JP2020122655A - 測距検出器検査装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】測距検出器の検査を容易に行うことが可能な測距検出器検査装置を提供する。【解決手段】ライダ検査装置100は、光を射出する発光部11と光を受光する受光部12とを備えるライダ10を検査するライダ検査装置であって、ライダ10が着脱可能なライダ装着部材1と、光ファイバと、発光部11からの光を光ファイバへ導く入射部3と、光ファイバを伝搬した光を受光部12に向けて射出する射出部5と、発光部11と入射部3との間の第1の領域21と、射出部5と受光部12との間の第2の領域22とを互いに光学的に遮蔽する遮光板6及び7と、を備える。【選択図】図2

Description

本開示は、測距検出器を検査する測距検出器検査装置に関する。
車両間隔などの距離を検出する測距検出器として、ライダ(LIDAR:Light Detection and Ranging)と呼ばれる光学式の検出器が注目されている。ライダは、レーザ光などの光を射出する発光部と、光を受光する受光部とを備える。ライダは、発光部から光を射出し、その光が被測定対象物で反射された反射光を受光部で受光する。ライダは、発光部から光を射出してから反射光が受光部で受光されるまでのパルス光の伝搬時間や光の位相差に基づいて、被測定対象物までの距離を検出する。また、発光部の波長(周波数)を走査し、射出光と反射光の周波数差によって生じるビート信号から距離を検出する方式もある。
ライダが正常に機能しているか否かを検査するためには、ライダから離れた位置に被対象物を実際に配置し、ライダと被対象物との間の距離や角度を可変させながら被測定対象物からの反射光を検出する必要があり、敷地面積の確保が必要だったり、手間がかかったりするという問題がある。
本開示は、上記課題を鑑みてなされたものであり、ライダの検査を卓上で容易に行うことが可能な測距検出器検査装置を提供することを目的とする。
本開示の一つの実施態様に従うライダ検査装置は、光を射出する発光部と光を受光する受光部とを備えるライダを検査するライダ検査装置であって、前記ライダが着脱可能なライダ装着部材と、光ファイバと、前記発光部からの光を前記光ファイバへ導く入射部と、前記光ファイバを伝搬した光を前記受光部に向けて射出する射出部と、前記発光部と前記入射部との間の領域と、前記射出部と前記受光部との間の領域とを互いに光学的に遮蔽する遮光板と、を備える。
本開示によれば、ライダの検査を容易に行うことが可能になる。
本開示の一実施形態に係るライダ検査装置を模式的に示す斜視図である。 本開示の一実施形態に係るライダ検査装置を模式的に示す透視側面図である。 本開示の一実施形態に係るライダを模式的に示す側面図である。 ライダ装着部材が回転した状態のライダ検査装置を示す図である。 上方から見た接続部を模式的に示す斜視図である。 下方から見た接続部を模式的に示す斜視図である。 接続部を模式的に示す正面図である。 光ファイバ部の構成を模式的に示す図である。
以下、本開示の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、本開示の一実施形態に係るライダ検査装置を模式的に示す斜視図であり、図2は、図1に示すライダ検査装置を模式的に示す透視側面図である。
図1及び図2に示すライダ検査装置100は、ライダ装着部材1と、回転ステージ2と、入射部3と、光ファイバ部4と、射出部5と、遮光板6及び7と、遮光部材8と、接続部9とを有する。
ライダ装着部材1は、距離を検出する検出器であるライダ10を着脱可能な部材である。ライダ10をライダ装着部材1に装着する方法は、特に限定されない。図1及び図2では、ライダ10がライダ装着部材1に装着された状態のライダ検査装置100が示されている。
図3は、ライダ10を模式的に示す斜視図である。図3に示すようにライダ10は、レーザ光のような光を射出する発光部11と、光を受光する受光部12とを有する。図3の例では、発光部11及び受光部12は、ライダ10の同一の面内の異なる場所に設けられる。
ライダ装着部材1には、所定の方向における発光部11及び受光部12の位置が互いに異なるようにライダ10が装着される。所定の方向は、本実施形態では、高さ方向であるZ方向である。図の例では、ライダ装着部材1は、発光部11が受光部12よりも高い位置に配置されるようにライダ10と装着される構成を有しているが、受光部12が発光部11よりも高い位置に配置されるようにライダ10と装着される構成でもよいし、発光部11と受光部12とが同じ高さとなるようにライダ10と装着される構成であってもよい。
回転ステージ2は、ライダ装着部材1を回転可能に支持する。回転ステージ2は、本実施形態では、所定の方向であるZ方向を軸として回転する。
入射部3は、ライダ装着部材1に装着されたライダ10の発光部11からの光を受光し、その受光した光を光ファイバ部4に導く。光ファイバ部4は、入射部3から導入された光を伝搬する長さの異なる光ファイバ(図8参照)を有する。射出部5は、光ファイバ部4の光ファイバを伝搬した光を、ライダ装着部材1に装着されたライダ10の受光部12に向けて射出する。
入射部3及び射出部5は、ライダ装着部材1からZ方向と交差(より具体的には、略直交)するX方向に離れた位置に、ライダ装着部材1側に向いて設けられる。また、入射部3及び射出部5は、Z方向における位置が互いに異なるように設けられる。Z方向における入射部3及び射出部5の位置関係は、Z方向における発光部11及び受光部12の位置関係に応じて決定される。本実施形態の場合、発光部11が受光部12よりも高い位置にあるため、入射部3が射出部5よりも高い位置に設けられる。なお、発光部11と受光部12とが同じ高さとなる構成の場合、入射部3と射出部5とは、Y方向における位置が異なるように設けられる。
遮光板6及び7は、ライダ装着部材1に装着されたライダ10の発光部11と入射部3との間の領域である第1の領域21と、ライダ装着部材1に装着されたライダ10の受光部12と射出部5との間の領域である第2の領域22とを光学的に遮断する。具体的には、遮光板6及び7は、Z方向と交差(より具体的には、略直交)するXY平面に沿って設けられ、Z方向における発光部11と受光部12との間から、Z方向における入射部3と射出部5との間まで延びている。
遮光板6は、遮光板61及び62で構成される。遮光板61及び62は、後述の支持部91を介して回転ステージ2と接続され、回転ステージ2の回転に従ってライダ装着部材1と共に回転可能な第1の遮光板である。図4は、ライダ装着部材1と遮光板6を回転させた状態のライダ検査装置100の一例を示す図である。
遮光板7は、遮光板61よりも入射部3及び射出部5側に設けられる第2の遮光板である。遮光板7の一部は、Z方向から見て遮光板6と重なっている。遮光板7は、遮光板61よりも低い位置に設けられている。
遮光板6は回転可能なため遮光板61と遮光板7に隙間が僅かに存在し、ライダ10の発光部11から射出した光が入射部3近傍の反射物により、反射光が隙間を通る可能性があるために遮光板62を設けている。
遮光板7よりも低い位置に遮光板62が取り付けられており、更にその下にライダ10の受光部12に射出部5から射出した光を導入できるスリット93による開口部が設けられている。
遮光部材8は、発光部11から射出した光が周囲環境によって散乱する光を検出器に導入させないように設けられる。また、入射部3、射出部5及び遮光板7を支持する。図の例では、遮光部材8は、ライダ装着部材1の両側に設けられ、X方向に延びる側壁部を含み、遮光板7は、各側壁部によって支持される。また、遮光部材8は、ライダ装着部材1とX方向において対向する位置に設けられた壁部を有し、その壁部に入射部3と射出部5とが取り付けられている。接続部9は、遮光板6を回転ステージ2やライダ10と接続するための遮光部材である。図5〜図7は、接続部9を模式的に示す図である。具体的には、図5は、接続部9を上方から見た斜視図であり、図6は、接続部9を下方から見た斜視図であり、図7は、接続部9の正面図である。
図5〜図7に示す接続部9は、遮光板6を支持する支持部91と、遮光板6に設けられた遮光構造体92とを含む。支持部91は、回転ステージ2に取り付けられ、遮光板6を回転ステージ2と接続する。支持部91は、ライダ装着部材1を介して回転ステージ2に取り付けられてもよいし、ライダ装着部材1を介さずに回転ステージ2に直接取付けられてもよい。
遮光構造体92は、ライダ装着部材1の装着されたライダ10の受光部12を覆うことで、受光部12を外部から光学的に遮蔽する。遮光構造体92は、射出部5側にスリット93が形成される。スリット93は、射出部5からの光を遮光構造体92の内部に取り入れる開口部である。スリット93は、遮光板6及び7よりも低い位置に設けられる。なお、開口部は、スリット93に限らず、他の形状でもよい。
遮光板6及び7と、遮光部材8と、接続部9とは光の反射を抑制するために、遮光と乱反射防止とを目的とした迷光除去材料で構成される。本実施例では、これらの部材として、艶消し黒色アルマイト処理をした板材などを利用したが、イオンビームなどにより形成されるマイクロ空洞などを利用しても良い。
図8は、光ファイバ部4のより詳細な構成を模式的に示す図である。図8に示す光ファイバ部4は、入力端子41と、複数の光ファイバ42と、光スイッチ43〜46と、出力端子47とを有する。
入力端子41は、入射部3と光学的に接続され、入射部3から光が導入される。入力端子41は、例えば、FCコネクタまたはSCコネクタなどの光コネクタである。
複数の光ファイバ42は、それぞれ異なる長さを有する。光ファイバ42は、多段に設けられた複数の光ファイバ群51及び52に分けられる。光ファイバ群は、図の例では、2つだが、1つであってもよく、3つ以上あってもよい。また、図の例では、光ファイバ群51及び52は、それぞれA〜Hまでの8本の光ファイバ42を有しているが、光ファイバ群51及び52に含まれる光ファイバ42の数は特に限定されない。例えば、光ファイバ群51及び52に含まれる光ファイバ42の数は、互いに異なっていてもよい。
ここで、光ファイバ42は、マルチモードファイバでもよいし、シングルモードファイバでもよいし、これらを混合させてもよい。
入射部3をマルチモードファイバと接続する場合には、マルチモードファイバはシングルモードファイバよりもファイバコア径が大きいため、コアの断面積に依存して大きな光量が得られる。この場合、入射部3と発光部11の間に光量を抑制するためのNDフィルタなどの光学素子を配置してもよい。
これに対して入射部3をシングルモードファイバと接続する場合には、シングルモードファイバはマルチモードファイバよりもファイバコア径が小さいため、少ない光量しか得ることができない恐れがある。この場合、入射部3の前に光を多く取り入れるためのレンズなどの光学素子やテーパ型の光ファイバなどを配置してもよい。
光スイッチ43〜46は、入力端子41に導入された光が光ファイバ42へ伝搬するための光路を切り替える。具体的には、光スイッチ43は、光ファイバ群51の前段に設けられ、入力端子41に導かれた光を光ファイバ群51に含まれる光ファイバ42のいずれかに伝搬させる。光スイッチ44及び45は、光ファイバ群52の前段に設けられる。光スイッチ44は、光ファイバ群51に含まれる光ファイバ42からの光を光スイッチ45に伝搬させ、光スイッチ45は、光スイッチ44からの光を光ファイバ群52に含まれる光ファイバ42のいずれかに伝搬させる。光スイッチ46は、光ファイバ群52の後段に設けられ、光ファイバ群52に含まれる光ファイバ42からの光を出力端子47に伝搬させる。光スイッチ43〜46の種類は、特に限定されない。光スイッチ43〜46は、例えば、MEMS(Micro Electro Mechanical System)型光スイッチでもよいし、導波路型光スイッチ、透過光学素子の屈折率を利用した光スイッチでもよいし、他の形態の光スイッチでもよい。また、8本から伝搬される光を1本のファイバへ伝搬させるための光スイッチ44、46の変わりにファイバカプラやコンバイナなどの光学部品などが用いられてもよい。
出力端子47は、射出部5と光学的に接続され、光スイッチ42からの光を射出部5に導く。出力端子47は、例えば、FCコネクタまたはSCコネクタなどの光コネクタである。
なお、図8では、1.370mなどのように、各光ファイバ42の長さの、最も短い光ファイバ42の長さからの差分が遅延量として表記しているが、この遅延量は単なる一例であって、この例に限定されるものではない。また、光ファイバ42には、使用されないものがあってもよい。図では、使用されない光ファイバ42が「未使用」と表記されている。
出力端子47から射出された光はファイバの開口数(NA)に従い拡散する。受光部12に十分な光量を与えるために出力端子47の後にレンズを配置する構成としてもよい。射出部5に可動式のレンズを内蔵し、受光部12でビーム径が小さくなるような構成としもよい。射出部5の後に伝搬する光は受光部12に到達するまで平行光であることが好ましいが、平行光でなくてもよい。また、光量が十分確保可能であればレンズなどの集光光学素子を利用しなくてもよい。
以上説明したライダ検査装置100では、ライダ装着部材1に装着されたライダ10の発光部11から光が射出されると、その光は、遮光板6及び7よりも高い位置にある第1の領域21を介して入射部3に入射する。入射部3に入射した光は光ファイバ部4に導かれ、光ファイバ部4の光ファイバ42を伝搬し、その後、射出部5から射出される。射出された光は、遮光板6及び7よりも低い位置にある第2の領域22を介して接続部9の遮光構造体92に設けられたスリット93から遮光構造体92の内部に取り込まれ、その内部にあるライダの受光部12によって受光される。
これにより、発光部11から光が射出されてから受光部12によって光が受光されるまでの伝搬時間を測定し、その伝搬時間から算出される光の伝搬距離(光路長)と、光が伝搬した光ファイバ42の長さとに基づいて、ライダ10を検査することができる。なお、光ファイバを伝搬した光の伝搬距離の半分がライダ10と被測定対象物との間の距離に対応する。
このとき、光ファイバ部4の光スイッチ43〜46により、光が伝搬する光ファイバ42を切り替えることができるため、ライダ10によって検出される距離を変えながら検査を行うことができる。また、回転ステージ2によりライダ装着部材1を回転させ、それに伴い、ライダ10の発光部11及び受光部12の角度方向を変えることができる。このため、ライダ10の視野角に関する検査を行うことができる。
ここで、実施例ではライダ10の視野角を検査するためにライダ10を回転ステージ2で支持することにより角度方向が可変となる構成としたが、ライダ10を固定して射出部5の角度や位置を可変させる可動ステージを利用してライダ10の視野角に関する検査を行う方式でもよい。
以上説明したように本実施形態によれば、ライダ検査装置100は、光を射出する発光部11と光を受光する受光部12とを備えるライダ10を検査するライダ検査装置であって、ライダ10が着脱可能なライダ装着部材1と、光ファイバ42と、発光部11からの光を光ファイバ42へ導く入射部3と、光ファイバ42を伝搬した光を受光部12に向けて射出する射出部5と、発光部11と入射部3との間の第1の領域21と、射出部5と受光部12との間の第2の領域22とを互いに光学的に遮蔽する遮光板6及び7と、を備える。
この場合、ライダ装着部材1に装着されたライダ10の発光部11から光が光ファイバ42を伝搬して受光部12にて受光される。このため、ライダ10から離れた位置に被対象物を実際に配置しなくてもライダ10を検査することが可能になるため、ライダの検査を容易に行うことが可能になる。また、発光部11と入射部3との間の第1の領域21と、射出部5と受光部12との間の第2の領域22とが互いに光学的に遮蔽される。このため、発光部11からの光に起因する強い散乱光が受光部に受光されることを抑制することが可能となり、好ましくない信号を検出しない精度の高いライダ10の検査が可能となる。
また、本実施形態では、ライダ検査装置100は、ライダ装着部材1を回転可能に支持する回転ステージ2をさらに備える。したがって、ライダ10の角度を変えながら光ファイバ42を伝搬した光を検出することが可能になるため、ライダ10の視野角全体に応じた検査を行うことが可能になる。
また、本実施形態では、遮光板6は、ライダ装着部材1と共に回転可能であり、遮光板7は、遮光板6よりも入射部3及び射出部5側に設けられ、一部が遮光板6と重なる。したがって、ライダ装着部材1を回転させた場合でも、第1の領域21と第2の領域22とを光学的により確実に散乱光を遮蔽することが可能となるため、誤信号を検出しない精度の高いライダ10の検査が可能となる。
また、本実施形態では、光ファイバ42は、複数あり、各光ファイバ42の長さがそれぞれ異なる。したがって、異なる光の伝搬距離に対するライダ10の検査が可能となる。
また、本実施形態では、ライダ検査装置100は、入射部3からの光を伝搬させる光ファイバ42を切り替える光スイッチ43〜46をさらに備える。したがって、光の伝搬距離を変えながらライダ10を検査することが可能になる。
また、本実施形態では、複数の光ファイバ42は、多段に設けられた複数の光ファイバ群51及び52に分かれ、光スイッチは、各光ファイバ群51及び52の前段にそれぞれ設けられ、光ファイバ群に含まれる光ファイバ42のいずれかに光を入力する。このため、光が伝搬する光ファイバ42を組み合わせることが可能となるため、少ない光ファイバ42で多くの伝搬距離のパターンを生成することが可能になり、コストや部品点数の削減を行うことが可能になる。
上述した本開示の実施形態は、本開示の説明のための例示であり、本開示の範囲をそれらの実施形態にのみ限定する趣旨ではない。当業者は、本開示の範囲を逸脱することなしに、他の様々な態様で本開示を実施することができる。
1:ライダ装着部材 2:回転ステージ 3:入射部 4:光ファイバ部 5:射出部 6:遮光板 7:遮光板 8:遮光部材 9:接続部 10:ライダ 11:発光部 12:受光部 21:第1の領域 22:第2の領域 41:入力端子 42:光ファイバ 42〜46:光スイッチ 47:出力端子 51〜52:光ファイバ群 91:支持部 92:遮光構造体 93:スリット 100:ライダ検査装置

Claims (8)

  1. 光を射出する発光部と光を受光する受光部とを備える測距検出器を検査する検査装置であって、
    前記測距検出器が着脱可能であり、
    光ファイバと、
    前記発光部からの光を前記光ファイバへ導く入射部と、
    前記光ファイバを伝搬した光を前記受光部に向けて射出する射出部と、
    前記発光部と前記入射部との間の領域と、前記射出部と前記受光部との間の領域とを互いに光学的に遮蔽する遮光板と、を備える測距検出器検査装置。
  2. 前記射出部から測距検出器への入射角度を調整する調整機構をさらに備える請求項1に記載の測距検出器検査装置。
  3. 前記調整機構は、測距検出器を回転可能に支持する回転ステージで構成された請求項2に記載の測距検出器検査装置。
  4. 前記遮光板は、
    前記測距検出器と共に回転可能な第1の遮光板と、
    前記第1の遮光板よりも前記入射部及び前記射出部側に設けられ、一部が前記第1の遮光板と重なる第2の遮光板と、を有する、請求項3に記載の測距検出器検査装置。
  5. 前記光ファイバは、複数あり、各光ファイバの長さがそれぞれ異なる、請求項1から4のいずれか一項に記載の測距検出器検査装置。
  6. 前記入射部からの光を伝搬させる前記光ファイバへの光路を切り替える光スイッチをさらに備える、請求項5に記載の測距検出器検査装置。
  7. 前記複数の光ファイバは、多段に設けられた複数の光ファイバ群に分かれ、
    前記光スイッチは、各光ファイバ群の前段にそれぞれ設けられ、当該光ファイバ群に含まれる光ファイバのいずれかに光を伝搬させる、請求項6に記載の測距検出器検査装置。
  8. 前記射出部の内部または前後に集光部品を有する請求項1から7のいずれか一項に記載の測距検出器検査装置。



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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023054883A1 (ko) * 2021-09-29 2023-04-06 주식회사 에스오에스랩 라이다 장치에 대한 성능 평가 방법 및 라이다 장치에 대한 성능 평가 장치

Citations (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5432349A (en) * 1977-08-17 1979-03-09 Hughes Aircraft Co Inspection device for laser range finder
JPS62108172A (ja) * 1985-11-07 1987-05-19 Fuji Electric Co Ltd 測距儀のオフセツト誤差の補正方法
JPH0214082U (ja) * 1988-07-11 1990-01-29
JPH02115781A (ja) * 1988-10-26 1990-04-27 Hitachi Shonan Denshi Co Ltd 測距校正装置
JPH03119302A (ja) * 1989-10-02 1991-05-21 Mitsubishi Electric Corp 光学的遅延装置
JPH0466592U (ja) * 1990-10-23 1992-06-11
JPH09257415A (ja) * 1996-03-25 1997-10-03 Senshin Zairyo Riyou Gas Jienereeta Kenkyusho:Kk 光ファイバセンサ
US5825464A (en) * 1997-01-03 1998-10-20 Lockheed Corp Calibration system and method for lidar systems
JP2001215275A (ja) * 2000-02-03 2001-08-10 Mitsubishi Electric Corp レーザレーダ装置
JP2004069675A (ja) * 2002-06-10 2004-03-04 Matsushita Electric Works Ltd 距離計測装置及び距離計測方法
CN1743867A (zh) * 2005-09-23 2006-03-08 中国科学院上海技术物理研究所 多用途激光高度计测试装置
JP2008070159A (ja) * 2006-09-12 2008-03-27 Hokuyo Automatic Co 走査式測距装置
JP2009229255A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Hokuyo Automatic Co 走査式測距装置
JP2010175278A (ja) * 2009-01-27 2010-08-12 Ihi Corp レーザ距離測定装置
CN102243301A (zh) * 2010-05-13 2011-11-16 南瑶 激光测距机检测装置
CN102590802A (zh) * 2012-01-20 2012-07-18 中国科学院上海技术物理研究所 一种可调谐激光距离模拟器及距离模拟方法
US8368876B1 (en) * 2008-10-17 2013-02-05 Odyssey Space Research, L.L.C. Calibration system and method for imaging flash LIDAR systems
CN103499816A (zh) * 2013-10-10 2014-01-08 中国科学院上海技术物理研究所 一种同轴激光延迟和衰减模拟装置
CN203535219U (zh) * 2013-10-10 2014-04-09 中国科学院上海技术物理研究所 同轴激光延迟和衰减模拟装置
JP2014153288A (ja) * 2013-02-13 2014-08-25 Omron Corp 撮像装置
CN204422749U (zh) * 2015-03-05 2015-06-24 无锡市星迪仪器有限公司 基于光纤基线的激光测距仪校正系统
US20150234039A1 (en) * 2014-02-19 2015-08-20 Raytheon Company Portable programmable ladar test target

Patent Citations (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5432349A (en) * 1977-08-17 1979-03-09 Hughes Aircraft Co Inspection device for laser range finder
JPS62108172A (ja) * 1985-11-07 1987-05-19 Fuji Electric Co Ltd 測距儀のオフセツト誤差の補正方法
JPH0214082U (ja) * 1988-07-11 1990-01-29
JPH02115781A (ja) * 1988-10-26 1990-04-27 Hitachi Shonan Denshi Co Ltd 測距校正装置
JPH03119302A (ja) * 1989-10-02 1991-05-21 Mitsubishi Electric Corp 光学的遅延装置
JPH0466592U (ja) * 1990-10-23 1992-06-11
JPH09257415A (ja) * 1996-03-25 1997-10-03 Senshin Zairyo Riyou Gas Jienereeta Kenkyusho:Kk 光ファイバセンサ
US5825464A (en) * 1997-01-03 1998-10-20 Lockheed Corp Calibration system and method for lidar systems
JP2001215275A (ja) * 2000-02-03 2001-08-10 Mitsubishi Electric Corp レーザレーダ装置
JP2004069675A (ja) * 2002-06-10 2004-03-04 Matsushita Electric Works Ltd 距離計測装置及び距離計測方法
CN1743867A (zh) * 2005-09-23 2006-03-08 中国科学院上海技术物理研究所 多用途激光高度计测试装置
JP2008070159A (ja) * 2006-09-12 2008-03-27 Hokuyo Automatic Co 走査式測距装置
JP2009229255A (ja) * 2008-03-24 2009-10-08 Hokuyo Automatic Co 走査式測距装置
US8368876B1 (en) * 2008-10-17 2013-02-05 Odyssey Space Research, L.L.C. Calibration system and method for imaging flash LIDAR systems
JP2010175278A (ja) * 2009-01-27 2010-08-12 Ihi Corp レーザ距離測定装置
CN102243301A (zh) * 2010-05-13 2011-11-16 南瑶 激光测距机检测装置
CN102590802A (zh) * 2012-01-20 2012-07-18 中国科学院上海技术物理研究所 一种可调谐激光距离模拟器及距离模拟方法
JP2014153288A (ja) * 2013-02-13 2014-08-25 Omron Corp 撮像装置
CN103499816A (zh) * 2013-10-10 2014-01-08 中国科学院上海技术物理研究所 一种同轴激光延迟和衰减模拟装置
CN203535219U (zh) * 2013-10-10 2014-04-09 中国科学院上海技术物理研究所 同轴激光延迟和衰减模拟装置
US20150234039A1 (en) * 2014-02-19 2015-08-20 Raytheon Company Portable programmable ladar test target
CN204422749U (zh) * 2015-03-05 2015-06-24 无锡市星迪仪器有限公司 基于光纤基线的激光测距仪校正系统

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023054883A1 (ko) * 2021-09-29 2023-04-06 주식회사 에스오에스랩 라이다 장치에 대한 성능 평가 방법 및 라이다 장치에 대한 성능 평가 장치

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