JP2020113614A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】裏面に金属膜が形成されたウェーハをプラズマエッチングで分割する場合に、ストリート位置を検出してストリートに対応した位置の金属膜を除去し、ウェーハをプラズマエッチングして分割できるようにする。【解決手段】表面WaにストリートSを有し裏面Wbに金属膜W2が形成されたウェーハWの裏面Wb外周の金属膜W2を除去し金属膜除去領域W2dを形成するステップと、金属膜除去領域W2d形成後、ウェーハ表面Wa側をテーブル10で保持しウェーハ裏面Wbを露出させるステップと、保持ステップ実施後、金属膜除去領域W2dでウェーハ裏面Wb側からウェーハWを透過しウェーハ表面Wa側を撮像し表面WaのストリートSの位置を検出するステップと、検出したストリートSに沿って金属膜W2を除去するステップと、金属膜除去ステップ実施後、ウェーハWをプラズマエッチングでストリートSに沿ってエッチングするステップと、を備えたウェーハ加工方法。【選択図】図5
Description
本発明は、表面に複数のストリートを有し、裏面に金属膜が形成されたウェーハの加工方法に関する。
表面にストリート(分割予定ライン)として設定される幅を縮小してウェーハ毎のチップの数を増やすため、及び加工時間を短縮するために、プラズマエッチングを利用して被加工物であるウェーハを分割する所謂プラズマダイシング(例えば、特許文献1参照)が従来から用いられている。
しかし、裏面に電極となる金属膜が成膜されたウェーハが分割対象である場合、ウェーハを効率よくプラズマダイシングできるエッチングガスでは、金属膜がエッチングされない、または非常にエッチングされにくく、プラズマダイシングによるウェーハの分割が困難であるという問題がある。
そこで、特許文献2に記載されているように、例えばストリートに対応した裏面の金属膜を切削ブレードで切削して除去してから、ウェーハにプラズマエッチングを施してウェーハを分割する技術が提案されている。
しかし、ウェーハの裏面側から金属膜を除去する際に、ストリートの位置が適切に検出できないという問題がある。
よって、裏面に金属膜が形成されたウェーハをプラズマエッチングで分割する場合には、ストリートの正確な位置を検出してストリートに対応した位置の金属膜を除去し、裏面に金属膜が形成されたウェーハをプラズマエッチングして分割できるようにするという課題がある。
よって、裏面に金属膜が形成されたウェーハをプラズマエッチングで分割する場合には、ストリートの正確な位置を検出してストリートに対応した位置の金属膜を除去し、裏面に金属膜が形成されたウェーハをプラズマエッチングして分割できるようにするという課題がある。
上記課題を解決する本発明は、表面に複数のストリートを有し、裏面に金属膜が形成されたウェーハの加工方法であって、ウェーハの該裏面の外周の該金属膜を除去して金属膜除去領域を形成する金属膜除去領域形成ステップと、該金属膜除去領域形成ステップを実施した後、ウェーハの表面側を保持テーブルで保持してウェーハの該裏面を露出させる保持ステップと、該保持ステップを実施した後、該金属膜除去領域でウェーハの該裏面側からウェーハを透過してウェーハの該表面側を撮像して該表面の該ストリートの位置を検出するストリート位置検出ステップと、該ストリート位置検出ステップを実施した後、該ストリートに沿って該金属膜を除去する金属膜除去ステップと、該金属膜除去ステップを実施した後、ウェーハをプラズマエッチングで該ストリートに沿ってエッチングするプラズマエッチングステップと、を備えたウェーハの加工方法である。
前記金属膜除去領域形成ステップは、ウェーハの前記裏面から切削ブレードで前記金属膜を切削することで該金属膜を除去すると好ましい。
前記プラズマエッチングステップでは、ウェーハの前記表面に前記ストリートに沿った開口を有したマスクを配設するとともに該マスクを介して該表面からプラズマエッチングを施すと好ましい。
前記金属膜除去領域形成ステップを実施する前または実施した後にウェーハの前記裏面にマスク層を配設するマスク層配設ステップを備え、前記金属膜除去ステップでは該マスク層とともに前記金属膜を前記ストリートに沿って除去することでマスクを形成し、前記プラズマエッチングステップでは、ウェーハの該裏面から該マスクを介してプラズマエッチングを施すと好ましい。
本発明に係るウェーハの加工方法は、ストリートに対応した位置の金属膜を除去する前に、ウェーハの外周縁に沿って金属膜を除去した金属膜除去領域を形成する。そして、ストリートに対応した位置の金属膜を除去する際には、ウェーハを透過する波長の撮像光に感度がある撮像ユニットを利用して金属膜除去領域を介してウェーハの表面側を撮像し、ストリートの位置を検出できる。よって、検出したストリートに対応した位置の裏面側の金属膜を除去でき、裏面に金属膜が形成されたウェーハをプラズマエッチングで分割できる。
金属膜除去領域形成ステップは、ウェーハの裏面から切削ブレードで金属膜を切削することで容易に金属膜を除去することが可能となる。
プラズマエッチングステップでは、ウェーハの表面にストリートに沿った開口を有したマスクを配設するとともにマスクを介して表面からプラズマエッチングを施すことで、デバイスがエッチングで損傷しないようにしつつ、ウェーハをチップに分割することが可能となる。
金属膜除去領域形成ステップを実施する前または実施した後にウェーハの裏面にマスク層を配設するマスク層配設ステップを備え、金属膜除去ステップではマスク層とともに金属膜をストリートに沿って除去することでマスクを形成し、プラズマエッチングステップでは、ウェーハの裏面からマスクを介してプラズマエッチングを施すことで、デバイスがエッチングで損傷しないようにしつつ、ウェーハをチップに分割することが可能となる。また、プラズマエッチング時に起こり得る金属膜の銅等によるプラズマエッチング装置のチャンバ内の金属汚染は、金属膜上に形成されたマスクによって金属膜がエッチングされないため防ぐことができる。
(実施形態1)
以下に、本発明に係る加工方法(以下、実施形態1の加工方法とする)を実施して図1に示すウェーハWをデバイスDを備えるチップへと分割する場合の、実施形態1の加工方法の各ステップについて説明していく。
図1に示すウェーハWは、例えば、シリコンからなる基板W1を備える円形の半導体ウェーハであり、基板W1の表面、即ち、ウェーハWの表面Waには、デバイス領域Wa1と、デバイス領域Wa1を囲繞する外周余剰領域Wa2とが設けられている。デバイス領域Wa1及び外周余剰領域Wa2には複数のストリートSがそれぞれ直交差するように設定されている。そして、デバイス領域Wa1のストリートSによって区画された格子状の領域には、デバイスDがそれぞれ形成されている。一方、一般的にウェーハWは外周縁までストリートSによる区分けとパターニングとがされているので、外周余剰領域Wa2には、デバイスDが作り込まれていない(分割後にデバイスチップとならない)二点鎖線で示すパターンPが形成されている。なお、図1においては、外周余剰領域Wa2全周に形成された複数のパターンPの一部のみを図示している。
以下に、本発明に係る加工方法(以下、実施形態1の加工方法とする)を実施して図1に示すウェーハWをデバイスDを備えるチップへと分割する場合の、実施形態1の加工方法の各ステップについて説明していく。
図1に示すウェーハWは、例えば、シリコンからなる基板W1を備える円形の半導体ウェーハであり、基板W1の表面、即ち、ウェーハWの表面Waには、デバイス領域Wa1と、デバイス領域Wa1を囲繞する外周余剰領域Wa2とが設けられている。デバイス領域Wa1及び外周余剰領域Wa2には複数のストリートSがそれぞれ直交差するように設定されている。そして、デバイス領域Wa1のストリートSによって区画された格子状の領域には、デバイスDがそれぞれ形成されている。一方、一般的にウェーハWは外周縁までストリートSによる区分けとパターニングとがされているので、外周余剰領域Wa2には、デバイスDが作り込まれていない(分割後にデバイスチップとならない)二点鎖線で示すパターンPが形成されている。なお、図1においては、外周余剰領域Wa2全周に形成された複数のパターンPの一部のみを図示している。
図1において−Z方向側に向いている基板W1の裏面全面には、スパッタリング又はCVDによる蒸着等で形成され銅、チタン、ニッケル、金のうち1つ以上の金属により構成された多層の金属膜W2が配設されている。金属膜W2の厚みは、例えば2μm〜30μm程度となっている。金属膜W2の露出面は、ウェーハWの裏面Wbとなる。なお、ウェーハWの構成は本実施形態の例に限定されるものではない。例えば、基板W1はシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、窒化ガリウム又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよい。
また、ウェーハWは、例えば外周余剰領域Wa2を備えず、外周側に分割後に製品チップとならない三角チップが形成されるようなウェーハであってもよい。
また、ウェーハWは、例えば外周余剰領域Wa2を備えず、外周側に分割後に製品チップとならない三角チップが形成されるようなウェーハであってもよい。
(1)金属膜除去領域形成ステップ
ウェーハWには、まず、図2に示すように表面Waに表面保護テープT1が貼着される。表面保護テープT1は、ウェーハWと略同径の円形のテープである。
次いで、ウェーハWは、例えば、図2に示す切削装置1に搬送される。図2に示す切削装置1は、例えば、ウェーハWを吸引保持する保持テーブル10と、保持テーブル10に保持されたウェーハWに対して回転する切削ブレード113で切削加工を施す切削手段11と、を少なくとも備えている。
ウェーハWには、まず、図2に示すように表面Waに表面保護テープT1が貼着される。表面保護テープT1は、ウェーハWと略同径の円形のテープである。
次いで、ウェーハWは、例えば、図2に示す切削装置1に搬送される。図2に示す切削装置1は、例えば、ウェーハWを吸引保持する保持テーブル10と、保持テーブル10に保持されたウェーハWに対して回転する切削ブレード113で切削加工を施す切削手段11と、を少なくとも備えている。
保持テーブル10は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなる保持面10a上でウェーハWを吸引保持する。保持テーブル10は、鉛直方向(Z軸方向)の軸心周りに回転可能であるとともに、図示しない切削送り手段によってX軸方向に往復移動可能となっている。
切削手段11は、軸方向がY軸方向であるスピンドル110と、スピンドル110を回転させる図示しないモータと、スピンドル110の先端に装着された切削ブレード113とを備えており、モータがスピンドル110を回転駆動することに伴い切削ブレード113が回転する。
切削ブレード113は、例えば、ウェーハWをチップに分割するダイシングの際に用いる通常の切削ブレードよりも刃厚の厚い切削ブレードである。切削ブレード113は、例えば番手#4000より平均粒径が小さい砥粒が含まれるものであると好ましい。なぜならば、小さい砥粒が含まれる切削ブレード113で金属膜W2を切削して金属膜除去領域を形成することで、切削溝の溝底が撮像手段で撮像可能な程度に平坦になり、金属膜除去領域でウェーハWの裏面Wb側からウェーハWを透過してウェーハWの表面Wa側のストリートS(外周余剰領域Wa2のストリートS)を正確に撮像できるようになるためである。
切削装置1は、例えばウェーハWの外周縁の座標位置及びウェーハWの中心の座標位置を認識できるアライメント手段14を備えている。アライメント手段14は、ウェーハWに可視光を照射する可視光照射手段140、及びウェーハWからの反射光を捕らえる光学系及び光学系で結像された被写体像を出力する撮像素子等で構成されたカメラ141、並びにウェーハWに赤外線を照射する図示しない赤外線照射手段142、及びウェーハWから反射した赤外線を捕らえる光学系及び光学系で結像された被写体像を出力する赤外線撮像素子等で構成された赤外線カメラ143を備えている。なお、図2に示すように、可視光照射手段140及びカメラ141と、赤外線照射手段142及び赤外線カメラ143とが別々の筐体に取り付けられているのではなく、可視光照射手段140及びカメラ141と、赤外線照射手段142及び赤外線カメラ143とが1つ筐体に取り付けられている構成となっていてもよい。
本実施形態1における金属膜除去領域形成ステップでは、ウェーハWの裏面Wbから切削ブレード113で金属膜W2を切削することで金属膜W2を例えば環状に除去する。具体的には図2に示すように、表面Waに貼着された表面保護テープT1を下側に向けて保持テーブル10の保持面10a上にウェーハWが載置され、保持テーブル10によりウェーハWが吸引保持される。保持テーブル10の回転中心とウェーハWの中心とは略合致する。
次いで、保持テーブル10が図2に示すアライメント手段14の下方まで移動して、エッジアライメントが実施される。即ち、保持テーブル10が回転しつつ可視光照射手段140から可視光がウェーハWの外周縁に照射され、保持テーブル10に保持されたウェーハWの外周縁がカメラ141で複数箇所撮像される。そして、撮像画像から例えば外周縁の離間した3点の座標が検出され、該3点の座標に基づく幾何学的演算処理により、保持テーブル10上のウェーハWの正確な中心座標が求められる。
そして、ウェーハWの該中心座標の情報及び予め認識されているウェーハWのサイズ情報を基にして、保持テーブル10と切削手段11とが水平方向に相対的に移動されて、外周余剰領域Wa2内で、且つウェーハWの外周縁から所定距離内側の所定位置が切削ブレード113の直下に位置するように、保持テーブル10の位置付けが行われる。なお、エッジアライメントを行わずに、外周余剰領域Wa2内で、且つウェーハWの外周縁から所定距離内側の位置に切削ブレード113が位置付けられてもよい。
図示しないモータがスピンドル110を回転駆動することに伴って、切削ブレード113が例えば−Y方向側から見て時計回り方向に高速回転する。さらに、切削手段11が−Z方向に向かって切り込み送りされ、切削ブレード113の最下端が金属膜W2を完全に切断しかつ基板W1に切り込まない又は僅かに切り込む高さ位置に切削手段11の高さ位置が定められる。
切削ブレード113を所定の高さ位置まで切り込み送りした後、保持テーブル10を+Z方向側から見て反時計方向に360度回転させることで、ウェーハWの裏面Wbの外周の金属膜W2を除去して図3に示す環状の金属膜除去領域W2dを形成する。金属膜除去領域W2dの幅は、チップサイズやパターン精度により適宜定められるが、例えばチップサイズが0.3mm角の場合はウェーハWの外周縁から0.5mm以上であると好ましい。
金属膜除去領域W2dの形成は、例えば、切削ブレード113をウェーハWの外周縁に沿って切り込ませつつ、保持テーブル10を所定の回転速度でZ軸方向の軸心周りに360度回転させる毎に、ウェーハWの径方向内側に向かって切削ブレード113をY軸方向に所定間隔ずらしつつ行ってもよい。また、金属膜除去領域W2dをウェーハWの裏面Wbの外周側全周にわたって環状に形成しなくてもよく、例えばX軸方向及びY軸方向において、所定長さの弧状の金属膜除去領域がウェーハWの中心を挟んで対称に形成されてもよい。
また、金属膜除去領域W2dの形成は、例えば、レーザビーム照射による金属膜W2のグルービングで行われてもよい。
また、金属膜除去領域W2dの形成は、例えば、レーザビーム照射による金属膜W2のグルービングで行われてもよい。
金属膜除去領域形成ステップにおいて、本実施形態1のようにウェーハWの裏面Wbから切削ブレード113で金属膜W2を切削することで、容易に金属膜W2を除去することが可能となる。
(2)保持ステップ
金属膜除去領域形成ステップを実施した後、ウェーハWは、図4に示すように、表面Wa側が保持テーブル10で保持され裏面Wbが露出した状態が維持される。
金属膜除去領域形成ステップを実施した後、ウェーハWは、図4に示すように、表面Wa側が保持テーブル10で保持され裏面Wbが露出した状態が維持される。
(3)ストリート位置検出ステップ
保持ステップが実施された後、金属膜除去領域W2dでウェーハWの裏面Wb側からウェーハWを透過してウェーハWの表面Wa側が撮像されて表面WaのストリートSの位置が検出される。まず、金属膜除去領域W2dが図5に示すアライメント手段14の赤外線カメラ143の下方に位置するように、保持テーブル10が移動する。そして、赤外線照射手段142が、ウェーハWの裏面Wb側から赤外線をウェーハWの金属膜除去領域W2dに照射してウェーハWを透過させて、赤外線カメラ143によって表面Waの外周余剰領域Wa2のストリートS及びパターンP(図1参照)を撮像する。赤外線カメラ143によって撮像されたストリートS等の写った画像により、アライメント手段14がパターンマッチング等の画像処理を実行し、ストリートSの位置が検出される。即ち、例えば、図1に示すあるパターンP中の特徴的な形状を有する回路パターンの一部を、あらかじめアライメントマークとして設定し切削装置1の図示しない制御手段で記憶しておく。そして、予めアライメントマークからストリートSまでの距離も切削装置1の制御手段で記憶しておくことで、アライメントマークのパターンマッチングによりストリートSの位置が検出できる。金属膜除去領域W2dは、金属膜W2が無い為、赤外線が金属膜W2に反射されたり吸収されたりして、ストリートSの撮像が失敗してしまうといった事態は生じない。
保持ステップが実施された後、金属膜除去領域W2dでウェーハWの裏面Wb側からウェーハWを透過してウェーハWの表面Wa側が撮像されて表面WaのストリートSの位置が検出される。まず、金属膜除去領域W2dが図5に示すアライメント手段14の赤外線カメラ143の下方に位置するように、保持テーブル10が移動する。そして、赤外線照射手段142が、ウェーハWの裏面Wb側から赤外線をウェーハWの金属膜除去領域W2dに照射してウェーハWを透過させて、赤外線カメラ143によって表面Waの外周余剰領域Wa2のストリートS及びパターンP(図1参照)を撮像する。赤外線カメラ143によって撮像されたストリートS等の写った画像により、アライメント手段14がパターンマッチング等の画像処理を実行し、ストリートSの位置が検出される。即ち、例えば、図1に示すあるパターンP中の特徴的な形状を有する回路パターンの一部を、あらかじめアライメントマークとして設定し切削装置1の図示しない制御手段で記憶しておく。そして、予めアライメントマークからストリートSまでの距離も切削装置1の制御手段で記憶しておくことで、アライメントマークのパターンマッチングによりストリートSの位置が検出できる。金属膜除去領域W2dは、金属膜W2が無い為、赤外線が金属膜W2に反射されたり吸収されたりして、ストリートSの撮像が失敗してしまうといった事態は生じない。
(4)金属膜除去ステップ
ストリート位置検出ステップを実施した後、ストリートSに沿って図6に示す金属膜W2を除去する。
図6に示す切削装置1の切削手段11の切削ブレード117は、ウェーハWをチップに分割するダイシングを行う際に用いる通常の切削ブレードであり、例えば図2に示す切削ブレード113よりも薄いブレードである。
ストリート位置検出ステップを実施した後、ストリートSに沿って図6に示す金属膜W2を除去する。
図6に示す切削装置1の切削手段11の切削ブレード117は、ウェーハWをチップに分割するダイシングを行う際に用いる通常の切削ブレードであり、例えば図2に示す切削ブレード113よりも薄いブレードである。
ストリート位置検出ステップにおいて検出された各ストリートSの位置情報に基づいて、切削手段11が割り出し送り方向であるY軸方向に移動され、切削すべきストリートSと切削ブレード117とのY軸方向における位置合わせが行われる。
上記位置合わせ後、ウェーハWを保持する保持テーブル10が所定の切削送り速度で図6に示すように−X方向に送り出される。図示しないモータがスピンドル110を回転駆動することに伴って、切削ブレード117が例えば−Y方向側(紙面手前側)から見て時計回り方向に高速回転する。さらに、切削手段11が−Z方向に向かって切り込み送りされ、切削ブレード117の最下端が金属膜W2を完全に切断しかつ基板W1に切り込まない又は僅かに切り込む高さ位置に切削手段11が位置付けられる。そして、高速回転する切削ブレード117がウェーハWに切り込み、ストリートSに沿ってストリートSに対応する金属膜W2を切削除去していく。したがって、ウェーハWの裏面Wbには、ストリートSに沿った切削溝が形成されていく。また、切削ブレード117とウェーハWとの接触部位及びその周囲に対して切削水が噴射され、接触部位(加工点)を冷却・洗浄する。
切削ブレード117が、ストリートSを切削し終えるX軸方向の所定の位置までウェーハWが−X方向に進行すると、ウェーハWの切削送りが一度停止し、切削ブレード117がウェーハWから離間し、次いで、保持テーブル10が+X方向へ送り出されて元の位置に戻される。隣り合うストリートSの間隔ずつ切削ブレード117をY軸方向に割り出し送りしながら順次同様の切削を行い、同方向の全てのストリートSに対応する金属膜W2を除去していく。さらに、保持テーブル10を90度回転させてから同様の切削を行うと、全てのストリートSに沿って金属膜W2が縦横に除去される。
なお、例えば、レーザビーム照射によるストリートSに沿った金属膜W2のグルービングにより、ストリートSに沿って金属膜W2を除去してもよい。
なお、例えば、レーザビーム照射によるストリートSに沿った金属膜W2のグルービングにより、ストリートSに沿って金属膜W2を除去してもよい。
(5−1)プラズマエッチングステップにおける保護膜層の形成
金属膜除去ステップを実施した後、ウェーハWをプラズマエッチングでストリートSに沿ってエッチングする。本実施形態においては、プラズマエッチングを行うにあたって、まず、ウェーハWの表面WaにストリートSに沿った開口を有したマスクを配設する。
金属膜除去ステップを実施した後、ウェーハWをプラズマエッチングでストリートSに沿ってエッチングする。本実施形態においては、プラズマエッチングを行うにあたって、まず、ウェーハWの表面WaにストリートSに沿った開口を有したマスクを配設する。
例えば、ウェーハWは、図7に示すように、ウェーハWよりも大径の粘着シートT2に裏面Wbが貼着されて環状フレームFによるハンドリングが可能な状態になる。即ち、ウェーハWの表面Waには、図6に示す表面保護テープT1が貼着されているため、表面保護テープT1から粘着シートT2に対するウェーハWの転写・貼着が図示しないテープマウンタ等において行われる。同時に、粘着シートT2の糊層の外周部を環状フレームFにも貼着することで、ウェーハWは、粘着シートT2を介して環状フレームFに支持される。
例えば、環状フレームF及び粘着シートT2は、後のプラズマエッチングで使用されるエッチングガス(例えば、SF6ガスやC4F8ガス)に対する耐性を備えていると好ましい。即ち、例えば、環状フレームFはSUSで形成されており、粘着シートT2はポリオレフィン等で形成されていると好ましい。
環状フレームFによるハンドリングが可能となったウェーハWは、例えば、図8に示すスピンコータ4に搬送される。スピンコータ4は、例えば、ウェーハWを保持する保持テーブル40と、保持テーブル40を回転させる回転手段42と、上端側に円形の開口を備え保持テーブル40を収容する有底円筒状のケーシング44とを備えている。
保持テーブル40は、例えば円形状であり、ポーラス部材等からなり図示しない吸引源に連通する保持面40aを備えている。保持テーブル40の周囲には、環状フレームFを固定する固定クランプ401が周方向に均等に配設されている。保持テーブル40は、ウェーハWが載置される際には上昇して搬入・搬出高さに位置付けられ、また、吸引保持したウェーハWに液状の保護膜剤が塗布される際には、ケーシング44内における塗布高さまで下降する。保持テーブル40は、下方に配設された回転手段42によりZ軸方向の軸心周りに回転可能である。
ケーシング44は、保持テーブル40を囲繞する外側壁440と、外側壁440の下部に連接し中央に回転手段42の回転軸が挿通される開口を有する底板441と、底板441の開口内周縁から立設する内側壁442とを備える。保持テーブル40の下面とケーシング44の内側壁442の上端面との間には、回転手段42の回転軸に挿嵌され回転軸と底板441の開口との隙間への異物の入り込みを防ぐカバー444が配設されている。
ケーシング44内には、保持面40aで吸引保持されたウェーハWに保護膜剤を滴下するノズル45が配設されている。ノズル45は、底板441から立設しており、側面視略L字状の外形を備え、Z軸方向の軸心周りに旋回可能である。ノズル45の先端部分に形成された供給口450は、保持テーブル40の保持面40aに向かって開口している。
ノズル45は、保護膜剤を蓄えた保護膜剤供給源47に配管47a及び図示しないロータリージョイントを介して連通している。保護膜剤供給源47に蓄えられた保護膜剤は、例えば、水溶性樹脂(ポリビニルピロリドン又はポリビニルアルコール等)からなる水溶性の保護膜剤である。なお、ノズル45には保護膜剤供給源47の代わりに非水溶性樹脂供給源が連通していてもよく、非水溶性樹脂供給源には例えばレジスト液が蓄えられていてもよい。
ウェーハWが、粘着シートT2側を下にして保持テーブル40により吸引保持され、また、各固定クランプ401により環状フレームFが固定される。次いで、ウェーハWを保持した保持テーブル40がケーシング44内の塗布高さ位置まで下降する。また、ノズル45が旋回し、供給口450がウェーハWの中央上方に位置付けられる。
次いで、保護膜剤供給源47が保護膜剤をノズル45に供給し、ウェーハWの表面Waに保護膜剤が滴下される。保持テーブル40が回転することで、滴下された保護膜剤が表面Waの中心側から外周側に流れ全面にいきわたり、略一様な厚さの保護膜層Jが形成される。その後、回転を継続して保護膜層Jを回転乾燥させる、又は、保持テーブル40上方に位置付けたヒータやキセノンフラッシュランプにより加熱乾燥させる。
(5−2)プラズマエッチングステップにおけるマスクの形成
表面Waに保護膜層Jが形成されたウェーハWは、例えば、図9に示すレーザ加工装置2に搬送される。レーザ加工装置2は、ウェーハWを吸引保持するチャックテーブル20と、ウェーハWの保護膜層Jに対して吸収性を有する波長のレーザビームを照射するレーザビーム照射手段22とを少なくとも備えている。
表面Waに保護膜層Jが形成されたウェーハWは、例えば、図9に示すレーザ加工装置2に搬送される。レーザ加工装置2は、ウェーハWを吸引保持するチャックテーブル20と、ウェーハWの保護膜層Jに対して吸収性を有する波長のレーザビームを照射するレーザビーム照射手段22とを少なくとも備えている。
ウェーハWを保持するチャックテーブル20は、ポーラス部材等で構成されウェーハWを吸引保持する円形の平坦な保持面20aを備えている。チャックテーブル20は、鉛直方向(Z軸方向)の軸心周りに回転可能であると共に、図示しない移動手段によってX軸方向及びY軸方向に往復移動可能となっている。チャックテーブル20の周囲には、環状フレームFを固定する固定クランプ24が周方向に均等に配設されている。
レーザビーム照射手段22は、YAGレーザやYVO4レーザ等のレーザビーム発振器229から発振されたレーザビームを、レーザヘッド222内部の集光レンズ222aに入光させることで、チャックテーブル20で保持されたウェーハWに正確に集光して照射できる。なお、レーザヘッド222によって集光されるレーザビームの集光点位置は、図示しない集光点位置調整手段によってZ軸方向に調整可能である。
まず、ウェーハWが、粘着シートT2を下にしてチャックテーブル20の保持面20a上で吸引保持され、また、環状フレームFが固定クランプ24で挟持固定される。そして、レーザビームをウェーハWに照射するための基準となるストリートSの位置が図示しないアライメント手段によるパターンマッチング等の画像処理を経て検出される。ストリートSの位置が検出されるのに伴って、チャックテーブル20がY軸方向に移動し、ストリートSとレーザヘッド222との位置合わせがなされる。次いで、集光レンズ222aにより集光されるレーザビームの集光点位置が保護膜層Jの高さ位置に合わせられる。
レーザビーム発振器229が保護膜層Jに吸収性を有する波長のレーザビームを発振し、レーザビームを保護膜層Jに集光し照射する。また、ウェーハWが往方向である−X方向に所定の加工送り速度で送られ、レーザビームがストリートSに沿って保護膜層Jに照射されていくことで、ストリートSに沿って保護膜層Jがアブレーション加工され除去される。
ストリートSに沿ってレーザビームを照射し終える所定位置までウェーハWが−X方向に進行すると、レーザビームの照射を停止するとともチャックテーブル20がY軸方向に移動され、加工されたストリートSの隣のストリートSとレーザヘッド222とのY軸方向での位置合わせが行われる。ウェーハWが復方向である+X方向へ加工送りされ、レーザビーム照射により保護膜層JがストリートSに沿って除去される。順次同様のレーザビーム照射をX軸方向に延びる全ストリートSに沿って行った後、チャックテーブル20を90度回転させてから同様のレーザビーム照射を行うと、ウェーハWの表面WaのストリートSに対応する領域以外の領域に図10に示すマスクJ1が形成された状態になる。
ストリートSに沿った開口を有したマスクJ1の形成は本実施形態に限定されるものではない。一般的には、図1に示すウェーハWのデバイスDを形成する際に、デバイスDが形成された表面Wa側の全域には、汚染や不純物等の進入からデバイスDを保護するパシベーション膜(二酸化ケイ素膜等)がプラズマCVD法等で積層されるが、デバイスDの最表層となるパシベーション膜をストリートSに対応した領域を抜いておくように予め形成して、デバイスDを個々に保護する該パシベーション膜をプラズマエッチング用のマスクにしてもよい。
また、保護膜層Jをレジスト膜にしている場合、即ち、例えば、ウェーハWの表面Wa全面にポジ型レジスト膜を薄膜形成している場合には、ウェーハWのストリートSに対応する格子状のスリットが形成された板状のフォトマスクをウェーハWの表面Waに被せ、ウェーハWの表面Wa中のストリートSのみがフォトマスクのスリットから露出した状態とし、ウェーハWの表面Wa側に紫外光を照射する。次いで、露光後のウェーハWを現像することで、ストリートS上からレジスト膜が除去されることによって、ウェーハWの表面WaのストリートSに対応する領域以外の領域にマスクが形成された状態にしてもよい。
または、ウェーハWの表面WaにウェーハWと略同径の円形のレジストシートを貼着し、ストリートSに沿って切削ブレードでレジストシートを切削することで、ウェーハWの表面WaのストリートSに対応する領域以外の領域にマスクが形成された状態にしてもよい。
または、ウェーハWの表面WaにウェーハWと略同径の円形のレジストシートを貼着し、ストリートSに沿って切削ブレードでレジストシートを切削することで、ウェーハWの表面WaのストリートSに対応する領域以外の領域にマスクが形成された状態にしてもよい。
(5−3)プラズマエッチングステップにおけるエッチング
マスクJ1が形成されたウェーハWは、図10に示すプラズマエッチング装置9に搬送される。プラズマエッチング装置9は、ウェーハWを保持する保持手段90と、ガスを噴出するガス噴出ヘッド91と、保持手段90及びガス噴出ヘッド91を内部に収容したチャンバ92とを備えている。なお、プラズマエッチング装置は、本実施形態のような容量結合型プラズマ方式(CCP)のプラズマエッチング装置9でなく、例えば、誘電コイルにプラズマ発生用の高周波電力を印加し、誘電コイルに形成された磁場との相互作用によりエッチングガスをプラズマ化する誘導結合型プラズマ方式(ICP)のエッチング装置であってもよい。または、所定波長のマイクロ波の組み合わせで電子がサイクロトロン共振することを利用してプラズマを発生させる電子サイクロトロン共振プラズマ方式(ECR)のエッチング装置であってもよい。
マスクJ1が形成されたウェーハWは、図10に示すプラズマエッチング装置9に搬送される。プラズマエッチング装置9は、ウェーハWを保持する保持手段90と、ガスを噴出するガス噴出ヘッド91と、保持手段90及びガス噴出ヘッド91を内部に収容したチャンバ92とを備えている。なお、プラズマエッチング装置は、本実施形態のような容量結合型プラズマ方式(CCP)のプラズマエッチング装置9でなく、例えば、誘電コイルにプラズマ発生用の高周波電力を印加し、誘電コイルに形成された磁場との相互作用によりエッチングガスをプラズマ化する誘導結合型プラズマ方式(ICP)のエッチング装置であってもよい。または、所定波長のマイクロ波の組み合わせで電子がサイクロトロン共振することを利用してプラズマを発生させる電子サイクロトロン共振プラズマ方式(ECR)のエッチング装置であってもよい。
例えば、保持手段90は、静電チャックであり、セラミック等の誘電体で形成されており、支持部材900により下方から支持されている。保持手段90の内部には、電圧印加により電荷を発生する円板状の電極901が保持手段90の保持面90aと平行に配設されており、電極901は整合器94a及びバイアス高周波電源95aに接続されている。
例えば、保持手段90の内部には、図示しない通水路が形成されており、該通水路を循環する冷却水により保持手段90が内部から所定温度に冷却される。また、保持面90aと保持面90aで保持されたウェーハWとの間には、冷却水によるウェーハWの吸熱効率を向上させるために、Heガス等の熱伝達ガスが所定の圧力で流れるようになっている。
なお、例えば、保持手段90は、図例の単極型の静電チャックに限定されるものではなく、双極型の静電チャックであってもよい。
例えば、保持手段90の内部には、図示しない通水路が形成されており、該通水路を循環する冷却水により保持手段90が内部から所定温度に冷却される。また、保持面90aと保持面90aで保持されたウェーハWとの間には、冷却水によるウェーハWの吸熱効率を向上させるために、Heガス等の熱伝達ガスが所定の圧力で流れるようになっている。
なお、例えば、保持手段90は、図例の単極型の静電チャックに限定されるものではなく、双極型の静電チャックであってもよい。
チャンバ92の上部に軸受け919を介して昇降自在に配設されたガス噴出ヘッド91の内部には、ガス拡散空間910が設けられており、ガス拡散空間910上部にはガス導入口911が連通し、ガス拡散空間910下部にはガス吐出口912が複数連通している。各ガス吐出口912の下端は保持手段90の保持面90aに向かって開口している。ガス導入口911に接続されたガス供給部93には、例えばSF6、CF4、C2F6、C4F8等のフッ素系ガスが蓄えられている。
ガス噴出ヘッド91には、整合器94を介して高周波電源95が接続されている。高周波電源95から整合器94を介しガス噴出ヘッド91に高周波電力を供給することで、ガス吐出口912から吐出されたエッチングガスをプラズマ化できる。
プラズマエッチング装置9は、図示しない制御部によりガスの吐出量や時間、高周波電力等の条件が制御される。
プラズマエッチング装置9は、図示しない制御部によりガスの吐出量や時間、高周波電力等の条件が制御される。
チャンバ92の底には排気口96が形成されており、この排気口96には排気装置97が接続されており、チャンバ92内部を減圧し真空雰囲気とすることができる。また、チャンバ92の側部には、搬入出口920と、この搬入出口920を開閉するゲートバルブ921とが設けられている。
チャンバ92内部には、プラズマエッチング中の環状フレームFの加熱防止用のフレーム加熱防止ガード98が配設されている。フレーム加熱防止ガード98は、例えば、エッチングガスに対する耐性を備えるSUS等を環状の平板状に形成したものであり、チャンバ92の内側壁に径方向内側に延出するように配設されている。
ウェーハWをプラズマエッチングでストリートSに沿ってエッチングするにあたり、例えば、SF6ガスによるプラズマエッチングとC4F8ガスによる溝側壁等に対する保護膜堆積(デポジション)とを交互に繰り返すボッシュ法を採用する。なお、SF6ガス単体によるプラズマエッチングでウェーハWを分割してもよい。
まず、搬入出口920からウェーハWをチャンバ92内に搬入し、マスクJ1側を上側に向けてウェーハWを保持手段90の保持面90a上に載置する。そして、ゲートバルブ921を閉じ、排気装置97によりチャンバ92内を真空雰囲気となるように減圧する。ウェーハWを支持する環状フレームFの上方は、フレーム加熱防止ガード98で覆われる。
ガス噴出ヘッド91を所定高さ位置まで下降させ、ガス供給部93からSF6ガスをチャンバ92内に供給させる。また、高周波電源95からガス噴出ヘッド91に高周波電力を印加して、ガス噴出ヘッド91と保持手段90との間に高周波電界を生じさせ、SF6ガスをプラズマ化させる。これに並行して、電極901にバイアス高周波電源95aから電圧を印加して、保持手段90の保持面90aとウェーハWとの間に誘電分極現象を発生させ、電荷の分極により生じる静電吸着力でウェーハWを保持面90a上で吸着保持する。
プラズマ化したSF6ガスは、ウェーハWの表面WaのマスクJ1が形成されている領域はほとんどエッチングせず、ウェーハWのストリートSに対応する領域を等方性エッチングしていく。プラズマ化したSF6ガスによる環状フレームFに対する熱影響は、フレーム加熱防止ガード98によって抑えられる。
次に、ガス供給部93からC4F8ガスをガス拡散空間910に供給し、ガス吐出口912から下方に噴出させる。高周波電源95からガス噴出ヘッド91に高周波電力を印加し、さらに、電極901にバイアス高周波電源95aから高周波電力を印加して、C4F8ガスをプラズマ化させ、プラズマ化したSF6ガスによる等方性エッチングで形成されたエッチング溝の側壁と底とに保護膜(フルオロカーボン膜)を堆積させる。
再び、SF6ガスをチャンバ92内に供給しプラズマ化させ、エッチング溝の底の保護膜のみを除去する異方性エッチングを行い、次いで、エッチング溝の底に露出したウェーハWの等方性エッチングを再び行う。上記等方性エッチングと保護膜堆積と異方性エッチングとを1サイクルとし、例えば数十サイクル実施して、ウェーハWの垂直な深掘りを高速かつ所望のアスペクト比で実現し、ストリートSに沿った格子状のエッチング溝をウェーハWに形成していく。
再び、SF6ガスをチャンバ92内に供給しプラズマ化させ、エッチング溝の底の保護膜のみを除去する異方性エッチングを行い、次いで、エッチング溝の底に露出したウェーハWの等方性エッチングを再び行う。上記等方性エッチングと保護膜堆積と異方性エッチングとを1サイクルとし、例えば数十サイクル実施して、ウェーハWの垂直な深掘りを高速かつ所望のアスペクト比で実現し、ストリートSに沿った格子状のエッチング溝をウェーハWに形成していく。
ウェーハWの裏面Wb側の金属膜W2はストリートSに沿って既に除去されているので、ウェーハWはストリートSに沿って基板W1が切断されて図11に示す複数のチップCに分割される。その後、チャンバ92内へのエッチングガス等の導入及びガス噴出ヘッド91への高周波電力の供給を停止し、また、チャンバ92内のエッチングガスを排気口96から排気装置97に排気し、チャンバ92内部にエッチングガスが存在しない状態とする。
なお、マスクJ1が水溶性樹脂からなるものでない場合(例えば、レジスト膜である場合)には、例えば、プラズマエッチング装置9によるアッシングによりマスクJ1をチップCから除去してもよい。
本実施形態におけるプラズマエッチングステップでは、ウェーハWの表面WaにストリートSに沿った開口を有したマスクJ1を配設するとともにマスクJ1を介して表面Waからプラズマエッチングを施すことで、デバイスDがエッチングで損傷しないようにしつつ、ウェーハWをチップCに分割することが可能となる。
チップCに分割されたウェーハWは、例えば、図11に示すようにスピンコータ4に搬送される。(5−1)プラズマエッチングステップにおける保護膜層Jの形成において使用したスピンコータ4は、ウェーハWの表面Wa上からマスクJ1を洗浄除去する役割を果たすことが可能である。なお、ウェーハWは、スピンコータ4とは別の洗浄装置によってマスクJ1が洗浄除去されるものとしてもよい。
例えば、図11に示すように、ケーシング44内には、洗浄水を噴射する洗浄水ノズル46が配設されている。側面視略L字状の洗浄水ノズル46は、ケーシング44の底板441から立設しており、先端部分に形成された噴射口460は下方に向いている。洗浄水ノズル46は、Z軸方向の軸心周りに旋回可能となっており、洗浄水(例えば、純水)を蓄えた洗浄水供給源48に配管48a及びロータリージョイントを介して連通している。
まず、マスクJ1が上方に向かって露出した状態でウェーハWが保持テーブル40で吸引保持された状態になる。また、各固定クランプ401によって環状フレームFが固定される。ウェーハWを吸引保持する保持テーブル40がケーシング44内における噴射高さ位置まで降下した後、洗浄水ノズル46が旋回移動し噴射口460がウェーハWの中央領域上方に位置付けられ、噴射口460からウェーハWの中央部に向かって洗浄水が噴射される。また、保持テーブル40がZ軸方向の軸心周りに回転する。
水溶性樹脂からなるマスクJ1が洗浄水により溶解し、遠心力によって洗浄水と共にウェーハWの表面Wa上を外側に向かって流れていき、マスクJ1がウェーハWの表面Wa上から除去され各チップCのデバイスDが露出した状態になる。
以上説明してきたように、本発明に係るウェーハWの加工方法は、ストリートSに対応した位置の金属膜W2を除去する前に、ウェーハWの外周縁に沿って金属膜W2を除去した金属膜除去領域W2dを形成する。そして、ストリートSに対応した位置の金属膜W2を除去する際には、ウェーハWを透過する波長の撮像光(例えば赤外線)に感度がある赤外線カメラ143を利用して金属膜除去領域W2dを介してウェーハWの表面Wa側を撮像し、ストリートSの位置を検出できる。そして、検出したストリートSに対応した位置の裏面Wb側の金属膜W2を切削等によって除去でき、裏面Wbに金属膜W2が形成されたウェーハWをプラズマエッチングでチップCに分割できる。
(実施形態2)
以下に、本発明に係る加工方法(以下、実施形態2の加工方法とする)を実施して図1に示すウェーハWをデバイスDを備えるチップへと分割する場合の、実施形態2の加工方法の各ステップについて説明していく。
以下に、本発明に係る加工方法(以下、実施形態2の加工方法とする)を実施して図1に示すウェーハWをデバイスDを備えるチップへと分割する場合の、実施形態2の加工方法の各ステップについて説明していく。
(1)マスク層配設ステップ
本実施形態2において、ウェーハWには、図12に示すように表面Waに表面保護テープT1が貼着される。表面保護テープT1は、ウェーハWと略同径の円形のテープである。
次いで、金属膜除去領域形成ステップを実施する前に、ウェーハWは、例えば、図13に示すように裏面Wb全面にマスク層T3が配設される。マスク層T3の形成は、例えば、図示しないテープマウンタによってレジストシートが裏面Wbに貼着されることでなされる。なお、例えば、図8に示すスピンコータ4を用いてウェーハWの裏面Wbに液状樹脂等の保護膜剤を塗布してマスク層T3を形成してもよい。
本実施形態2において、ウェーハWには、図12に示すように表面Waに表面保護テープT1が貼着される。表面保護テープT1は、ウェーハWと略同径の円形のテープである。
次いで、金属膜除去領域形成ステップを実施する前に、ウェーハWは、例えば、図13に示すように裏面Wb全面にマスク層T3が配設される。マスク層T3の形成は、例えば、図示しないテープマウンタによってレジストシートが裏面Wbに貼着されることでなされる。なお、例えば、図8に示すスピンコータ4を用いてウェーハWの裏面Wbに液状樹脂等の保護膜剤を塗布してマスク層T3を形成してもよい。
(2)金属膜除去領域形成ステップ
次いで、ウェーハWは、例えば、図14に示す切削装置1に搬送される。切削装置1において、実施形態1の場合と略同様に可視光照射手段140及びカメラ141を用いたアライメント手段14によるエッジアライメント、並びに切削ブレード113による金属膜W2の切削を行い、ウェーハWの裏面Wbの外周の金属膜W2を除去して図15に示す環状の金属膜除去領域W2dを形成する。なお、本実施形態2においては、マスク層T3も金属膜W2と共に切削により除去する。
次いで、ウェーハWは、例えば、図14に示す切削装置1に搬送される。切削装置1において、実施形態1の場合と略同様に可視光照射手段140及びカメラ141を用いたアライメント手段14によるエッジアライメント、並びに切削ブレード113による金属膜W2の切削を行い、ウェーハWの裏面Wbの外周の金属膜W2を除去して図15に示す環状の金属膜除去領域W2dを形成する。なお、本実施形態2においては、マスク層T3も金属膜W2と共に切削により除去する。
(3)保持ステップ〜(4)ストリート位置検出ステップ
ウェーハWは、図15に示すように、表面Wa側が保持テーブル10で保持されマスク層T3が露出した状態が維持される。そして、実施形態1の場合と略同様に、アライメント手段14の赤外線照射手段142が、ウェーハWの裏面Wb側から赤外線をウェーハWの金属膜除去領域W2dに照射してウェーハWを透過させて、赤外線カメラ143が表面Waの外周余剰領域Wa2のストリートSの写った撮像画像を形成する。その後、アライメント手段14がパターンマッチング等の画像処理を実行し、ストリートSの位置が検出される。
ウェーハWは、図15に示すように、表面Wa側が保持テーブル10で保持されマスク層T3が露出した状態が維持される。そして、実施形態1の場合と略同様に、アライメント手段14の赤外線照射手段142が、ウェーハWの裏面Wb側から赤外線をウェーハWの金属膜除去領域W2dに照射してウェーハWを透過させて、赤外線カメラ143が表面Waの外周余剰領域Wa2のストリートSの写った撮像画像を形成する。その後、アライメント手段14がパターンマッチング等の画像処理を実行し、ストリートSの位置が検出される。
(5)金属膜除去ステップ
本実施形態2における金属膜除去ステップでは、マスク層T3とともに金属膜W2をストリートSに沿って除去することでマスクを形成する。ストリート位置検出ステップにおいて検出された各ストリートSの位置情報に基づき、図16に示すように、切削すべきストリートSと切削ブレード117とのY軸方向(割り出し送り方向)における位置合わせが行われる。
本実施形態2における金属膜除去ステップでは、マスク層T3とともに金属膜W2をストリートSに沿って除去することでマスクを形成する。ストリート位置検出ステップにおいて検出された各ストリートSの位置情報に基づき、図16に示すように、切削すべきストリートSと切削ブレード117とのY軸方向(割り出し送り方向)における位置合わせが行われる。
ウェーハWを保持する保持テーブル10が所定の切削送り速度で図16に示すように−X方向に送り出される。また、切削ブレード117が例えば−Y方向側(紙面手前側)から見て時計回り方向に高速回転する。さらに、切削ブレード117の最下端が金属膜W2を完全に切断しかつ基板W1に切り込まない又は僅かに切り込む高さ位置まで切削手段11が下降する。高速回転する切削ブレード117がウェーハWに切り込み、ストリートSに沿ってストリートSに対応する金属膜W2をマスク層T3と共に切削除去していく。
隣り合うストリートSの間隔ずつ切削ブレード117をY軸方向に割り出し送りしながら同様の切削を行い、同方向の全てのストリートSに対応する金属膜W2を除去していく。さらに、保持テーブル10を90度回転させてから同様の切削を行うと、全てのストリートSに沿って金属膜W2が縦横に除去される。また、図17に示すように、ウェーハWの表面WaのストリートSに対応する領域以外の裏面Wbの領域に、マスクJ2が形成された状態になる。なお、レーザビーム照射によるストリートSに沿ったマスク層T3及び金属膜W2のグルービングによる除去で、マスクJ2を形成してもよい。
(6)プラズマエッチングステップ
金属膜除去ステップを実施した後、ウェーハWをプラズマエッチングでストリートSに沿ってエッチングする。本実施形態2においては、ウェーハWの裏面WbからマスクJ2を介してプラズマエッチングを施す。
マスクJ2が形成されたウェーハWは、図17に示すプラズマエッチング装置9に搬送され、裏面Wb側のマスクJ2側を上側に向けてウェーハWを保持手段90の保持面90a上に載置する。そして、ゲートバルブ921を閉じ、排気装置97によりチャンバ92内を真空雰囲気となるように減圧する。
金属膜除去ステップを実施した後、ウェーハWをプラズマエッチングでストリートSに沿ってエッチングする。本実施形態2においては、ウェーハWの裏面WbからマスクJ2を介してプラズマエッチングを施す。
マスクJ2が形成されたウェーハWは、図17に示すプラズマエッチング装置9に搬送され、裏面Wb側のマスクJ2側を上側に向けてウェーハWを保持手段90の保持面90a上に載置する。そして、ゲートバルブ921を閉じ、排気装置97によりチャンバ92内を真空雰囲気となるように減圧する。
プラズマエッチングは、例えば実施形態1と同様にボッシュ法を採用する。そして、プラズマ化したエッチングガスにより、ストリートSに沿った格子状のエッチング溝をウェーハWに形成していく。ウェーハWの裏面Wb側の金属膜W2はストリートSに沿って除去されているので、ウェーハWはストリートSに沿って基板W1が切断されて複数のチップに分割される。その後、チャンバ92内へのエッチングガス等の導入等を停止し、チャンバ92内部にエッチングガスが存在しない状態とする。
その後、例えば、プラズマエッチング装置9によるアッシング(灰化)によりマスクJ2をチップから除去する。なお、マスクJ2の除去は、例えば、ウェーハWをプラズマエッチング装置9から搬出した後、所定薬剤を用いたウェット処理で行ってもよい。
上記のように本発明に係るウェーハWの加工方法は、ストリートSに対応した位置の金属膜W2を除去する前に、ウェーハWの外周縁に沿って金属膜W2を除去した金属膜除去領域W2dを形成する。そして、ストリートSに対応した位置の金属膜W2を除去する際には、ウェーハWを透過する波長の撮像光(例えば赤外線)に感度がある赤外線カメラ143を利用して金属膜除去領域W2dを介してウェーハWの表面Wa側を撮像し、ストリートSの位置を検出できる。そして、検出したストリートSに対応した位置の裏面Wb側の金属膜W2を切削等によって除去でき、裏面Wbに金属膜W2が形成されたウェーハWをプラズマエッチングでチップに分割できる。
また、本実施形態2においては、金属膜除去領域形成ステップを実施する前にウェーハWの裏面Wbにマスク層T3を配設するマスク層配設ステップを備え、金属膜除去ステップではマスク層T3とともに金属膜W2をストリートSに沿って除去することでマスクJ2を形成し、プラズマエッチングステップでは、ウェーハWの裏面WbからマスクJ2を介してプラズマエッチングを施すことで、デバイスDがエッチングで損傷しないようにしつつ、ウェーハWをチップに分割することが可能となる。また、プラズマエッチング時に起こり得る金属膜W2の銅等によるプラズマエッチング装置9のチャンバ92内の金属汚染は、金属膜W2上に形成されたマスクJ2によって金属膜W2がエッチングされないため防ぐことができる。
なお、金属膜W2を構成する金属が金属汚染を発生させる種でない場合には、マスクJ2を金属膜W2上に形成せずに、金属膜W2自体をプラズマエッチング用のマスクとしてもよい。
なお、金属膜W2を構成する金属が金属汚染を発生させる種でない場合には、マスクJ2を金属膜W2上に形成せずに、金属膜W2自体をプラズマエッチング用のマスクとしてもよい。
(実施形態3)
以下に、本発明に係る加工方法(以下、実施形態3の加工方法とする)を実施して図1に示すウェーハWをデバイスDを備えるチップへと分割する場合の、実施形態3の加工方法の各ステップについて説明していく。
以下に、本発明に係る加工方法(以下、実施形態3の加工方法とする)を実施して図1に示すウェーハWをデバイスDを備えるチップへと分割する場合の、実施形態3の加工方法の各ステップについて説明していく。
(1)金属膜除去領域形成ステップ
本実施形態3における金属膜除去領域形成ステップは、実施形態1の場合と同様に行われる。即ち、ウェーハWには、まず、図18に示すように表面Waに表面保護テープT1が貼着される。
本実施形態3における金属膜除去領域形成ステップは、実施形態1の場合と同様に行われる。即ち、ウェーハWには、まず、図18に示すように表面Waに表面保護テープT1が貼着される。
次いで、ウェーハWは、例えば、図19に示す切削装置1に搬送される。切削装置1において、実施形態1の場合と同様に、可視光照射手段140及びカメラ141を用いたアライメント手段14によるエッジアライメント、並びに切削ブレード113を備える切削手段11によるウェーハWの裏面Wbの外周の金属膜W2の除去が実行され、図20に示す環状の金属膜除去領域W2dがウェーハWに形成される。
(2)マスク層配設ステップ
金属膜除去領域形成ステップを実施した後に、ウェーハWは、例えば、図20に示すように裏面Wb全面にマスク層T4が配設される。マスク層T4の形成は、例えば、図20に示すスピンコータ4を用いてウェーハWの裏面Wbに水溶性樹脂等からなる保護膜剤を塗布してマスク層T4を形成する。
金属膜除去領域形成ステップを実施した後に、ウェーハWは、例えば、図20に示すように裏面Wb全面にマスク層T4が配設される。マスク層T4の形成は、例えば、図20に示すスピンコータ4を用いてウェーハWの裏面Wbに水溶性樹脂等からなる保護膜剤を塗布してマスク層T4を形成する。
(3)保持ステップ〜(4)ストリート位置検出ステップ
マスク層T4が形成されたウェーハWは、例えば、図21に示す切削装置1に搬送される。そして、表面Wa側が保持テーブル10で保持され裏面Wb側のマスク層T4が露出した状態になる。そして、実施形態2の場合と略同様に、アライメント手段14の赤外線照射手段142が、ウェーハWの裏面Wb側から赤外線をウェーハWの金属膜除去領域W2dに照射してウェーハWを透過させて、赤外線カメラ143が表面Waの外周余剰領域Wa2のストリートSの写った撮像画像を形成する。その後、アライメント手段14がパターンマッチング等の画像処理を実行し、ストリートSの位置が検出される。
ここで、金属膜除去領域W2d上にマスク層T4が形成されていても、赤外線は水溶性樹脂等からなるマスク層T4を透過し、さらに、金属膜除去領域W2dは、金属膜W2が無い為、赤外線が金属膜W2に反射されたり吸収されたりすることなく、ストリートSの撮像を適切に行うことができる。
マスク層T4が形成されたウェーハWは、例えば、図21に示す切削装置1に搬送される。そして、表面Wa側が保持テーブル10で保持され裏面Wb側のマスク層T4が露出した状態になる。そして、実施形態2の場合と略同様に、アライメント手段14の赤外線照射手段142が、ウェーハWの裏面Wb側から赤外線をウェーハWの金属膜除去領域W2dに照射してウェーハWを透過させて、赤外線カメラ143が表面Waの外周余剰領域Wa2のストリートSの写った撮像画像を形成する。その後、アライメント手段14がパターンマッチング等の画像処理を実行し、ストリートSの位置が検出される。
ここで、金属膜除去領域W2d上にマスク層T4が形成されていても、赤外線は水溶性樹脂等からなるマスク層T4を透過し、さらに、金属膜除去領域W2dは、金属膜W2が無い為、赤外線が金属膜W2に反射されたり吸収されたりすることなく、ストリートSの撮像を適切に行うことができる。
(5)金属膜除去ステップ
本実施形態3における金属膜除去ステップでは、マスク層T4とともに金属膜W2をストリートSに沿って除去することでマスクを形成する。ストリート位置検出ステップにおいて検出された各ストリートSの位置情報に基づき、実施形態2の場合と略同様に、高速回転する切削ブレード117がウェーハWに切り込み、ストリートSに沿ってストリートSに対応する金属膜W2をマスク層T4と共に切削除去していく。その結果、図22に示すように、ウェーハWの表面WaのストリートSに対応する領域以外の裏面Wbの領域にマスクJ3が形成された状態になる。なお、レーザビーム照射によるストリートSに沿ったマスク層T4と金属膜W2とのグルービング除去により、上記マスクを形成してもよい。
本実施形態3における金属膜除去ステップでは、マスク層T4とともに金属膜W2をストリートSに沿って除去することでマスクを形成する。ストリート位置検出ステップにおいて検出された各ストリートSの位置情報に基づき、実施形態2の場合と略同様に、高速回転する切削ブレード117がウェーハWに切り込み、ストリートSに沿ってストリートSに対応する金属膜W2をマスク層T4と共に切削除去していく。その結果、図22に示すように、ウェーハWの表面WaのストリートSに対応する領域以外の裏面Wbの領域にマスクJ3が形成された状態になる。なお、レーザビーム照射によるストリートSに沿ったマスク層T4と金属膜W2とのグルービング除去により、上記マスクを形成してもよい。
(6)プラズマエッチングステップ
金属膜除去ステップを実施後、ウェーハWをプラズマエッチングでストリートSに沿ってエッチングする。本実施形態3においては、ウェーハWの裏面WbからマスクJ3を介してプラズマエッチングを施す。
マスクJ3が形成されたウェーハWは、図22に示すプラズマエッチング装置9に搬送され、マスクJ3側を上側に向けてウェーハWを保持手段90の保持面90a上に載置される。そして、ゲートバルブ921を閉じ、排気装置97によりチャンバ92内を真空雰囲気となるように減圧する。
金属膜除去ステップを実施後、ウェーハWをプラズマエッチングでストリートSに沿ってエッチングする。本実施形態3においては、ウェーハWの裏面WbからマスクJ3を介してプラズマエッチングを施す。
マスクJ3が形成されたウェーハWは、図22に示すプラズマエッチング装置9に搬送され、マスクJ3側を上側に向けてウェーハWを保持手段90の保持面90a上に載置される。そして、ゲートバルブ921を閉じ、排気装置97によりチャンバ92内を真空雰囲気となるように減圧する。
プラズマエッチングは、例えば実施形態1と同様にボッシュ法を採用する。そして、ウェーハWの裏面Wb側の金属膜W2はストリートSに沿って除去されているので、プラズマ化したエッチングガスにより、ウェーハWはストリートSに沿って基板W1が切断されて複数のチップに分割される。その後、チャンバ92内へのエッチングガス等の導入等を停止し、また、チャンバ92内部にエッチングガスが存在しない状態とする。
その後、例えば、プラズマエッチング装置9によるアッシング(灰化)又は図11にスピンコータ4による洗浄によって、ウェーハWからマスクJ3を除去する。
上記のように本発明に係るウェーハWの加工方法は、ストリートSに対応した位置の金属膜W2を除去する前に、ウェーハWの外周縁に沿って金属膜W2を除去した金属膜除去領域W2dを形成する。そして、ストリートSに対応した位置の金属膜W2を除去する際には、ウェーハWを透過する波長の撮像光(例えば赤外線)に感度がある赤外線カメラ143を利用して金属膜除去領域W2dを介してウェーハWの表面Wa側を撮像し、ストリートSの位置を検出できる。そして、検出したストリートSに対応した位置の裏面Wb側の金属膜W2を切削等によって除去でき、裏面Wbに金属膜W2が形成されたウェーハWをプラズマエッチングでチップに分割できる。
また、本実施形態3においては、金属膜除去領域形成ステップを実施した後にウェーハWの裏面Wbにマスク層T4を配設するマスク層配設ステップを備え、金属膜除去ステップではマスク層T4とともに金属膜W2をストリートSに沿って除去することでマスクJ3を形成し、プラズマエッチングステップでは、ウェーハWの裏面WbからマスクJ3を介してプラズマエッチングを施すことで、デバイスDがエッチングで損傷しないようにしつつ、ウェーハWをチップに分割することが可能となる。また、プラズマエッチング時に起こり得る金属膜W2の銅等によるプラズマエッチング装置9のチャンバ92内の金属汚染は、金属膜W2上に形成されたマスクJ3によって金属膜W2がエッチングされないため防ぐことができる。
なお、金属膜W2を構成する金属が金属汚染を発生させる種類のものでない場合には、マスクJ3を金属膜W2上に形成せずに、金属膜W2自体をプラズマエッチング用のマスクとしてもよい。
なお、金属膜W2を構成する金属が金属汚染を発生させる種類のものでない場合には、マスクJ3を金属膜W2上に形成せずに、金属膜W2自体をプラズマエッチング用のマスクとしてもよい。
本発明に係るウェーハの加工方法は本実施形態1〜3に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている各装置の構成についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
W:ウェーハ W1:基板 Wa:ウェーハの表面 Wa1:デバイス領域 Wa2:外周余剰領域 S:ストリート D:デバイス W2:金属膜 Wb:ウェーハの裏面 T1:表面保護テープ
1:切削装置 10:保持テーブル 11:切削手段 110:スピンドル 113:切削ブレード 14:アライメント手段 140:可視光照射手段 141:カメラ 142:赤外線照射手段 143:赤外線カメラ 117:切削ブレード
F:環状フレーム T2:粘着シート
4:スピンコータ 40:保持テーブル 42:回転手段 44:ケーシング
45:ノズル 47:保護膜剤供給源 46:洗浄ノズル 48:洗浄水供給源
J:保護膜層
2:レーザ加工装置 20:チャックテーブル 22:レーザビーム照射手段
J1:マスク
9:プラズマエッチング装置
90:静電チャック 90a:静電チャックの保持面 900:支持部材 901:電極
91:ガス噴出ヘッド 910:ガス拡散空間 911:ガス導入口
912:ガス吐出口
92:チャンバ 920:搬入出口 921:ゲートバルブ
93:ガス供給部 94,94a:整合器 95,95a:高周波電源,バイアス高周波電源 96:排気口 97:排気装置
T3:マスク層 J2:マスク T4:マスク層 J3:マスク
1:切削装置 10:保持テーブル 11:切削手段 110:スピンドル 113:切削ブレード 14:アライメント手段 140:可視光照射手段 141:カメラ 142:赤外線照射手段 143:赤外線カメラ 117:切削ブレード
F:環状フレーム T2:粘着シート
4:スピンコータ 40:保持テーブル 42:回転手段 44:ケーシング
45:ノズル 47:保護膜剤供給源 46:洗浄ノズル 48:洗浄水供給源
J:保護膜層
2:レーザ加工装置 20:チャックテーブル 22:レーザビーム照射手段
J1:マスク
9:プラズマエッチング装置
90:静電チャック 90a:静電チャックの保持面 900:支持部材 901:電極
91:ガス噴出ヘッド 910:ガス拡散空間 911:ガス導入口
912:ガス吐出口
92:チャンバ 920:搬入出口 921:ゲートバルブ
93:ガス供給部 94,94a:整合器 95,95a:高周波電源,バイアス高周波電源 96:排気口 97:排気装置
T3:マスク層 J2:マスク T4:マスク層 J3:マスク
Claims (4)
- 表面に複数のストリートを有し、裏面に金属膜が形成されたウェーハの加工方法であって、
ウェーハの該裏面の外周の該金属膜を除去して金属膜除去領域を形成する金属膜除去領域形成ステップと、
該金属膜除去領域形成ステップを実施した後、ウェーハの表面側を保持テーブルで保持してウェーハの該裏面を露出させる保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該金属膜除去領域でウェーハの該裏面側からウェーハを透過してウェーハの該表面側を撮像して該表面の該ストリートの位置を検出するストリート位置検出ステップと、
該ストリート位置検出ステップを実施した後、該ストリートに沿って該金属膜を除去する金属膜除去ステップと、
該金属膜除去ステップを実施した後、ウェーハをプラズマエッチングで該ストリートに沿ってエッチングするプラズマエッチングステップと、を備えたウェーハの加工方法。 - 前記金属膜除去領域形成ステップは、ウェーハの前記裏面から切削ブレードで前記金属膜を切削することで該金属膜を除去する、請求項1に記載のウェーハの加工方法。
- 前記プラズマエッチングステップでは、ウェーハの前記表面に前記ストリートに沿った開口を有したマスクを配設するとともに該マスクを介して該表面からプラズマエッチングを施す、請求項1または2に記載のウェーハの加工方法。
- 前記金属膜除去領域形成ステップを実施する前または実施した後にウェーハの前記裏面にマスク層を配設するマスク層配設ステップを備え、
前記金属膜除去ステップでは該マスク層とともに前記金属膜を前記ストリートに沿って除去することでマスクを形成し、
前記プラズマエッチングステップでは、ウェーハの該裏面から該マスクを介してプラズマエッチングを施す、請求項1または2に記載のウェーハの加工方法。
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Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015159241A (ja) * | 2014-02-25 | 2015-09-03 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
US20170092540A1 (en) * | 2015-09-30 | 2017-03-30 | Nxp B.V. | Plasma dicing with blade saw patterned underside mask |
JP2018041935A (ja) * | 2016-09-09 | 2018-03-15 | 株式会社ディスコ | 分割方法 |
JP2018041765A (ja) * | 2016-09-05 | 2018-03-15 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP2018041896A (ja) * | 2016-09-09 | 2018-03-15 | 株式会社ディスコ | 積層ウェーハの加工方法 |
JP2018190857A (ja) * | 2017-05-09 | 2018-11-29 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
-
2019
- 2019-01-10 JP JP2019002487A patent/JP2020113614A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015159241A (ja) * | 2014-02-25 | 2015-09-03 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
US20170092540A1 (en) * | 2015-09-30 | 2017-03-30 | Nxp B.V. | Plasma dicing with blade saw patterned underside mask |
JP2018041765A (ja) * | 2016-09-05 | 2018-03-15 | 株式会社ディスコ | ウエーハの加工方法 |
JP2018041935A (ja) * | 2016-09-09 | 2018-03-15 | 株式会社ディスコ | 分割方法 |
JP2018041896A (ja) * | 2016-09-09 | 2018-03-15 | 株式会社ディスコ | 積層ウェーハの加工方法 |
JP2018190857A (ja) * | 2017-05-09 | 2018-11-29 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
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