JP2020125941A - マスク検査装置及びフォーカス調整方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、比較例1に係る光マスクの検査装置の構成を例示した図である。図1に示すように、光マスクMaの検査装置101aは、視野絞り110a、ビームスプリッタ120a、λ/4板130、対物レンズ140、ミラー151及び152、オートフォーカスユニット190を備えている。オートフォーカスユニット190は、ハーフミラー191、受光部192及び193を有している。
図2は、比較例2に係るEUVマスクの検査装置の構成を例示した図である。図2に示すように、EUVマスクMbの検査装置101bは、視野絞り110b、無偏光ビームスプリッタ120b、対物レンズ140、ミラー151及び152、オートフォーカスユニット190を備えている。オートフォーカスユニット190は、ハーフミラー191、受光部192及び193を有している。
<マスク検査装置の構成>
次に、本実施形態に係るマスク検査装置を説明する。本実施形態のマスク検査装置は、例えば、比較例1及び比較例2の課題を解決する。本実施形態のマスク検査装置は、例えば、半導体製造工程で用いられるフォトマスクにおける欠陥を検出するマスク検査装置である。本実施形態のマスク検査装置は、光マスクMa及びEUVマスクMbを検査対象に含む。例えば、検査対象を光マスクMaからEUVマスクMbに、または、EUVマスクMbから光マスクMaに切り替えることができる。しかしながら、どちらか一方のマスクの検査装置としてもよい。図4は、実施形態に係るマスク検査装置を例示した構成図である。
次に、マスク検査装置1を用いて、検査対象マスクを検査するマスク検査方法を説明する。マスク検査方法を、光マスクMaを検査する場合と、EUVマスクMbを検査する場合とに分けて説明する。ます、光マスクMaを検査する方法を説明する。図10は、実施形態に係るマスク検査方法において、光マスクMaを検査する場合を例示したフローチャート図である。
8 ステージ
9 ポジショナ
10 視野絞りユニット
11、12 板面
15a、15b、16a、16b、17b スリット
20 ビームスプリッタユニット
20a 光マスク用PBS
20b 無偏光BS
30 λ/4板
40 対物レンズ
50、51 ミラー
60 偏光分割部
71、72 検出器
80 光源
90a、90b オートフォーカスユニット
91 ハーフミラー
92、93 受光部
94 偏光ビームスプリッタ
95 λ/4板
101a、101b 検査装置
110a、110b 視野絞り
115a、115b CAFスリット
116a、116b、117b スリット
120a ビームスプリッタ
120b 無偏光ビームスプリッタ
130 λ/4板
140 対物レンズ
151、152 ミラー
190 オートフォーカスユニット
191 ハーフミラー
192、193 受光部
B1a、B1b、B2a、B2b、B3b ビーム
B101a、B101b、B102a、B102b、B103b ビーム
L1、L101、L101a、L101b 照明光
Ma 光マスク
Mb EUVマスク
R101a、R101b 反射光
Claims (10)
- 入射した第1直線偏光を含む照明光の一部の偏光状態を変化させ、前記第1直線偏光を含む第1ビーム、前記第1直線偏光と偏光方向が異なる第2直線偏光を含む第2ビーム、及び、円偏光を含む第3ビームを有する照明光を出射させるEUVマスク用視野絞りと、
前記第1直線偏光、前記第2直線偏光及び前記円偏光を含む光の一部を反射させるとともに、前記第1直線偏光、前記第2直線偏光及び前記円偏光を含む前記光の一部を透過させる無偏光ビームスプリッタと、
前記無偏光ビームスプリッタで反射した前記照明光を検査対象マスクに集光するとともに、前記第1ビームが前記検査対象マスクで反射した第1光、前記第2ビームが前記検査対象マスクで反射した第2光、及び、前記第3ビームが前記検査対象マスクで反射した第3光を有する反射光を透過させる対物レンズと、
前記対物レンズ及び前記無偏光ビームスプリッタを透過した前記第1光または前記第2光のうちの一方を含む前記反射光を検出する第1検出器及び他方を含む前記反射光を検出する第2検出器と、
前記対物レンズ及び前記無偏光ビームスプリッタを透過した前記第3光を透過及び反射させるハーフミラーと、
前記第3光による像の前ピンとなる位置に配置され、前記ハーフミラーを透過した前記第3光を受光する第1受光部と、
前記第3光による前記像の後ピンとなる位置に配置され、前記ハーフミラーで反射した前記第3光を受光する第2受光部と、
を備えたマスク検査装置。 - 前記EUVマスク用視野絞りは、λ/2板及びλ/4板を含み、
前記第2ビームは、前記λ/2板を透過した部分を含み、
前記第3ビームは、前記λ/4板を透過した部分を含む、
請求項1に記載のマスク検査装置。 - 前記無偏光ビームスプリッタを透過した前記第3光の偏光状態を変化させる偏光手段をさらに備え、
前記偏光手段を介した前記第3光を、前記ハーフミラーにおいて透過及び反射させる、
請求項1または2に記載のマスク検査装置。 - 前記偏光手段は、偏光ビームスプリッタ及びλ/4板のうち、少なくともいずれかを含む、
請求項3に記載のマスク検査装置。 - 入射した第1直線偏光を含む照明光の偏光状態を維持したまま、前記第1直線偏光を含む第4ビーム及び前記第1直線偏光を含む第5ビームを有する前記照明光を出射させる光マスク用視野絞りと、前記EUVマスク用視野絞りと、を切り替え可能な視野絞りユニットと、
前記第1直線偏光を含む光を反射させ、前記第2直線偏光を含む光を透過させる光マスク用PBSと、前記無偏光ビームスプリッタと、を切り替え可能なビームスプリッタユニットと、
前記照明光及び前記反射光の光路に挿入可能なλ/4板と、
を備えた、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のマスク検査装置。 - 前記視野絞りユニット及び前記ビームスプリッタユニットの切り替え時において、
前記前ピンとなる位置及び前記後ピンとなる位置を補正する補正手段をさらに備えた、
請求項1〜5のいずれか1項に記載のマスク検査装置。 - 前記補正手段は、前記第1受光部及び前記第1受光部の受光面上に配置されたスリットを移動させる第1ステージ、並びに、前記第2受光部及び前記第2受光部の受光面上に配置されたスリットを移動させる第2ステージである、
請求項6に記載のマスク検査装置。 - 前記補正手段は、前記第3光の光路に配置されたポジショナである、
請求項6に記載のマスク検査装置。 - 入射した第1直線偏光を含む照明光の一部の偏光状態を変化させ、前記第1直線偏光を含む第1ビーム、前記第1直線偏光と偏光方向が異なる第2直線偏光を含む第2ビーム、及び、円偏光を含む第3ビームを有する照明光を出射させるステップと、
前記照明光を検査対象マスクに対物レンズで集光するとともに、前記第1ビームが前記検査対象マスクで反射した第1光、前記第2ビームが前記検査対象マスクで反射した第2光、及び、前記第3ビームが前記検査対象マスクで反射した第3光を有する反射光を前記対物レンズに対して透過させるステップと、
前記対物レンズを透過させた前記反射光の前記第3光を、ハーフミラーにおいて透過及び反射させるステップと、
前記第3光による像の前ピンとなる位置に配置された第1受光部により、前記ハーフミラーを透過した前記第3光を受光するステップと、
前記第3光による前記像の後ピンとなる位置に配置された第2受光部により、前記ハーフミラーで反射した前記第3光を受光するステップと、
前記第1受光部により受光された前記第3光の強度、及び、前記第2受光部により受光された前記第3光の強度に基づいて、前記対物レンズまたは前記検査対象マスクの位置を調整するステップと、
を備えたフォーカス調整方法。 - 前記ハーフミラーにおいて透過及び反射させるステップにおいて、
前記第3光の偏光状態を変化させる偏光手段を介した前記第3光を、前記ハーフミラーにおいて透過及び反射させる、
請求項9に記載のフォーカス調整方法。
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JP2019017619A JP7227776B2 (ja) | 2019-02-04 | 2019-02-04 | マスク検査装置及びフォーカス調整方法 |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022022003A (ja) * | 2020-07-23 | 2022-02-03 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP2022022006A (ja) * | 2020-07-23 | 2022-02-03 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP2022022005A (ja) * | 2020-07-23 | 2022-02-03 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
JP2022022004A (ja) * | 2020-07-23 | 2022-02-03 | 株式会社三洋物産 | 遊技機 |
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2019
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