JP6408847B2 - Resin composition - Google Patents

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Description

本発明は、エポキシ樹脂と活性エステル硬化剤とを含む樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a resin composition containing an epoxy resin and an active ester curing agent.

近年、スマートホン及びタブレット等の携帯端末が急速に普及している。この結果、より膨大なデータの通信及び処理を行う必要性が高まっている。データセンター及び情報基地局のサーバー等の設備には、高速伝送に対応することが要求されている。高速伝送を達成するためには、信号ロスを低減する必要がある。このため、装置を構成するプリント配線板等には、誘電特性(誘電率、誘電正接)が低い熱硬化性樹脂が使用されている。   In recent years, mobile terminals such as smart phones and tablets have rapidly spread. As a result, there is an increasing need for communication and processing of a larger amount of data. Equipments such as data center and information base station servers are required to support high-speed transmission. In order to achieve high-speed transmission, it is necessary to reduce signal loss. For this reason, a thermosetting resin having a low dielectric property (dielectric constant, dielectric loss tangent) is used for a printed wiring board or the like constituting the apparatus.

また、例えば、下記の特許文献1に開示されているように、エポキシ樹脂と活性エステル硬化剤とを含む樹脂組成物が知られている。この樹脂組成物では、反応時に極性が高い水酸基がエポキシ樹脂から生成されず、得られる硬化物では、極めて低い誘電正接が発現する。   For example, as disclosed in Patent Document 1 below, a resin composition containing an epoxy resin and an active ester curing agent is known. In this resin composition, a hydroxyl group having high polarity at the time of reaction is not generated from the epoxy resin, and the cured product obtained exhibits a very low dielectric loss tangent.

特開2014−159512号公報JP 2014-159512 A

しかし、エポキシ樹脂と活性エステル硬化剤とを含む樹脂組成物では、極性が低いために、プリント配線板の微細配線加工プロセスであるセミアディティブプロセス(SAP)において、適性が低い。具体的には、上記樹脂組成物の硬化物と導体部との密着性が低く、浮きや剥がれが生じやすい。さらに、層間の電気接続のためのレーザービア加工時に、ビア底に樹脂残渣(スミア)が残りやすい。活性エステル硬化剤を用いた樹脂組成物では、誘電正接を低くすることができるものの、硬化物と導体部との高い密着性と、ビア加工時にスミアの残存抑制との双方を達成することが困難である。   However, since the resin composition containing an epoxy resin and an active ester curing agent has low polarity, its suitability is low in a semi-additive process (SAP) which is a fine wiring processing process of a printed wiring board. Specifically, the adhesiveness between the cured product of the resin composition and the conductor portion is low, and floating and peeling are likely to occur. Furthermore, resin residues (smear) tend to remain on the via bottom during laser via processing for electrical connection between layers. Although the resin composition using the active ester curing agent can lower the dielectric loss tangent, it is difficult to achieve both high adhesion between the cured product and the conductor and suppression of residual smear during via processing. It is.

本発明の目的は、硬化後の硬化物と導体部との密着性を高めることができ、ビア加工時にスミアの残存を少なくすることができる樹脂組成物を提供することである。   The objective of this invention is providing the resin composition which can improve the adhesiveness of the hardened | cured material after hardening, and a conductor part, and can reduce the residual of a smear at the time of via | veer processing.

本発明の広い局面によれば、少なくとも1種のエポキシ樹脂と、少なくとも2種の硬化剤とを含み、前記少なくとも2種の硬化剤が、活性エステル硬化剤を含み、樹脂組成物中の全ての前記エポキシ樹脂100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%の、樹脂組成物中の全ての前記硬化剤100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%に対する比が、1/3以上、1以下である、樹脂組成物が提供される。   According to a broad aspect of the present invention, at least one epoxy resin and at least two curing agents are included, the at least two curing agents include an active ester curing agent, and all of the resin compositions The ratio of the total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of the epoxy resin to the total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all the curing agents in the resin composition is 1/3. As described above, a resin composition of 1 or less is provided.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、前記少なくとも2種の硬化剤が、前記活性エステル硬化剤以外の硬化剤として、アミノトリアジン変性フェノール硬化剤又はアミノトリアジン変性クレゾール硬化剤を含む。   In a specific aspect of the resin composition according to the present invention, the at least two kinds of curing agents include an aminotriazine-modified phenol curing agent or an aminotriazine-modified cresol curing agent as a curing agent other than the active ester curing agent.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、樹脂組成物中の全ての前記硬化剤の反応性基の合計数の、樹脂組成物中の前記アミノトリアジン変性フェノール硬化剤及びアミノトリアジン変性クレゾール硬化剤の反応性基の合計数に対する比が、2.5以上、10以下である。   In a specific aspect of the resin composition according to the present invention, the total number of reactive groups of all the curing agents in the resin composition, the aminotriazine-modified phenol curing agent and the aminotriazine-modified cresol in the resin composition. The ratio of the curing agent to the total number of reactive groups is 2.5 or more and 10 or less.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、150℃以上で0.5時間以上硬化させた硬化物の周波数5.8GHzでの誘電正接が0.007以下である。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, the dielectric loss tangent in the frequency of 5.8 GHz of the hardened | cured material hardened | cured at 150 degreeC or more for 0.5 hour or more is 0.007 or less.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、前記少なくとも1種のエポキシ樹脂が、エポキシ当量が120以下であるエポキシ樹脂を含む。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, the said at least 1 sort (s) of epoxy resin contains the epoxy resin whose epoxy equivalent is 120 or less.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、硬化が空気に曝露されない環境下で行われる。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, hardening is performed in the environment which is not exposed to air.

本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、ビルドアップ配線板に用いられる絶縁材料である。   On the specific situation with the resin composition which concerns on this invention, it is an insulating material used for a buildup wiring board.

本発明に係る樹脂組成物は、少なくとも1種のエポキシ樹脂と、少なくとも2種の硬化剤とを含み、上記少なくとも2種の硬化剤が、活性エステル硬化剤を含み、樹脂組成物中の全ての上記エポキシ樹脂100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%の、樹脂組成物中の全ての上記硬化剤100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%に対する比が、1/3以上、1以下であるので、硬化後の硬化物と導体部との密着性を高めることができ、ビア加工時にスミアの残存を少なくすることができる。   The resin composition according to the present invention includes at least one epoxy resin and at least two curing agents, and the at least two curing agents include an active ester curing agent, and include all of the resin compositions in the resin composition. The ratio of the total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of the epoxy resin to the total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all the curing agents in the resin composition is 1/3. As described above, since it is 1 or less, it is possible to improve the adhesion between the cured product and the conductor part after curing, and to reduce the remaining smear during via processing.

図1は、本発明の一実施形態に係る樹脂組成物を用いた多層基板を模式的に示す部分切欠正面断面図である。FIG. 1 is a partially cutaway front sectional view schematically showing a multilayer substrate using a resin composition according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明の詳細を説明する。   Details of the present invention will be described below.

(樹脂組成物)
本発明に係る樹脂組成物は、少なくとも1種のエポキシ樹脂と、少なくとも2種の硬化剤とを含む。本発明に係る樹脂組成物は、熱硬化性樹脂組成物である。本発明に係る樹脂組成物では、上記少なくとも2種の硬化剤が、活性エステル硬化剤を含む。本発明に係る樹脂組成物中の全ての上記エポキシ樹脂100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%の、本発明に係る樹脂組成物中の全ての上記硬化剤100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%に対する比(全てのエポキシ樹脂100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%/全ての硬化剤100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%)は、1/3以上、1以下である。
(Resin composition)
The resin composition according to the present invention includes at least one epoxy resin and at least two curing agents. The resin composition according to the present invention is a thermosetting resin composition. In the resin composition according to the present invention, the at least two curing agents include an active ester curing agent. Included in 100% by weight of all the curing agents in the resin composition according to the present invention of the total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all the epoxy resins in the resin composition according to the present invention. The ratio of the total number of nitrogen atoms to the total weight% (total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all epoxy resins / total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all curing agents) 1/3 or more and 1 or less.

本発明では、上述した構成が備えられているので、硬化後の硬化物と導体部との密着性を高めることができ、ビア加工時にスミアの残存を少なくすることができる。本発明では、硬化物と導体部との高い密着性と、ビア加工時にスミアの残存抑制との双方を達成することができる。硬化後の硬化物と導体部との密着性を高めることで、浮きや剥がれを抑制し、ハローイングと呼ばれる異常現象の発生を抑制できる。さらに、本発明では、誘電正接を低くすることもできる。   In this invention, since the structure mentioned above is provided, the adhesiveness of the hardened | cured material after hardening and a conductor part can be improved, and a residual smear can be decreased at the time of via | veer processing. In the present invention, it is possible to achieve both high adhesion between the cured product and the conductor portion and suppression of remaining smear during via processing. By increasing the adhesion between the cured product and the conductor part after curing, floating and peeling can be suppressed, and the occurrence of an abnormal phenomenon called haloing can be suppressed. Further, in the present invention, the dielectric loss tangent can be lowered.

具体的には、エポキシ樹脂と活性エステル硬化剤とを硬化系に用いることで、フェノール硬化剤などの従来の硬化系において樹脂マトリックス中に生成するエポキシ樹脂由来の極性の高い2級水酸基の発生を抑えることにより、誘電正接を低減させる。しかしながら、この低極性樹脂については低極性が故に導体層の銅との密着性が不足したり、導体の層間接続のためのレーザービア形成時のビア底の残渣(スミア)の除去が難しくなったりする。   Specifically, by using an epoxy resin and an active ester curing agent in a curing system, generation of a highly polar secondary hydroxyl group derived from an epoxy resin generated in a resin matrix in a conventional curing system such as a phenol curing agent. By suppressing, the dielectric loss tangent is reduced. However, the low polarity of this low-polarity resin results in insufficient adhesion to the copper of the conductor layer, and it is difficult to remove via bottom residue (smear) during laser via formation for conductor interlayer connection. To do.

そこで、銅との親和性の高い窒素原子を樹脂マトリックス内に直接取り込んだ形で導入することで、具体的には窒素原子を含む硬化剤として所定割合処方することで、銅との密着性を向上させることができる。   Therefore, by introducing nitrogen atoms with high affinity to copper directly into the resin matrix, specifically by prescribing a predetermined ratio as a curing agent containing nitrogen atoms, adhesion with copper can be improved. Can be improved.

また、窒素原子を含むエポキシ樹脂について所定割合処方することで、樹脂マトリックス骨格として局所的に取り込まれた窒素原子により微量の極性サイトをつくることができ、このサイトがデスミアの起点となりビア底にスミアが残ることを抑制させることができる。   In addition, by prescribing a predetermined proportion of epoxy resin containing nitrogen atoms, a small amount of polar sites can be created by nitrogen atoms locally incorporated as the resin matrix skeleton, and this site becomes the origin of desmear and smears at the bottom of the via. Can be prevented from remaining.

上記比(全てのエポキシ樹脂100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%/全ての硬化剤100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%)が1/3未満であると、硬化物の誘電正接が高くなる傾向があり、極性サイトが増えすぎて、硬化物の表面の表面粗さが大きくなる。上記比(全てのエポキシ樹脂100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%/全ての硬化剤100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%)が1を超えると、スミアが残存しやすくなる。   When the above ratio (total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all epoxy resins / total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all curing agents) is less than 1/3, The dielectric loss tangent of the cured product tends to be high, the polar sites increase too much, and the surface roughness of the surface of the cured product increases. When the above ratio (total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all epoxy resins / total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all curing agents) exceeds 1, smear remains. It becomes easy to do.

本発明に係る樹脂組成物は、エポキシ樹脂を1種のみ含んでいてもよく、2種以上含んでいてもよい。上記少なくとも1種のエポキシ樹脂は、窒素原子を有するエポキシ樹脂のみを含んでいてもよく、窒素原子を有するエポキシ樹脂と、窒素原子を有さないエポキシ樹脂とを含んでいてもよい。   The resin composition according to the present invention may contain only one kind of epoxy resin, or may contain two or more kinds. The at least one epoxy resin may contain only an epoxy resin having a nitrogen atom, or may contain an epoxy resin having a nitrogen atom and an epoxy resin not having a nitrogen atom.

上記少なくとも2種の硬化剤は、窒素原子を有する硬化剤のみを含んでいてもよく、窒素原子を有する硬化剤と、窒素原子を有さない硬化剤とを含んでいてもよい。上記硬化剤は、活性エステル硬化剤のみを含んでいてもよく、活性エステル硬化剤と、活性エステル以外の硬化剤とを含んでいてもよい。上記硬化剤は、少なくとも2種の活性エステル硬化剤を含んでいてもよい。上記活性エステル硬化剤は、窒素原子を有する活性エステル硬化剤であってもよく、窒素原子を有さない活性エステル硬化剤であってもよい。上記活性エステル硬化剤は、窒素原子を有する活性エステル硬化剤のみを含んでいてもよく、窒素原子を有さない活性エステル硬化剤のみを含んでいてもよく、窒素原子を有する活性エステル硬化剤と、窒素原子を有さない活性エステル硬化剤とを含んでいてもよい。上記硬化剤は、窒素原子を有する活性エステル硬化剤と、活性エステル硬化剤以外の窒素原子を有する硬化剤とを含んでいてもよく、窒素原子を有する活性エステル硬化剤と、活性エステル硬化剤以外の窒素原子を有さない硬化剤とを含んでいてもよく、窒素原子を有さない活性エステル硬化剤と、活性エステル硬化剤以外の窒素原子を有する硬化剤とを含んでいてもよい。上記硬化剤は、窒素原子を有さない活性エステル硬化剤と、活性エステル硬化剤以外の窒素原子を有する硬化剤とを含むことが好ましい。   The at least two kinds of curing agents may include only a curing agent having a nitrogen atom, or may include a curing agent having a nitrogen atom and a curing agent not having a nitrogen atom. The said hardening | curing agent may contain only active ester hardening | curing agent, and may contain active ester hardening | curing agent and hardening | curing agents other than active ester. The curing agent may contain at least two active ester curing agents. The active ester curing agent may be an active ester curing agent having a nitrogen atom or an active ester curing agent having no nitrogen atom. The active ester curing agent may include only an active ester curing agent having a nitrogen atom, or may include only an active ester curing agent having no nitrogen atom, and an active ester curing agent having a nitrogen atom; And an active ester curing agent having no nitrogen atom. The curing agent may include an active ester curing agent having a nitrogen atom and a curing agent having a nitrogen atom other than the active ester curing agent, other than the active ester curing agent having a nitrogen atom and the active ester curing agent. And a curing agent having no nitrogen atom, and an active ester curing agent having no nitrogen atom, and a curing agent having a nitrogen atom other than the active ester curing agent. The curing agent preferably includes an active ester curing agent having no nitrogen atom and a curing agent having a nitrogen atom other than the active ester curing agent.

本発明に係る樹脂組成物中の全ての上記硬化剤100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%は、好ましくは0.5重量%以上、より好ましくは1重量%以上、好ましくは10重量%以下、より好ましくは5重量%以下である。上記硬化剤100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%が上記下限以上であると、硬化物部と導体部との密着性がより一層高くなり、浮き及び剥がれがより一層生じ難くなり、ハローイングがより一層発生し難くなる。上記硬化剤100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%が上記上限以下であると、誘電正接がより一層低くなり、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなる。   The total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all the curing agents in the resin composition according to the present invention is preferably 0.5% by weight or more, more preferably 1% by weight or more, preferably 10%. % By weight or less, more preferably 5% by weight or less. When the total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of the curing agent is equal to or higher than the lower limit, the adhesion between the cured product part and the conductor part is further enhanced, and floating and peeling are less likely to occur. , Haloing is more difficult to occur. When the total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of the curing agent is not more than the above upper limit, the dielectric loss tangent is further lowered and the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced.

プリント配線板などの絶縁層では、誘電正接が低いことが求められることが多い。本発明に係る樹脂組成物では、硬化物の誘電正接を低くすることができる。本発明に係る樹脂組成物を150℃以上で1時間以上硬化させた硬化物の周波数5.8GHzでの誘電正接は好ましくは0.008以下、より好ましくは0.007以下、更に好ましくは0.006以下である。本発明に係る樹脂組成物を150℃以上で0.5時間以上硬化させた硬化物の周波数10GHzでの誘電正接は好ましくは0.008以下、より好ましくは0.007以下、更に好ましくは0.006以下である。   Insulating layers such as printed wiring boards are often required to have a low dielectric loss tangent. In the resin composition according to the present invention, the dielectric loss tangent of the cured product can be lowered. The dielectric loss tangent at a frequency of 5.8 GHz of the cured product obtained by curing the resin composition according to the present invention at 150 ° C. or more for 1 hour or more is preferably 0.008 or less, more preferably 0.007 or less, and still more preferably 0.8. 006 or less. The dielectric loss tangent at a frequency of 10 GHz of a cured product obtained by curing the resin composition according to the present invention at 150 ° C. or more for 0.5 hour or more is preferably 0.008 or less, more preferably 0.007 or less, and still more preferably 0.8. 006 or less.

プリント配線板の導体層(銅)は、絶縁層である熱硬化性樹脂の硬化時に酸化されるリスクがあり、酸化した銅はエッチング液(酸)に弱く、エッチング時に削れやすい。たとえば、樹脂で被覆されている導体層であっても、樹脂と接触している部分の導体が酸化され、レーザービア工程などでハローイング等に繋がる傾向がある。このため、少しでも酸化を軽減することが望まれる。本発明に係る樹脂組成物のある特定の局面では、熱硬化性樹脂組成物の硬化が空気に曝露されない環境下で行われてもよい。   There is a risk that the conductor layer (copper) of the printed wiring board is oxidized when the thermosetting resin that is the insulating layer is cured, and the oxidized copper is weak against an etching solution (acid) and is easily scraped during etching. For example, even in a conductor layer coated with a resin, the portion of the conductor in contact with the resin tends to be oxidized, leading to haloing or the like in a laser via process or the like. For this reason, it is desirable to reduce oxidation even a little. In a specific aspect of the resin composition according to the present invention, the thermosetting resin composition may be cured in an environment where the resin composition is not exposed to air.

空気に曝露されない環境下の例としては、アルゴンや窒素などの不活性ガスの環境下、又は樹脂の表面をPET等の樹脂フィルムで被覆したままでの環境下が挙げられる。上記の環境下はどちらも組み合わせることも可能である。   Examples of the environment that is not exposed to air include an environment of an inert gas such as argon or nitrogen, or an environment where the resin surface is covered with a resin film such as PET. Both can be combined in the above environment.

本発明に係る樹脂組成物は、電子部品の絶縁封止用途、マザーボード等の多層プリント配線板、ICパッケージ等のビルドアップ配線板等に好適に用いることができる。なかでも、本発明に係る樹脂組成物は、ビルドアップ配線板に好適に用いることができる。   The resin composition according to the present invention can be suitably used for insulation sealing of electronic parts, multilayer printed wiring boards such as mother boards, build-up wiring boards such as IC packages, and the like. Especially, the resin composition concerning this invention can be used suitably for a buildup wiring board.

以下、本発明に係る樹脂組成物に用いられる各成分の詳細を説明する。   Hereinafter, the detail of each component used for the resin composition which concerns on this invention is demonstrated.

[エポキシ樹脂]
上記樹脂組成物は、少なくとも1種の硬化剤を含む。
[Epoxy resin]
The resin composition includes at least one curing agent.

上記樹脂組成物に含まれているエポキシ樹脂は特に限定されない。該エポキシ樹脂として、従来公知のエポキシ樹脂を使用可能である。該エポキシ樹脂は、少なくとも1個のエポキシ基を有する有機化合物をいう。エポキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The epoxy resin contained in the resin composition is not particularly limited. A conventionally well-known epoxy resin can be used as this epoxy resin. The epoxy resin refers to an organic compound having at least one epoxy group. As for an epoxy resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記エポキシ樹脂としては、イソシアヌル酸骨格エポキシ樹脂、p−アミノフェノール型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、アダマンタン骨格を有するエポキシ樹脂、トリシクロデカン骨格を有するエポキシ樹脂、及びトリアジン核を骨格に有するエポキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the epoxy resin include isocyanuric acid skeleton epoxy resin, p-aminophenol type epoxy resin, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, and biphenyl. Novolac type epoxy resin, biphenol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, fluorene type epoxy resin, phenol aralkyl type epoxy resin, naphthol aralkyl type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, epoxy resin having adamantane skeleton , Epoxy resins having a tricyclodecane skeleton, and epoxy resins having a triazine nucleus in the skeleton.

硬化物と導体部との密着性を効果的に高め、ビア加工時にスミアの残存をより一層抑える観点からは、上記少なくとも1種のエポキシ樹脂は、エポキシ当量が120以下であるエポキシ樹脂を含むことが好ましい。   From the viewpoint of effectively enhancing the adhesion between the cured product and the conductor portion and further suppressing smear remaining during via processing, the at least one epoxy resin contains an epoxy resin having an epoxy equivalent of 120 or less. Is preferred.

樹脂組成物の全固形分100重量%中、エポキシ樹脂の含有量は好ましくは10重量%以上、より好ましくは15重量%以上、好ましくは95重量%以下、より好ましくは90重量%以下である。「固形分」とは、エポキシ樹脂と硬化剤と必要に応じて配合される他の固形分との総和をいう。「固形分」とは、不揮発成分であり、成形又は加熱時に揮発しない成分をいう。   In 100% by weight of the total solid content of the resin composition, the content of the epoxy resin is preferably 10% by weight or more, more preferably 15% by weight or more, preferably 95% by weight or less, more preferably 90% by weight or less. The “solid content” refers to the total of the epoxy resin, the curing agent, and other solid content blended as necessary. “Solid content” refers to a non-volatile component that does not volatilize during molding or heating.

上記エポキシ樹脂の全体100重量%中、エポキシ当量が120以下であるエポキシ樹脂の含有量は好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは30重量%以下、より好ましくは20重量%以下である。   The content of the epoxy resin having an epoxy equivalent of 120 or less in the total 100% by weight of the epoxy resin is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, preferably 30% by weight or less, more preferably 20% by weight. % Or less.

[硬化剤]
上記樹脂組成物は、上記エポキシ樹脂を硬化させるために、少なくとも2種の硬化剤を含む。
[Curing agent]
The resin composition contains at least two kinds of curing agents in order to cure the epoxy resin.

上記硬化剤としては、シアネートエステル化合物及びシアネートエステル化合物のプレポリマー(シアネートエステル硬化剤)、フェノール化合物(フェノール硬化剤)、アミン化合物(アミン硬化剤)、チオール化合物(チオール硬化剤)、イミダゾール化合物、ホスフィン化合物、酸無水物、活性エステル化合物(活性エステル硬化剤)及びジシアンジアミド等が挙げられる。   Examples of the curing agent include a cyanate ester compound and a cyanate ester compound prepolymer (cyanate ester curing agent), a phenol compound (phenol curing agent), an amine compound (amine curing agent), a thiol compound (thiol curing agent), an imidazole compound, Examples include phosphine compounds, acid anhydrides, active ester compounds (active ester curing agents), and dicyandiamide.

本発明では、上記硬化剤として、活性エステル硬化剤を用いる。すなわち、上記少なくとも2種の硬化剤が、活性エステル硬化剤を含む。   In the present invention, an active ester curing agent is used as the curing agent. That is, the at least two kinds of curing agents include an active ester curing agent.

上記エポキシ樹脂の全体100重量部に対して、上記硬化剤の全体の含有量は好ましくは80重量部以上、より好ましくは90重量部以上、好ましくは120重量部以下、より好ましくは110重量部以下である。   The total content of the curing agent is preferably 80 parts by weight or more, more preferably 90 parts by weight or more, preferably 120 parts by weight or less, more preferably 110 parts by weight or less, with respect to 100 parts by weight of the total epoxy resin. It is.

硬化物と導体部との密着性を効果的に高め、ビア加工時にスミアの残存をより一層抑える観点からは、上記少なくとも2種の硬化剤の全体100重量%中、活性エステル硬化剤の含有量は好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは95重量%以下、より好ましくは90重量%以下である。   From the viewpoint of effectively enhancing the adhesion between the cured product and the conductor portion, and further suppressing the residual smear during via processing, the content of the active ester curing agent in the total of 100% by weight of the at least two curing agents. Is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, preferably 95% by weight or less, more preferably 90% by weight or less.

上記少なくとも2種の硬化剤は、上記活性エステル硬化剤以外の硬化剤として、アミノトリアジン変性フェノール硬化剤又はアミノトリアジン変性クレゾール硬化剤を含むことが好ましい。この場合に、アミノトリアジン変性フェノール硬化剤及びアミノトリアジン変性クレゾール硬化剤の内の一方のみが用いられてもよく、双方が用いられてもよい。   The at least two curing agents preferably include an aminotriazine-modified phenol curing agent or an aminotriazine-modified cresol curing agent as a curing agent other than the active ester curing agent. In this case, only one of the aminotriazine-modified phenol curing agent and the aminotriazine-modified cresol curing agent may be used, or both may be used.

硬化物と導体部との密着性を効果的に高め、ビア加工時にスミアの残存をより一層抑える観点からは、上記少なくとも2種の硬化剤の全体100重量%中、アミノトリアジン変性フェノール硬化剤及びアミノトリアジン変性クレゾール硬化剤の合計の含有量は好ましくは5重量%以上、より好ましくは10重量%以上、好ましくは95重量%以下、より好ましくは90重量%以下である。   From the viewpoint of effectively increasing the adhesion between the cured product and the conductor portion and further suppressing the remaining smear during via processing, an aminotriazine-modified phenol curing agent and a total of 100% by weight of the at least two curing agents described above and The total content of the aminotriazine-modified cresol curing agent is preferably 5% by weight or more, more preferably 10% by weight or more, preferably 95% by weight or less, more preferably 90% by weight or less.

硬化物と導体部との密着性を効果的に高め、ビア加工時にスミアの残存をより一層抑える観点からは、上記樹脂組成物中の全ての上記硬化剤の反応性基の合計数の、上記樹脂組成物中の上記アミノトリアジン変性フェノール硬化剤及びアミノトリアジン変性クレゾール硬化剤の反応性基の合計数に対する比(全ての硬化剤の反応性基の合計数/アミノトリアジン変性フェノール硬化剤及びアミノトリアジン変性クレゾール硬化剤の反応性基の合計数)は、好ましくは2.5以上、より好ましくは3.3以上、好ましくは10以下、より好ましくは6.7以下である。上記反応性基とは、活性エステル基、水酸基、及びシアナート基等を意味する。   From the viewpoint of effectively increasing the adhesion between the cured product and the conductor portion and further suppressing the residual smear during via processing, the total number of reactive groups of all the curing agents in the resin composition, Ratio of the above aminotriazine-modified phenol curing agent and aminotriazine-modified cresol curing agent to the total number of reactive groups in the resin composition (total number of reactive groups of all curing agents / aminotriazine-modified phenol curing agent and aminotriazine The total number of reactive groups of the modified cresol curing agent is preferably 2.5 or more, more preferably 3.3 or more, preferably 10 or less, more preferably 6.7 or less. The reactive group means an active ester group, a hydroxyl group, a cyanate group, and the like.

[熱可塑性樹脂]
上記樹脂組成物は熱可塑性樹脂を含むことが好ましい。上記熱可塑性樹脂としては、ポリビニルアセタール樹脂及びフェノキシ樹脂等が挙げられる。上記熱可塑性樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Thermoplastic resin]
The resin composition preferably contains a thermoplastic resin. Examples of the thermoplastic resin include polyvinyl acetal resin and phenoxy resin. As for the said thermoplastic resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

誘電正接を効果的に低くし、かつ、硬化物と導体部との密着性を効果的に高める観点からは、上記熱可塑性樹脂は、フェノキシ樹脂であることが好ましい。フェノキシ樹脂の使用により、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性の悪化及び無機充填材の不均一化が抑えられる。また、フェノキシ樹脂の使用により、溶融粘度を調整可能であるために無機充填材の分散性が良好になり、かつ硬化過程で、意図しない領域に樹脂フィルムが濡れ拡がり難くなる。上記樹脂組成物に含まれているフェノキシ樹脂は特に限定されない。上記フェノキシ樹脂として、従来公知のフェノキシ樹脂を使用可能である。上記フェノキシ樹脂は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   From the viewpoint of effectively lowering the dielectric loss tangent and effectively improving the adhesion between the cured product and the conductor portion, the thermoplastic resin is preferably a phenoxy resin. By using the phenoxy resin, deterioration of the embedding property of the resin film with respect to the holes or irregularities of the circuit board and non-uniformity of the inorganic filler can be suppressed. In addition, since the melt viscosity can be adjusted by using a phenoxy resin, the dispersibility of the inorganic filler is improved, and the resin film is difficult to wet and spread in an unintended region during the curing process. The phenoxy resin contained in the resin composition is not particularly limited. A conventionally known phenoxy resin can be used as the phenoxy resin. As for the said phenoxy resin, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記フェノキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールA型の骨格、ビスフェノールF型の骨格、ビスフェノールS型の骨格、ビフェニル骨格、ノボラック骨格、ナフタレン骨格及びイミド骨格などの骨格を有するフェノキシ樹脂等が挙げられる。   Examples of the phenoxy resin include phenoxy resins having a skeleton such as a bisphenol A skeleton, a bisphenol F skeleton, a bisphenol S skeleton, a biphenyl skeleton, a novolac skeleton, a naphthalene skeleton, and an imide skeleton.

上記フェノキシ樹脂の市販品としては、例えば、新日鐵住金化学社製の「YP50」、「YP55」及び「YP70」、並びに三菱化学社製の「1256B40」、「4250」、「4256H40」、「4275」、「YX6954BH30」及び「YX8100BH30」等が挙げられる。   Examples of commercially available phenoxy resins include “YP50”, “YP55” and “YP70” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd., and “1256B40”, “4250”, “4256H40” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, “ 4275 "," YX6954BH30 "," YX8100BH30 ", and the like.

保存安定性により一層優れた樹脂フィルムを得る観点からは、上記熱可塑性樹脂及び上記フェノキシ樹脂の重量平均分子量は、好ましくは5000以上、より好ましくは10000以上、好ましくは100000以下、より好ましくは50000以下である。   From the viewpoint of obtaining a more excellent resin film due to storage stability, the weight average molecular weight of the thermoplastic resin and the phenoxy resin is preferably 5,000 or more, more preferably 10,000 or more, preferably 100,000 or less, more preferably 50,000 or less. It is.

上記熱可塑性樹脂及び上記フェノキシ樹脂の上記重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されたポリスチレン換算での重量平均分子量を示す。   The weight average molecular weights of the thermoplastic resin and the phenoxy resin indicate the weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography (GPC).

上記熱可塑性樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は特に限定されない。本発明に係る樹脂組成物に含まれる全固形分100重量%中、上記熱可塑性樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量は好ましくは2重量%以上、より好ましくは4重量%以上、好ましくは15重量%以下、より好ましくは10重量%以下である。上記熱可塑性樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂フィルムの回路基板の穴又は凹凸に対する埋め込み性が良好になる。上記熱可塑性樹脂及び上記フェノキシ樹脂の含有量が上記下限以上であると、樹脂組成物のフィルム化がより一層容易になり、より一層良好な絶縁層が得られる。上記フェノキシ樹脂の含有量が上記上限以下であると、硬化物の熱膨張率がより一層低くなる。硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。   Content of the said thermoplastic resin and the said phenoxy resin is not specifically limited. In the total solid content of 100% by weight contained in the resin composition according to the present invention, the content of the thermoplastic resin and the phenoxy resin is preferably 2% by weight or more, more preferably 4% by weight or more, preferably 15% by weight. Hereinafter, it is more preferably 10% by weight or less. When the contents of the thermoplastic resin and the phenoxy resin are not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the embedding property of the resin film with respect to the holes or irregularities of the circuit board becomes good. When the content of the thermoplastic resin and the phenoxy resin is equal to or more than the lower limit, the resin composition can be more easily formed into a film, and a better insulating layer can be obtained. When the content of the phenoxy resin is not more than the above upper limit, the thermal expansion coefficient of the cured product is further reduced. The surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

[無機充填材]
上記樹脂組成物は、無機充填材を含むことが好ましい。無機充填材の使用により、硬化物の熱による寸法変化がより一層小さくなる。さらに、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。
[Inorganic filler]
The resin composition preferably contains an inorganic filler. Use of the inorganic filler further reduces the dimensional change due to heat of the cured product. Furthermore, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

上記無機充填材としては、シリカ、タルク、クレイ、マイカ、ハイドロタルサイト、アルミナ、酸化マグネシウム、水酸化アルミニウム、窒化アルミニウム及び窒化ホウ素等が挙げられる。   Examples of the inorganic filler include silica, talc, clay, mica, hydrotalcite, alumina, magnesium oxide, aluminum hydroxide, aluminum nitride, and boron nitride.

硬化物の表面の表面粗さを小さくし、硬化物と金属層との接着強度をより一層高くし、かつ硬化物の表面により一層微細な配線を形成し、かつ硬化物により良好な絶縁信頼性を付与する観点からは、上記無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましく、シリカであることがより好ましく、溶融シリカであることが更に好ましい。シリカの使用により、硬化物の熱膨張率がより一層低くなり、かつ硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、硬化物と金属層との接着強度が効果的に高くなる。シリカの形状は球状であることが好ましい。   The surface roughness of the cured product is reduced, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and better insulation reliability is achieved by the cured product. From the viewpoint of imparting the above, the inorganic filler is preferably silica or alumina, more preferably silica, and still more preferably fused silica. By using silica, the coefficient of thermal expansion of the cured product is further reduced, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is effectively increased. The shape of silica is preferably spherical.

硬化環境によらず、樹脂の硬化を進め、硬化物のガラス転移温度を効果的に高くし、硬化物の熱線膨張係数を効果的に小さくする観点からは、上記無機充填材は球状シリカであることが好ましい。   Regardless of the curing environment, the inorganic filler is spherical silica from the viewpoint of promoting the curing of the resin, effectively increasing the glass transition temperature of the cured product, and effectively reducing the thermal linear expansion coefficient of the cured product. It is preferable.

上記無機充填材の平均粒径は、好ましくは10nm以上、より好ましくは50nm以上、更に好ましくは150nm以上、好ましくは20μm以下、より好ましくは10μm以下、更に好ましくは5μm以下、特に好ましくは1μm以下である。上記無機充填材の平均粒径が上記下限以上及び上記上限以下であると、粗化処理などにより形成される孔の大きさが微細になり、孔の数が多くなる。この結果、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなる。   The average particle size of the inorganic filler is preferably 10 nm or more, more preferably 50 nm or more, further preferably 150 nm or more, preferably 20 μm or less, more preferably 10 μm or less, still more preferably 5 μm or less, and particularly preferably 1 μm or less. is there. When the average particle size of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the size of the holes formed by the roughening treatment or the like becomes fine, and the number of holes increases. As a result, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased.

上記無機充填材の平均粒径として、50%となるメディアン径(d50)の値が採用される。上記平均粒径は、レーザー回折散乱方式の粒度分布測定装置を用いて測定可能である。   A median diameter (d50) value of 50% is employed as the average particle diameter of the inorganic filler. The average particle size can be measured using a laser diffraction / scattering particle size distribution measuring apparatus.

上記無機充填材はそれぞれ、球状であることが好ましく、球状シリカであることがより好ましい。この場合には、硬化物の表面の表面粗さが効果的に小さくなり、更に絶縁層と金属層との接着強度が効果的に高くなる。上記無機充填材がそれぞれ球状である場合には、上記無機充填材それぞれのアスペクト比は好ましくは2以下、より好ましくは1.5以下である。   Each of the inorganic fillers is preferably spherical, and more preferably spherical silica. In this case, the surface roughness of the surface of the cured product is effectively reduced, and the adhesive strength between the insulating layer and the metal layer is effectively increased. When each of the inorganic fillers is spherical, the aspect ratio of each of the inorganic fillers is preferably 2 or less, more preferably 1.5 or less.

上記無機充填材は、表面処理されていることが好ましく、シランカップリング剤により表面処理されていることがより好ましい。これにより、粗化硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなり、かつ硬化物の表面により一層微細な配線が形成され、かつより一層良好な配線間絶縁信頼性及び層間絶縁信頼性を硬化物に付与することができる。   The inorganic filler is preferably surface-treated, and more preferably surface-treated with a silane coupling agent. Thereby, the surface roughness of the surface of the roughened cured product is further reduced, the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, and finer wiring is formed on the surface of the cured product, and more Better inter-wiring insulation reliability and interlayer insulation reliability can be imparted to the cured product.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタネートカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、メタクリルシラン、アクリルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン、ビニルシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。   Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanate coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include methacryl silane, acrylic silane, amino silane, imidazole silane, vinyl silane, and epoxy silane.

上記樹脂組成物に含まれる全固形分100重量%中、上記無機充填材の含有量は好ましくは25重量%以上、より好ましくは30重量%以上、更に好ましくは40重量%以上、特に好ましくは50重量%以上、好ましくは99重量%以下、より好ましくは85重量%以下、更に好ましくは80重量%以下、特に好ましくは75重量%以下である。上記無機充填材の合計の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、硬化物の表面の表面粗さがより一層小さくなり、硬化物と金属層との接着強度がより一層高くなり、かつ硬化物の表面により一層微細な配線が形成されると同時に、この無機充填材量であれば金属銅並に硬化物の熱膨張率を低くすることも可能である。   In the total solid content of 100% by weight contained in the resin composition, the content of the inorganic filler is preferably 25% by weight or more, more preferably 30% by weight or more, still more preferably 40% by weight or more, and particularly preferably 50%. % By weight or more, preferably 99% by weight or less, more preferably 85% by weight or less, still more preferably 80% by weight or less, and particularly preferably 75% by weight or less. When the total content of the inorganic filler is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the surface roughness of the surface of the cured product is further reduced, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer is further increased, In addition, finer wiring is formed on the surface of the cured product, and at the same time, with this amount of inorganic filler, it is possible to lower the thermal expansion coefficient of the cured product as well as metal copper.

[硬化促進剤]
上記樹脂組成物は、硬化促進剤を含むことが好ましい。上記硬化促進剤の使用により、硬化速度がより一層速くなる。樹脂フィルムを速やかに硬化させることで、硬化物における架橋構造が均一になると共に、未反応の官能基数が減り、結果的に架橋密度が高くなる。上記硬化促進剤は特に限定されず、従来公知の硬化促進剤を使用可能である。上記硬化促進剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[Curing accelerator]
The resin composition preferably contains a curing accelerator. By using the curing accelerator, the curing rate is further increased. By rapidly curing the resin film, the crosslinked structure in the cured product becomes uniform, the number of unreacted functional groups decreases, and as a result, the crosslinking density increases. The said hardening accelerator is not specifically limited, A conventionally well-known hardening accelerator can be used. As for the said hardening accelerator, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール化合物、リン化合物、アミン化合物及び有機金属化合物等が挙げられる。   Examples of the curing accelerator include imidazole compounds, phosphorus compounds, amine compounds, and organometallic compounds.

上記イミダゾール化合物としては、2−ウンデシルイミダゾール、2−ヘプタデシルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−ウンデシルイミダゾリウムトリメリテイト、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテイト、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−ウンデシルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−エチル−4’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物、2−フェニルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−メチルイミダゾールイソシアヌル酸付加物、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール及び2−フェニル−4−メチル−5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等が挙げられる。   Examples of the imidazole compound include 2-undecylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl- 2-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-un Decylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazolium trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2,4-diamino-6- [2 ′ -Methyl Midazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-undecylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6 [2′-Ethyl-4′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine, 2,4-diamino-6- [2′-methylimidazolyl- (1 ′)]-ethyl-s-triazine Isocyanuric acid adduct, 2-phenylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-methylimidazole isocyanuric acid adduct, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole and 2-phenyl-4-methyl-5-dihydroxymethylimidazole Can be mentioned.

上記リン化合物としては、トリフェニルホスフィン等が挙げられる。   Examples of the phosphorus compound include triphenylphosphine.

上記アミン化合物としては、ジエチルアミン、トリエチルアミン、ジエチレンテトラミン、トリエチレンテトラミン及び4,4−ジメチルアミノピリジン等が挙げられる。   Examples of the amine compound include diethylamine, triethylamine, diethylenetetramine, triethylenetetramine and 4,4-dimethylaminopyridine.

上記有機金属化合物としては、ナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)及びトリスアセチルアセトナートコバルト(III)等が挙げられる。   Examples of the organometallic compound include zinc naphthenate, cobalt naphthenate, tin octylate, cobalt octylate, bisacetylacetonate cobalt (II), and trisacetylacetonate cobalt (III).

上記硬化促進剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物に含まれている全固形分100重量%中、上記硬化促進剤の含有量は好ましくは0.01重量%以上、より好ましくは0.9重量%以上、好ましくは3.0重量%以下、より好ましくは1.8重量%以下である。上記硬化促進剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、樹脂フィルムが効率的に硬化する。上記硬化促進剤の含有量がより好ましい範囲であれば、樹脂組成物の保存安定性がより一層高くなり、かつより一層良好な硬化物が得られる。   The content of the curing accelerator is not particularly limited. In 100% by weight of the total solid content contained in the resin composition, the content of the curing accelerator is preferably 0.01% by weight or more, more preferably 0.9% by weight or more, preferably 3.0% by weight. % Or less, more preferably 1.8% by weight or less. When the content of the curing accelerator is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the resin film is efficiently cured. If content of the said hardening accelerator is a more preferable range, the storage stability of a resin composition will become still higher and a much better hardened | cured material will be obtained.

[溶剤]
上記樹脂組成物は、溶剤を含まないか又は含む。上記溶剤の使用により、樹脂組成物の粘度を好適な範囲に制御でき、樹脂組成物の塗工性を高めることができる。また、上記溶剤は、上記無機充填材を含むスラリーを得るために用いられてもよい。上記溶剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
[solvent]
The resin composition does not contain or contains a solvent. By using the solvent, the viscosity of the resin composition can be controlled within a suitable range, and the coatability of the resin composition can be improved. Moreover, the said solvent may be used in order to obtain the slurry containing the said inorganic filler. As for the said solvent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記溶剤としては、アセトン、メタノール、エタノール、ブタノール、2−プロパノール、2−メトキシエタノール、2−エトキシエタノール、1−メトキシ−2−プロパノール、2−アセトキシ−1−メトキシプロパン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、N,N−ジメチルホルムアミド、メチルイソブチルケトン、N−メチル−ピロリドン、n−ヘキサン、シクロヘキサン、シクロヘキサノン及び混合物であるナフサ等が挙げられる。   Examples of the solvent include acetone, methanol, ethanol, butanol, 2-propanol, 2-methoxyethanol, 2-ethoxyethanol, 1-methoxy-2-propanol, 2-acetoxy-1-methoxypropane, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, Examples thereof include N, N-dimethylformamide, methyl isobutyl ketone, N-methyl-pyrrolidone, n-hexane, cyclohexane, cyclohexanone, and naphtha as a mixture.

上記溶剤の多くは、上記樹脂組成物をフィルム状に成形するときに、除去されることが好ましい。従って、上記溶剤の沸点は好ましくは200℃以下、より好ましくは180℃以下である。上記樹脂組成物における上記溶剤の含有量は特に限定されない。上記樹脂組成物の塗工性などを考慮して、上記溶剤の含有量は適宜変更可能である。   Most of the solvent is preferably removed when the resin composition is formed into a film. Therefore, the boiling point of the solvent is preferably 200 ° C. or lower, more preferably 180 ° C. or lower. The content of the solvent in the resin composition is not particularly limited. The content of the solvent can be appropriately changed in consideration of the coating property of the resin composition.

[他の成分]
耐衝撃性、耐熱性、樹脂の相溶性及び作業性等の改善を目的として、上記樹脂組成物には、レベリング剤、難燃剤、カップリング剤、着色剤、酸化防止剤、紫外線劣化防止剤、消泡剤、増粘剤、揺変性付与剤及び上述したエポキシ樹脂以外の他の熱硬化性樹脂等を添加してもよい。
[Other ingredients]
For the purpose of improving impact resistance, heat resistance, resin compatibility, workability, etc., the resin composition includes a leveling agent, a flame retardant, a coupling agent, a colorant, an antioxidant, an ultraviolet degradation inhibitor, An antifoaming agent, a thickener, a thixotropic agent, and other thermosetting resins other than the above-described epoxy resins may be added.

上記カップリング剤としては、シランカップリング剤、チタンカップリング剤及びアルミニウムカップリング剤等が挙げられる。上記シランカップリング剤としては、ビニルシラン、アミノシラン、イミダゾールシラン及びエポキシシラン等が挙げられる。   Examples of the coupling agent include silane coupling agents, titanium coupling agents, and aluminum coupling agents. Examples of the silane coupling agent include vinyl silane, amino silane, imidazole silane, and epoxy silane.

上記他の熱硬化性樹脂としては、ポリフェニレンエーテル樹脂、ジビニルベンジルエーテル樹脂、ポリアリレート樹脂、ジアリルフタレート樹脂、ポリイミド樹脂、ベンゾオキサジン樹脂、ベンゾオキサゾール樹脂、ビスマレイミド樹脂及びアクリレート樹脂等が挙げられる。   Examples of the other thermosetting resins include polyphenylene ether resins, divinyl benzyl ether resins, polyarylate resins, diallyl phthalate resins, polyimide resins, benzoxazine resins, benzoxazole resins, bismaleimide resins, and acrylate resins.

(樹脂フィルム及び積層フィルム)
上述した樹脂組成物は、フィルム状に成形することにより樹脂フィルムとして用いられてもよい。
(Resin film and laminated film)
The resin composition described above may be used as a resin film by forming it into a film.

樹脂フィルムの硬化度をより一層均一に制御する観点からは、上記樹脂フィルムの厚みは好ましくは5μm以上、好ましくは200μm以下である。   From the viewpoint of more uniformly controlling the degree of cure of the resin film, the thickness of the resin film is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

上記樹脂組成物をフィルム状に成形する方法としては、例えば、押出機を用いて、樹脂組成物を溶融混練し、押出した後、Tダイ又はサーキュラーダイ等により、フィルム状に成形する押出成形法、溶剤を含む樹脂組成物をキャスティングしてフィルム状に成形するキャスティング成形法、並びに従来公知のその他のフィルム成形法等が挙げられる。なかでも、薄型化に対応可能であることから、押出成形法又はキャスティング成形法が好ましい。フィルムにはシートが含まれる。   As a method for forming the resin composition into a film, for example, an extrusion molding method is used in which the resin composition is melt-kneaded using an extruder, extruded, and then formed into a film using a T-die or a circular die. And a casting molding method in which a resin composition containing a solvent is cast to form a film, and other conventionally known film molding methods. Especially, since it can respond to thickness reduction, the extrusion molding method or the casting molding method is preferable. The film includes a sheet.

上記樹脂組成物をフィルム状に成形し、熱による硬化が進行し過ぎない程度に、例えば90〜200℃で1〜180分間加熱乾燥させることにより、Bステージフィルムである樹脂フィルムを得ることができる。   The resin composition which is a B stage film can be obtained by forming the resin composition into a film and drying it by heating at 90 to 200 ° C. for 1 to 180 minutes, for example, so that curing by heat does not proceed excessively. .

上述のような乾燥工程により得ることができるフィルム状の樹脂組成物をBステージフィルムと称する。上記Bステージフィルムは、半硬化状態にある半硬化物である。半硬化物は、完全に硬化しておらず、硬化がさらに進行され得る。   The film-like resin composition that can be obtained by the drying process as described above is referred to as a B-stage film. The B-stage film is a semi-cured product in a semi-cured state. The semi-cured product is not completely cured and curing can proceed further.

上記樹脂フィルムは、プリプレグでなくてもよい。上記樹脂フィルムがプリプレグではない場合には、ガラスクロスなどに沿ってマイグレーションが生じなくなる。また、樹脂フィルムをラミネート又はプレキュアする際に、表面にガラスクロスに起因する凹凸が生じなくなる。また、プリプレグを含まない樹脂フィルムとすることで、硬化物の熱による寸法変化が小さくなり、形状保持性が高くなり、セミアディティブプロセス適性が高くなる。   The resin film may not be a prepreg. When the resin film is not a prepreg, migration does not occur along a glass cloth or the like. Further, when laminating or precuring the resin film, the surface is not uneven due to the glass cloth. Moreover, by setting it as the resin film which does not contain a prepreg, the dimensional change by the heat | fever of hardened | cured material becomes small, shape retention property becomes high, and a semiadditive process suitability becomes high.

上記樹脂組成物は、金属箔又は基材と、該金属箔又は基材の表面に積層された樹脂フィルムとを備える積層フィルムを形成するために好適に用いることができる。上記積層フィルムにおける上記樹脂フィルムが、上記樹脂組成物により形成される。上記金属箔は銅箔であることが好ましい。   The said resin composition can be used suitably in order to form a laminated film provided with metal foil or a base material, and the resin film laminated | stacked on the surface of this metal foil or base material. The resin film in the laminated film is formed from the resin composition. The metal foil is preferably a copper foil.

上記積層フィルムの上記基材としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム及びポリブチレンテレフタレートフィルムなどのポリエステル樹脂フィルム、ポリエチレンフィルム及びポリプロピレンフィルムなどのオレフィン樹脂フィルム、及びポリイミド樹脂フィルム等が挙げられる。上記基材の表面は、必要に応じて、離型処理されていてもよい。   Examples of the substrate of the laminated film include polyester resin films such as polyethylene terephthalate film and polybutylene terephthalate film, olefin resin films such as polyethylene film and polypropylene film, and polyimide resin film. The surface of the base material may be subjected to a release treatment as necessary.

上記樹脂組成物及び上記樹脂フィルムを回路の絶縁層として用いる場合、上記樹脂組成物又は上記樹脂フィルムにより形成された絶縁層の厚さは、回路を形成する導体層(金属層)の厚さ以上であることが好ましい。上記絶縁層の厚さは、好ましくは5μm以上、好ましくは200μm以下である。   When the resin composition and the resin film are used as an insulating layer of a circuit, the thickness of the insulating layer formed of the resin composition or the resin film is equal to or greater than the thickness of the conductor layer (metal layer) forming the circuit. It is preferable that The thickness of the insulating layer is preferably 5 μm or more, and preferably 200 μm or less.

(プリント配線板)
上記樹脂組成物及び上記樹脂フィルムは、プリント配線板において絶縁層を形成するために好適に用いられる。
(Printed wiring board)
The resin composition and the resin film are suitably used for forming an insulating layer in a printed wiring board.

上記プリント配線板は、例えば、上記樹脂フィルムを加熱加圧成形することにより得られる。   The printed wiring board can be obtained, for example, by heat-pressing the resin film.

上記樹脂フィルムに対して、片面又は両面に金属箔を積層できる。上記樹脂フィルムと金属箔とを積層する方法は特に限定されず、公知の方法を用いることができる。例えば、平行平板プレス機又はロールラミネーター等の装置を用いて、加熱しながら又は加熱せずに加圧しながら、上記樹脂フィルムを金属箔に積層可能である。   A metal foil can be laminated on one side or both sides of the resin film. The method for laminating the resin film and the metal foil is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the resin film can be laminated on the metal foil using an apparatus such as a parallel plate press or a roll laminator while applying pressure while heating or without heating.

(銅張り積層板及び多層基板)
上記樹脂組成物及び上記樹脂フィルムは、銅張り積層板を得るために好適に用いられる。上記銅張り積層板の一例として、銅箔と、該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張り積層板が挙げられる。この銅張り積層板の樹脂フィルムが、上記樹脂組成物により形成される。
(Copper-clad laminate and multilayer board)
The resin composition and the resin film are preferably used for obtaining a copper-clad laminate. An example of the copper-clad laminate includes a copper-clad laminate including a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. The resin film of this copper-clad laminate is formed from the resin composition.

上記銅張り積層板の上記銅箔の厚さは特に限定されない。上記銅箔の厚さは、1〜50μmの範囲内であることが好ましい。また、上記樹脂フィルムを硬化させた絶縁層と銅箔との接着強度を高めるために、上記銅箔は微細な凹凸を表面に有することが好ましい。凹凸の形成方法は特に限定されない。上記凹凸の形成方法としては、公知の薬液を用いた処理による形成方法等が挙げられる。   The thickness of the copper foil of the copper-clad laminate is not particularly limited. The thickness of the copper foil is preferably in the range of 1 to 50 μm. Moreover, in order to raise the adhesive strength of the insulating layer which hardened the said resin film, and copper foil, it is preferable that the said copper foil has a fine unevenness | corrugation on the surface. The method for forming the unevenness is not particularly limited. Examples of the method for forming the unevenness include a formation method by treatment using a known chemical solution.

上記樹脂組成物及び上記樹脂フィルムは、多層基板を得るために好適に用いられる。上記多層基板の一例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。この多層基板の絶縁層が、上記樹脂組成物をフィルム状に成形した樹脂フィルムを用いて上記樹脂フィルムにより形成されている。また、多層基板の絶縁層が、積層フィルムを用いて、上記積層フィルムの上記樹脂フィルムにより形成されていてもよい。上記絶縁層は、回路基板の回路が設けられた表面上に積層されていることが好ましい。上記絶縁層の一部は、上記回路間に埋め込まれていることが好ましい。   The resin composition and the resin film are preferably used for obtaining a multilayer substrate. As an example of the multilayer substrate, a multilayer substrate including a circuit substrate and an insulating layer stacked on the surface of the circuit substrate can be given. The insulating layer of this multilayer substrate is formed of the resin film using a resin film obtained by forming the resin composition into a film. Moreover, the insulating layer of the multilayer substrate may be formed of the resin film of the laminated film using a laminated film. The insulating layer is preferably laminated on the surface of the circuit board on which the circuit is provided. Part of the insulating layer is preferably embedded between the circuits.

上記多層基板では、上記絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面が粗化処理されていることが好ましい。   In the multilayer substrate, it is preferable that the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit substrate is laminated is roughened.

粗化処理方法は、従来公知の粗化処理方法を用いることができ特に限定されない。上記絶縁層の表面は、粗化処理の前に膨潤処理されていてもよい。   The roughening method can be any conventionally known roughening method and is not particularly limited. The surface of the insulating layer may be subjected to a swelling treatment before the roughening treatment.

また、上記多層基板は、上記絶縁層の粗化処理された表面に積層された銅めっき層をさらに備えることが好ましい。   Moreover, it is preferable that the said multilayer substrate is further equipped with the copper plating layer laminated | stacked on the surface by which the roughening process of the said insulating layer was carried out.

また、上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された絶縁層と、該絶縁層の上記回路基板が積層された表面とは反対側の表面に積層された銅箔とを備える多層基板が挙げられる。上記絶縁層及び上記銅箔が、銅箔と該銅箔の一方の表面に積層された樹脂フィルムとを備える銅張り積層板を用いて、上記樹脂フィルムを硬化させることにより形成されていることが好ましい。さらに、上記銅箔はエッチング処理されており、銅回路であることが好ましい。   As another example of the multilayer board, the circuit board, the insulating layer laminated on the surface of the circuit board, and the surface of the insulating layer opposite to the surface on which the circuit board is laminated are laminated. And a multilayer substrate provided with copper foil. The insulating layer and the copper foil are formed by curing the resin film using a copper-clad laminate including a copper foil and a resin film laminated on one surface of the copper foil. preferable. Furthermore, it is preferable that the copper foil is etched and is a copper circuit.

上記多層基板の他の例として、回路基板と、該回路基板の表面上に積層された複数の絶縁層とを備える多層基板が挙げられる。上記回路基板上に配置された上記複数層の絶縁層の内の少なくとも1層が、上記樹脂組成物をフィルム状に成形した樹脂フィルムを用いて形成される。上記多層基板は、上記樹脂フィルムを用いて形成されている上記絶縁層の少なくとも一方の表面に積層されている回路をさらに備えることが好ましい。   Another example of the multilayer substrate is a multilayer substrate including a circuit board and a plurality of insulating layers stacked on the surface of the circuit board. At least one of the plurality of insulating layers arranged on the circuit board is formed using a resin film obtained by forming the resin composition into a film. It is preferable that the multilayer substrate further includes a circuit laminated on at least one surface of the insulating layer formed using the resin film.

図1に、本発明の一実施形態に係る樹脂組成物を用いた多層基板を模式的に部分切欠正面断面図で示す。   In FIG. 1, the multilayer substrate using the resin composition which concerns on one Embodiment of this invention is typically shown with a partial notch front sectional drawing.

図1に示す多層基板11では、回路基板12の上面12aに、複数層の絶縁層13〜16が積層されている。絶縁層13〜16は、硬化物層である。回路基板12の上面12aの一部の領域には、金属層17が形成されている。複数層の絶縁層13〜16のうち、回路基板12側とは反対の外側の表面に位置する絶縁層16以外の絶縁層13〜15には、上面の一部の領域に金属層17が形成されている。金属層17は回路である。回路基板12と絶縁層13の間、及び積層された絶縁層13〜16の各層間に、金属層17がそれぞれ配置されている。下方の金属層17と上方の金属層17とは、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続の内の少なくとも一方により互いに接続されている。   In the multilayer substrate 11 shown in FIG. 1, a plurality of insulating layers 13 to 16 are laminated on the upper surface 12 a of the circuit substrate 12. Insulating layers 13-16 are hardened material layers. A metal layer 17 is formed in a partial region of the upper surface 12 a of the circuit board 12. Among the plurality of insulating layers 13 to 16, the metal layer 17 is formed in a partial region of the upper surface of the insulating layers 13 to 15 other than the insulating layer 16 located on the outer surface opposite to the circuit board 12 side. Has been. The metal layer 17 is a circuit. Metal layers 17 are respectively disposed between the circuit board 12 and the insulating layer 13 and between the stacked insulating layers 13 to 16. The lower metal layer 17 and the upper metal layer 17 are connected to each other by at least one of via hole connection and through hole connection (not shown).

多層基板11では、絶縁層13〜16が、本発明に係る樹脂組成物をフィルム状に成形した樹脂フィルムを用いて形成されている。本実施形態では、絶縁層13〜16の表面が粗化処理されているので、絶縁層13〜16の表面に図示しない微細な孔が形成されている。また、微細な孔の内部に金属層17が至っている。また、多層基板11では、金属層17の幅方向寸法(L)と、金属層17が形成されていない部分の幅方向寸法(S)とを小さくすることができる。また、多層基板11では、図示しないビアホール接続及びスルーホール接続で接続されていない上方の金属層と下方の金属層との間に、良好な絶縁信頼性が付与されている。   In the multilayer board | substrate 11, the insulating layers 13-16 are formed using the resin film which shape | molded the resin composition which concerns on this invention in the film form. In this embodiment, since the surfaces of the insulating layers 13 to 16 are roughened, fine holes (not shown) are formed on the surfaces of the insulating layers 13 to 16. Further, the metal layer 17 reaches the inside of the fine hole. Moreover, in the multilayer substrate 11, the width direction dimension (L) of the metal layer 17 and the width direction dimension (S) of the part in which the metal layer 17 is not formed can be made small. In the multilayer substrate 11, good insulation reliability is imparted between an upper metal layer and a lower metal layer that are not connected by via-hole connection and through-hole connection (not shown).

(粗化処理及び膨潤処理)
上記樹脂組成物は、粗化処理又はデスミア処理される硬化物を得るために用いられることが好ましい。上記硬化物には、更に硬化が可能な予備硬化物も含まれる。
(Roughening treatment and swelling treatment)
It is preferable that the said resin composition is used in order to obtain the hardened | cured material by which a roughening process or a desmear process is carried out. The cured product includes a precured product that can be further cured.

上記樹脂組成物を予備硬化させることにより得られた硬化物の表面に微細な凹凸を形成するために、硬化物は粗化処理されることが好ましい。粗化処理の前に、硬化物は膨潤処理されることが好ましい。硬化物は、予備硬化の後、かつ粗化処理される前に、膨潤処理されており、さらに粗化処理の後に硬化されていることが好ましい。ただし、硬化物は、必ずしも膨潤処理されなくてもよい。   In order to form fine irregularities on the surface of the cured product obtained by precuring the resin composition, the cured product is preferably roughened. Prior to the roughening treatment, the cured product is preferably subjected to a swelling treatment. The cured product is preferably subjected to a swelling treatment after preliminary curing and before the roughening treatment, and is further cured after the roughening treatment. However, the cured product is not necessarily subjected to the swelling treatment.

上記膨潤処理の方法としては、例えば、エチレングリコールなどを主成分とする化合物の水溶液又は有機溶媒分散溶液などにより、硬化物を処理する方法が用いられる。膨潤処理に用いる膨潤液は、一般にpH調整剤などとして、アルカリを含む。膨潤液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。具体的には、例えば、上記膨潤処理は、40重量%エチレングリコール水溶液等を用いて、処理温度30〜85℃で1〜30分間、硬化物を処理することにより行なわれる。上記膨潤処理の温度は50〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記膨潤処理の温度が低すぎると、膨潤処理に長時間を要し、更に硬化物と金属層との接着強度が低くなる傾向がある。   As a method for the swelling treatment, for example, a method of treating a cured product with an aqueous solution or an organic solvent dispersion of a compound mainly composed of ethylene glycol or the like is used. The swelling liquid used for the swelling treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The swelling liquid preferably contains sodium hydroxide. Specifically, for example, the swelling treatment is performed by treating the cured product with a 40 wt% ethylene glycol aqueous solution at a treatment temperature of 30 to 85 ° C. for 1 to 30 minutes. The swelling treatment temperature is preferably in the range of 50 to 85 ° C. When the temperature of the swelling treatment is too low, it takes a long time for the swelling treatment, and the adhesive strength between the cured product and the metal layer tends to be low.

上記粗化処理には、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。粗化処理に用いられる粗化液は、一般にpH調整剤などとしてアルカリを含む。粗化液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。   For the roughening treatment, for example, a chemical oxidizing agent such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfuric acid compound is used. These chemical oxidizers are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion after water or an organic solvent is added. The roughening liquid used for the roughening treatment generally contains an alkali as a pH adjuster or the like. The roughening solution preferably contains sodium hydroxide.

上記マンガン化合物としては、過マンガン酸カリウム及び過マンガン酸ナトリウム等が挙げられる。上記クロム化合物としては、重クロム酸カリウム及び無水クロム酸カリウム等が挙げられる。上記過硫酸化合物としては、過硫酸ナトリウム、過硫酸カリウム及び過硫酸アンモニウム等が挙げられる。   Examples of the manganese compound include potassium permanganate and sodium permanganate. Examples of the chromium compound include potassium dichromate and anhydrous potassium chromate. Examples of the persulfate compound include sodium persulfate, potassium persulfate, and ammonium persulfate.

上記粗化処理の方法は特に限定されない。上記粗化処理の方法として、例えば、30〜90g/L過マンガン酸又は過マンガン酸塩溶液及び30〜90g/L水酸化ナトリウム溶液を用いて、処理温度30〜85℃及び1〜30分間の条件で、硬化物を処理する方法が好適である。上記粗化処理の温度は50〜85℃の範囲内であることが好ましい。上記粗化処理の回数は1回又は2回であることが好ましい。   The method for the roughening treatment is not particularly limited. As a method of the said roughening process, 30-90 g / L permanganic acid or a permanganate solution and 30-90 g / L sodium hydroxide solution are used, for example, process temperature 30-85 degreeC and 1-30 minutes. A method of treating a cured product under conditions is preferable. The roughening treatment temperature is preferably in the range of 50 to 85 ° C. The number of times of the roughening treatment is preferably once or twice.

硬化物の表面の算術平均粗さRaは好ましくは50nm以上、好ましくは350nm以下、より好ましくは200nm未満、更に好ましくは100nm未満である。この場合には、硬化物と金属層又は配線との接着強度が高くなり、更に絶縁層の表面により一層微細な配線が形成される。   The arithmetic average roughness Ra of the surface of the cured product is preferably 50 nm or more, preferably 350 nm or less, more preferably less than 200 nm, still more preferably less than 100 nm. In this case, the adhesive strength between the cured product and the metal layer or wiring is increased, and further finer wiring is formed on the surface of the insulating layer.

(デスミア処理)
上記樹脂組成物を予備硬化させることにより得られた硬化物に、貫通孔が形成されることがある。上記多層基板などでは、貫通孔として、ビア又はスルーホール等が形成される。例えば、ビアは、COレーザー等のレーザーの照射により形成できる。ビアの直径は特に限定されないが、60〜80μm程度である。上記貫通孔の形成により、ビア内の底部には、硬化物に含まれている樹脂成分に由来する樹脂の残渣であるスミアが形成されることがある。しかし、上記樹脂組成物の使用により、スミアの残存を少なくすることができる。
(Desmear treatment)
A through-hole may be formed in the hardened | cured material obtained by precuring the said resin composition. In the multilayer substrate or the like, a via or a through hole is formed as a through hole. For example, the via can be formed by irradiation with a laser such as a CO 2 laser. The diameter of the via is not particularly limited, but is about 60 to 80 μm. Due to the formation of the through hole, a smear that is a resin residue derived from the resin component contained in the cured product may be formed at the bottom of the via. However, the use of the resin composition can reduce the residual smear.

上記スミアを除去するために、硬化物の表面は、デスミア処理されることが好ましい。デスミア処理が粗化処理を兼ねることもある。   In order to remove the smear, the surface of the cured product is preferably desmeared. The desmear process may also serve as a roughening process.

上記デスミア処理には、上記粗化処理と同様に、例えば、マンガン化合物、クロム化合物又は過硫酸化合物などの化学酸化剤等が用いられる。これらの化学酸化剤は、水又は有機溶剤が添加された後、水溶液又は有機溶媒分散溶液として用いられる。デスミア処理に用いられるデスミア処理液は、一般にアルカリを含む。デスミア処理液は、水酸化ナトリウムを含むことが好ましい。   In the desmear treatment, for example, a chemical oxidant such as a manganese compound, a chromium compound, or a persulfate compound is used in the same manner as the roughening treatment. These chemical oxidizers are used as an aqueous solution or an organic solvent dispersion after water or an organic solvent is added. The desmear treatment liquid used for the desmear treatment generally contains an alkali. The desmear treatment liquid preferably contains sodium hydroxide.

上記デスミア処理の方法は特に限定されない。上記デスミア処理の方法として、例えば、30〜90g/L過マンガン酸又は過マンガン酸塩溶液及び30〜90g/L水酸化ナトリウム溶液を用いて、処理温度30〜85℃及び1〜30分間の条件で、1回又は2回、硬化物を処理する方法が好適である。上記デスミア処理の温度は50〜85℃の範囲内であることが好ましい。   The method for the desmear treatment is not particularly limited. As a method for the desmear treatment, for example, using a 30 to 90 g / L permanganate or permanganate solution and a 30 to 90 g / L sodium hydroxide solution, a treatment temperature of 30 to 85 ° C. and a condition of 1 to 30 minutes And the method of processing hardened | cured material once or twice is suitable. It is preferable that the temperature of the said desmear process exists in the range of 50-85 degreeC.

上記樹脂組成物の使用により、デスミア処理された硬化物の表面の表面粗さが十分に小さくなる。   By using the resin composition, the surface roughness of the surface of the cured product that has been desmeared is sufficiently reduced.

以下、実施例及び比較例を挙げることにより、本発明を具体的に説明する。本発明は、以下の実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by giving examples and comparative examples. The present invention is not limited to the following examples.

以下の成分を用いた。   The following ingredients were used.

(エポキシ樹脂)
エポキシ樹脂1:イソシアヌル酸骨格エポキシ樹脂(日産化学社製「TEPIC−SP」、エポキシ当量100g/eq、窒素原子の含有量19重量%)
エポキシ樹脂2:p−アミノフェノール型エポキシ樹脂(三菱化学社製「630」、エポキシ当量96g/eq、窒素原子の含有量5重量%)
エポキシ樹脂3:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(三菱化学社製「828EL」、エポキシ当量186g/eq)
エポキシ樹脂4:ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC社製「HP4032D」、エポキシ等量152g/eq」)
エポキシ樹脂5:ナフタレン型エポキシ樹脂(DIC社製「HP4700」、エポキシ等量165g/eq)
エポキシ樹脂6:ビフェニル型エポキシ樹脂(日本化薬社製「NC3000」、エポキシ当量276g/eq)
(Epoxy resin)
Epoxy resin 1: Isocyanuric acid skeleton epoxy resin (“TEPIC-SP” manufactured by Nissan Chemical Industries, epoxy equivalent 100 g / eq, nitrogen atom content 19% by weight)
Epoxy resin 2: p-aminophenol type epoxy resin ("630" manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 96g / eq, nitrogen atom content 5% by weight)
Epoxy resin 3: bisphenol A type epoxy resin (“828EL” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, epoxy equivalent 186 g / eq)
Epoxy resin 4: Naphthalene type epoxy resin (“HP4032D” manufactured by DIC, epoxy equivalent 152 g / eq)
Epoxy resin 5: Naphthalene type epoxy resin (“HP4700” manufactured by DIC, epoxy equivalent 165 g / eq)
Epoxy resin 6: biphenyl type epoxy resin (“NC3000” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent 276 g / eq)

(硬化剤)
活性エステル硬化剤1:ナフタレン骨格の活性エステル樹脂(DIC社製「EXB9416」、エステル当量330g/eq」)
活性エステル硬化剤2:ジシクロペンタジエン骨格の活性エステル樹脂(DIC社製「HPC8000」、エステル当量223g/eq)
ATN硬化剤:アミノトリアジン変性フェノールノボラック樹脂(DIC社製「LA1356」、水酸基当量146g/eq、窒素原子の含有量18重量%)
ATCN硬化剤:アミノトリアジン変性クレゾールノボラック樹脂(DIC社製「LA3018」、水酸基当量151g/eq、窒素原子の含有量19重量%)
(Curing agent)
Active ester curing agent 1: Naphthalene skeleton active ester resin (“EXB9416” manufactured by DIC, ester equivalent 330 g / eq)
Active ester curing agent 2: Active ester resin with dicyclopentadiene skeleton (“HPC8000” manufactured by DIC, ester equivalent 223 g / eq)
ATN curing agent: aminotriazine-modified phenol novolak resin (“LA1356” manufactured by DIC, hydroxyl group equivalent: 146 g / eq, nitrogen atom content: 18% by weight)
ATCN curing agent: aminotriazine-modified cresol novolak resin (“LA3018” manufactured by DIC, hydroxyl group equivalent 151 g / eq, nitrogen atom content 19% by weight)

(硬化促進剤)
2−エチル−4−メチルイミダゾール(四国化成工業株式会社製「2E4MZ」)
4−ジメチルアミノピリジン(和光純薬工業社製)
(Curing accelerator)
2-Ethyl-4-methylimidazole (“2E4MZ” manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd.)
4-Dimethylaminopyridine (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

(無機充填材)
平均粒径0.5μmシリカ(アドマテックス社製「SO−C2」、表面処理はアミノフェニルシラン処理(信越化学工業社製「KBM573」)
平均粒径1.0μmシリカ(アドマテックス社製「SO−C4」、表面処理はアミノフェニルシラン処理(信越化学工業社製「KBM573」)
(Inorganic filler)
Average particle size 0.5 μm silica (“SO-C2” manufactured by Admatechs, surface treatment is aminophenylsilane treatment (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.))
Silica with an average particle size of 1.0 μm (“SO-C4” manufactured by Admatechs Co., Ltd., surface treatment is aminophenylsilane treatment (“KBM573” manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.))

(熱可塑性樹脂)
フェノキシ樹脂(ビスフェノールアセトフェノン骨格フェノキシ樹脂、固形分30重量%:三菱化学社製「YX6954」)
(Thermoplastic resin)
Phenoxy resin (bisphenolacetophenone skeleton phenoxy resin, solid content 30% by weight: “YX6954” manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)

(溶剤)※乾燥により除去されるため、表1では記載せず
シクロヘキサノン
(Solvent) * Since it is removed by drying, it is not listed in Table 1. Cyclohexanone

(実施例1〜8及び比較例1〜5)
下記の表1に示す配合成分を下記の表1に示す配合量で用いて、以下の手順に従い各々の配合を行った。
(Examples 1-8 and Comparative Examples 1-5)
Using the blending components shown in Table 1 below in the blending amounts shown in Table 1 below, each blending was performed according to the following procedure.

シリカを溶剤でスラリー化し、エポキシ樹脂を加えて攪拌機を用いて、1200rpmで60分間撹拌し、未溶解物がなくなったことを確認した。その後、硬化剤を加えて、1200rpmで60分間撹拌し、未溶解物がなくなったことを確認した。その後、フェノキシ樹脂及び硬化促進剤を加えて、1200rpmで30分間撹拌し、樹脂組成物(樹脂ワニス)を得た。   Silica was slurried with a solvent, an epoxy resin was added, and the mixture was stirred for 60 minutes at 1200 rpm using a stirrer, and it was confirmed that there was no undissolved material. Then, the hardening | curing agent was added and it stirred at 1200 rpm for 60 minutes, and it confirmed that the undissolved material was lose | eliminated. Thereafter, a phenoxy resin and a curing accelerator were added and stirred at 1200 rpm for 30 minutes to obtain a resin composition (resin varnish).

次に、離型処理された透明なポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(リンテック社製「PET5011 550」、厚み50μm)を用意した。このPETフィルムの離型処理面に、アプリケーターを用いて、得られたワニスを乾燥後の厚みが40μmとなるように塗工し、100℃のギアオーブン内で1分間乾燥して、縦200mm×横200mm×厚み40μmの樹脂フィルムの未硬化物(Bステージフィルム)を作製した。結果として、PETフィルムとBステージフィルムとの積層フィルムを得た。   Next, a release-treated transparent polyethylene terephthalate (PET) film (“PET5011 550” manufactured by Lintec Corporation, thickness 50 μm) was prepared. The obtained varnish was coated on the release-treated surface of this PET film using an applicator so that the thickness after drying was 40 μm, dried in a gear oven at 100 ° C. for 1 minute, An uncured resin film (B stage film) having a width of 200 mm and a thickness of 40 μm was prepared. As a result, a laminated film of a PET film and a B stage film was obtained.

(評価サンプルA(硬化フィルム)の作製)
得られたBステージフィルムをギアオーブン内で190℃で90分硬化させて、縦200mm×横200mm×厚み40μmの硬化フィルムを作製した。
(Preparation of evaluation sample A (cured film))
The obtained B stage film was cured at 190 ° C. for 90 minutes in a gear oven to prepare a cured film having a length of 200 mm × width of 200 mm × thickness of 40 μm.

(評価サンプルB(積層体)の作製)
1)ラミネート工程:両面銅張積層板(各面の銅箔の厚み18μm、基板の厚み0.7mm、基板サイズ100mm×100mm、日立化成社製「MCL−E679FG」)を用意した。この両面銅張積層板の銅箔面の両面をメック社製「Cz8101」に浸漬して、銅箔の表面を粗化処理した。粗化処理された銅張積層板の両面に、名機製作所社製「バッチ式真空ラミネーターMVLP−500−IIA」を用いて、積層フィルムをBステージフィルムの表面が銅張積層板面に対向するようにラミネートして、積層構造体を得た。ラミネートの条件は、30秒減圧して気圧を13hPa以下とし、その後30秒間、100℃及び圧力0.8MPaでプレスする条件とした。
(Preparation of evaluation sample B (laminate))
1) Lamination step: A double-sided copper-clad laminate (18 μm thick copper foil on each side, 0.7 mm board thickness, 100 mm × 100 mm board size, “MCL-E679FG” manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) was prepared. Both surfaces of the copper foil surface of this double-sided copper-clad laminate were immersed in “Cz8101” manufactured by MEC, and the surface of the copper foil was roughened. Using a “batch type vacuum laminator MVLP-500-IIA” manufactured by Meiki Seisakusho Co., Ltd. on both surfaces of the roughened copper clad laminate, the surface of the B stage film faces the copper clad laminate surface. Thus, a laminated structure was obtained. The laminating condition was such that the pressure was reduced to 30 hPa or less by reducing the pressure for 30 seconds, and then pressing was performed at 100 ° C. and a pressure of 0.8 MPa for 30 seconds.

2)フィルム剥離工程:Bステージフィルムがラミネートされた銅張積層板において、両側のPETフィルムを剥離した。   2) Film peeling process: In the copper clad laminate on which the B stage film was laminated, the PET films on both sides were peeled off.

3)硬化工程:内部の温度が180℃のギヤオーブン内に積層板を30分間入れ、Bステージフィルムを硬化させて、絶縁層を形成した。   3) Curing step: The laminated plate was placed in a gear oven having an internal temperature of 180 ° C. for 30 minutes to cure the B stage film to form an insulating layer.

(評価サンプルC(銅箔付き積層体)の作製)
評価サンプルBの作製の2)の工程の後で、銅箔(厚み35μm、三井金属社製)のシャイニー面をCz処理(メック社製「Cz8101」)した箔(表面を1μm程度エッチングした箔)を貼り合せた。
(Production of evaluation sample C (laminated body with copper foil))
After the step 2) of producing the evaluation sample B, a foil (thickness whose surface was etched by about 1 μm) was obtained by subjecting the shiny surface of the copper foil (thickness 35 μm, manufactured by Mitsui Kinzoku Co., Ltd.) to Cz treatment (“Cz8101” manufactured by MEC). Were pasted together.

さらに、その銅箔付き基板をギアオーブン内で190℃で90分熱処理し、評価サンプルCを得た。   Further, the substrate with copper foil was heat-treated at 190 ° C. for 90 minutes in a gear oven, and an evaluation sample C was obtained.

(評価)
(1)下地銅ピール強度(銅箔ピール強度)の評価
評価サンプルCの積層体の銅箔面側に1cm幅となるように短冊状に切込みを入れた。90°剥離試験機(テスター産業社製「TE−3001」)に基板をセットし、つかみ具で切込みの入った銅箔の端部をつまみあげ、銅箔を20mm剥離して剥離強度を測定した。
(Evaluation)
(1) Evaluation of base copper peel strength (copper foil peel strength) Cut into a strip shape so as to be 1 cm wide on the copper foil surface side of the laminate of evaluation sample C. The substrate was set on a 90 ° peel tester (“TE-3001” manufactured by Tester Sangyo Co., Ltd.), the edge of the cut copper foil was picked up with a gripping tool, the copper foil was peeled off by 20 mm, and the peel strength was measured. .

(2)レーザーデスミアの評価
評価サンプルBについて、COレーザー(日立ビアメカニクス社製「LC−1K21」)を用いて、上端での直径が60μm、下端(底部)での直径が40μmであるビア(貫通孔)を形成した。このようにして、積層体に樹脂フィルムの半硬化物が積層されており、かつ樹脂フィルムの半硬化物にビア(貫通孔)が形成されている積層体Dを得た。
(2) Evaluation of laser desmear For evaluation sample B, using a CO 2 laser (“LC-1K21” manufactured by Hitachi Via Mechanics Co., Ltd.), the diameter at the upper end is 60 μm and the diameter at the lower end (bottom) is 40 μm. (Through hole) was formed. Thus, the laminated body D by which the semi-cured material of the resin film was laminated | stacked on the laminated body, and the via | veer (through-hole) was formed in the semi-cured material of the resin film was obtained.

<デスミア処理>
(a)膨潤処理
80℃の膨潤液(アトテックジャパン社製「スウェリングディップセキュリガントP」)に、得られた積層体Bを入れて、10分間揺動させた。その後、純水で洗浄した。
<Desmear treatment>
(A) Swelling treatment The obtained laminate B was placed in a swelling liquid at 80 ° C. (“Swelling dip securigant P” manufactured by Atotech Japan Co., Ltd.) and rocked for 10 minutes. Thereafter, it was washed with pure water.

(b)過マンガン酸塩処理
80℃の過マンガン酸カリウム(アトテックジャパン社製「コンセントレートコンパクトCP」)粗化水溶液に、膨潤処理後の積層体Bを入れて、20分間揺動させた。次に、25℃の洗浄液(アトテックジャパン社製「リダクションセキュリガントP」)を用いて2分間処理した後、純水で洗浄して積層体Eを得た。
(B) Permanganate treatment In 80 ° C potassium permanganate ("Concentrate Compact CP" manufactured by Atotech Japan) roughened aqueous solution, the laminate B after the swelling treatment was put and rocked for 20 minutes. Next, after processing for 2 minutes using the 25 degreeC washing | cleaning liquid ("Reduction securigant P" by Atotech Japan), it wash | cleaned with the pure water and the laminated body E was obtained.

積層体Eのビアの底部を走査型電子顕微鏡(SEM)にて観察し、ビア底の壁面からのスミアの最大長さを測定した。ビア底の残渣の除去性を下記の基準で判定した。   The bottom of the via of the laminate E was observed with a scanning electron microscope (SEM), and the maximum length of smear from the wall surface of the via bottom was measured. The removability of the residue at the bottom of the via was determined according to the following criteria.

[レーザーデスミア(ビア底の残渣の除去性)の判定基準]
○:スミアの最大長さが3μm未満
△:スミアの最大長さが3μm以上、5μm未満
×:スミアの最大長さが5μm以上
[Judgment criteria for laser desmear (removability of via bottom residue)]
○: Maximum smear length is less than 3 μm Δ: Maximum smear length is 3 μm or more and less than 5 μm ×: Maximum smear length is 5 μm or more

(3)ハローイングの評価
積層体Eについて無電解銅めっき及び電解銅めっきを行い、ビア部にもめっきを充填した。その後、190℃で90分の熱処理した。
(3) Evaluation of haloing Laminated body E was subjected to electroless copper plating and electrolytic copper plating, and the via portion was also filled with plating. Thereafter, heat treatment was performed at 190 ° C. for 90 minutes.

得られた基板のビア加工部について表面研磨を行い、ビア部及びその周辺部の銅めっき、樹脂層を下地銅の寸前まで除去した。   Surface polishing was performed on the via-processed portion of the obtained substrate, and the copper plating and the resin layer on the via portion and its peripheral portion were removed just before the base copper.

研磨後の基板を金属顕微鏡(オリンパス社製「STM6」)を用いて100倍で観察し、ビア周辺部に発生しているリング(ハローイング)のサイズを測長した。ハローイングを下記の基準で判定した。なお、リングは、ビア周辺部において、絶縁層の浮き及び剥がれが生じている部分であり、ハローイング径は、浮き及び剥がれが生じている部分の外径である。   The polished substrate was observed at a magnification of 100 using a metal microscope (Olympus “STM6”), and the size of the ring (haloing) generated in the periphery of the via was measured. Helloing was judged according to the following criteria. The ring is a part where the insulating layer is floated and peeled off in the periphery of the via, and the haloing diameter is the outer diameter of the part where the floating and peeled off.

[ハローイングの判定基準]
○○:ハローイング径が60μm以上、120μm未満
○:ハローイング径が120μm以上、200μm未満
△:ハローイング径が200μm以上、400μm未満
×:ハローイング径が400μm以上
[Helloing criteria]
○○: Halo diameter is 60 μm or more and less than 120 μm ○: Hallowing diameter is 120 μm or more and less than 200 μm Δ: Hallowing diameter is 200 μm or more and less than 400 μm ×: Haloing diameter is 400 μm or more

(4)誘電正接の評価
評価サンプルAを幅2mm、長さ80mmの大きさに裁断して5枚を重ね合わせて、厚み200μmの積層体を得た。得られた積層体について、関東電子応用開発社製「空洞共振摂動法誘電率測定装置CP521」及びキーサイトテクノロジー社製「ネットワークアナライザーN5224A PNA」を用いて、空洞共振法で常温(23℃)にて、周波数5.8GHz及び10GHzにて誘電正接を測定した。
(4) Evaluation of dielectric loss tangent Evaluation sample A was cut into a size of 2 mm in width and 80 mm in length, and 5 sheets were stacked to obtain a laminate having a thickness of 200 μm. About the obtained laminate, using a “cavity resonance perturbation method dielectric constant measuring device CP521” manufactured by Kanto Electronics Application Development Co., Ltd. and “network analyzer N5224A PNA” manufactured by Keysight Technology, Inc., to room temperature (23 ° C.) by a cavity resonance method. The dielectric loss tangent was measured at frequencies of 5.8 GHz and 10 GHz.

(5)平均線膨張率の評価
評価サンプルAを、3mm×25mmの大きさに裁断した。熱機械的分析装置(エスアイアイ・ナノテクノロジー社製「EXSTAR TMA/SS6100」)を用いて、引っ張り荷重33mN、昇温速度5℃/分の条件で、裁断された硬化物の25℃から150℃までの平均線膨張率(ppm/℃)を算出した。
(5) Evaluation of average linear expansion coefficient Evaluation sample A was cut into a size of 3 mm x 25 mm. Using a thermomechanical analyzer (“EXSTAR TMA / SS6100” manufactured by SII Nano Technology), the cured product cut at 25 ° C. to 150 ° C. under the conditions of a tensile load of 33 mN and a heating rate of 5 ° C./min. The average linear expansion coefficient (ppm / ° C.) was calculated.

(6)粗化後の表面の算術平均粗さRaの評価
評価サンプルBについて、レーザービア加工を行わずにデスミア処理まで施した積層体Fについて、非接触型表面粗計(ビーコインスツルメンツ社製「WYKO NT1100」)を用いて、VSIコンタクトモード、50倍レンズにより測定範囲を121μm×92μmとして、デスミア後の樹脂の表面の表面粗さを算術平均粗さRaを測定した。なお、算術平均粗さRaは、無作為に選んだ測定箇所3点で測定し、測定値の平均値を採用した。上記算術平均粗さは、JIS B0601−1994における値である。
(6) Evaluation of Arithmetic Average Roughness Ra of Surface after Roughing For evaluation sample B, non-contact type surface roughness meter (manufactured by Beeco Instruments Inc. “ WYKO NT1100 ") was used to measure the surface roughness of the surface of the resin after desmearing with a VSI contact mode and a 50 × lens with a measurement range of 121 μm × 92 μm, and the arithmetic average roughness Ra was measured. The arithmetic average roughness Ra was measured at three measurement points selected at random, and the average value of the measurement values was adopted. The arithmetic average roughness is a value in JIS B0601-1994.

(7)銅めっきピール強度の評価
積層体Fについて無電解銅めっき及び電解銅めっきまで行った積層体Gの銅めっき面側に1cm幅となるように短冊状に切込みを入れた。90°剥離試験機に基板をセットし、つかみ具で切込みの入った銅めっきの端部をつまみあげ、銅めっきを20mm剥離して剥離強度を測定した。
(7) Evaluation of copper plating peel strength The laminate F was cut into a strip shape so as to have a width of 1 cm on the copper plating surface side of the laminate G subjected to electroless copper plating and electrolytic copper plating. The substrate was set on a 90 ° peel tester, the end of the copper plating cut with a gripper was picked up, the copper plating was peeled off by 20 mm, and the peel strength was measured.

結果を下記の表1に示す。   The results are shown in Table 1 below.

Figure 0006408847
Figure 0006408847

11…多層基板
12…回路基板
12a…上面
13〜16…絶縁層
17…金属層(配線)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 ... Multilayer substrate 12 ... Circuit board 12a ... Upper surface 13-16 ... Insulating layer 17 ... Metal layer (wiring)

Claims (7)

少なくとも1種のエポキシ樹脂と、少なくとも2種の硬化剤とを含み、
前記少なくとも2種の硬化剤が、活性エステル硬化剤を含み、
樹脂組成物中の全ての前記エポキシ樹脂100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%の、樹脂組成物中の全ての前記硬化剤100重量%に含まれている窒素原子の合計重量%に対する比が、1/3以上、1以下である、樹脂組成物。
Comprising at least one epoxy resin and at least two curing agents;
The at least two curing agents comprise an active ester curing agent;
The total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all the curing agents in the resin composition of the total weight% of nitrogen atoms contained in 100% by weight of all the epoxy resins in the resin composition The resin composition whose ratio to is 1/3 or more and 1 or less.
前記少なくとも2種の硬化剤が、前記活性エステル硬化剤以外の硬化剤として、アミノトリアジン変性フェノール硬化剤又はアミノトリアジン変性クレゾール硬化剤を含む、請求項1に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to claim 1, wherein the at least two kinds of curing agents include an aminotriazine-modified phenol curing agent or an aminotriazine-modified cresol curing agent as a curing agent other than the active ester curing agent. 樹脂組成物中の全ての前記硬化剤の反応性基の合計数の、樹脂組成物中の前記アミノトリアジン変性フェノール硬化剤及びアミノトリアジン変性クレゾール硬化剤の反応性基の合計数に対する比が、2.5以上、10以下である、請求項2に記載の樹脂組成物。 The ratio of the total number of reactive groups of all the curing agents in the resin composition to the total number of reactive groups of the aminotriazine-modified phenol curing agent and aminotriazine-modified cresol curing agent in the resin composition is 2 The resin composition according to claim 2 , which is 5 or more and 10 or less. 150℃以上で0.5時間以上硬化させた硬化物の周波数5.8GHzでの誘電正接が0.007以下である、請求項1〜3のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition of any one of Claims 1-3 whose dielectric loss tangent in the frequency 5.8GHz of the hardened | cured material hardened | cured at 150 degreeC or more for 0.5 hour or more is 0.007 or less. 前記少なくとも1種のエポキシ樹脂が、エポキシ当量が120以下であるエポキシ樹脂を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 4, wherein the at least one epoxy resin includes an epoxy resin having an epoxy equivalent of 120 or less. 硬化が空気に曝露されない環境下で行われる、請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition according to any one of claims 1 to 5, wherein curing is performed in an environment where the curing is not exposed to air. ビルドアップ配線板に用いられる絶縁材料である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の樹脂組成物。   The resin composition of any one of Claims 1-6 which is an insulating material used for a buildup wiring board.
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6530734B2 (en) * 2016-09-28 2019-06-12 株式会社タムラ製作所 Thermosetting flux composition and method of manufacturing electronic substrate
JP7279303B2 (en) 2017-05-10 2023-05-23 味の素株式会社 Resin composition layer
CN112237054A (en) * 2018-05-09 2021-01-15 昭和电工材料株式会社 Resin film for interlayer insulating layer with support, multilayer printed wiring board, and method for producing multilayer printed wiring board
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JP2020094213A (en) * 2018-12-10 2020-06-18 積水化学工業株式会社 Resin material and multilayer printed wiring board
JP2020094089A (en) * 2018-12-10 2020-06-18 積水化学工業株式会社 Resin material and multilayer printed wiring board
JP7238374B2 (en) * 2018-12-12 2023-03-14 株式会社レゾナック Encapsulating resin composition and semiconductor device
JP7254528B2 (en) * 2019-01-15 2023-04-10 積水化学工業株式会社 Resin materials and multilayer printed wiring boards
JP7027382B2 (en) * 2019-09-30 2022-03-01 積水化学工業株式会社 Resin film and multi-layer printed wiring board
JP7099490B2 (en) * 2020-05-07 2022-07-12 昭和電工マテリアルズ株式会社 Liquid resin composition for encapsulation and electronic component equipment
JP7494960B1 (en) 2023-01-31 2024-06-04 味の素株式会社 Hardened body

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4686750B2 (en) * 2008-09-24 2011-05-25 積水化学工業株式会社 Cured body and laminate
JP2010229313A (en) * 2009-03-27 2010-10-14 Sekisui Chem Co Ltd Epoxy resin composition, sheet-formed molded article, prepreg, cured product, laminated plate and multilayer laminated plate
JP5630241B2 (en) * 2010-02-15 2014-11-26 日立化成株式会社 Insulating resin, wiring board, and method of manufacturing wiring board
JP5978936B2 (en) * 2012-11-13 2016-08-24 味の素株式会社 Resin composition

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