JP2020134450A - パッケージ型フローセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
される流路に本パッケージ型フローセンサを組み込んで、検知した流速から流量を検知する場合でも、流路への取り付け自由度が向上するとともに、流路まで含めた構造であったとしても小型である。
以下、図面を参照して、一実施形態に係るセンサパッケージについて説明する。図1は、実施形態に係るセンサパッケージの分解斜視図である。図1に例示されるセンサパッケージ100は、基板1、フローセンサチップ2およびリッド3を備える。以下、本明細書において、基板1側を下、リッド3側を上とする。本明細書において、板状に形成される基板1の一方の辺に沿った方向をX方向、他方の辺に沿った方向をY方向、上下方向をZ方向とも称する。センサパッケージ100は、「パッケージ型フローセンサ」の一例であ
る。
フローセンサチップ2は、流体(例えば、気体)の流速を測定するセンサである。図2は、フローセンサチップを上面から見た図であり、図3は図2におけるA−A線断面図である。フローセンサチップ2は、本体部21およびメンブレン22を備える。本体部21は、上面が開口した中空形状(すり鉢形状)に形成されており、その素材は、例えばシリコンである。メンブレン22は、薄膜であり、図3に例示されるように、本体部21が有する開口において中空状の構造となっている。メンブレン22には、ヒーター23およびサーモパイル24、24が設けられる。ヒーター23およびサーモパイル24、24は、Y方向に沿って一列に並んで配置される。サーモパイル24、24の一端の接点は、本体部21と重なる位置に配置される。サーモパイル24、24のそれぞれを区別するときは、サーモパイル24、24の一方をサーモパイル241と称し、他方をサーモパイル242と称する。
Mechanical Systems(MEMS)によって製造される。
流側に位置するサーモパイル242の方が、ヒーター23よりも上流側に位置するサーモパイル241よりも高温となる。その結果、サーモパイル241の熱起電力V1と、サーモパイル242の熱起電力V2との間に差が生じる。
リッド3は、フローセンサチップ2を上方から覆う蓋である。図1に例示されるリッド3は、中空構造となっており、中空となっている領域にセンサ12を収容可能である。図1に例示されるリッド3は底面が開口した中空の直方体状に形成されているが、リッド3の形状が直方体に限定されるわけではなく、円柱形状や五角柱等の多角柱であってもよい。リッド3の形状は、その内部にフローセンサチップ2を収容可能な空洞を有すればよい。リッド3の素材には特に限定はないが、収容したフローセンサチップ2を外部からの衝撃等から保護可能な剛性を有し、かつパッケージ内の流路を形成できる素材であればよい。金属、プラスチック、セラミックやシリコンなどでもよい。リッド3の素材が金属など導電性を有していれば、電磁ノイズに対する耐性が得られるなどの利点もある。
ケース部材」の一例である。リッド3の中空となっている領域は、「中空部」の一例である。
基板1は、一方の面(リッド3の開口に対向する面)にフローセンサチップ2を載置する基板である。基板1は、例えば、フローセンサチップ2と外部装置とを接続する接続端子を有してもよい。基板1は、プリント基板であってもセラミック基板であってもよい。また、基板1はリジッドな基板であってもフレキシブルな基板であってもよい。図1において、基板1は長方形の板状に形成されているが、基板1の形状がこのような形状に限定されるわけではない。基板1は、円形状や三角形状、五角形状等の他の形状に形成されてもよい。基板1は、リッド3の開口全体を覆うことが可能な形状に形成されることが好ましい。
によっても、図10、図11で例示されるランド1221と同様に、センサパッケージ100と基板200とが接続される部分を通過する風の進行方向を通気孔31に向かう方向に変更することで、気孔31からリッド3内に導入される風の量を増加させることができる。
図13は、実施形態に係るセンサパッケージの製造方法の一例を示す図である。以下、図13を参照して、センサパッケージ100の製造方法の一例について説明する。
実施形態に係るセンサパッケージ100は、基板1に載置したフローセンサチップ2を
リッド3の内部に収容する。その結果、フローセンサチップ2は、リッド2と基板1とによって、外部からの物理的接触等から保護される。そのため、センサパッケージ100は、メンブレン22が外部に露出するフローセンサよりも容易に取り扱うことができる。また、センサパッケージ100は、リッド3によって外部からの物理的接触からフローセンサチップ2を保護できるため、センサパッケージ100を様々な場所で使用することができる。
実施形態では、リッド3に通気孔31、31が設けられる。第1変形例では、通気孔が基板に設けられるセンサパッケージについて説明する。以下、図面を参照して、第1変形例に係るセンサパッケージについて説明する。以下の説明において、実施形態と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
第2変形例では、第1変形例と同様に基板に通気孔が設けられる構成について説明する。以下、図面を参照して第2変形例に係るセンサパッケージについて説明する。以下の説明において、実施形態や第1変形例と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
するように設けられるランドを適用した場合の一例を示す図である。図20では、第2変形例に係るセンサパッケージ100bに対して、複数のランド122を囲む環状のランド1223を適用した場合の一例を示す。ランド1223によって風の進行が妨げられることで、風の進路を通気孔31aに向けることができ、リッド3内に導入される風の量を増加させることができる。
第2変形例では、通気孔の周囲の一部がランドによって囲まれた。第3変形例では、通気孔の周囲全体をランドで囲む構成について、図面を参照して説明する。以下の説明において、実施形態、第1変形例または第2変形例と同一の構成については同一の符号を付し、その説明を省略する。
以上説明した実施形態および第1から第3変形例では、通気孔の数は2つであったが、3つ以上の通気孔が設けられてもよい。また、実施形態および第1から第3変形例では、ヒーターの上流側と下流側の熱を検知する素子としてサーモパイルを用いたが、サーモパイル以外の素子(例えば、抵抗器)を用いてもよい。
1、1a、200、B1・・・基板
11、11a、201・・・表面
112・・・給電端子
113・・・測定端子
12、12a、202・・・裏面
122、122a、122b、122c、203・・・ランド
2・・・フローセンサチップ
21・・・本体部
22・・・メンブレン
23・・・ヒーター
231・・・被給電端子
24、241、242・・・サーモパイル
243・・・被測定端子
3、3a・・・リッド
31、31a・・・通気孔
204・・・ハンダ
300・・・防水・防塵メッシュ
400・・・風向調整部材
W1・・・金属ワイヤー
Claims (9)
- 流体の流量を検知するセンサ部を有するフローセンサチップと、
外部に向けて開口し、前記フローセンサチップを収容する中空部を有するケース部材と、
前記開口に対向する面に前記フローセンサチップを載置するとともに、前記開口を覆う基板と、を備え、
前記ケース部材または前記基板のうちの一方は、外部と連通する貫通孔を有し、
前記貫通孔と前記中空部とが、前記センサ部に前記流体を案内する流路を形成することを特徴とする、
パッケージ型フローセンサ。 - 前記貫通孔は、前記ケース部材に設けられることを特徴とする、
請求項1に記載のパッケージ型フローセンサ。 - 前記貫通孔は、前記基板に設けられることを特徴とする、
請求項1に記載のパッケージ型フローセンサ。 - 前記基板の前記フローセンサチップを載置する面とは反対側の面に設けられ、前記貫通孔に前記流体を案内するように形成されたランドを備えることを特徴とする、
請求項1から3のいずれか一項に記載のパッケージ型フローセンサ。 - 前記基板の前記フローセンサチップを載置する面とは反対側の面に設けられ、前記貫通孔の周囲を囲むように形成されたランドを備えることを特徴とする、
請求項3に記載のパッケージ型フローセンサ。 - 前記パッケージ型フローセンサは、電子部品を接続する配線を有する第2基板上に載置され、
前記第2基板には、前記ランドに囲まれた領域に対応する位置に第2貫通孔が設けられ、
前記流体は、前記第2基板において前記パッケージ型フローセンサが載置された面とは反対側の面から、前記第2貫通孔および前記貫通孔を介して、前記中空部に案内されることを特徴とする、
請求項5に記載のパッケージ型フローセンサ。 - 前記パッケージ型フローセンサは、前記第2基板において、前記電子部品が接続される面と同一の面に載置される、
請求項6に記載のパッケージ型フローセンサ。 - 前記第2基板において前記パッケージ型フローセンサが載置された面とは反対側の面には、前記流体以外の物質が前記中空部へ侵入することを抑止するフィルタ部材が前記第2貫通孔上を覆うように設けられることを特徴とする、
請求項6または7に記載のパッケージ型フローセンサ。 - 前記第2貫通孔は、
前記ランドに囲まれた領域に対応する位置に開口する第1開口部と、
前記パッケージ型フローセンサが載置された面とは反対側の面において開口する第2開口部と、
前記第2基板内に形成され、前記第1開口部と前記第2開口部とを接続することで、前記流体を前記中空部に案内する流路と、を含むことを特徴とする、
請求項6から8のいずれか一項に記載のパッケージ型フローセンサ。
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