JP2020111695A - Resin material and multilayer printed wiring board - Google Patents

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Abstract

To provide a resin material capable of lowering the dielectric loss tangent of a cured product and enhancing plating peel strength.SOLUTION: The resin material according to the present invention contains an epoxy compound and a curing agent. The curing agent contains an active ester compound. The ratio of the total number of epoxy groups of the epoxy compound in the resin material to the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material is 1.2 or more and 1.8 or less. The total number of active ester groups of the active ester compound in the resin material is 70% or more in 100% of the total number of the reactive groups of the curing agent in the resin material.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、エポキシ化合物を含む樹脂材料に関する。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板に関する。 The present invention relates to a resin material containing an epoxy compound. The present invention also relates to a multilayer printed wiring board using the above resin material.

従来、半導体装置、積層板及びプリント配線板等の電子部品を得るために、様々な樹脂材料が用いられている。例えば、多層プリント配線板では、内部の層間を絶縁するための絶縁層を形成したり、表層部分に位置する絶縁層を形成したりするために、樹脂材料が用いられている。上記絶縁層の表面には、一般に金属である配線が積層される。また、上記絶縁層を形成するために、上記樹脂材料がフィルム化された樹脂フィルムが用いられることがある。上記樹脂材料及び上記樹脂フィルムは、ビルドアップフィルムを含む多層プリント配線板用の絶縁材料等として用いられている。 Conventionally, various resin materials have been used to obtain electronic components such as semiconductor devices, laminated boards and printed wiring boards. For example, in a multilayer printed wiring board, a resin material is used to form an insulating layer for insulating the inner layers and to form an insulating layer located on the surface layer portion. Wiring, which is generally metal, is laminated on the surface of the insulating layer. Further, in order to form the insulating layer, a resin film obtained by filmizing the resin material may be used. The resin material and the resin film are used as an insulating material for a multilayer printed wiring board including a build-up film.

下記の特許文献1には、(A)エポキシ樹脂と、(B)シアネートエステル樹脂と、(C)活性エステル硬化剤と、(D)硬化促進剤とを含有する樹脂組成物が開示されている。特許文献1の実施例では、樹脂組成物中のエポキシ樹脂のエポキシ基の合計数が、樹脂組成物中の硬化剤の反応性基の合計数よりも少ない樹脂組成物が用いられている。 Patent Document 1 below discloses a resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) a cyanate ester resin, (C) an active ester curing agent, and (D) a curing accelerator. .. In the example of Patent Document 1, a resin composition in which the total number of epoxy groups of the epoxy resin in the resin composition is smaller than the total number of reactive groups of the curing agent in the resin composition is used.

また、下記の特許文献2には、(A)エポキシ樹脂と、(B)活性エステル化合物と、(C)脂環式構造含有フェノキシ樹脂とを含有するエポキシ樹脂組成物が開示されている。特許文献2の実施例では、エポキシ樹脂組成物中のエポキシ樹脂のエポキシ基の合計数の、エポキシ樹脂組成物中の硬化剤の反応性基の合計数に対する比が1.15未満であるか、又は、硬化剤における反応性基の合計数100%中、活性エステル基の合計数が60%以下である樹脂組成物が用いられている。 In addition, Patent Document 2 below discloses an epoxy resin composition containing (A) an epoxy resin, (B) an active ester compound, and (C) an alicyclic structure-containing phenoxy resin. In the example of Patent Document 2, the ratio of the total number of epoxy groups of the epoxy resin in the epoxy resin composition to the total number of reactive groups of the curing agent in the epoxy resin composition is less than 1.15, Alternatively, a resin composition in which the total number of active ester groups is 60% or less in 100% of the total number of reactive groups in the curing agent is used.

特開2010−285594号公報JP, 2010-285594, A 特開2010−111859号公報JP, 2010-111859, A

樹脂材料の硬化物の誘電正接は低いことが望ましい。しかしながら、誘電正接を低くするように配合設計された樹脂材料を用いて絶縁層を形成した場合には、エッチング後の表面粗度が十分に小さくならないことがある。エッチング後の表面粗度が十分に小さくならない場合には、アンカー効果に寄与する樹脂が部分的に細くなるために絶縁層の強度が十分に高くならず、エッチング後の硬化物(絶縁層)と、該絶縁層の表面上にめっき処理により積層した金属層とのメッキピール強度が十分に高くならないことがある。 It is desirable that the cured product of the resin material has a low dielectric loss tangent. However, when an insulating layer is formed by using a resin material that is designed to have a low dielectric loss tangent, the surface roughness after etching may not be sufficiently reduced. If the surface roughness after etching is not sufficiently low, the resin that contributes to the anchor effect will be partially thinned, so the strength of the insulating layer will not be sufficiently high, and the cured product (insulating layer) after etching will be However, the plating peel strength with the metal layer laminated on the surface of the insulating layer by the plating treatment may not be sufficiently high.

このため、特許文献1,2に記載のような従来の樹脂材料では、硬化物の誘電正接を十分に低くし、かつメッキピール強度を十分に高めることは困難なことがある。 For this reason, it may be difficult to sufficiently lower the dielectric loss tangent of the cured product and sufficiently enhance the plating peel strength with the conventional resin materials described in Patent Documents 1 and 2.

また、近年、情報伝送量の増加に対応したり、高速通信化を達成したりするために、プリント配線板等は多層化、大型化及び微細配線化している。特許文献1,2に記載のような従来の樹脂材料では、硬化物の誘電正接を十分に低くし、かつメッキピール強度を十分に高めることは困難であるため、多層化、大型化及び微細配線化したプリント配線板の絶縁層の材料として好適に用いることができないことがある。 Further, in recent years, in order to cope with an increase in the amount of information transmitted and to achieve high-speed communication, printed wiring boards and the like have become multi-layered, large-sized, and have fine wiring. With the conventional resin materials described in Patent Documents 1 and 2, it is difficult to sufficiently lower the dielectric loss tangent of the cured product and to sufficiently enhance the plating peel strength. It may not be suitable for use as a material for an insulating layer of a printed wiring board that has been made into a thin film.

本発明の目的は、硬化物の誘電正接を低くすることができ、かつメッキピール強度を高めることができる樹脂材料を提供することである。また、本発明は、上記樹脂材料を用いた多層プリント配線板を提供することも目的とする。 An object of the present invention is to provide a resin material which can lower the dielectric loss tangent of a cured product and can enhance the plating peel strength. Another object of the present invention is to provide a multilayer printed wiring board using the above resin material.

本発明の広い局面によれば、エポキシ化合物と、硬化剤とを含み、前記硬化剤が、活性エステル化合物を含み、樹脂材料中の前記エポキシ化合物のエポキシ基の合計数の、樹脂材料中の前記硬化剤の反応性基の合計数に対する比が1.2以上1.8以下であり、樹脂材料中の前記硬化剤の反応性基の合計数100%中、樹脂材料中の前記活性エステル化合物の活性エステル基の合計数が70%以上である、樹脂材料が提供される。 According to a broad aspect of the present invention, an epoxy compound and a curing agent, wherein the curing agent contains an active ester compound, the total number of epoxy groups of the epoxy compound in the resin material, The ratio of the reactive group of the curing agent to the total number of reactive groups is 1.2 or more and 1.8 or less, and 100% of the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material accounts for 100% of the active ester compound in the resin material. Provided is a resin material having a total number of active ester groups of 70% or more.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記エポキシ化合物が、エポキシ基を3個以上有するエポキシ化合物を含み、前記エポキシ化合物100重量%中、前記エポキシ基を3個以上有するエポキシ化合物の含有量が3重量%以上である。 In a specific aspect of the resin material according to the present invention, the epoxy compound contains an epoxy compound having 3 or more epoxy groups, and the epoxy compound having 3 or more epoxy groups is contained in 100% by weight of the epoxy compound. The amount is 3% by weight or more.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、硬化促進剤を含み、前記硬化促進剤が、イミダゾール化合物である。 In one specific aspect of the resin material according to the present invention, the resin material contains a curing accelerator, and the curing accelerator is an imidazole compound.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、無機充填材を含み、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が60重量%以上である。 In one specific aspect of the resin material according to the present invention, the resin material contains an inorganic filler, and the content of the inorganic filler is 60% by weight or more in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material. is there.

本発明に係る樹脂材料のある特定の局面では、前記樹脂材料は、樹脂フィルムである。 In one specific aspect of the resin material according to the present invention, the resin material is a resin film.

本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material according to the present invention is suitably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

本発明の広い局面によれば、回路基板と、前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、上述した樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板が提供される。 According to a wide aspect of the present invention, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on a surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers, the plurality of insulating layers Provided is a multilayer printed wiring board, in which at least one layer is a cured product of the above resin material.

本発明に係る樹脂材料は、エポキシ化合物と、硬化剤とを含み、上記硬化剤が、活性エステル化合物を含む。本発明に係る樹脂材料では、上記樹脂材料中の上記エポキシ化合物のエポキシ基の合計数の、上記樹脂材料中の上記硬化剤の反応性基の合計数に対する比が1.2以上1.8以下であり、上記樹脂材料中の上記硬化剤の反応性基の合計数100%中、上記樹脂材料中の上記活性エステル化合物の活性エステル基の合計数が70%以上である。本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、硬化物の誘電正接を低くすることができ、かつメッキピール強度を高めることができる。 The resin material according to the present invention contains an epoxy compound and a curing agent, and the curing agent contains an active ester compound. In the resin material according to the present invention, the ratio of the total number of epoxy groups of the epoxy compound in the resin material to the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material is 1.2 or more and 1.8 or less. The total number of active ester groups of the active ester compound in the resin material is 70% or more in 100% of the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material. Since the resin material according to the present invention is provided with the above configuration, the dielectric loss tangent of the cured product can be lowered and the plating peel strength can be increased.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明に係る樹脂材料は、エポキシ化合物と、硬化剤とを含み、上記硬化剤が、活性エステル化合物を含む。本発明に係る樹脂材料では、上記樹脂材料中の上記エポキシ化合物のエポキシ基の合計数の、上記樹脂材料中の上記硬化剤の反応性基の合計数に対する比が1.2以上1.8以下であり、上記樹脂材料中の上記硬化剤の反応性基の合計数100%中、上記樹脂材料中の上記活性エステル化合物の活性エステル基の合計数が70%以上である。 The resin material according to the present invention contains an epoxy compound and a curing agent, and the curing agent contains an active ester compound. In the resin material according to the present invention, the ratio of the total number of epoxy groups of the epoxy compound in the resin material to the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material is 1.2 or more and 1.8 or less. The total number of active ester groups of the active ester compound in the resin material is 70% or more in 100% of the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material.

上記反応性基とは、エポキシ基と反応可能な官能基を意味する。 The reactive group means a functional group capable of reacting with an epoxy group.

本発明に係る樹脂材料では、上記の構成が備えられているので、硬化物の誘電正接を低くすることができ、かつメッキピール強度を高めることができる。本発明に係る樹脂材料は、多層化、大型化及び微細配線化したプリント配線板の絶縁層の材料として好適に用いることができる。 Since the resin material according to the present invention is provided with the above configuration, the dielectric loss tangent of the cured product can be lowered and the plating peel strength can be increased. INDUSTRIAL APPLICABILITY The resin material according to the present invention can be suitably used as a material for an insulating layer of a printed wiring board having a multilayer structure, a large size, and fine wiring.

本発明に係る樹脂材料では、上記樹脂材料中の上記エポキシ化合物のエポキシ基の合計数の、上記樹脂材料中の上記硬化剤の反応性基の合計数に対する比(エポキシ化合物のエポキシ基の合計数/硬化剤の反応性基の合計数)(以下、比(X)と記載することがある)が1.2以上1.8以下である。このため、本発明に係る樹脂材料では、エポキシ化合物と硬化剤との共重合反応に加えて、エポキシ化合物の自己重合反応が効果的に進行する。エポキシ化合物の自己重合反応時において水酸基は発生しないため、得られる硬化物の誘電正接を低くすることができる。また、エポキシ化合物の自己重合物を含む硬化物では、エッチングを良好に行うことができ、その結果、メッキピール強度を高めることができる。なお、上記比(X)が1.2未満であると、メッキピール強度が低下することがある。また、上記比(X)が1.8を超えると、誘電正接を十分に低くすることができないことがある。 In the resin material according to the present invention, the ratio of the total number of epoxy groups of the epoxy compound in the resin material to the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material (the total number of epoxy groups of the epoxy compound /Total number of reactive groups of curing agent) (hereinafter sometimes referred to as ratio (X)) is 1.2 or more and 1.8 or less. Therefore, in the resin material according to the present invention, the self-polymerization reaction of the epoxy compound effectively proceeds in addition to the copolymerization reaction of the epoxy compound and the curing agent. Since no hydroxyl group is generated during the self-polymerization reaction of the epoxy compound, the dielectric loss tangent of the obtained cured product can be lowered. Further, with a cured product containing a self-polymerized product of an epoxy compound, etching can be favorably performed, and as a result, the plating peel strength can be increased. If the ratio (X) is less than 1.2, the plating peel strength may decrease. If the ratio (X) exceeds 1.8, the dielectric loss tangent may not be sufficiently lowered.

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記比(X)は、好ましくは1.25以上、好ましくは1.7以下、より好ましくは1.6以下である。 From the viewpoint of more effectively exerting the effect of the present invention, the ratio (X) is preferably 1.25 or more, preferably 1.7 or less, and more preferably 1.6 or less.

本発明に係る樹脂材料では、上記樹脂材料中の上記硬化剤の反応性基の合計数100%中、上記樹脂材料中の上記活性エステル化合物の活性エステル基の合計数(以下、合計数(Y)と記載することがある)が70%以上である。本発明に係る樹脂材料では、上記樹脂組成物中の上記活性エステル化合物の活性エステル基の合計数が比較的多い。このため、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができ、かつメッキピール強度をより一層高めることができる。上記合計数(Y)が70%未満であると、誘電正接を十分に低くし、かつメッキピール強度をより一層高めることは困難である。例えば、硬化剤として、フェノール化合物及びシアネート化合物等の硬化剤(第2の硬化剤)を含み、かつ上記樹脂材料中の上記硬化剤の反応性基の合計数100%中、上記樹脂材料中の上記第2の硬化剤の反応性基の合計数が30%を超える樹脂材料では、第2の硬化剤とエポキシ化合物との共重合反応が早く進行する。このため、エポキシ化合物の自己重合反応が進行しにくく、誘電正接が高くなったり、メッキピール強度が低くなったりすることがある。 In the resin material according to the present invention, the total number of active ester groups of the active ester compound in the resin material is 100% of the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material (hereinafter, the total number (Y )) is 70% or more. In the resin material according to the present invention, the total number of active ester groups of the active ester compound in the resin composition is relatively large. Therefore, the dielectric loss tangent of the cured product can be further reduced, and the plating peel strength can be further enhanced. When the total number (Y) is less than 70%, it is difficult to sufficiently lower the dielectric loss tangent and further enhance the plating peel strength. For example, a curing agent (second curing agent) such as a phenol compound and a cyanate compound is contained as the curing agent, and the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material is 100%, and In the resin material in which the total number of reactive groups of the second curing agent exceeds 30%, the copolymerization reaction between the second curing agent and the epoxy compound proceeds rapidly. For this reason, the self-polymerization reaction of the epoxy compound is less likely to proceed, and the dielectric loss tangent may be increased or the plating peel strength may be decreased.

本発明の効果をより一層効果的に発揮する観点からは、上記合計数(Y)は、好ましくは73%以上、より好ましくは75%以上である。上記合計数(Y)の上限は特に限定されない。上記合計数(Y)は、100%(全個数)であってもよく、90%以下であってもよい。 From the viewpoint of more effectively exerting the effects of the present invention, the total number (Y) is preferably 73% or more, more preferably 75% or more. The upper limit of the total number (Y) is not particularly limited. The total number (Y) may be 100% (total number) or 90% or less.

上記比(エポキシ化合物のエポキシ基の合計数/硬化剤の反応性基の合計数)(比(X))は、以下のようにして求めることができる。 The above ratio (total number of epoxy groups of epoxy compound/total number of reactive groups of curing agent) (ratio (X)) can be determined as follows.

例えば、上記樹脂材料が、上記樹脂材料100重量%中、エポキシ当量がAg/eqであるエポキシ化合物をB重量%含み、かつ、反応性基の当量がCg/eqである硬化剤をD重量%含む場合には、下記式(11)により、上記比(X)(エポキシ化合物のエポキシ基の合計数/硬化剤の反応性基の合計数)が求められる。 For example, the resin material contains B% by weight of an epoxy compound having an epoxy equivalent of Ag/eq in 100% by weight of the resin material, and D% by weight of a curing agent having a reactive group equivalent of Cg/eq. When it is included, the ratio (X) (the total number of epoxy groups of the epoxy compound/the total number of reactive groups of the curing agent) is calculated by the following formula (11).

比(X)=[(B/100)/A]/[(D/100)/C] ・・・(11) Ratio (X)=[(B/100)/A]/[(D/100)/C] (11)

また、上記樹脂材料が、2種類のエポキシ化合物を含む場合がある。1種類目のエポキシ化合物のエポキシ当量をA1g/eqとし、樹脂材料100重量%中の1種類目のエポキシ化合物の含有量をB1重量%とする。2種類目のエポキシ化合物のエポキシ当量をA2g/eqとし、樹脂材料100重量%中の2種類目のエポキシ化合物の含有量をB2重量%とする。この場合に、上記式(11)における「(B/100)/A」は、「(B1/100)/A1+(B2/100)/A2」になる。 In addition, the resin material may include two kinds of epoxy compounds. The epoxy equivalent of the first type epoxy compound is A1 g/eq, and the content of the first type epoxy compound in 100% by weight of the resin material is B1% by weight. The epoxy equivalent of the second type epoxy compound is A2 g/eq, and the content of the second type epoxy compound in 100% by weight of the resin material is B2% by weight. In this case, “(B/100)/A” in the above formula (11) becomes “(B1/100)/A1+(B2/100)/A2”.

上記樹脂材料が、3種類のエポキシ化合物を含む場合がある。1種類目のエポキシ化合物のエポキシ当量をA1g/eqとし、樹脂材料100重量%中の1種類目のエポキシ化合物の含有量をB1重量%とする。2種類目のエポキシ化合物のエポキシ当量をA2g/eqとし、樹脂材料100重量%中の2種類目のエポキシ化合物の含有量をB2重量%とする。3種類目のエポキシ化合物のエポキシ当量をA3g/eqとし、樹脂材料100重量%中の3種類目のエポキシ化合物の含有量をB3重量%とする。この場合に、上記式(11)における「(B/100)/A」は、「(B1/100)/A1+(B2/100)/A2+(B3/100)/A3」になる。 The resin material may contain three kinds of epoxy compounds. The epoxy equivalent of the first type epoxy compound is A1 g/eq, and the content of the first type epoxy compound in 100% by weight of the resin material is B1% by weight. The epoxy equivalent of the second type epoxy compound is A2 g/eq, and the content of the second type epoxy compound in 100% by weight of the resin material is B2% by weight. The epoxy equivalent of the third type epoxy compound is A3 g/eq, and the content of the third type epoxy compound in 100% by weight of the resin material is B3% by weight. In this case, “(B/100)/A” in the above formula (11) becomes “(B1/100)/A1+(B2/100)/A2+(B3/100)/A3”.

上記樹脂材料が、4種類以上のエポキシ化合物を含む場合にも同様に各エポキシ化合物のエポキシ当量と含有量とから、「(B/100)/A」の値が求められる。 Even when the resin material contains four or more kinds of epoxy compounds, the value of “(B/100)/A” is similarly obtained from the epoxy equivalent and the content of each epoxy compound.

また、上記樹脂材料が、2種類の硬化剤を含む場合がある。1種類目の硬化剤の反応性基の当量をC1g/eqとし、樹脂材料100重量%中の1種類目の硬化剤の含有量をD1重量%とする。2種類目の硬化剤の反応性基の当量をC2g/eqとし、樹脂材料100重量%中の2種類目の硬化剤の含有量をD2重量%とする。この場合に、上記式(11)における「(D/100)/C」は、「(D1/100)/C1+(D2/100)/C2」になる。1種類目の硬化剤が活性エステル化合物であり、かつ2種類目の硬化剤が活性エステル化合物であってもよい。1種類目の硬化剤が活性エステル化合物であり、かつ2種類目の硬化剤が活性エステル化合物以外の硬化剤であってもよい。 In addition, the resin material may include two types of curing agents. The equivalent amount of the reactive group of the first type curing agent is C1 g/eq, and the content of the first type curing agent in 100% by weight of the resin material is D1% by weight. The reactive group equivalent of the second type curing agent is C2 g/eq, and the content of the second type curing agent in 100% by weight of the resin material is D2% by weight. In this case, “(D/100)/C” in the above formula (11) becomes “(D1/100)/C1+(D2/100)/C2”. The first type curing agent may be an active ester compound and the second type curing agent may be an active ester compound. The first type curing agent may be an active ester compound, and the second type curing agent may be a curing agent other than the active ester compound.

上記樹脂材料が、3種類の硬化剤を含む場合がある。1種類目の硬化剤の反応性基の当量をC1g/eqとし、樹脂材料100重量%中の1種類目の硬化剤の含有量をD1重量%とする。2種類目の硬化剤の反応性基の当量をC2g/eqとし、樹脂材料100重量%中の2種類目の硬化剤の含有量をD2重量%とする。3種類目の硬化剤の反応性基の当量をC3g/eqとし、樹脂材料100重量%中の3種類目の硬化剤の含有量をD3重量%とする。この場合に、上記式(11)における「(D/100)/C」は、「(D1/100)/C1+(D2/100)/C2+(D3/100)/C3」になる。 The resin material may include three kinds of curing agents. The equivalent amount of the reactive group of the first type curing agent is C1 g/eq, and the content of the first type curing agent in 100% by weight of the resin material is D1% by weight. The reactive group equivalent of the second type curing agent is C2 g/eq, and the content of the second type curing agent in 100% by weight of the resin material is D2% by weight. The equivalent of the reactive group of the third type curing agent is C3 g/eq, and the content of the third type curing agent in 100% by weight of the resin material is D3% by weight. In this case, “(D/100)/C” in the above formula (11) becomes “(D1/100)/C1+(D2/100)/C2+(D3/100)/C3”.

上記樹脂材料が4種類以上の硬化剤を含む場合には、上記樹脂材料が2種類又は3種類の硬化剤を含む場合と同様に、各硬化剤の反応性基の当量と含有量とから、「(D/100)/C」の値が求められる。 When the resin material contains four or more types of curing agents, as in the case where the resin material contains two or three types of curing agents, from the equivalent and content of the reactive group of each curing agent, The value of “(D/100)/C” is obtained.

上記樹脂材料中の上記硬化剤の反応性基の合計数100%中の上記樹脂材料中の上記活性エステル化合物の活性エステル基の合計数(合計数(Y))は、以下のようにして求めることができる。 The total number (total number (Y)) of active ester groups of the active ester compound in the resin material in 100% of the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material is calculated as follows. be able to.

上記樹脂材料中の上記硬化剤の全てが活性エステル化合物である場合に、上記樹脂材料中の上記硬化剤の反応性基の合計数100%中、上記樹脂材料中の上記活性エステル化合物の活性エステル基の合計数は100%(全個数)になる。 When all of the curing agents in the resin material are active ester compounds, the active ester of the active ester compound in the resin material in 100% of the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material The total number of groups is 100% (total number).

上記樹脂材料が、活性エステル化合物と、活性エステル化合物以外の硬化剤とを含む場合がある。上記樹脂材料100重量%中、活性エステル基当量がEg/eqである活性エステル化合物をF重量%含み、かつ、反応性基の当量がGg/eqである活性エステル化合物以外の他の硬化剤をH重量%含む場合には、下記式(12)により、上記合計数(Y)が求められる。 The resin material may include an active ester compound and a curing agent other than the active ester compound. In 100% by weight of the above resin material, an active ester compound having an active ester group equivalent of Eg/eq is included in an amount of F% by weight, and a curing agent other than the active ester compound having a reactive group equivalent of Gg/eq is used. When H weight% is included, the above total number (Y) is obtained by the following formula (12).

合計数(Y)=[(F/100)/E]/[(F/100)/E+(H/100)/G]*100 ・・・(12) Total number (Y)=[(F/100)/E]/[(F/100)/E+(H/100)/G]*100...(12)

上記樹脂材料が、2種類以上の活性エステル化合物を含む場合は、上記した「(D/100)/C」の説明と同様に、各活性エステル化合物の活性エステル基の当量と含有量とから、「(F/100)/E」及び「(F/100)/E+(H/100)/G」の値が求められる。 When the resin material contains two or more kinds of active ester compounds, from the equivalent and content of the active ester group of each active ester compound, as in the above description of “(D/100)/C”, The values of “(F/100)/E” and “(F/100)/E+(H/100)/G” are obtained.

上記樹脂材料が、2種類以上の活性エステル化合物以外の硬化剤を含む場合は、上記した「(D/100)/C」の説明と同様に、各活性エステル化合物以外の硬化剤の反応性基の当量と含有量とから、「(F/100)/E+(H/100)/G」の値が求められる。 When the resin material contains a curing agent other than two or more kinds of active ester compounds, the reactive group of the curing agent other than each active ester compound is the same as the above description of “(D/100)/C”. The value of “(F/100)/E+(H/100)/G” can be obtained from the equivalent weight and the content.

本発明に係る樹脂材料は、樹脂組成物であってもよく、樹脂フィルムであってもよい。上記樹脂組成物は、流動性を有する。上記樹脂組成物は、ペースト状であってもよい。上記ペースト状には液状が含まれる。取扱性に優れることから、本発明に係る樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention may be a resin composition or a resin film. The resin composition has fluidity. The resin composition may be in a paste form. A liquid is included in the paste form. The resin material according to the present invention is preferably a resin film because of its excellent handleability.

本発明に係る樹脂材料は、熱硬化性材料であることが好ましい。上記樹脂材料が樹脂フィルムである場合には、該樹脂フィルムは、熱硬化性樹脂フィルムであることが好ましい。 The resin material according to the present invention is preferably a thermosetting material. When the resin material is a resin film, the resin film is preferably a thermosetting resin film.

以下、本発明に係る樹脂材料に用いられる各成分の詳細、及び本発明に係る樹脂材料の用途などを説明する。 Hereinafter, details of each component used in the resin material according to the present invention, and uses of the resin material according to the present invention will be described.

[エポキシ化合物]
上記樹脂材料は、エポキシ化合物を含む。上記エポキシ化合物として、従来公知のエポキシ化合物を使用可能である。上記エポキシ化合物は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物である。上記エポキシ化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Epoxy compound]
The resin material contains an epoxy compound. As the epoxy compound, a conventionally known epoxy compound can be used. The epoxy compound is an organic compound having at least one epoxy group. As for the said epoxy compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記エポキシ化合物としては、ビスフェノールA型エポキシ化合物、ビスフェノールF型エポキシ化合物、ビスフェノールS型エポキシ化合物、フェノールノボラック型エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ化合物、ビフェニルノボラック型エポキシ化合物、ビフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、フルオレン型エポキシ化合物、フェノールアラルキル型エポキシ化合物、ナフトールアラルキル型エポキシ化合物、ジシクロペンタジエン型エポキシ化合物、アントラセン型エポキシ化合物、アダマンタン骨格を有するエポキシ化合物、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ化合物、ナフチレンエーテル型エポキシ化合物、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ化合物等が挙げられる。 Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy compounds, bisphenol F type epoxy compounds, bisphenol S type epoxy compounds, phenol novolac type epoxy compounds, biphenyl type epoxy compounds, biphenyl novolac type epoxy compounds, biphenol type epoxy compounds, naphthalene type epoxy compounds. , Fluorene type epoxy compounds, phenol aralkyl type epoxy compounds, naphthol aralkyl type epoxy compounds, dicyclopentadiene type epoxy compounds, anthracene type epoxy compounds, adamantane skeleton epoxy compounds, tricyclodecane skeleton epoxy compounds, naphthylene ether type Examples thereof include epoxy compounds and epoxy compounds having a triazine nucleus in the skeleton.

誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性及び難燃性を高める観点からは、上記エポキシ化合物は、芳香族骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、ナフタレン骨格又はフェニル骨格を有するエポキシ化合物を含むことが好ましく、芳香族骨格を有するエポキシ化合物であることがより好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent and enhancing the thermal dimensional stability and flame retardancy of the cured product, the epoxy compound preferably contains an epoxy compound having an aromatic skeleton, and has a naphthalene skeleton or a phenyl skeleton. It is preferable that the epoxy compound has an epoxy compound having an aromatic skeleton.

上記エポキシ化合物のエポキシ当量は、好ましくは120g/eq以上、より好ましくは130g/eq以上、好ましくは900g/eq以下、より好ましくは800g/eq以下である。上記エポキシ当量が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くすることができ、また、メッキピール強度をより一層高めることができる。 The epoxy equivalent of the epoxy compound is preferably 120 g/eq or more, more preferably 130 g/eq or more, preferably 900 g/eq or less, more preferably 800 g/eq or less. When the epoxy equivalent is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the dielectric loss tangent can be further lowered, and the plating peel strength can be further enhanced.

誘電正接をより一層低くし、かつ硬化物の線膨張係数(CTE)を良好にする観点からは、上記エポキシ化合物は、25℃で固形のエポキシ化合物を含むことが好ましく、25℃で液状のエポキシ化合物と25℃で固形のエポキシ化合物とを含むことがより好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent and improving the linear expansion coefficient (CTE) of the cured product, the epoxy compound preferably contains a solid epoxy compound at 25° C., and an epoxy that is liquid at 25° C. It is more preferred to include the compound and an epoxy compound that is solid at 25°C.

上記25℃で液状のエポキシ化合物の25℃での粘度は、1000mPa・s以下であることが好ましく、500mPa・s以下であることがより好ましい。 The viscosity of the liquid epoxy compound at 25° C. at 25° C. is preferably 1000 mPa·s or less, and more preferably 500 mPa·s or less.

上記エポキシ化合物の粘度は、例えば動的粘弾性測定装置(レオロジカ・インスツルメンツ社製「VAR−100」)等を用いて測定することができる。 The viscosity of the epoxy compound can be measured using, for example, a dynamic viscoelasticity measuring device ("VAR-100" manufactured by Rheological Instruments).

上記エポキシ化合物の分子量は1000以下であることがより好ましい。この場合には、樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、無機充填材の含有量が50重量%以上であっても、絶縁層の形成時に流動性が高い樹脂材料が得られる。このため、樹脂材料の未硬化物又はBステージ化物を回路基板上にラミネートした場合に、無機充填材を均一に存在させることができる。 The molecular weight of the epoxy compound is more preferably 1000 or less. In this case, even if the content of the inorganic filler is 50% by weight or more in 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material, a resin material having high fluidity at the time of forming the insulating layer can be obtained. Therefore, when the uncured resin material or the B-staged material is laminated on the circuit board, the inorganic filler can be uniformly present.

上記エポキシ化合物の分子量は、上記エポキシ化合物が重合体ではない場合、及び上記エポキシ化合物の構造式が特定できる場合は、当該構造式から算出できる分子量を意味する。また、上記エポキシ化合物が重合体である場合は、重量平均分子量を意味する。 The molecular weight of the epoxy compound means a molecular weight that can be calculated from the structural formula when the epoxy compound is not a polymer and when the structural formula of the epoxy compound can be specified. Moreover, when the said epoxy compound is a polymer, it means a weight average molecular weight.

上記エポキシ化合物は、エポキシ基を3個以上有するエポキシ化合物を含むことが好ましい。この場合には、エポキシ化合物の自己重合反応を効率的に進行させることができ、その結果、誘電正接をより一層低くすることができ、また、メッキピール強度をより一層高めることができる。 The epoxy compound preferably contains an epoxy compound having three or more epoxy groups. In this case, the self-polymerization reaction of the epoxy compound can be efficiently progressed, and as a result, the dielectric loss tangent can be further lowered and the plating peel strength can be further enhanced.

上記エポキシ化合物がエポキシ基を3個以上有するエポキシ化合物を含む場合には、上記エポキシ化合物100重量%中、上記エポキシ基を3個以上有するエポキシ化合物の含有量は、好ましくは3重量%以上、より好ましくは4重量%以上、更に好ましくは5重量%以上、好ましくは80重量%以下、より好ましくは70重量%以下である。上記エポキシ基を3個以上有するエポキシ化合物の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くすることができ、また、メッキピール強度をより一層高めることができる。 When the epoxy compound contains an epoxy compound having 3 or more epoxy groups, the content of the epoxy compound having 3 or more epoxy groups is preferably 3% by weight or more, and more preferably 100% by weight or more, based on 100% by weight of the epoxy compound. It is preferably 4% by weight or more, more preferably 5% by weight or more, preferably 80% by weight or less, more preferably 70% by weight or less. When the content of the epoxy compound having three or more epoxy groups is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the dielectric loss tangent can be further reduced and the plating peel strength can be further enhanced.

[硬化剤]
上記樹脂材料は、硬化剤を含む。上記硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing agent]
The resin material contains a curing agent. As for the said hardening|curing agent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

<活性エステル化合物>
上記樹脂材料は、硬化剤として、活性エステル化合物を含む。上記活性エステル化合物は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Active ester compound>
The resin material contains an active ester compound as a curing agent. As for the said active ester compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記活性エステル化合物は、エステル結合を少なくとも1つ含み、かつ、エステル結合の両側に脂肪族鎖、脂肪族環又は芳香族環が結合している化合物である。活性エステル化合物は、例えばカルボン酸化合物又はチオカルボン酸化合物と、ヒドロキシ化合物又はチオール化合物との縮合反応によって得られる。活性エステル化合物の例としては、下記式(1)で表される化合物が挙げられる。 The active ester compound is a compound containing at least one ester bond and having an aliphatic chain, an aliphatic ring or an aromatic ring bonded to both sides of the ester bond. The active ester compound is obtained, for example, by a condensation reaction of a carboxylic acid compound or a thiocarboxylic acid compound and a hydroxy compound or a thiol compound. Examples of the active ester compound include compounds represented by the following formula (1).

Figure 2020111695
Figure 2020111695

上記式(1)中、X1は、脂肪族鎖を含む基、脂肪族環を含む基又は芳香族環を含む基を表し、X2は、芳香族環を含む基を表す。上記芳香族環を含む基の好ましい例としては、置換基を有していてもよいベンゼン環、及び置換基を有していてもよいナフタレン環等が挙げられる。上記置換基としては、炭化水素基が挙げられる。該炭化水素基の炭素数は、好ましくは12以下、より好ましくは6以下、更に好ましくは4以下である。 In the above formula (1), X1 represents a group containing an aliphatic chain, a group containing an aliphatic ring or a group containing an aromatic ring, and X2 represents a group containing an aromatic ring. Preferred examples of the group containing an aromatic ring include a benzene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent. A hydrocarbon group is mentioned as said substituent. The carbon number of the hydrocarbon group is preferably 12 or less, more preferably 6 or less, and further preferably 4 or less.

上記式(1)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいベンゼン環との組み合わせ、置換基を有していてもよいベンゼン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。さらに、上記式(1)中、X1及びX2の組み合わせとしては、置換基を有していてもよいナフタレン環と、置換基を有していてもよいナフタレン環との組み合わせが挙げられる。 In the above formula (1), the combination of X1 and X2 is a combination of a benzene ring which may have a substituent and a benzene ring which may have a substituent, and a combination of which has a substituent. And a naphthalene ring which may have a substituent. Further, in the above formula (1), examples of the combination of X1 and X2 include a combination of a naphthalene ring which may have a substituent and a naphthalene ring which may have a substituent.

上記活性エステル化合物は特に限定されない。熱寸法安定性及び難燃性をより一層高める観点からは、上記活性エステル化合物は、2個以上の芳香族骨格を有する活性エステル化合物であることが好ましい。硬化物の誘電正接を低くし、かつ硬化物の熱寸法安定性を高める観点から、活性エステル化合物の主鎖骨格中にナフタレン環を有することがより好ましい。 The active ester compound is not particularly limited. From the viewpoint of further enhancing the thermal dimensional stability and flame retardancy, the active ester compound is preferably an active ester compound having two or more aromatic skeletons. From the viewpoint of lowering the dielectric loss tangent of the cured product and enhancing the thermal dimensional stability of the cured product, it is more preferred that the active ester compound has a naphthalene ring in the main chain skeleton.

上記活性エステル化合物の市販品としては、DIC社製「HPC−8000−65T」、「EXB9416−70BK」及び「EXB8100−65T」等が挙げられる。 Examples of commercially available active ester compounds include "HPC-8000-65T", "EXB9416-70BK" and "EXB8100-65T" manufactured by DIC.

上記活性エステル化合物の活性エステル基当量は、好ましくは120g/eq以上、より好ましくは130g/eq以上、好ましくは900g/eq以下、より好ましくは800g/eq以下である。上記活性エステル基当量が上記下限以上及び上記上限以下であると、誘電正接をより一層低くすることができ、また、メッキピール強度をより一層高めることができる。 The active ester group equivalent of the active ester compound is preferably 120 g/eq or more, more preferably 130 g/eq or more, preferably 900 g/eq or less, more preferably 800 g/eq or less. When the active ester group equivalent is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the dielectric loss tangent can be further lowered, and the plating peel strength can be further raised.

<第2の硬化剤>
上記樹脂材料は、上記活性エステル化合物以外の硬化剤(第2の硬化剤)を含んでいてもよい。上記樹脂材料は、上記第2の硬化剤を含んでいなくてもよい。上記第2の硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
<Second curing agent>
The resin material may include a curing agent (second curing agent) other than the active ester compound. The resin material may not include the second curing agent. As for the said 2nd hardening|curing agent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記第2の硬化剤は、上記エポキシ化合物のエポキシ基と反応可能な官能基(反応性基)を有することが好ましい。上記反応性基としては、ビニル基等の炭素−炭素不飽和結合を有する基、水酸基、グリシジル基、イソシアネート基、アミノ基、カルボキシル基及び酸無水物基等が挙げられる。上記樹脂材料が上記第2の硬化剤を含む場合には、上記硬化剤における反応性基の合計数100%中、上記第2の硬化剤における反応性基の合計数は30%未満である。 The second curing agent preferably has a functional group (reactive group) capable of reacting with the epoxy group of the epoxy compound. Examples of the reactive group include a group having a carbon-carbon unsaturated bond such as a vinyl group, a hydroxyl group, a glycidyl group, an isocyanate group, an amino group, a carboxyl group and an acid anhydride group. When the resin material contains the second curing agent, the total number of reactive groups in the second curing agent is less than 30% in 100% of the total number of reactive groups in the curing agent.

上記第2の硬化剤としては、シアネート化合物(シアネート硬化剤)、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、ホスフィン化合物、ジシアンジアミド、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、酸無水物、カルボジイミド化合物(カルボジイミド硬化剤)、及びベンゾオキサジン化合物(ベンゾオキサジン硬化剤)等が挙げられる。 Examples of the second curing agent include cyanate compound (cyanate curing agent), amine compound (amine curing agent), thiol compound (thiol curing agent), phosphine compound, dicyandiamide, phenol compound (phenol curing agent), acid anhydride, Examples thereof include a carbodiimide compound (carbodiimide curing agent) and a benzoxazine compound (benzoxazine curing agent).

誘電正接をより一層低くする観点、熱寸法安定性をより一層高める観点から、上記第2の硬化剤は、フェノール化合物、シアネート化合物、酸無水物、カルボジイミド化合物、及びベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含むことが好ましい。すなわち、上記樹脂材料は、フェノール化合物、シアネート化合物、酸無水物、カルボジイミド化合物、及びベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分を含む硬化剤を含むことが好ましい。 From the viewpoint of further lowering the dielectric loss tangent and further improving the thermal dimensional stability, the second curing agent is at least one of a phenol compound, a cyanate compound, an acid anhydride, a carbodiimide compound, and a benzoxazine compound. It is preferred to include seed components. That is, the resin material preferably contains a curing agent containing at least one component selected from the group consisting of a phenol compound, a cyanate compound, an acid anhydride, a carbodiimide compound, and a benzoxazine compound.

本明細書において、「フェノール化合物、シアネート化合物、酸無水物、カルボジイミド化合物、及びベンゾオキサジン化合物の内の少なくとも1種の成分」を「成分X」と記載することがある。 In the present specification, "at least one component of a phenol compound, a cyanate compound, an acid anhydride, a carbodiimide compound, and a benzoxazine compound" may be referred to as "component X".

したがって、上記樹脂材料は、成分Xを含む硬化剤を含んでいてもよい。上記成分Xは、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 Therefore, the resin material may include a curing agent containing the component X. As the component X, only one type may be used, or two or more types may be used in combination.

上記フェノール化合物としては、ノボラック型フェノール、ビフェノール型フェノール、ナフタレン型フェノール、ジシクロペンタジエン型フェノール、アラルキル型フェノール及びジシクロペンタジエン型フェノール等が挙げられる。 Examples of the phenol compound include novolac type phenol, biphenol type phenol, naphthalene type phenol, dicyclopentadiene type phenol, aralkyl type phenol and dicyclopentadiene type phenol.

上記フェノール化合物の市販品としては、ノボラック型フェノール(DIC社製「TD−2091」)、ビフェニルノボラック型フェノール(明和化成社製「MEH−7851」)、アラルキル型フェノール化合物(明和化成社製「MEH−7800」)、並びにアミノトリアジン骨格を有するフェノール(DIC社製「LA−1356」及び「LA−3018−50P」)等が挙げられる。 Examples of commercially available phenol compounds include novolac type phenol (“TD-2091” manufactured by DIC), biphenyl novolac type phenol (“MEH-7851” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.), and aralkyl type phenol compound (“MEH manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd.” -7800"), and a phenol having an aminotriazine skeleton ("LA-1356" and "LA-3018-50P" manufactured by DIC) and the like.

上記シアネート化合物は、シアネートエステル化合物(シアネートエステル硬化剤)であってもよい。 The cyanate compound may be a cyanate ester compound (cyanate ester curing agent).

上記シアネートエステル化合物としては、ノボラック型シアネートエステル樹脂、ビスフェノール型シアネートエステル樹脂、並びにこれらが一部三量化されたプレポリマー等が挙げられる。上記ノボラック型シアネートエステル樹脂としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂及びアルキルフェノール型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。上記ビスフェノール型シアネートエステル樹脂としては、ビスフェノールA型シアネートエステル樹脂、ビスフェノールE型シアネートエステル樹脂及びテトラメチルビスフェノールF型シアネートエステル樹脂等が挙げられる。 Examples of the cyanate ester compound include novolac type cyanate ester resin, bisphenol type cyanate ester resin, and prepolymers obtained by partially trimming these. Examples of the novolac type cyanate ester resin include a phenol novolac type cyanate ester resin and an alkylphenol type cyanate ester resin. Examples of the bisphenol type cyanate ester resin include a bisphenol A type cyanate ester resin, a bisphenol E type cyanate ester resin, and a tetramethylbisphenol F type cyanate ester resin.

上記シアネートエステル化合物の市販品としては、フェノールノボラック型シアネートエステル樹脂(ロンザジャパン社製「PT−30」及び「PT−60」)、及びビスフェノール型シアネートエステル樹脂が三量化されたプレポリマー(ロンザジャパン社製「BA−230S」、「BA−3000S」、「BTP−1000S」及び「BTP−6020S」)等が挙げられる。 As commercial products of the above cyanate ester compound, a phenol novolac type cyanate ester resin (“PT-30” and “PT-60” manufactured by Lonza Japan Co., Ltd.), and a prepolymer (Lonza Japan produced by trimerizing a bisphenol type cyanate ester resin are used. "BA-230S", "BA-3000S", "BTP-1000S", and "BTP-6020S") manufactured by the company are listed.

上記酸無水物としては、テトラヒドロフタル酸無水物、及びアルキルスチレン−無水マレイン酸共重合体等が挙げられる。 Examples of the acid anhydride include tetrahydrophthalic anhydride, an alkylstyrene-maleic anhydride copolymer, and the like.

上記酸無水物の市販品としては、新日本理化社製「リカシッド TDA−100」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the acid anhydride include "Rikacid TDA-100" manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd. and the like.

上記カルボジイミド化合物は、下記式(2)で表される構造単位を有する。下記式(2)において、右端部及び左端部は、他の基との結合部位である。 The carbodiimide compound has a structural unit represented by the following formula (2). In the following formula (2), the right end and the left end are binding sites with other groups.

Figure 2020111695
Figure 2020111695

上記式(2)中、Xは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、シクロアルキレン基に置換基が結合した基、アリーレン基、又はアリーレン基に置換基が結合した基を表し、pは1〜5の整数を表す。Xが複数存在する場合、複数のXは同一であってもよく、異なっていてもよい。 In the above formula (2), X is an alkylene group, a group in which a substituent is bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, a group in which a substituent is bonded to a cycloalkylene group, an arylene group, or a substituent is bonded to an arylene group. Represents a group, and p represents an integer of 1 to 5. When a plurality of Xs are present, the plurality of Xs may be the same or different.

好適な一つの形態において、少なくとも1つのXは、アルキレン基、アルキレン基に置換基が結合した基、シクロアルキレン基、又はシクロアルキレン基に置換基が結合した基である。 In one preferable form, at least one X is an alkylene group, a group having a substituent bonded to an alkylene group, a cycloalkylene group, or a group having a substituent bonded to a cycloalkylene group.

上記カルボジイミド化合物の市販品としては、日清紡ケミカル社製「カルボジライト V−02B」、「カルボジライト V−03」、「カルボジライト V−04K」、「カルボジライト V−07」、「カルボジライト V−09」、「カルボジライト 10M−SP」、及び「カルボジライト 10M−SP(改)」、並びに、ラインケミー社製「スタバクゾールP」、「スタバクゾールP400」、及び「ハイカジル510」等が挙げられる。 Examples of commercially available products of the above carbodiimide compound include "carbodilite V-02B", "carbodilite V-03", "carbodilite V-04K", "carbodilite V-07", "carbodilite V-09", and "carbodilite" manufactured by Nisshinbo Chemical Inc. 10M-SP", "Carbodilite 10M-SP (modified)", and "Stavaxol P", "Stabaxol P400", "Hikasil 510" manufactured by Rhein Chemie.

上記ベンゾオキサジン化合物としては、P−d型ベンゾオキサジン、及びF−a型ベンゾオキサジン等が挙げられる。 Examples of the benzoxazine compound include Pd-type benzoxazine and Fa-type benzoxazine.

上記ベンゾオキサジン化合物の市販品としては、四国化成工業社製「P−d型」等が挙げられる。 As a commercial item of the said benzoxazine compound, "Pd type" by Shikoku Chemicals Co., Ltd. etc. are mentioned.

[無機充填材]
上記樹脂材料は、無機充填材を含むことが好ましい。上記無機充填材の使用により、硬化物の誘電正接をより一層低くすることができる。また、上記無機充填材の使用により、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。上記無機充填材は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Inorganic filler]
The resin material preferably contains an inorganic filler. The use of the inorganic filler can further lower the dielectric loss tangent of the cured product. In addition, the use of the above-mentioned inorganic filler further reduces the dimensional change of the cured product due to heat. As for the said inorganic filler, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、及び窒化ホウ素等が挙げられる。 Examples of the inorganic filler include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride.

硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。シリカの使用により、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、また、硬化物の誘電正接がより一層低くなる。また、シリカの使用により、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は球状であることが好ましい。 The surface roughness of the cured product is reduced, the adhesion strength between the cured product and the metal layer is further increased, and finer wiring is formed on the surface of the cured product, and the cured product has better insulation reliability. From the viewpoint of imparting, the inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and further preferably fused silica. The use of silica results in a lower thermal expansion coefficient of the cured product and a lower dielectric loss tangent of the cured product. Further, by using silica, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. The shape of silica is preferably spherical.

硬化環境によらず、樹脂の硬化を進め、硬化物のガラス転移温度を効果的に高くし、硬化物の熱線膨張係数を効果的に小さくする観点からは、上記無機充填材は球状シリカであることが好ましい。 The inorganic filler is spherical silica from the viewpoint of promoting the curing of the resin regardless of the curing environment, effectively increasing the glass transition temperature of the cured product, and effectively reducing the thermal linear expansion coefficient of the cured product. It is preferable.

上記無機充填材の平均粒径は、好ましくは50nm以上、より好ましくは100nm以上、更に好ましくは500nm以上、好ましくは5μm以下、より好ましくは3μm以下、更に好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、エッチング後の表面粗度を小さくし、かつメッキピール強度を高くすることができ、また、絶縁層と金属層との密着性をより一層高めることができる。 The average particle size of the inorganic filler is preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, still more preferably 500 nm or more, preferably 5 μm or less, more preferably 3 μm or less, still more preferably 1 μm or less. When the average particle diameter of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, it is possible to reduce the surface roughness after etching and to increase the plating peel strength, and also between the insulating layer and the metal layer. The adhesiveness can be further enhanced.

上記無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。 As the average particle diameter of the inorganic filler, a median diameter (d50) value of 50% is adopted. The average particle size can be measured using a laser diffraction/scattering particle size distribution measuring device.

上記無機充填材は、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材が球状である場合には、上記無機充填材のアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。 The inorganic filler is preferably spherical, and more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. When the inorganic filler is spherical, the aspect ratio of the inorganic filler is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、カップリング剤による表面処理物であることがより好ましく、シランカップリング剤による表面処理物であることが更に好ましい。上記無機充填材が表面処理されていることにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。また、上記無機充填材が表面処理されていることにより、硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができ、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。 The inorganic filler is preferably surface-treated, more preferably a surface-treated product with a coupling agent, and further preferably a surface-treated product with a silane coupling agent. By surface-treating the inorganic filler, the surface roughness of the surface of the roughened cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further enhanced. Further, since the inorganic filler is surface-treated, it is possible to form finer wiring on the surface of the cured product, and further improve the inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability in the cured product. Can be granted.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン、及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, and an aluminum coupling agent. Examples of the silane coupling agent include methacrylsilane, acrylsilane, aminosilane, imidazolesilane, vinylsilane, and epoxysilane.

樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、上記無機充填材の含有量は、好ましくは50重量%以上、より好ましくは60重量%以上、更に好ましくは65重量%以上、特に好ましくは68重量%以上、好ましくは90重量%以下、より好ましくは85重量%以下、更に好ましくは80重量%以下、特に好ましくは78重量%以下である。上記無機充填材の含有量が上記下限以上であると、誘電正接が効果的に低くなる。上記無機充填材の含有量が上記上限以下であると、熱寸法安定性を高め、硬化物の反りを効果的に抑えることができる。上記無機充填材の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さをより一層小さくすることができ、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成することができる。さらに、この無機充填材の含有量であれば、硬化物の熱膨張率を低くすることと同時に、スミア除去性を良好にすることも可能である。 In 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material, the content of the inorganic filler is preferably 50% by weight or more, more preferably 60% by weight or more, further preferably 65% by weight or more, particularly preferably 68% by weight. % Or more, preferably 90% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, further preferably 80% by weight or less, and particularly preferably 78% by weight or less. When the content of the inorganic filler is at least the above lower limit, the dielectric loss tangent becomes effectively low. When the content of the inorganic filler is less than or equal to the above upper limit, the thermal dimensional stability can be improved and the warp of the cured product can be effectively suppressed. When the content of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, it is possible to further reduce the surface roughness of the surface of the cured product, and to form finer wiring on the surface of the cured product. You can Furthermore, if the content of this inorganic filler is used, it is possible to reduce the coefficient of thermal expansion of the cured product and at the same time improve the smear removability.

[硬化促進剤]
上記樹脂材料は、硬化促進剤を含むことが好ましい。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂材料を速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing accelerator]
The resin material preferably contains a curing accelerator. By using the above curing accelerator, the curing speed is further increased. By rapidly curing the resin material, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, the number of unreacted functional groups decreases, and as a result, the crosslink density increases. The curing accelerator is not particularly limited, and conventionally known curing accelerators can be used. As for the said hardening accelerator, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物等のアニオン性硬化促進剤、アミン化合物等のカチオン性硬化促進剤、リン化合物及び有機金属化合物等のアニオン性及びカチオン性硬化促進剤以外の硬化促進剤、並びに過酸化物等のラジカル性硬化促進剤等が挙げられる。 Examples of the curing accelerator include anionic curing accelerators such as imidazole compounds, cationic curing accelerators such as amine compounds, and curing accelerators other than anionic and cationic curing accelerators such as phosphorus compounds and organometallic compounds. , And radical curing accelerators such as peroxides.

上記イミダゾール化合物としては、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。 Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl- 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6-[2' -Methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-undecylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino- 6-[2'-ethyl-4'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6-[2'-methylimidazolyl-(1')]-ethyl-s -Triazine isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole Etc.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4−ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。 Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine and 4,4-dimethylaminopyridine.

上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン化合物等が挙げられる。 Examples of the phosphorus compound include triphenylphosphine compounds.

上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。 Examples of the organometallic compound include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonato cobalt (II), and trisacetylacetonato cobalt (III).

上記過酸化物としてはジクミルペルオキシド、及びパーヘキシル25B等が挙げられる。 Examples of the peroxide include dicumyl peroxide and Perhexyl 25B.

硬化温度をより一層低く抑え、エポキシ基の自己重合を促進し、かつ硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤を含むことが好ましい。硬化温度を更により一層低く抑え、硬化物の反りを更により一層効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤は、上記イミダゾール化合物を含むことが好ましく、上記イミダゾール化合物であることがより好ましい。また、上記硬化促進剤が上記イミダゾール化合物である場合には、上記エポキシ化合物の自己重合反応を効率よく進行させることができる。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature, promoting the self-polymerization of the epoxy group, and effectively suppressing the warp of the cured product, the curing accelerator preferably contains the anionic curing accelerator. From the viewpoints of further lowering the curing temperature and more effectively suppressing the warp of the cured product, the curing accelerator preferably contains the imidazole compound, more preferably the imidazole compound. Moreover, when the said hardening accelerator is the said imidazole compound, the self-polymerization reaction of the said epoxy compound can be advanced efficiently.

硬化温度をより一層低く抑え、エポキシ基の自己重合を促進し、かつ硬化物の反りを効果的に抑える観点からは、上記硬化促進剤100重量%中、上記アニオン性硬化促進剤の含有量は、好ましくは20重量%以上、より好ましくは50重量%以上、更に好ましくは70重量%以上、最も好ましくは100重量%(全量)である。したがって、上記硬化促進剤は、上記アニオン性硬化促進剤であることが最も好ましい。 From the viewpoint of further suppressing the curing temperature, promoting the self-polymerization of the epoxy group, and effectively suppressing the warp of the cured product, the content of the anionic curing accelerator in 100% by weight of the curing accelerator is It is preferably 20% by weight or more, more preferably 50% by weight or more, further preferably 70% by weight or more, and most preferably 100% by weight (total amount). Therefore, the curing accelerator is most preferably the anionic curing accelerator.

樹脂材料中の無機充填材及び溶剤を除く成分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は、好ましくは0.5重量%以上、より好ましくは0.8重量%以上、更に好ましくは1重量%以上、好ましくは5重量%以下、より好ましくは3重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料を効率的に硬化させることができる。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂材料の保存安定性を高めることができ、かつより一層良好な硬化物が得られる。なお、上記硬化促進剤の含有量は、樹脂材料中に含まれる全ての硬化促進剤の合計の含有量を意味する。 In 100% by weight of the components excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material, the content of the curing accelerator is preferably 0.5% by weight or more, more preferably 0.8% by weight or more, further preferably 1% by weight. % Or more, preferably 5% by weight or less, more preferably 3% by weight or less. When the content of the curing accelerator is not less than the lower limit and not more than the upper limit, the resin material can be efficiently cured. When the content of the curing accelerator is in a more preferable range, the storage stability of the resin material can be increased and a better cured product can be obtained. In addition, the content of the curing accelerator means the total content of all the curing accelerators contained in the resin material.

[熱可塑性樹脂]
上記樹脂材料は、熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。上記熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂、ポリイミド樹脂及びフェノキシ樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermoplastic resin]
The resin material preferably contains a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include polyvinyl acetal resin, polyimide resin, and phenoxy resin. As for the said thermoplastic resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

硬化環境によらず、誘電正接を効果的に低くし、かつ、金属配線の密着性を効果的に高める観点からは、上記熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂組成物又はBステージ化物が濡れ拡がり難くなる。 The thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin from the viewpoint of effectively lowering the dielectric loss tangent and effectively improving the adhesion of the metal wiring regardless of the curing environment. By using the phenoxy resin, it is possible to suppress the deterioration of the embedding property of the resin film in the holes or the unevenness of the circuit board and the nonuniformity of the inorganic filler. Further, by using the phenoxy resin, the melt viscosity can be adjusted, so that the dispersibility of the inorganic filler is improved, and it becomes difficult for the resin composition or the B-staged product to wet and spread in an unintended region during the curing process.

上記樹脂材料に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The phenoxy resin contained in the resin material is not particularly limited. A conventionally known phenoxy resin can be used as the phenoxy resin. The phenoxy resin may be used alone or in combination of two or more.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。 Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having a skeleton such as a bisphenol A type skeleton, a bisphenol F type skeleton, a bisphenol S type skeleton, a biphenyl skeleton, a novolac skeleton, a naphthalene skeleton and an imide skeleton.

上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鐵住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。 Examples of commercially available phenoxy resins include "YP50", "YP55" and "YP70" manufactured by Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation, and "1256B40", "4250", "4256H40", and "4256H40" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation. 4275”, “YX6954BH30”, “YX8100BH30” and the like.

ハンドリング性、低粗度でのメッキピール強度及び絶縁層と金属層との密着性を高める観点から、上記熱可塑性樹脂は、ポリイミド樹脂(ポリイミド化合物)であることが好ましい。 The thermoplastic resin is preferably a polyimide resin (polyimide compound) from the viewpoints of handling property, plating peel strength at low roughness, and adhesion between the insulating layer and the metal layer.

溶解性を良好にする観点からは、上記ポリイミド化合物は、テトラカルボン酸二無水物とダイマージアミンとを反応させる方法によって得られたポリイミド化合物であることが好ましい。 From the viewpoint of improving solubility, the polyimide compound is preferably a polyimide compound obtained by a method of reacting tetracarboxylic dianhydride and dimer diamine.

上記テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニルホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無水物、及びビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルメタン二無水物等が挙げられる。 Examples of the tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 3,3',4,4'-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenylsulfone tetra Carboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 3,3',4,4'-biphenyl ether Tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3',4,4'-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3',4,4'-Tetraphenylsilane tetracarboxylic acid dianhydride, 1,2 ,3,4-furantetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl sulfide dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenyl Sulfone dianhydride, 4,4'-bis(3,4-dicarboxyphenoxy)diphenylpropane dianhydride, 3,3',4,4'-perfluoroisopropylidene diphthalic acid dianhydride, 3,3 ',4,4'-Biphenyltetracarboxylic dianhydride, bis(phthalic acid)phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis(triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-bis(triphenyl Phthalic acid) dianhydride, bis(triphenylphthalic acid)-4,4′-diphenylether dianhydride, and bis(triphenylphthalic acid)-4,4′-diphenylmethane dianhydride.

上記ダイマージアミンとしては、例えば、バーサミン551(商品名、BASFジャパン社製、3,4−ビス(1−アミノヘプチル)−6−ヘキシル−5−(1−オクテニル)シクロヘキセン)、バーサミン552(商品名、コグニクスジャパン社製、バーサミン551の水添物)、PRIAMINE1075、PRIAMINE1074(商品名、いずれもクローダジャパン社製)等が挙げられる。 Examples of the dimer diamine include Versamine 551 (trade name, manufactured by BASF Japan Ltd., 3,4-bis(1-aminoheptyl)-6-hexyl-5-(1-octenyl)cyclohexene), Versamine 552 (trade name). , Hydrogenated product of Versamine 551 manufactured by Cognix Japan Co., Ltd.), PRIAMINE 1075, PRIAMINE 1074 (trade names, all manufactured by Croda Japan Co., Ltd.) and the like.

なお、上記ポリイミド化合物は末端に、酸無水物構造、マレイミド構造、シトラコンイミド構造を有していてもよい。この場合には、上記ポリイミド化合物とエポキシ化合物とを反応させることができる。上記ポリイミド化合物とエポキシ化合物とを反応させることにより、硬化物の熱寸法安定性を高めることができる。 In addition, the said polyimide compound may have an acid anhydride structure, a maleimide structure, and a citraconimide structure at the terminal. In this case, the polyimide compound and the epoxy compound can be reacted. By reacting the polyimide compound with an epoxy compound, the thermal dimensional stability of the cured product can be improved.

保存安定性により一層優れた樹脂材料を得る観点からは、上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、より好ましくは10000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。 From the viewpoint of obtaining a more excellent resin material due to storage stability, the weight average molecular weight of the thermoplastic resin, the polyimide resin and the phenoxy resin is preferably 5,000 or more, more preferably 10,000 or more, preferably 100,000 or less, It is preferably 50,000 or less.

上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。 The weight average molecular weights of the thermoplastic resin, the polyimide resin, and the phenoxy resin indicate the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).

上記熱可塑性樹脂、上記ポリイミド樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。樹脂材料中の上記無機充填材及び上記溶剤を除く成分100重量%中、上記熱可塑性樹脂の含有量(熱可塑性樹脂がポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂である場合には、ポリイミド樹脂又はフェノキシ樹脂の含有量)は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂材料の回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂フィルムの形成がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。上記熱可塑性樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。 The contents of the thermoplastic resin, the polyimide resin and the phenoxy resin are not particularly limited. Content of the thermoplastic resin in 100% by weight of the component excluding the inorganic filler and the solvent in the resin material (when the thermoplastic resin is a polyimide resin or a phenoxy resin, the content of the polyimide resin or the phenoxy resin ) Is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, preferably 30% by weight or less, more preferably 20% by weight or less. When the content of the thermoplastic resin is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the embeddability of the resin material into the holes or the irregularities of the circuit board becomes good. When the content of the thermoplastic resin is at least the above lower limit, the formation of the resin film becomes easier, and a better insulating layer can be obtained. When the content of the thermoplastic resin is at most the above upper limit, the coefficient of thermal expansion of the cured product will be even lower. When the content of the thermoplastic resin is at most the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product will be further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer will be even higher.

[溶剤]
上記樹脂材料は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂材料の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂材料の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin material does not include or includes a solvent. By using the above solvent, the viscosity of the resin material can be controlled within a suitable range, and the coating property of the resin material can be improved. Also, the solvent may be used to obtain a slurry containing the inorganic filler. As for the said solvent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2−プロパノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、2−アセトキシ−1−メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N−ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N−メチル−ピロリドン、n−ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。 As the solvent, acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, Examples thereof include N,N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone and a mixture of naphtha.

上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物中の上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。 Most of the solvent is preferably removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200°C or lower, more preferably 180°C or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be appropriately changed in consideration of the coatability of the resin composition.

上記樹脂材料がBステージフィルムである場合には、上記Bステージフィルム100重量%中、上記溶剤の含有量は、好ましくは1重量%以上、より好ましくは2重量%以上、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。 When the resin material is a B stage film, the content of the solvent in 100% by weight of the B stage film is preferably 1% by weight or more, more preferably 2% by weight or more, and preferably 10% by weight or less. , And more preferably 5% by weight or less.

[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂材料は、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、及び揺変性付与剤等を含んでいてもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the above resin materials include leveling agents, flame retardants, coupling agents, coloring agents, antioxidants, ultraviolet deterioration inhibitors, and defoaming agents. It may contain agents, thickeners, thixotropic agents, and the like.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。 Examples of the coupling agent include a silane coupling agent, a titanium coupling agent, and an aluminum coupling agent. Examples of the silane coupling agent include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.

(樹脂フィルム)
上述した樹脂組成物をフィルム状に成形することにより樹脂フィルム(Bステージ化物/Bステージフィルム)が得られる。上記樹脂材料は、樹脂フィルムであることが好ましい。樹脂フィルムは、Bステージフィルムであることが好ましい。
(Resin film)
A resin film (B-staged product/B-stage film) is obtained by molding the above resin composition into a film. The resin material is preferably a resin film. The resin film is preferably a B stage film.

樹脂組成物をフィルム状に成形して、樹脂フィルムを得る方法としては、以下の方法が挙げられる。押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法。溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法。従来公知のその他のフィルム成形法。薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。 The following methods are mentioned as a method of forming a resin film by molding the resin composition into a film. An extrusion molding method in which a resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then formed into a film by a T die, a circular die, or the like. A casting method for casting a resin composition containing a solvent to form a film. Other conventionally known film forming methods. An extrusion molding method or a casting molding method is preferable because it can be made thinner. The film includes a sheet.

樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば50℃〜150℃で1分間〜10分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。 A resin film which is a B-stage film can be obtained by molding the resin composition into a film and heating and drying the resin composition at 50° C. to 150° C. for 1 minute to 10 minutes to such an extent that curing by heat does not proceed excessively. it can.

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。 The film-shaped resin composition that can be obtained by the drying process as described above is referred to as a B stage film. The B stage film is in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured, and curing can be further advanced.

上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロス等に沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。 The resin film may not be a prepreg. When the resin film is not a prepreg, migration does not occur along the glass cloth or the like. Further, when laminating or pre-curing the resin film, unevenness due to the glass cloth does not occur on the surface.

上記樹脂フィルムは、金属箔又は基材フィルムと、該金属箔又は基材の表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムの形態で用いることができる。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。 The resin film can be used in the form of a laminated film including a metal foil or a base film and a resin film laminated on the surface of the metal foil or the base. The metal foil is preferably copper foil.

上記積層フィルムの上記基材フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルム等のポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルム等のオレフィン樹脂フィルム、並びにポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材フィルムの表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。 Examples of the base film of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin film. The surface of the substrate film may be subjected to a release treatment, if necessary.

樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上であり、好ましくは200μm以下である。 From the viewpoint of controlling the degree of cure of the resin film more uniformly, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less. When the resin film is used as the insulating layer of the circuit, the thickness of the insulating layer formed of the resin film is preferably equal to or larger than the thickness of the conductor layer (metal layer) forming the circuit. The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

(半導体装置、プリント配線板、銅張積層板及び多層プリント配線板)
上記樹脂材料は、半導体装置において半導体チップを埋め込むモールド樹脂を形成するために好適に用いられる。
(Semiconductor devices, printed wiring boards, copper clad laminated boards and multilayer printed wiring boards)
The resin material is preferably used to form a mold resin for embedding a semiconductor chip in a semiconductor device.

上記樹脂材料は、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。 The resin material is preferably used for forming an insulating layer in a printed wiring board.

上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂材料を加熱加圧成形することにより得られる。 The printed wiring board is obtained, for example, by heat-press molding the resin material.

上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属層を表面に有する積層対象部材を積層できる。金属層を表面に有する積層対象部材と、上記金属層の表面上に積層された樹脂フィルムとを備え、上記樹脂フィルムが、上述した樹脂材料である、積層構造体を好適に得ることができる。上記樹脂フィルムと上記金属層を表面に有する積層対象部材とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを、金属層を表面に有する積層対象部材に積層可能である。 A member to be laminated having a metal layer on one surface or both surfaces thereof can be laminated on the resin film. It is possible to suitably obtain a laminated structure that includes a member to be laminated having a metal layer on the surface and a resin film laminated on the surface of the metal layer, and the resin film is the resin material described above. The method for laminating the resin film and the lamination target member having the metal layer on the surface thereof is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the above-mentioned resin film can be laminated on a lamination target member having a metal layer on its surface while heating or applying pressure without heating using a device such as a parallel plate press or a roll laminator.

上記金属層の材料は銅であることが好ましい。 The material of the metal layer is preferably copper.

上記金属層を表面に有する積層対象部材は、銅箔等の金属箔であってもよい。 The lamination target member having the metal layer on its surface may be a metal foil such as a copper foil.

上記樹脂材料は、銅張積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板が挙げられる。 The resin material is preferably used to obtain a copper clad laminate. An example of the copper-clad laminate is a copper-clad laminate including a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil.

上記銅張積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1μm〜50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂材料の硬化物と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。 The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 μm to 50 μm. Further, in order to enhance the adhesive strength between the cured product of the resin material and the copper foil, the copper foil preferably has fine irregularities on the surface. The method of forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method of forming the unevenness include a method of forming by using a known chemical solution.

上記樹脂材料は、多層基板を得るために好適に用いられる。 The above resin material is preferably used to obtain a multilayer substrate.

上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂材料により形成されている。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。 An example of the multilayer board is a multilayer board including a circuit board and an insulating layer laminated on the circuit board. The insulating layer of this multilayer substrate is formed of the above resin material. Moreover, the insulating layer of the multilayer substrate may be formed of the resin film of the laminated film using a laminated film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit is provided. A part of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。 In the multilayer substrate, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated is roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ、特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。 As the roughening treatment method, a conventionally known roughening treatment method can be used and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be swollen before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。 Further, it is preferable that the multilayer substrate further includes a copper plating layer laminated on the roughened surface of the insulating layer.

また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。 As another example of the multilayer board, a circuit board, an insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and an insulating layer laminated on the surface opposite to the surface on which the circuit board is laminated. And a copper foil. It is preferable that the insulating layer is formed by curing the resin film using a copper clad laminate including a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. Furthermore, it is preferable that the copper foil has been subjected to an etching treatment and is a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数層の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料を用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。 Another example of the above-mentioned multilayer board is a multilayer board including a circuit board and a plurality of insulating layers laminated on the surface of the circuit board. At least one layer of the plurality of insulating layers arranged on the circuit board is formed by using the resin material. It is preferable that the multilayer substrate further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed by using the resin film.

多層基板のうち多層プリント配線板においては、低い誘電正接が求められ、絶縁層による高い絶縁信頼性が求められる。本発明に係る樹脂材料では、誘電正接を低くし、かつ絶縁層と金属層との密着性及びエッチング性能を高めることによって絶縁信頼性を効果的に高めることができる。従って、本発明に係る樹脂材料は、多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために好適に用いられる。 Among multilayer boards, a multilayer printed wiring board is required to have a low dielectric loss tangent and high insulation reliability due to an insulating layer. With the resin material according to the present invention, the dielectric loss tangent can be lowered, and the adhesiveness between the insulating layer and the metal layer and the etching performance can be improved to effectively improve the insulation reliability. Therefore, the resin material according to the present invention is preferably used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board.

上記多層プリント配線板は、例えば、回路基板と、上記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、複数の上記絶縁層間に配置された金属層とを備える。上記絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂材料の硬化物である。 The multilayer printed wiring board includes, for example, a circuit board, a plurality of insulating layers arranged on the surface of the circuit board, and a metal layer arranged between the plurality of insulating layers. At least one layer of the insulating layers is a cured product of the resin material.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂材料を用いた多層プリント配線板を模式的に示す断面図である。 FIG. 1 is a sectional view schematically showing a multilayer printed wiring board using a resin material according to an embodiment of the present invention.

図1に示す多層プリント配線板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の絶縁層13〜16が積層されている。絶縁層13〜16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の絶縁層13〜16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。 In the multilayer printed wiring board 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12a of the circuit board 12. The insulating layers 13 to 16 are cured product layers. A metal layer 17 is formed on a part of the upper surface 12 a of the circuit board 12. In the insulating layers 13 to 15 of the plurality of insulating layers 13 to 16 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side, the metal layer 17 is formed in a part of the upper surface. Has been done. The metal layer 17 is a circuit. A metal layer 17 is arranged between the circuit board 12 and the insulating layer 13 and between the laminated insulating layers 13 to 16, respectively. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of via hole connection and through hole connection (not shown).

多層プリント配線板11では、絶縁層13〜16が、上記樹脂材料の硬化物により形成されている。本実施形態では、絶縁層13〜16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13〜16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層プリント配線板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層プリント配線板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。 In the multilayer printed wiring board 11, the insulating layers 13 to 16 are formed of a cured product of the above resin material. In the present embodiment, since the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, fine holes (not shown) are formed on the surfaces of the insulating layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the minute holes. Further, in the multilayer printed wiring board 11, the widthwise dimension (L) of the metal layer 17 and the widthwise dimension (S) of the portion where the metal layer 17 is not formed can be reduced. Further, in the multilayer printed wiring board 11, good insulation reliability is provided between the upper metal layer and the lower metal layer which are not connected by the via hole connection and the through hole connection (not shown).

(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂材料は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
The resin material is preferably used to obtain a cured product that is roughened or desmeared. The above-mentioned cured product also includes a pre-cured product that can be further cured.

上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。 In order to form fine irregularities on the surface of the cured product obtained by pre-curing the resin material, the cured product is preferably roughened. Before the roughening treatment, the cured product is preferably subjected to a swelling treatment. The cured product is preferably subjected to a swelling treatment after the preliminary curing and before the roughening treatment, and is further cured after the roughening treatment. However, the cured product does not necessarily have to be subjected to the swelling treatment.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30℃〜85℃で1分間〜30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50℃〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。 As a method of the swelling treatment, for example, a method of treating a cured product with an aqueous solution of a compound containing ethylene glycol or the like as a main component or an organic solvent dispersion solution is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjusting agent. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is performed by treating the cured product with a 40 wt% ethylene glycol aqueous solution or the like at a treatment temperature of 30° C. to 85° C. for 1 minute to 30 minutes. The temperature of the swelling treatment is preferably in the range of 50°C to 85°C. If the temperature of the swelling treatment is too low, the swelling treatment may take a long time, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be low.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after adding water or an organic solvent. The roughening solution used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster and the like. The roughening liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。 Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, ammonium persulfate and the like.

硬化物の表面の算術平均粗さRaは、好ましくは10nm以上であり、好ましくは300nm未満、より好ましくは200nm未満、更に好ましくは150nm未満である。この場合には、硬化物と金属層との接着強度が高くなり、更に絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。さらに、導体損失を抑えることができ、信号損失を低く抑えることができる。上記算術平均粗さRaは、JIS B0601:1994に準拠して測定される。 The arithmetic mean roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 10 nm or more, preferably less than 300 nm, more preferably less than 200 nm, still more preferably less than 150 nm. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is increased, and finer wiring is formed on the surface of the insulating layer. Furthermore, conductor loss can be suppressed and signal loss can be suppressed to a low level. The arithmetic average roughness Ra is measured according to JIS B0601:1994.

(デスミア処理)
上記樹脂材料を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60μm〜80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることが多い。
(Desmear processing)
Through holes may be formed in a cured product obtained by pre-curing the resin material. In the above-mentioned multilayer substrate or the like, vias or through holes are formed as through holes. For example, the via can be formed by irradiation with a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 μm to 80 μm. Due to the formation of the through holes, smear, which is a residue of resin derived from the resin component contained in the cured product, is often formed at the bottom of the via.

上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。 In order to remove the smear, the surface of the cured product is preferably desmeared. The desmear process may also serve as the roughening process.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物等の化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。 Similar to the roughening treatment, for example, a chemical oxidizer such as a manganese compound, a chromium compound or a persulfate compound is used in the desmear treatment. These chemical oxidizing agents are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion solution after adding water or an organic solvent. The desmear treatment liquid used for the desmear treatment generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記樹脂材料の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。 By using the above resin material, the surface roughness of the surface of the desmeared cured product is sufficiently reduced.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described by giving Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited to the following examples.

以下の材料を用意した。 The following materials were prepared.

(エポキシ化合物)
ビフェニル型エポキシ化合物(日本化薬社製「NC−3000」、エポキシ当量275g/eq、25℃で固形、平均エポキシ基数2.2を超える(エポキシ基を3個以上有するエポキシ化合物を含む))
ビスフェノールA型エポキシ化合物(日本化薬社製「RE−410S」、エポキシ当量185g/eq、25℃で固形、平均エポキシ基数2.2未満)
(Epoxy compound)
Biphenyl type epoxy compound ("NC-3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., epoxy equivalent 275 g/eq, solid at 25°C, average number of epoxy groups exceeds 2.2 (including epoxy compound having 3 or more epoxy groups)).
Bisphenol A type epoxy compound (“RE-410S” manufactured by Nippon Kayaku Co., epoxy equivalent 185 g/eq, solid at 25° C., average number of epoxy groups less than 2.2)

(硬化剤)
活性エステル化合物含有液(DIC社製「EXB−9416−70BK」、固形分70重量%)
フェノール化合物含有液(DIC社製「LA3018−50P」、固形分50重量%)
(Curing agent)
Liquid containing active ester compound ("EXB-9416-70BK" manufactured by DIC, solid content 70% by weight)
Phenol compound-containing liquid ("LA3018-50P" manufactured by DIC, solid content 50% by weight)

(硬化促進剤)
2−フェニル−4−メチルイミダゾール(四国化成工業社製「2P4MZ」、アニオン性硬化促進剤)
(Curing accelerator)
2-Phenyl-4-methylimidazole ("2P4MZ" manufactured by Shikoku Chemicals, an anionic curing accelerator)

(無機充填材)
シリカ含有スラリー(シリカ75重量%:アドマテックス社製「SC4050−HOA」、平均粒径1.0μm、アミノシラン処理、シクロヘキサノン25重量%)
(Inorganic filler)
Silica-containing slurry (silica 75% by weight: "SC4050-HOA" manufactured by Admatechs Co., Ltd., average particle size 1.0 μm, aminosilane treatment, cyclohexanone 25% by weight)

(実施例1)
ビフェニル型エポキシ化合物11.3重量部と、活性エステル化合物含有液16.2重量部と、2−フェニル−4−メチルイミダゾール0.5重量部と、シリカ含有スラリー72.0重量部とを混合し、均一な溶液となるまで常温で攪拌し、樹脂材料(樹脂組成物)を得た。
(Example 1)
11.3 parts by weight of a biphenyl type epoxy compound, 16.2 parts by weight of an active ester compound-containing liquid, 0.5 parts by weight of 2-phenyl-4-methylimidazole, and 72.0 parts by weight of a silica-containing slurry are mixed. Then, the mixture was stirred at room temperature until a uniform solution was obtained to obtain a resin material (resin composition).

樹脂フィルムの作製:
アプリケーターを用いて、離型処理されたポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(東レ社製「XG284」、厚み25μm)の離型処理面上に得られた樹脂材料を塗工した後、100℃のギヤオーブン内で2分30秒間乾燥し、溶剤を揮発させた。このようにして、PETフィルム上に、厚さが40μmである樹脂フィルム(Bステージフィルム)が積層されている積層フィルム(PETフィルムと樹脂フィルムとの積層フィルム)を得た。
Production of resin film:
After coating the obtained resin material on the release-treated surface of a release-treated polyethylene terephthalate (PET) film (“XG284” manufactured by Toray Industries, Inc., thickness 25 μm) using an applicator, a gear oven at 100° C. It was dried inside for 2 minutes and 30 seconds to evaporate the solvent. Thus, a laminated film (laminated film of PET film and resin film) in which a resin film (B stage film) having a thickness of 40 μm was laminated on the PET film was obtained.

(実施例2〜16及び比較例1〜5)
配合成分の種類及び配合量を下記の表1〜3に示すように変更したこと以外は実施例1と同様にして、樹脂組成物及び樹脂フィルムを作製した。
(Examples 2 to 16 and Comparative Examples 1 to 5)
A resin composition and a resin film were produced in the same manner as in Example 1 except that the types and amounts of the compounding ingredients were changed as shown in Tables 1 to 3 below.

(評価)
(1)誘電正接
得られた樹脂フィルムを幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して5枚を重ね合わせて、厚み200μmの積層体を得た。得られた積層体を190℃で90分間加熱して、硬化物を得た。得られた硬化物について、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)にて、周波数1.0GHzにて誘電正接を測定した。
(Evaluation)
(1) Dielectric loss tangent The obtained resin film was cut into a size having a width of 2 mm and a length of 80 mm and five sheets were stacked to obtain a laminate having a thickness of 200 μm. The obtained laminated body was heated at 190° C. for 90 minutes to obtain a cured product. The obtained cured product is subjected to a cavity resonance method at room temperature (23° C.) using “Cavity resonance perturbation method dielectric constant measuring device CP521” manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and “Network Analyzer N5224A PNA” manufactured by Keysight Technology Co., Ltd. Then, the dielectric loss tangent was measured at a frequency of 1.0 GHz.

[誘電正接の判定基準]
○:誘電正接が0.0040未満
△:誘電正接が0.0040以上0.0045未満
×:誘電正接が0.0045以上
[Judgment criteria of dielectric loss tangent]
◯: Dielectric loss tangent is less than 0.0040 Δ: Dielectric loss tangent is 0.0040 or more and less than 0.0045 ×: Dielectric loss tangent is 0.0045 or more

(2)メッキピール強度
ラミネート工程及び半硬化処理:
100mm角の両面銅張積層板(CCL基板)(日立化成社製「E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP−500−IIA」を用いて、粗化処理された銅張積層板の両面に、積層フィルムの樹脂フィルム(Bステージフィルム)側を銅張積層板上に重ねてラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.7MPaでラミネートし、更にプレス圧力0.8MPa及びプレス温度100℃で60秒間プレスした。その後、PETフィルムを付けたまま、積層構造体における樹脂フィルムを100℃で30分間加熱した後、180℃で30分間さらに加熱し、樹脂フィルムを半硬化させた。その後、PETフィルムを剥離することで、CCL基板に樹脂フィルムの半硬化物が積層されている積層体を得た。
(2) Plating peel strength Laminating process and semi-curing treatment:
A 100 mm square double-sided copper clad laminate (CCL substrate) ("E679FG" manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was prepared. Both surfaces of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in "Cz8101" manufactured by MEC Co., Ltd. to roughen the surface of the copper foil. Using "Batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA" manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd., the resin film (B stage film) side of the laminated film is placed on the copper clad laminated plate on both sides of the roughened copper clad laminated plate. And laminated to obtain a laminated structure. The laminating conditions were such that the pressure was reduced for 30 seconds so that the atmospheric pressure was 13 hPa or less, and then the layers were laminated for 30 seconds at 100° C. and a pressure of 0.7 MPa, and further pressed at a pressing pressure of 0.8 MPa and a pressing temperature of 100° C. for 60 seconds. Then, with the PET film attached, the resin film in the laminated structure was heated at 100° C. for 30 minutes and further heated at 180° C. for 30 minutes to semi-cure the resin film. Then, the PET film was peeled off to obtain a laminate in which the semi-cured resin film was laminated on the CCL substrate.

粗化処理:
(a)膨潤処理:
60℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体を入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
Roughening treatment:
(A) Swelling treatment:
The obtained laminated body was put into a swelling liquid (“Swelling Dip Securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 60° C. and shaken for 10 minutes. Then, it was washed with pure water.

(b)過マンガン酸塩処理(粗化処理及びデスミア処理):
80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体を入れて、30分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄を行い、粗化処理した。
(B) Permanganate treatment (roughening treatment and desmear treatment):
The laminated body after the swelling treatment was put into a roughened aqueous solution of potassium permanganate (“Concentrate Compact CP” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 80° C. and shaken for 30 minutes. Next, after treatment for 2 minutes using a cleaning liquid (“Reduction Securigant P” manufactured by Atotech Japan) at 25° C., cleaning was performed with pure water and roughening treatment was performed.

無電解めっき処理:
得られた粗化処理された硬化物の表面を、60℃のアルカリクリーナ(アトテックジャパン社製「クリーナーセキュリガント902」)で5分間処理し、脱脂洗浄した。洗浄後、上記硬化物を25℃のプリディップ液(アトテックジャパン社製「プリディップネオガントB」)で2分間処理した。その後、上記硬化物を40℃のアクチベーター液(アトテックジャパン社製「アクチベーターネオガント834」)で5分間処理し、パラジウム触媒を付けた。次に、30℃の還元液(アトテックジャパン社製「リデューサーネオガントWA」)により、硬化物を5分間処理した。
Electroless plating treatment:
The surface of the obtained roughened cured product was treated with an alkaline cleaner (“Cleaner Seculigant 902” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 60° C. for 5 minutes and degreased and washed. After washing, the cured product was treated with a 25° C. predip solution (“Predip Neogant B” manufactured by Atotech Japan) for 2 minutes. Then, the cured product was treated with an activator liquid (“Activator Neogant 834” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) at 40° C. for 5 minutes and attached with a palladium catalyst. Next, the cured product was treated with a reducing solution at 30° C. (“Reducer Neogant WA” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) for 5 minutes.

次に、上記硬化物を化学銅液(アトテックジャパン社製「ベーシックプリントガントMSK−DK」、「カッパープリントガントMSK」、「スタビライザープリントガントMSK」、及び「リデューサーCu」)に入れ、無電解めっきをめっき厚さが0.5μm程度になるまで実施した。無電解めっき後に、残留している水素ガスを除去するため、120℃の温度で30分間アニール処理した。なお、無電解めっきの工程までの全ての工程は、ビーカースケールで処理液を2Lとし、硬化物を揺動させながら実施した。 Next, the above cured product is placed in a chemical copper solution ("Basic Print Gantt MSK-DK", "Copper Print Gantt MSK", "Stabilizer Print Gantt MSK", and "Reducer Cu" manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.), and electroless plating is performed. Was carried out until the plating thickness became about 0.5 μm. After the electroless plating, an annealing treatment was performed at a temperature of 120° C. for 30 minutes in order to remove the residual hydrogen gas. In addition, all the processes up to the electroless plating process were performed while the treated liquid was set to 2 L on a beaker scale and the cured product was shaken.

電解めっき処理:
次に、無電解めっき処理された硬化物に、電解めっきをめっき厚さが25μmとなるまで実施した。電解銅めっきとして硫酸銅溶液(和光純薬工業社製「硫酸銅五水和物」、和光純薬工業社製「硫酸」、アトテックジャパン社製「ベーシックレベラーカパラシド HL」、アトテックジャパン社製「補正剤カパラシド GS」)を用いて、0.6A/cmの電流を流しめっき厚さが25μm程度となるまで電解めっきを実施した。銅めっき処理後、硬化物を200℃で60分間加熱し、硬化物を更に硬化させた。このようにして、銅めっき層が上面に積層された硬化物を得た。
Electrolytic plating process:
Next, the electroless-plated cured product was subjected to electrolytic plating until the plating thickness became 25 μm. Copper sulfate solution as electrolytic copper plating (“copper sulfate pentahydrate” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd., “sulfuric acid” manufactured by Wako Pure Chemical Industries, “Basic Leveler Caparaside HL” manufactured by Atotech Japan, “Atotech Japan” Electrolytic plating was carried out by applying a current of 0.6 A/cm 2 to a plating thickness of about 25 μm using a corrector Kaparaside GS”). After the copper plating treatment, the cured product was heated at 200° C. for 60 minutes to further cure the cured product. Thus, a cured product having the copper plating layer laminated on the upper surface was obtained.

メッキピール強度の測定:
得られた銅めっき層が上面に積層された硬化物の銅めっき層の表面に10mm幅の短冊状の切込みを、5mm間隔で合計6箇所入れた。90°剥離試験機(テスター産業社製「TE−3001」)に銅めっき層が上面に積層された硬化物をセットし、つかみ具で切込みの入った銅めっき層の端部をつまみあげ、銅めっき層を20mm剥離して剥離強度(メッキピール強度)を測定した。6箇所の切り込み箇所に対してそれぞれ剥離強度(メッキピール強度)を測定し、メッキピール強度の平均値を求めた。メッキピール強度を下記の基準で判定した。
Plating peel strength measurement:
Six strip-shaped cuts having a width of 10 mm were made at 5 mm intervals on the surface of the copper-plated layer of the cured product having the obtained copper-plated layer laminated on the upper surface. A cured product with a copper plating layer laminated on the upper surface was set in a 90° peeling tester (“TE-3001” manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.), and the end of the notched copper plating layer was picked up with a gripping tool, and the copper was cut. The plating layer was peeled by 20 mm and the peel strength (plating peel strength) was measured. The peel strength (plating peel strength) was measured for each of the six cut portions, and the average value of the plating peel strength was determined. The plating peel strength was judged according to the following criteria.

[メッキピール強度の判定基準]
○:メッキピール強度の平均値が0.5kgf/cm以上
△:メッキピール強度の平均値が0.4kgf/cm以上0.5kgf/cm未満
×:メッキピール強度の平均値が0.4kgf/cm未満
[Criteria for plating peel strength]
◯: The average value of the plating peel strength is 0.5 kgf/cm or more Δ: The average value of the plating peel strength is 0.4 kgf/cm or more and less than 0.5 kgf/cm ×: The average value of the plating peel strength is 0.4 kgf/cm Less than

(3)熱寸法安定性(平均線膨張係数(CTE))
得られた厚さ40μmの樹脂フィルム(Bステージフィルム)を190℃で90分間加熱して得られた硬化物を3mm×25mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「EXSTAR TMA/SS6100」)を用いて、引っ張り荷重33mN及び昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化物の25℃〜150℃までの平均線膨張係数(ppm/℃)を算出した。
(3) Thermal dimensional stability (average linear expansion coefficient (CTE))
The cured film obtained by heating the obtained 40 μm-thick resin film (B stage film) at 190° C. for 90 minutes was cut into a size of 3 mm×25 mm. Using a thermomechanical analyzer (“EXSTAR TMA/SS6100” manufactured by SII Nanotechnology Inc.), the cured product cut at 25° C. to 150° C. under the conditions of a tensile load of 33 mN and a heating rate of 5° C./min. The average linear expansion coefficient (ppm/° C.) up to was calculated.

[平均線膨張係数の判定基準]
○○:平均線膨張係数が25ppm/℃以下
○:平均線膨張係数が25ppm/℃を超え30ppm/℃以下
△:平均線膨張係数が30ppm/℃を超える
[Criteria for determining average linear expansion coefficient]
◯: Average linear expansion coefficient of 25 ppm/° C. or less ○: Average linear expansion coefficient of more than 25 ppm/° C. and 30 ppm/° C. or less Δ: Average linear expansion coefficient of more than 30 ppm/° C.

組成及び結果を下記の表1〜3に示す。 The compositions and results are shown in Tables 1-3 below.

Figure 2020111695
Figure 2020111695

Figure 2020111695
Figure 2020111695

Figure 2020111695
Figure 2020111695

11…多層プリント配線板
12…回路基板
12a…上面
13〜16…絶縁層
17…金属層
11... Multilayer printed wiring board 12... Circuit board 12a... Upper surface 13-16... Insulating layer 17... Metal layer

Claims (7)

エポキシ化合物と、硬化剤とを含み、
前記硬化剤が、活性エステル化合物を含み、
樹脂材料中の前記エポキシ化合物のエポキシ基の合計数の、樹脂材料中の前記硬化剤の反応性基の合計数に対する比が1.2以上1.8以下であり、
樹脂材料中の前記硬化剤の反応性基の合計数100%中、樹脂材料中の前記活性エステル化合物の活性エステル基の合計数が70%以上である、樹脂材料。
Including an epoxy compound and a curing agent,
The curing agent contains an active ester compound,
The ratio of the total number of epoxy groups of the epoxy compound in the resin material to the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material is 1.2 or more and 1.8 or less,
A resin material in which the total number of active ester groups of the active ester compound in the resin material is 70% or more in 100% of the total number of reactive groups of the curing agent in the resin material.
前記エポキシ化合物が、エポキシ基を3個以上有するエポキシ化合物を含み、
前記エポキシ化合物100重量%中、前記エポキシ基を3個以上有するエポキシ化合物の含有量が3重量%以上である、請求項1に記載の樹脂材料。
The epoxy compound includes an epoxy compound having three or more epoxy groups,
The resin material according to claim 1, wherein the content of the epoxy compound having three or more epoxy groups is 3% by weight or more based on 100% by weight of the epoxy compound.
硬化促進剤を含み、
前記硬化促進剤が、イミダゾール化合物である、請求項1又は2に記載の樹脂材料。
Including a curing accelerator,
The resin material according to claim 1, wherein the curing accelerator is an imidazole compound.
無機充填材を含み、
樹脂材料中の溶剤を除く成分100重量%中、前記無機充填材の含有量が60重量%以上である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂材料。
Including inorganic filler,
The resin material according to any one of claims 1 to 3, wherein the content of the inorganic filler is 60% by weight or more based on 100% by weight of the component excluding the solvent in the resin material.
樹脂フィルムである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to any one of claims 1 to 4, which is a resin film. 多層プリント配線板において、絶縁層を形成するために用いられる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂材料。 The resin material according to claim 1, which is used for forming an insulating layer in a multilayer printed wiring board. 回路基板と、
前記回路基板の表面上に配置された複数の絶縁層と、
複数の前記絶縁層間に配置された金属層とを備え、
複数の前記絶縁層の内の少なくとも1層が、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂材料の硬化物である、多層プリント配線板。
Circuit board,
A plurality of insulating layers disposed on the surface of the circuit board,
A metal layer disposed between the plurality of insulating layers,
A multilayer printed wiring board, wherein at least one layer of the plurality of insulating layers is a cured product of the resin material according to any one of claims 1 to 6.
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