JP4537686B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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- Laser Beam Processing (AREA)
Description
10 加工用光ファイバ
10a 入射端
10b 出射端
11 コア
12 クラッド層(外部層)
13 サポート層(外部層)
14 被覆層
15 レーザ発振器
20 加工光学系
21,22 加工レンズ
23 入射レンズ(入射光学系)
30 被加工物
41 センサ装置
41a センサ部
42 観察装置
43 反射ミラー
44 測定用光ファイバ
51 ビームスプリッタ
52 集光レンズ
53 撮像装置
60 レーザ加工装置
L1 レーザ光(コア伝送光)
L2 レーザ光(入射光の光路から外れたレーザ光)
L3 レーザ光(クラッド伝送光)
Claims (7)
- レーザ光を利用して被加工物の加工を行うレーザ加工装置において、
レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を伝送する加工用光ファイバと、
前記加工用光ファイバの出射端側に配置され、前記加工用光ファイバを介して伝送されたレーザ光を集光して被加工物上に照射する加工光学系と、
前記加工用光ファイバの入射端側に配置され、前記被加工物で反射されて前記加工用光ファイバを介して前記レーザ発振器側に戻されたレーザ光を検出するセンサ装置とを備え、
前記加工用光ファイバは、コアと、このコアを覆うクラッド層を含む外部層とを有し、前記センサ装置は、前記加工用光ファイバの前記クラッド層を介して前記レーザ発振器側に戻されたレーザ光を検出し、
前記センサ装置は、前記加工用光ファイバの前記クラッド層から出射されたレーザ光の光路上に配置されたセンサ部を有することを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記センサ装置による検出結果に基づいて前記被加工物の加工状態を観察する観察装置をさらに備えたことを特徴とする、請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記センサ部は、前記加工用光ファイバの前記入射端側の異なる位置に複数配置されていることを特徴とする、請求項1又は2のいずれかに記載のレーザ加工装置。
- 前記複数のセンサ部は、異なる感度特性を持つ少なくとも二種類のセンサ部を含むことを特徴とする、請求項3に記載のレーザ加工装置。
- 前記センサ装置は、前記加工用光ファイバの前記クラッド層から出射されたレーザ光の光路上にその入射端が位置付けられるように配置された測定用光ファイバと、この測定用光ファイバの出射端側に配置され、前記測定用光ファイバを介して伝送されたレーザ光を検出するセンサ部とを有することを特徴とする、請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。
- 前記測定用光ファイバは、前記加工用光ファイバの前記入射端側の異なる位置に複数配置され、前記センサ部は、前記複数の測定用光ファイバを介して伝送されたレーザ光を検出するように一つ又は複数配置されていることを特徴とする、請求項5に記載のレーザ加工装置。
- 前記外部層はサポート層も含むことを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のレーザ加工装置。
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