JP2020126046A - 微粒子検出センサ、ほこりセンサ、空調機器、および微粒子検出センサの制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の実施形態1に係る微粒子検出センサ1の概略構成の一例を示すブロック図である。微粒子検出センサ1は、発光素子10、駆動部20、SPADアレイ受光部30、パルスカウンタ40、信号処理部50、および制御部60で構成されている。
図4は微粒子検出センサ1の動作波形の一例を示す図である。第1制御信号TS1は、発光素子10の駆動を制御する駆動信号であり、第1制御信号TS1は図1の制御部60から出力される。図4では、駆動部20により第1制御信号TS1がHレベル時に発光素子10を点灯、Lレベル時に発光素子10を消灯することを表している。図4では、一例として、測定周期の50%(Duty比50%)で発光素子10の点灯と消灯を繰り返す場合の動作波形を示す。なお、Duty比については、50%に限定されない。
図5の(a)は各パルスカウント値の微粒子濃度に対する依存性の一例を示すグラフである。図5の(a)の実線波形のうち、(5−1)は点灯期間ONT中の第1パルスカウント値PC1であり、(5−2)は消灯期間OFFT中の第2パルスカウント値PC2を表している。(5−2)の第2パルスカウント値PC2はノイズ成分のみのため、微粒子濃度に依存せず一定の値をとる。それに対して、(5−1)の第1パルスカウント値PC1は、散乱光成分とノイズ成分の両方を含むことから、微粒子濃度に依存して変動する散乱光成分と、微粒子濃度に依存しないノイズ成分の重ね合わせ(和)となっている。図5の(a)において、切片はノイズ成分のパルスカウント値となる。
(2)PC2=N2 (式1−b)
(3)PC3=PC1−PC2=α×D (式1−c)
D=(PC1−PC2)/α=PC3/α (式1−d)
なお、厳密にはN1≒N2であるため、D≒PC3/αとなるが、上記式では簡略化のためN1=N2と記載している。
(1)PC1=α×D+N1 (式2−b)
(2)PC2=N2 (式2−c)
(3)PC3’=PC1−PC2×PT1/PT2=α×D (式2−d)
D=(PC1−PC2×PT1/PT2)/α (式2−e)
ここで、PC3≠PC3’である。上記式は、第1パルスカウント期間PT1と第2パルスカウント期間PT2の時間の長さが異なる場合でも、PT1、PT2、α、および、計測される第1パルスカウント値PC1、第2パルスカウント値PC2とを用いて、微粒子濃度を演算により検出可能なことを示している。
以下では、パルスカウント期間と計測精度(計測誤差)との関係について説明する。
上記計測誤差が発生する要因としては、例えば(1)SPADアレイの本質的な計測誤差、(2)温度の揺らぎや外乱光ノイズの揺らぎ、(3)商用電源周波数(50Hz等)の影響、(4)微粒子の存在確率のばらつき、等の様々な要因が考えられる。各パルスカウント値の計測誤差が最小となる各パルスカウント期間の最適値は、計測誤差の発生要因毎にそれぞれ異なる。そのため、微粒子検出センサ1の各パルスカウント期間は、発生要因毎の最適値(最適範囲)を考慮して、トータルの計測誤差が最小となるように設定されることが望ましい。以下に、各パルスカウント期間の最適値を設定するための一例を示す。
以上のとおり、実施形態1では、微粒子検出センサ1は、SPADアレイ受光部30で受光した微弱な散乱光を、デジタル信号化されたパルス信号として出力し、そのパルス信号をパルスカウントする構成となっている。これにより、高ゲインの増幅回路が不要で、かつ、微弱な散乱光を受光可能となる高精度の微粒子検出センサ1が実現可能となる。
実施形態1の変形例を以下に説明する。本変形例では、図1のパルスカウンタ40を、UP/DOWNカウンタで構成する。つまり、パルスカウント値の減算をUP/DOWNカウンタを用いて行う。
実施形態2では、周囲温度変化に対する温度補正方法や、製造ばらつきよる特性ずれに対する補正方法、および、迷光成分による計測誤差を抑制する方法について説明する。
まず、周囲温度Tが変化した際に、SPADアレイに供給される逆バイアス電圧VHV(図2の(a)参照)を調整する方法について説明する。SPADアレイの周囲温度Tが変化する場合、SPADアレイ受光部30を構成しているアバランシェフォトダイオードAPD1(SPAD)(図2の(a)参照)の降伏電圧が周囲温度Tに依存して変動する。そのため、SPADアレイに供給する逆バイアス電圧VHVが一定に設定されている場合は、周囲温度Tの変動により、SPADのアバランシェ増倍率が変動してしまい、結果としてSPADアレイ受光部30の出力パルス数が大幅に変動してしまう。特に、周囲温度Tが高温になる場合、計測される各パルスカウント値が大幅に増大してしまう可能性があるため、微粒子濃度を正常に検出できなくなる懸念がある。このため、周囲温度Tの変化に合わせて、SPADアレイに供給する逆バイアス電圧VHVを調整する手段が必要となる。
次に、周囲温度Tが変化した場合の、微粒子濃度に対する第3パルスカウント値PC3の傾きを補正する方法を説明する。図9の(a)は任意の温度における、第1パルスカウント値PC1の微粒子濃度に対する依存性の一例を示すグラフである。図5では、微粒子濃度に対する第1パルスカウント値PC1の依存性が、リニア特性(比例)になるような形で図示されている。しかし、前述のとおり、実際には、微粒子濃度が増加してパルスカウント値が増加すると、SPADアレイを構成している各SPADセルが同時にアバランシェ増倍を起こす頻度が高くなるため、微粒子濃度に対する第1パルスカウント値PC1のリニアリティは低下する。そのため、図9の(a)で示すように、微粒子濃度が増加するにしたがって、第1パルスカウント値PC1が飽和する特性を示す。言い換えると、微粒子濃度に対する第1パルスカウント値PC1の依存性が比例しなくなる。
微粒子検出センサ1Aは、微粒子の濃度を算出するために用いられる予め設定された第1演算係数x1に対して、予め設定された温度補正係数y1と、温度検出部70で計測される周囲温度Tの計測結果とを用いて温度補正を行うことで第2演算係数x2を算出し、第2演算係数x2、および、第1パルスカウント値PC1から第2パルスカウント値PC2を減算した第3パルスカウント値PC3を用いて微粒子の濃度を算出する。
ここで、微粒子濃度をDとして、計測温度Tにおける、微粒子濃度Dと第3パルスカウント値PC3(PC3(T))との関係は以下の(式3−b)となり、(式3−b)に(式3−a)を代入すると、微粒子濃度Dは以下の(式3−c)となる。
D=PC3(T)/α(T)=PC3(T)/(α(To)+(T−To)×β) (式3−c)
この(式3−c)により、計測温度Tでの第3パルスカウント値PC3(PC(T))、温度検出部70で計測される温度検出結果T(温度T)、基準温度To、基準温度Toでの傾きα(To)、傾きα(T)の傾きβを用いて、温度補正された微粒子濃度Dを検出することが可能となる。つまり、計測される第3パルスカウント値PC3と、温度補正された演算係数(傾きα(T)(第2演算係数x2))により、周囲温度Tに依存しない正確な微粒子濃度Dの検出が可能となる。
次に、微粒子検出センサ1Aの製造ばらつきに対する補正方法について示す。一般的に、SPADアレイ受光部30は半導体基板上に形成される。そのため、半導体の結晶欠陥や不純物濃度のばらつき等の製造ばらつきにより、構成されるSPAD毎のアバランシェ増倍率やノイズ成分(ダークパルス等)にばらつきが発生する場合があり、微粒子濃度の計測精度の低下を招く可能性がある。
ノイズ成分のパルスカウント値を最適化する方法について説明する。図11の(a)は、第1パルスカウント値PC1と第2パルスカウント値PC2のSPADセル数に対する依存性の一例を示すグラフである。図11の(a)において、(11−1)は、点灯期間中の第1パルスカウント値PC1のSPADセル数に対する依存性の一例を表しており、(11−2)は、消灯期間中の第2パルスカウント値PC2のSPADセル数に対する依存性の一例を表している。図11の(a)では、微粒子濃度、発光光量、各パルスカウント期間はある値に固定されているものとする。
パルスカウント値の傾きαを最適化する方法について説明する。図11の(b)は、第1パルスカウント値PC1と第2パルスカウント値PC2の発光光量に対する依存性の一例を示すグラフである。図11の(b)において、(11-1)は点灯期間中の第1パルスカウント値PC1の発光光量に対する依存性の一例を表しており、(11−2)は消灯期間中の第2パルスカウント値PC2の発光光量に対する依存性の一例を表している。
SPADアレイ受光部30に供給する逆バイアス電圧VHVの最適化方法について説明する。図11の(c)は、第1パルスカウント値PC1と第2パルスカウント値PC2の逆バイアス電圧に対する依存性の一例を示すグラフである。図11の(c)において、(11−1)は点灯期間中の第1パルスカウント値PC1の逆バイアス電圧VHVに対する依存性の一例を表しており、(11−2)は消灯期間中の第2パルスカウント値PC2の逆バイアス電圧VHVに対する依存性の一例を表している。
次に、製造ばらつきの調整に加えて、周囲温度Tに対する傾きの温度補正係数の製造ばらつきを調整する場合の、具体的な計測と調整の順序の一例を示す。
次に、減算後の第3パルスカウント値PC3に現れる、迷光成分のパルスカウント値による計測誤差を抑制する手段を示す。ここで、迷光とは、発光素子10から投射された光が、微粒子に散乱してSPADアレイ受光部30に入射する散乱光成分とは別に、SPADアレイ受光部30に入射する不要な光を示す。迷光成分は、例えば、(1)発光素子10からの投射光E1が微粒子検出センサ1Aの筐体やカバー等に反射してSPADアレイ受光部30に入射する、または(2)発光素子10から投射された光が、SPADアレイ受光部30に直接入射する、ことによりパルスカウントされる。理想的には、このような迷光成分を0(ゼロ)、または、極力小さくなるように、SPADアレイ受光部30、発光素子10、検出領域を配置構成することが望ましい。しかしながら、現実的には困難なため、上記迷光成分のパルスカウント値による計測誤差を補正または抑制するための手段が必要となる。
D=(PC3−PC4)/α (式4−b)
また、検査工程で計測される第4パルスカウント値PC4は、図6の記憶部90に初期設定値として記憶し、信号処理部50における演算時に第4演算係数x4として使用される。この手段により、迷光成分の第4パルスカウント値PC4による計測誤差を、製造ばらつきを含めて抑制することが可能となり、迷光成分が完全に除去できないような微粒子検出センサ1A構造においても、計測精度の低下を抑制することが可能となる。
ここで、PC4(T)の周囲温度依存性が、図12の(c)のように周囲温度Tに対して1次関数(リニア特性)となる場合、PC4(T)の温度に対する傾きをγとし、基準温度Toでの第4パルスカウント値PC4をPC4(To)とすると、PC4(T)は以下の式で表すことができる。
ここで、PC3(T)の微粒子濃度に対する傾きα(T)は、上記(式3−a)で表すことができるため、(式3−a)、(式4−c)、および(式4−d)から、微粒子濃度Dは、以下の式を用いて算出することが可能となる。
={PC3(T)−PC4(To)−(T−To)×γ}/(α(To)+(T−To)×β) (式4−e)
上式(式4−e)では、PC3(T)の傾きα(T)を演算係数(第3演算係数x3)とする。上式(式4−e)では、周囲温度Tにおける温度検出結果T、周囲温度Tにおける第3パルスカウント値PC3の計測結果であるPC3(T)、および記憶部90に記憶されたPC4(To)、傾きα(To)、To、β、γの温度補正係数(定数)を用いて演算する。上式(式4−e)により、迷光成分の入射が無視できない微粒子検出センサ1Aにおいても、迷光成分の温度依存性も含めた温度補正が可能となる。
実施形態2では、迷光がSPADアレイ受光部30に入射する場合の補正手段を説明した。しかしながら、SPADアレイ受光部30に入射する迷光成分が、散乱光成分よりも極端に大きくなるような場合は、パルスカウント値が全体的に上昇してしまい、微粒子濃度に対するリニアリティが低下する。その結果、上記抑制方法を用いても、微粒子検出センサ1Aに必要な計測精度が得られない可能性がある。このことから、微粒子検出センサ1AのSPADアレイ受光部30は、上記迷光成分が極力入射しないよう、あるいは、迷光成分の影響が極力少なくなるように、調整可能とする構成にすることが望ましい。このような構成を実現するための例を実施形態3として以下に示す。
S/N=PC3(Do)/PC3(0) (式5−b)
また、上記SPAD領域の設定に加えて、上記に示した製造ばらつきの調整や温度補正を含めた検査工程における調整の順序としては、以下に示す(1)〜(5)の順序で実施されることが望ましい。(1)逆バイアス電圧VHVの調整、(2)SPADアレイの計測領域MAの選択(迷光調整)、(3)SPADセル数の調整(ノイズカウント値の調整)、(4)発光光量の調整(傾きの調整)、(5)温度補正(傾きと迷光の温度補正係数の調整と、迷光初期値の記憶)。このような順序での調整を行うことで、微粒子検出センサ1Bの特性を一意的に決定することができるため、検査工程における検査時間を極力低減することが可能である。例えば、(2)を最後に実施する場合、それまでに調整した設定値がずれてしまうことから、(3)〜(5)の設定をもう一度設定する必要が出てしまうため、検査時間が長くなってしまい、結果的にコスト増大につながる。
実施形態1および実施形態2では、点灯期間中の第1パルスカウント値PC1から、消灯期間中の第2パルスカウント値PC2を減算することで、熱的キャリアによるダークパルス、および外乱光によるノイズ成分のパルスカウント値の除去方法について説明した。外乱光入射に対するノイズ除去としては、実施形態1および実施形態2で示した方法だけでは不十分な場合がある。上記方法は、SPADアレイ受光部30Bに入射する外乱光が比較的弱い場合には有効であるが、外乱光が強く入射する場合には、正確に微粒子濃度を計測できない問題がある。外乱光が強く入射する場合には、ノイズ成分のパルスカウント値が大きくなるため、前述のとおり、散乱光成分のカウント値の微粒子濃度に対する傾きが変動してしまう(リニアリティ低下)からである。
また、実施形態1〜実施形態3において、発光素子10以外のSPADアレイ受光部30B、および各構成要素は、同一の半導体基板上に集積化して形成されることが望ましい。これにより、各回路間の配線を短く形成することが可能となる。これにより、例えば、電磁ノイズ等が各構成要素間の配線にカップリングすることによって発生するノイズ成分を抑制することが可能となり、微粒子濃度の計測精度をさらに向上させることができる。また、上記構成要素を同一基板上に集積化して形成することで、微粒子検出センサ1Bを構成する部品点数の削減が可能となり、微粒子検出センサの小型化や低コスト化が実現可能となる。
実施形態4では、微粒子検出センサ1〜微粒子検出センサ1Bを用いた、空気中(または気体中)を浮遊するほこり微粒子濃度の検出を目的としたほこりセンサ100の構成例を示す。図15は、本発明の実施形態4ほこりセンサ100の概略構成の一例を示す模式図である。図15(a)はほこりセンサ100を上面から見た図である。図15の(b)は図15の(a)のA−A’の断面図である。
微粒子検出センサ1・1A・1Bの制御ブロック(特に信号処理部50)は、集積回路(ICチップ)等に形成された論理回路(ハードウェア)によって実現してもよいし、ソフトウェアによって実現してもよい。
本発明の態様1に係る微粒子検出センサ(1・1A・1B)は、流体中に含まれる微粒子の濃度を検出する微粒子検出センサであり、前記微粒子に光を投射する発光素子(10)と、アレイ状に配置され、ガイガーモードで動作する複数のSPADを有し、前記発光素子からの投射された光による前記微粒子からの散乱光を受光してパルス信号を出力するSPADアレイ受光部(30・30B)と、前記パルス信号をカウントした値であるパルスカウント値に基づき、前記微粒子の濃度を算出する信号処理部(50)と、を備え、前記信号処理部は、前記発光素子が前記光を投射する点灯期間(ONT)における前記パルス信号のパルスカウント値である第1パルスカウント値(PC1)、および前記発光素子が前記光を投射しない消灯期間(OFFT)における前記パルス信号のパルスカウント値である第2パルスカウント値(PC2)に基づき、前記微粒子の濃度を算出する。
10 発光素子
30・30B SPADアレイ受光部
40 パルスカウンタ
50 信号処理部
60 制御部
70 温度検出部
80 電圧設定部
100 ほこりセンサ
200 空調機器
APD・APD1 アバランシェフォトダイオード
BA・BA1〜BA15 基準領域
MA・MA1・MA2 計測領域
MT 計測期間
ONT 点灯期間
OFF 消灯期間
PC1〜PC4 第1パルスカウント値〜第4パルスカウント値
PT1〜PT2 第1パルスカウント期間〜第2パルスカウント期間
S1〜S3 第1調整信号〜第3調整信号
T 周囲温度
TT 温度検出期間
TS1〜TS4 第1制御信号〜第4制御信号
VHV1・VHVo 逆バイアス電圧
VT 電圧設定期間
x1〜x3 第1演算係数〜第3演算係数
y1 温度補正係数
Claims (17)
- 流体中に含まれる微粒子の濃度を検出する微粒子検出センサであり、
前記微粒子に光を投射する発光素子と、
アレイ状に配置され、ガイガーモードで動作する複数のSPAD(Single Photon Avalanche Diode)を有し、前記発光素子からの投射された光による前記微粒子からの散乱光を受光してパルス信号を出力するSPADアレイ受光部と、
前記パルス信号をカウントした値であるパルスカウント値に基づき、前記微粒子の濃度を算出する信号処理部と、を備え、
前記信号処理部は、
前記発光素子が前記光を投射する点灯期間における前記パルス信号のパルスカウント値である第1パルスカウント値、および前記発光素子が前記光を投射しない消灯期間における前記パルス信号のパルスカウント値である第2パルスカウント値に基づき、前記微粒子の濃度を算出することを特徴とする微粒子検出センサ。 - 前記点灯期間において前記第1パルスカウント値をカウントする期間の長さと、前記消灯期間において前記第2パルスカウント値をカウントする期間の長さとが同一であることを特徴とする請求項1に記載の微粒子検出センサ。
- 前記信号処理部は、
前記第1パルスカウント値から前記第2パルスカウント値を減算した第3パルスカウント値を算出し、前記第3パルスカウント値に基づいて前記微粒子の濃度を算出することを特徴とする請求項1に記載の微粒子検出センサ。 - 前記パルス信号を計数するパルスカウンタを備え、
前記パルスカウンタは、UP/DOWNカウンタで構成され、
前記点灯期間における前記パルス信号をUPカウントし、前記消灯期間における前記パルス信号をDOWNカウントすることを特徴とする請求項1に記載の微粒子検出センサ。 - 前記SPADアレイ受光部の周囲温度を計測する温度検出部と、
前記周囲温度の計測結果に応じて決定された逆バイアス電圧を前記SPADアレイ受光部に供給する電圧設定部を備え、
前記温度検出部による前記周囲温度の計測は、温度検出期間において計測され、
前記電圧設定部により前記逆バイアス電圧は、電圧設定期間において前記周囲温度の計測結果に応じて更新され、
前記温度検出期間および前記電圧設定期間は、前記点灯期間において前記第1パルスカウント値をカウントする期間、および前記消灯期間において前記第2パルスカウント値をカウントする期間からなる計測期間に同期して設定されることを特徴とする請求項1に記載の微粒子検出センサ。 - 前記信号処理部は、
前記微粒子の濃度を算出するために用いられる予め設定された第1演算係数に対して、予め設定された温度補正係数と、前記温度検出部で計測される前記周囲温度の計測結果とを用いて温度補正を行うことで第2演算係数を算出し、
前記第2演算係数、および、前記第1パルスカウント値から前記第2パルスカウント値を減算した第3パルスカウント値を用いて前記微粒子の濃度を算出することを特徴とする請求項5に記載の微粒子検出センサ。 - 前記温度補正係数は、前記微粒子検出センサの製造時の検査工程において、少なくとも2つ以上の任意の温度における前記微粒子の濃度の計測結果に基づき算出されることを特徴とする請求項6に記載の微粒子検出センサ。
- 前記発光素子を駆動する駆動部、前記SPADアレイ受光部、および前記電圧設定部を制御する制御部、を備え、
前記制御部は、前記駆動部、前記SPADアレイ受光部、および前記電圧設定部のそれぞれの動作条件を調整するための、第1調整信号、第2調整信号、および第3調整信号を出力する機能を有し、
前記駆動部は、前記第1調整信号により、前記発光素子の発光光量を調整する機能を有し、
前記SPADアレイ受光部は、前記第2調整信号により、前記SPADアレイ受光部を構成する各SPADセルの有効と無効とを設定する機能を有し、
前記電圧設定部は、前記第3調整信号により、前記逆バイアス電圧を調整する機能を有し、
前記第1調整信号、前記第2調整信号、および前記第3調整信号は、前記微粒子検出センサの製造時の検査工程における検査結果に基づいて決定されることを特徴とする、請求項5に記載の微粒子検出センサ。 - 前記微粒子検出センサの製造時の検査工程において、前記微粒子がない状態での迷光成分のパルスカウント値である第4パルスカウント値を計測し、
前記信号処理部において、微粒子の濃度を演算する際に、前記第1パルスカウント値から前記第2パルスカウント値を減算した第3パルスカウント値から、前記第4パルスカウント値を減算することを特徴とする請求項1に記載の微粒子検出センサ。 - 前記第4パルスカウント値は、前記SPADアレイ受光部の周囲温度を計測する温度検出部による計測結果により温度補正されることを特徴とする請求項9に記載の微粒子検出センサ。
- 前記SPADアレイ受光部は、前記複数のSPADがアレイ状に配置されている領域であるSPADアレイ領域を、少なくとも2つ以上の基準領域に分割し、前記基準領域のうち少なくとも1つ以上を計測領域として選択する機能を有し、
前記第2調整信号は、前記第1パルスカウント値から前記第2パルスカウント値を減算した第3パルスカウント値を、前記微粒子検出センサの製造時の検査工程において、前記微粒子がない状態での前記点灯期間における前記パルス信号のパルスカウント値である第4パルスカウント値で除算した値が最大となるように前記計測領域が選択されるように設定されていることを特徴とする請求項8に記載の微粒子検出センサ。 - 前記SPADアレイ受光部は、前記散乱光の入射方向に対して、前記発光素子の発光波長近傍の光のみを透過する、光学バンドパスフィルタを備えていることを特徴とする請求項1に記載の微粒子検出センサ。
- 前記発光素子を除く構成要素の少なくとも2つ以上を、同一の半導体基板上に集積化することを特徴とする請求項1に記載の微粒子検出センサ。
- 前記点灯期間、前記消灯期間、前記点灯期間において前記第1パルスカウント値をカウントする期間である第1パルスカウント期間、および前記消灯期間において前記第2パルスカウント値をカウントする期間である第2パルスカウント期間は、予め定められた期間として制御され、
前記第1パルスカウント期間は、前記点灯期間に同期して制御され、
前記第2パルスカウント期間は、前記消灯期間に同期して制御され、
前記点灯期間と前記消灯期間から成る計測を、少なくとも1回以上繰り返し行うことを特徴とする請求項1に記載の微粒子検出センサ。 - 請求項1に記載の微粒子検出センサを備え、
気体中を浮遊するほこり微粒子を検出するための検出領域を有し、
前記ほこり微粒子の濃度を検出することを特徴とするほこりセンサ。 - 請求項15に記載のほこりセンサを備えることを特徴とする空調機器。
- 流体中に含まれる微粒子の濃度を検出する微粒子検出センサの制御方法であって、
発光素子により、前記微粒子に光を投射するステップと、
アレイ状に配置され、ガイガーモードで動作する複数のSPADを有するSPADアレイ受光部により、前記発光素子からの投射された光による前記微粒子からの散乱光を受光してパルス信号を出力するステップと、
信号処理部により、前記パルス信号をカウントした値であるパルスカウント値に基づき、前記微粒子の濃度を算出するステップと、を含み、
前記微粒子の濃度を算出するステップにおいて、前記発光素子が前記光を投射する点灯期間における前記パルス信号のパルスカウント値である第1パルスカウント値、および前記発光素子が前記光を投射しない消灯期間における前記パルス信号のパルスカウント値である第2パルスカウント値に基づき、前記微粒子の濃度を算出することを特徴とする微粒子検出センサの制御方法。
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