
CN217358748U (zh) | 一种提高光谱成像仪精确度的装置及光谱成像系统 | |
Schwarzmaier et al. | Calibration of a monochromator using a lambdameter | |
JP2022177441A (ja) | 分光計測器、及びコンピュータープログラム | |
CN103542932A (zh) | 基于波长修正的分光光度计仪器间误差校准方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200709 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200729 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210126 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210208 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6844735 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |