JP2020123614A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
Description
10,110 成膜トレイ
14 凹部
16 露出部
18 領域
30,130 スキージ
32 導電性ペースト
40,140 キャッピング部材
42,142 開口部
50 回転機構
52,152 制御装置
150 スライド機構
D 凹部の直径
T 凹部の深さ
Claims (5)
- 導電性ペーストが載せられる成膜トレイと、
前記成膜トレイに押し付けられるスキージと、
前記成膜トレイに並んで設けられ、異なる深さを有し、前記成膜トレイと前記スキージとが相対的に動かされることによって、前記成膜トレイ上を摺動する前記スキージで押し出された導電性ペーストが入れられるように構成された複数の凹部とを備える成膜装置。 - 前記成膜トレイを覆い、前記スキージとの相対的位置関係が固定されたキャッピング部材と、
前記キャッピング部材に設けられ、前記複数の凹部の少なくとも1つを露出させるように構成された開口部とを備える請求項1に記載の成膜装置。 - 前記成膜トレイの一部であって、前記複数の凹部外に設けられ、前記キャッピング部材の前記開口部よりも広い領域を有し、前記領域のみを前記キャッピング部材の前記開口部から露出させるように構成された露出部を備える請求項2に記載の成膜装置。
- 前記成膜トレイを動かす駆動部と、
前記駆動部を制御する制御部とを備える請求項2又は請求項3に記載の成膜装置。 - 前記複数の凹部の開口幅に応じて、前記複数の凹部の深さが異なる、請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の成膜装置。
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2019
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