JP2020100502A - ガラスフィルムの製造方法及び製造装置、並びにガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構造の装置を用いて、効果的にガラスフィルム等に生じる不要な曲げモーメントの抑制を図ることにより、安全に支持体からガラスフィルムを剥離する。【解決手段】支持体１とガラスフィルム２のうち一方のワークを他方のワークから剥離して、積層体３を、支持体１とガラスフィルム２とに分離する分離工程Ｓ３で、ベローズ１４が取付けられた吸着パッド１３を使用し、減圧により吸着パッド１３で一方のワークを吸着すると共にベローズ１４を収縮させて、一方のワークに他方のワークからの引き剥がし力Ｆを付与する。【選択図】図８

Description

本発明は、ガラスフィルムの製造方法及び製造装置、並びにガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法に関し、特にガラスフィルムを支持体から剥離するための技術に関する。

近年、省スペース化の観点から、従来普及していたＣＲＴ型ディスプレイに替わり、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。そして、これらのフラットパネルディスプレイにおいては、更なる薄型化が求められている。

特に、有機ＥＬディスプレイや有機ＥＬ照明には、その厚み寸法が非常に小さい（薄い）ことを利用して、折り畳んだり、巻き取ったりできるといった機能を持たせ得る。これにより、持ち運びが容易になるだけでなく、従来の平面状態に加えて曲面状態での使用が可能になるため、様々な用途への活用が期待されている。従って、これらの電子デバイスに使用されるガラス基板やカバーガラスには、更なる可撓性の向上が要求されている。

ガラス基板に可撓性を付与するには、ガラス基板を薄肉化するのが有効である。ここで、例えば特許文献１には、厚み寸法２００μｍ以下のガラスフィルムが提案されており、これにより、曲面状態での使用が可能な程度の高い可撓性をガラス基板に付与可能としている。

一方、フラットパネルディスプレイや太陽電池等の電子デバイスに使用されるガラス基板には、二次加工や洗浄など、様々な電子デバイス製造関連の処理が施される。ところが、これら電子デバイスに使用されるガラス基板を薄肉化すると、ガラスが脆性材料であるため、多少の応力変化によっても破損に至る場合が生じ、電子デバイス製造関連処理を行う際に、取扱いが非常に困難になるといった問題がある。加えて、厚み寸法２００μｍ以下のガラスフィルムは可撓性に富むため、各種製造関連処理を施す際に位置決めを行うことが難しい（例えばパターニング時にずれが生じる）といった問題もある。

上記問題に関し、例えば特許文献２には、ガラスフィルムと、このガラスフィルムを支持する支持体としての支持ガラスとを積層して互いに固定してなる積層体が提案されている。このようにガラスフィルムを積層体にした状態で、この積層体に対して各種製造関連処理を施すようにすれば、単体では強度や剛性に乏しいガラスフィルムを用いた場合であっても、支持ガラスが補強材として作用するため、各処理の際に積層体として位置決めを容易に行うことができる。また、処理終了後に、支持ガラスからガラスフィルムを剥離させることにより、所要の処理が施されたガラスフィルムのみを最終的に取得することが可能となる。さらにいえば、ガラスフィルムを含む積層体の厚み寸法を、従来（既存）のガラス基板の厚み寸法と同一又はそれ以上にすることで、従来のガラス基板用の製造ラインを電子デバイス用製造ラインとして使用（共用）できるメリットが期待できる。

ここで、支持ガラスからガラスフィルムを剥離するための方法として、従来、支持ガラスとガラスフィルムの一方を、支持ガラスとガラスフィルムとの界面に直交する向き（法線方向）に引っ張ることで、支持ガラスからガラスフィルムを引き剥がす方法が知られている。しかしながら、この方法は、基本的に、ガラスフィルム等（ガラスフィルム又は支持ガラス）にたわみ変形を強いるものであるから、界面以外の領域に不要な曲げモーメントが生じて、割れ等の破損を生じるおそれが生じる。

上記問題を解決するため、例えば特許文献３には、補強板（支持体）の上面を可撓性板で吸着した状態で、可撓性板の上側に所定の間隔で固定された複数の可動体を順次上昇させることにより、補強板から基板（ガラスフィルム）を剥離する方法が提案されている。また、この際、可動体の基端側にはボールジョイントが連結されており、これにより、可動体を、可撓性板のたわみ変形に追従して傾動可能とする構造が提案されている。

特開２０１０−１３２５３１号公報 国際公開２０１１／０４８９７９号公報 特開２０１４−１４１３４４号公報

このように、特許文献３に記載の剥離装置によれば、基板又は補強板を吸着保持する可撓性板に固定された可動体を、可撓性板のたわみ変形に追従して傾動させることができるので、可動体により可撓性板に無理な力を加えることなく、可撓性板をたわみ変形させることができる。よって、この可撓性板に吸着保持された基板又は補強板に生じる不要な曲げモーメントを抑制して、当該基板又は補強板の割れ防止を図っている。

一方で、ガラスフィルム等に生じる不要な曲げモーメントを極力排除しようとするならば、吸着部材を、特許文献３に記載のような可撓性板ではなく、複数の吸着パッドで構成することが望ましい。ここで、通常、吸着パッドは吸着対象面（ガラスフィルム等の表面）との間の空間を減圧することによりガラスフィルム等を吸着するものであるから、吸着パッドには、減圧のための排気管が接続される必要がある。しかしながら、特許文献３に記載の傾動構造を吸着パッドに適用して、吸着パッドをボールジョイントで傾動可能に支持した構造を検討した場合、ボールジョイントが妨げとなり吸着パッドに排気管を接続するためのスペースが制限される。そのため、特許文献３に記載の傾動構造を複数の吸着パッドに適用することは難しい。また、特許文献３に記載の傾動構造を適用する場合、複数の吸着パッドと、吸着パッドと同数のボールジョイントと、これら複数の吸着パッド及びボールジョイントを独立して昇降させる複数の駆動装置（シリンダなど）とが必要となるため、構造が複雑化し、また設備コストの高騰が避けられない。

以上の事情に鑑み、簡易な構造の装置を用いて、効果的にガラスフィルム等に生じる不要な曲げモーメントの抑制を図ることにより、安全に支持体からガラスフィルムを剥離することを、本発明により解決すべき技術的課題とする。

前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法により達成される。すなわち、この製造方法は、製造関連処理が施されたガラスフィルムが、ガラスフィルムを支持する支持体上に積層された状態の積層体を準備する準備工程と、支持体とガラスフィルムのうち一方のワークを他方のワークから剥離して、準備した積層体を、支持体とガラスフィルムとに分離する分離工程とを備えたガラスフィルムの製造方法において、分離工程で、ベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、減圧により吸着パッドで一方のワークを吸着すると共にベローズを収縮させて、一方のワークに他方のワークからの引き剥がし力を付与する点をもって特徴付けられる。なお、ここでいう「製造関連処理」には、ガラスフィルムに直接何らかの加工を施す処理はもちろん、他部材の取付けや、ガラスフィルム表面の洗浄など、間接的にガラスフィルム又はガラスフィルムを含むデバイスを最終製品（出荷状態）に近づけるための処理を広く含むものとする。

上述のように、本発明に係るガラスフィルムの製造方法では、ベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、減圧により吸着パッドで一方のワークを吸着すると共にベローズを収縮させて、一方のワークに他方のワークからの引き剥がし力を付与するようにしたので、ベローズの変形により吸着パッドを容易にかつ比較的大きな角度にまで傾動させることができる。よって、吸着パッドで吸着されたガラスフィルム等に生じ得る不要な曲げモーメントを効果的に抑制して、ガラスフィルム等の割れを防止することが可能となる。また、吸着パッドでガラスフィルムを吸着すると共にベローズの収縮でガラスフィルム等に引き剥がし力を付与することによって、例えば共通の排気用駆動部により吸着動作と引き剥がし力の付与動作を実行することができる。もちろん、ベローズであればその内部空間を介して吸着パッドを排気用駆動部に接続できるので、スペース上の制限を受ける心配もない。以上より、本発明に係るガラスフィルムの製造方法によれば、装置の構造を簡素化して、コストアップを招くことなく割れが生じ難い剥離を実施することが可能となる。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、剥離進展方向に沿って複数の吸着パッドを配置し、剥離進展後方側の吸着パッドで一方のワークを吸着してベローズの収縮を開始した後、剥離進展後方側の吸着パッドと隣接する剥離進展前方側の吸着パッドで一方のワークを吸着してベローズの収縮を開始してもよい。

このように構成することで、ベローズの収縮により上昇した剥離進展後方側の吸着パッド直下にまで剥離が進展又は直下を超えて剥離が進展した状態で、一方のワークのうち次の吸着パッド直下の部分に引き剥がし力を付与することができる。よって、無理なく一方のワークを剥離領域又は剥離領域に近い側から順に引き剥がしていくことができ、これにより、不要なモーメントの発生をより効果的に抑制して、安定した剥離進展を図ることが可能となる。

また、上述のように複数の吸着パッドを順に作動させる場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、剥離進展後方側の吸着パッドに取付けられたベローズの収縮により、剥離進展領域が少なくとも剥離進展前方側の吸着パッドの直下にまで到達したことを条件として、剥離進展前方側の吸着パッドによる一方のワークの吸着及びベローズの収縮を開始してもよい。

上述のように剥離進展前方側の吸着パッドの直下にまで剥離領域が到達したことを条件として、一方のワークのうち上記吸着パッドの直下の部分に引き剥がし力を付与することにより、剥離をより円滑に進展させることができる。また、既に一方のワークのうち吸着パッド直下の少なくとも一部が他方のワークから剥離した状態になっているので、一方のワークに生じ得る不要な曲げモーメントをさらに抑制して、無理なく一方のワークを引き剥がすことができる。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、吸着パッドの一方のワークに対する高さ位置を変更可能な高さ位置変更装置を使用して、ベローズの減圧時の収縮量を調整してもよい。

このように、高さ位置変更装置を使用して、ベローズの減圧時の収縮量を調整することによって、剥離進展時の一方のワークの引き上げ量を所望の範囲に制御することができる。よって、一方のワークに適度な曲げ変形（たわみ変形）を付与しながら円滑に剥離を進展させることが可能となる。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、一方のワークは矩形状をなし、分離工程は、一方のワークの角部に剥離起点部を形成する剥離起点部形成工程と、剥離起点部を、一方のワークの第一の辺に沿って進展させる第一剥離進展工程と、第一の辺全域にわたって進展させた剥離進展領域を、第一の辺と直交する一方のワークの第二の辺に沿って進展させる第二剥離進展工程とを有してもよい。

本発明に係る分離工程では、例えば公知の如く、まず一方のワークのコーナー部に剥離起点部を形成し、次に、矩形状をなす一方のワークの対角線に沿って剥離起点部を進展させるように吸着パッドを順に引き上げる方法も考えられる。一方で、上述の如く一方のワークの角部に剥離起点部を形成し、本発明に係る方法で剥離起点部を進展させる場合には、対角線に沿って剥離起点部を進展させるよりも、矩形状をなす一方のワークの辺に沿った向きに伸展させた場合に、剥離進展態様がより安定することが判明した。よって、上述のように、一方のワークの第一の辺に沿って剥離起点部を進展させ、次に第一の辺全域にわたって進展させた剥離領域を、第一の辺と直交する第二の辺に沿って進展させることにより、さらに安定的に剥離を進展させることが可能となる。

また、上述のように各辺に沿って剥離を進展させる場合、本発明に係るガラスフィルムの製造方法においては、第一剥離進展工程で、ベローズとして相対的に変形し易いベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、第二剥離進展工程で、ベローズとして相対的に変形し難いベローズが取付けられた吸着パッドを使用してもよい。

このように、一方のワークのコーナー部に形成した剥離起点部を第一の辺に沿って進展させる場合と、第一の辺に直交する第二の辺に沿って剥離進展領域を進展させる場合とで、変形のし易さが異なる二種類のベローズを使い分けることで、より迅速かつ安定的に剥離進展を図ることが可能となる。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、支持体が、板状ガラスであってもよい。また、この場合、積層体において、板状ガラスとガラスフィルムとは直接密着しているものであってもよい。

このように支持体を板状ガラスとすることで、面精度に優れた支持体を低コストに製造できる。また、このように面精度に優れた板状ガラスとガラスフィルムとを直接密着させることで、ガラスフィルムを位置ずれなく支持体に固定できつつも、本発明により確実かつ安全にガラスフィルムを支持体としての板状ガラスから剥離させることが可能となる。

また、前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造装置によっても達成される。すなわち、この製造装置は、ガラスフィルムが、ガラスフィルムを支持する支持体上に積層された状態の積層体の支持体とガラスフィルムのうち一方のワークを他方のワークから剥離するための剥離装置を備えたガラスフィルムの製造装置において、剥離装置は、一方のワークを吸着する吸着パッドを有すると共に、吸着パッドにはベローズが取付けられており、吸着パッドは、減圧により一方のワークを吸着すると共にベローズを収縮させて、一方のワークに他方のワークからの引き剥がし力を付与するよう構成されている点をもって特徴付けられる。

このように、本発明に係るガラスフィルムの製造装置においても、ベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、減圧により吸着パッドで一方のワークを吸着すると共にベローズを収縮させて、一方のワークに他方のワークからの引き剥がし力を付与するようにしたので、ベローズの変形により吸着パッドを容易にかつ比較的大きな角度にまで傾動させることができる。よって、吸着パッドで吸着されたガラスフィルム等に生じ得る不要な曲げモーメントを効果的に抑制して、ガラスフィルム等の割れを防止することが可能となる。また、吸着パッドでガラスフィルムを吸着すると共にベローズの収縮でガラスフィルム等に引き剥がし力を付与することによって、例えば共通の排気用駆動部により吸着動作と引き剥がし力の付与動作を実行することができる。以上より、本発明に係る製造装置によれば、装置の構造を簡素化して、コストアップを招くことなく割れが生じ難い剥離を実施することが可能となる。

また、前記課題の解決は、本発明に係る電子デバイスの製造方法によっても達成される。すなわち、この製造方法は、電子デバイス要素が取付けられたガラスフィルムが、ガラスフィルムを支持する支持体上に積層された状態の積層体である支持体付き電子デバイスを準備する準備工程と、支持体とガラスフィルムのうち一方のワークを他方のワークから剥離して、準備した支持体付き電子デバイスを、ガラスフィルムを含む電子デバイスと支持体とに分離する分離工程とを備えた電子デバイスの製造方法において、分離工程で、ベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、減圧により吸着パッドで一方のワークを吸着すると共に、ベローズを収縮させて一方のワークに他方のワークからの引き剥がし力を付与する点をもって特徴付けられる。

このように、本発明に係る電子デバイスの製造方法においても、ベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、減圧により吸着パッドで一方のワークを吸着すると共にベローズを収縮させて、一方のワークに他方のワークからの引き剥がし力を付与するようにしたので、ベローズの変形により吸着パッドを容易にかつ比較的大きな角度にまで傾動させることができる。よって、吸着パッドで吸着されたガラスフィルム等に生じ得る不要な曲げモーメントを効果的に抑制して、ガラスフィルム等の割れを防止することが可能となる。また、吸着パッドでガラスフィルムを吸着すると共にベローズの収縮でガラスフィルム等に引き剥がし力を付与することによって、例えば共通の排気用駆動部により吸着動作と引き剥がし力の付与動作を実行することができる。以上より、本発明に係る電子デバイスの製造方法によれば、装置の構造を簡素化して、コストアップを招くことなく割れが生じ難い剥離方法を実施することが可能となる。

以上に述べたように、本発明によれば、簡易な構造の装置を用いて、効果的にガラスフィルム等に生じる不要な曲げモーメントの抑制を図ることにより、安全に支持体からガラスフィルムを剥離することが可能となる。

本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法の手順を示すフローチャートである。 図１に示す分離工程の詳細を示すフローチャートである。 ガラスフィルムを含む積層体の断面図である。 図３に示す積層体の平面図である。 図３に示す積層体に電子デバイス要素としての有機ＥＬ素子を取付けてなる支持体付き有機ＥＬパネルの断面図である。 図２に示す剥離起点部形成工程の一例を説明するための（ａ）平面図と、（ｂ）Ａ−Ａ要部断面図である。 本発明の第一実施形態に係るガラスフィルムの剥離装置の平面図である。 図７に示す剥離装置のＢ−Ｂ要部断面図である。 図７に示す剥離装置を用いた剥離進展工程の一例を説明するためのＢ−Ｂ要部断面図である。 図７に示す剥離装置を用いた剥離進展工程の一例を説明するためのＢ−Ｂ要部断面図である。 図７に示す剥離装置を用いた剥離進展工程の一例を説明するための平面図である。 本発明の第二実施形態に係る剥離進展工程の一例を説明するための平面図である。 本発明の適用対象である電子デバイスとして液晶パネルを製造する際の支持体付き液晶パネルの断面図である。

以下、本発明に係るガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法の第一実施形態を、図１〜図１１を参照して説明する。なお、本実施形態では、電子デバイスとしての有機ＥＬパネルを製造する際に、支持体が付いた状態の有機ＥＬパネルを、ガラスフィルムと支持体との剥離により、有機ＥＬパネルと支持体とに分離する場合を例にとって以下説明する。

本発明の第一実施形態に係る電子デバイスの製造方法は、図１に示すように、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程Ｓ１と、ガラスフィルムへの加熱を伴ってガラスフィルムに電子デバイス要素を取付ける取付け工程Ｓ２と、電子デバイス要素を取付けた積層体を、ガラスフィルムを含む電子デバイスと支持体とに分離する分離工程Ｓ３とを備える。このうち、積層体形成工程Ｓ１と、取付け工程Ｓ２とが、本発明に係る準備工程に相当する。

また、分離工程Ｓ３は、図２に示すように、積層体に剥離起点部を形成する剥離起点部形成工程Ｓ４と、第一剥離進展工程Ｓ５と、第二剥離進展工程Ｓ６とを有する。以下、各工程を詳細に説明する。

（Ｓ１）積層体形成工程
まず、図３に示すように、支持体１上にガラスフィルム２を積層して積層体３を形成する。

ここで、ガラスフィルム２は、例えばケイ酸塩ガラス、シリカガラスなどで形成され、好ましくはホウ珪酸ガラスで形成され、より好ましくは無アルカリガラスで形成される。ガラスフィルム２にアルカリ成分が含まれていると、表面において陽イオンの脱落が発生し、いわゆるソーダ吹きの現象が起こり得る。その場合、ガラスフィルム２に構造的に粗となる部分が生じるため、このガラスフィルム２を湾曲させた状態で使用していると、経年劣化により粗となった部分を起点として破損を招くおそれがある。以上の理由より、非平坦状態でガラスフィルム２を使用する可能性がある場合、無アルカリガラスでガラスフィルム２を形成するのが好適である。

なお、ここでいう無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスを指し、具体的には、アルカリ成分が３０００ｐｐｍ以下のガラスを指す。もちろん、上述した理由による経年劣化を少しでも防止又は軽減する観点からは、１０００ｐｐｍ以下のガラスが好ましく、５００ｐｐｍ以下のガラスがより好ましく、３００ｐｐｍ以下のガラスがさらに好ましい。

ガラスフィルム２の厚み寸法は、３００μｍ以下に設定され、好ましくは２００μｍ以下に設定され、より好ましくは１００μｍ以下に設定される。厚み寸法の下限値については特段の制約なく設定可能であるが、成形後の取り扱い性（支持体１との積層時、あるいは剥離時など）などを考慮すると、１μｍ以上、好ましくは５μｍ以上に設定されるのがよい。

支持体１は、本実施形態では板状ガラスであって、ガラスフィルム２と同様、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス等、公知のガラスで形成される。ただし、加熱を伴う電子デバイスの製造関連処理（本実施形態では取付け工程Ｓ２）において、熱変形の差に起因するガラスフィルム２の不要な変形や破損を可及的に防止する観点から、３０℃〜３８０℃の間における支持体１とガラスフィルム２との線膨張係数の差が、５×１０-7／℃以内となるよう、ガラスの種類を選択するのがよい。この場合、同一種類のガラスで支持体１とガラスフィルム２を形成することが好ましい。

支持体１の厚み寸法は、ガラスフィルム２の取り扱い性を向上させ得る限りにおいて特に制限はなく、ガラスフィルム２の厚み寸法と同一レベル又はそれ以上に設定される。具体的には、支持体１の厚み寸法は、３００μｍ以上に設定され、好ましくは５００μｍ以上に設定される。厚み寸法の上限値については特段の制約なく設定可能であるが、後述する支持体１の曲げ（湾曲）に耐え得る程度の厚み寸法に留めておくのが好ましい。具体的には１０００μｍ以下に設定されるのがよく、好ましくは７００μｍ以下に設定されるのがよい。

また、これら支持体１とガラスフィルム２は、ダウンドロー法など公知の成形方法で成形され、好ましくはオーバーフローダウンドロー法で成形される。また、フロート法やスロットダウンドロー法、ロールアウト法、アップドロー法などによって成形することも可能である。なお、必要に応じて二次加工を施して（リドローによりガラス一次成形体を引き伸ばして）、１００μｍ未満の厚み寸法に設定することも可能である。

積層体３を構成した状態において、支持体１とガラスフィルム２とは相互に、剥離可能な程度に固定されている。固定手段としては任意の手段が採用可能であり、本実施形態では、支持体１としての板状ガラスとガラスフィルム２とを、接着剤などを介在させることなく直接密着させることにより、相互固定を実現している。

この際、ガラスフィルム２の支持体１の側の表面２ａ（図３でいえば下側の表面）と、支持体１のガラスフィルム２の側の表面１ａ（図３でいえば上側の表面）の表面粗さＲａは共に２．０ｎｍ以下に設定される。各表面１ａ，２ａの表面粗さＲａを上述した範囲に設定することで、支持体１とガラスフィルム２とを位置ずれなく相互に固定した状態で積層する（積層体３を形成する）ことが可能となる。もちろん、密着性向上の観点からは、１．０ｎｍ以下とするのが好ましく、０．２ｎｍ以下とするのがより好ましい。

一方、ガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂの表面粗さＲａの大きさは特に限定されないが、後述する取付け工程Ｓ２において、成膜等の電子デバイス関連処理を施す対象面となることから、その表面粗さＲａは２．０ｎｍ以下であることが好ましく、１．０ｎｍ以下であることがより好ましく、０．２ｎｍ以下であることがさらに好ましい。

また、ガラスフィルム２の端部を保護する観点から、ガラスフィルム２と支持体１とを積層した状態において、支持体１がガラスフィルム２から食み出している（図３を参照）。この場合、支持体１のガラスフィルム２からの食み出し量は、例えば０．５ｍｍ以上でかつ１０ｍｍ以下に設定され、好ましくは０．５ｍｍ以上でかつ１．０ｍｍ以下に設定される。上述のように支持体１の食み出し量を小さく（最大でも１０ｍｍ程度に）することで、相対的に大面積のガラスフィルム２を全面で効率よく支持することができる。

本実施形態では、図４に示すように、支持体１とガラスフィルム２が共に矩形状をなしている。また、この支持体１上にガラスフィルム２を積層してなる積層体３の全周縁において、支持体１がガラスフィルム２から食み出ており、これによりガラスフィルム２のコーナー部４において支持体１がガラスフィルム２から食み出ている。なお、本実施形態では積層体３の４辺縁全てにおいて、支持体１がガラスフィルム２から食み出ている形態を例示したが、もちろん、３辺縁ないし１辺縁で支持体１がガラスフィルム２から食み出ている形態を採ることも可能である。この場合、食み出ていない側の辺縁では、ガラスフィルム２の端面と支持体１の端面とが一致していることが望ましい。

なお、上記した積層体３の形成に際して、減圧下で積層作業を行うようにしてもよい。これにより、ガラスフィルム２を支持体１上に積層した際にガラスフィルム２と支持体１との間に生じる（残存する）気泡を低減もしくは消失させることが可能となる。

（Ｓ２）取付け工程
上述のようにガラスフィルム２を含む積層体３を形成した後、この積層体３に対して加熱を伴う電子デバイスの製造関連処理、具体的には、電子デバイス要素としての有機ＥＬ素子５の取付けを行う。これにより、図５に示すように、積層体３の一部をなすガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂ上に有機ＥＬ素子５が形成される。そして、カバーガラス６を有機ＥＬ素子５上に載置して、カバーガラス６の周縁をガラスフィルム２に固定することで、有機ＥＬ素子５を封止する。これにより、有機ＥＬパネル７に支持体１が固定された状態の支持体付き有機ＥＬパネル８が形成される。

ここで、カバーガラス６の厚み寸法は、例えば３００μｍ以下に設定され、好ましくは２００μｍ以下に設定され、より好ましくは１００μｍ以下に設定される。このように、カバーガラス６の厚み寸法を設定することで、カバーガラス６に適当な可撓性をもたせることが可能となる。

また、ガラスフィルム２上への有機ＥＬ素子５の取付け態様は任意であり、例えばガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂ上、ＣＶＤ法やスパッタリング等の公知の成膜方法により、陽極層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、陰極層などを順に成膜形成することで有機ＥＬ素子５を形成するようにしてもよい（詳細な図示は省略）。また、カバーガラス６のガラスフィルム２への固定手段についても任意であり、例えば公知のレーザー封止技術を用いてカバーガラス６をガラスフィルム２に固定するようにしてもよい。この場合、ＣＶＤ法やスパッタリング等による成膜処理が、加熱を伴う電子デバイスの製造関連処理に該当する。従って、上述のように有機ＥＬ素子５をガラスフィルム２の支持体１と反対側の表面２ｂ上に形成することで、ガラスフィルム２が加熱される。また、この加熱に起因してガラスフィルム２と支持体１との間に新たな結合が形成され、積層時（積層体３を形成した際）に比べて、ガラスフィルム２と支持体１との固定力が高まる。

なお、図５に示す形態では、カバーガラス６とガラスフィルム２とを直接固定しているが、適宜公知のガラスフリットやスペーサ等（図示は省略）を利用してカバーガラス６をガラスフィルム２に接着固定してもよい。

（Ｓ３）分離工程
このようにして、支持体付き有機ＥＬパネル８を形成（準備）した後、支持体付き有機ＥＬパネル８を構成するガラスフィルム２から支持体１を剥離することで、支持体付き有機ＥＬパネル８を、有機ＥＬパネル７と支持体１とに分離する（図１を参照）。なお、図６以降においては、支持体付き有機ＥＬパネル８に含まれる有機ＥＬ素子５及びカバーガラス６の図示を省略している。

（Ｓ４）剥離起点部形成工程
本実施形態では、まず図６（ａ）に示すように、支持体１を下方に配置し、ガラスフィルム２を上方に配置した状態で、ガラスフィルム２のコーナー部４を支持体１から剥離して、コーナー部４と支持体１との間に剥離起点部９を形成する。ここで、剥離起点部９を形成するための手段は任意であるが、例えばナイフなどの剥離起点部形成部材１０をガラスフィルム２のコーナー部４と支持体１との間に挿入することで、コーナー部４の直下に剥離起点部９を形成する（図６（ｂ）を参照）。

（Ｓ５）第一剥離進展工程
（Ｓ６）第二剥離進展工程
上述のようにしてガラスフィルム２と支持体１との間に剥離起点部９を形成した後、剥離起点部９を所定の方向に進展させる。図７に、上記剥離を行うための剥離装置１１の平面図を示す。また、図８に、図７に示す剥離装置１１の要部断面図であって、支持体１の第一の辺１ｃ（図７でいえば、縦方向に伸びる辺）に沿った仮想断面で切ったときの断面図を示す。図７及び図８に示すように、剥離装置１１は、ガラスフィルム２を含む有機ＥＬパネル７と支持体１のうち何れか一方のワークを保持する保持部材１２と、他方のワークを吸着する複数の吸着パッド１３と、吸着パッド１３に取付けられたベローズ１４と、ベローズ１４に連結される排気室１５と、排気室１５に接続される排気用駆動部１６とを有する。また、本実施形態では、剥離装置１１は、ベローズ１４を介して排気室１５に接続された吸着パッド１３の引き上げ対象（ここでは支持体１）に対する高さ位置を変更する高さ位置変更装置１７をさらに有する。以下、各要素の詳細を説明する。

保持部材１２は平坦な載置面１８を有するもので、積層体３を含む支持体付き有機ＥＬパネル８を載置面１８で支持可能とする。本実施形態では、ガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂ（実際にはカバーガラス６の表面）を載置面１８に当接させた状態で、支持体付き有機ＥＬパネル８が支持される。

また、保持部材１２の載置面１８には所定形状の溝１９が形成されると共に、この溝１９に開口する吸引孔２０が形成されている。この溝１９は、載置面１８上に載置される支持体付き有機ＥＬパネル８の周縁部（実際にはカバーガラス６の周縁部）に沿うように形成され、支持体付き有機ＥＬパネル８を載置面１８上に載置した状態では、溝１９の全域がカバーガラス６に覆われた状態となる（図７ではガラスフィルム２のみを表示している）。従って、吸引孔２０に接続される吸引装置２１（図８を参照）を駆動して、カバーガラス６と溝１９とで囲まれた空間を吸引（例えば真空引き）することで、載置面１８にカバーガラス６を介してガラスフィルム２が吸着保持されるようになっている。

また、この際の吸着圧（真空圧）は、例えばガラスフィルム２を、剥離動作の間、破損させることなく確実に保持し続けることが可能な大きさに設定される。具体的には、ガラスフィルム２の吸着圧は、０．０３ＭＰａ以上でかつ０．１５ＭＰａ以下に設定され、好ましくは０．０５ＭＰａ以上でかつ０．１０ＭＰａ以下に設定される。

吸着パッド１３は、図７に示すように、支持体１の上方に所定の配列で配設されており、支持体１のガラスフィルム２と反対側の表面１ｂを吸着できるように構成されている。本実施形態では、吸着パッド１３は、支持体１の第一の辺１ｃに沿って複数配設されると共に、支持体１の第二の辺１ｄに沿って複数配設されている。図７に示す例だと、５個の吸着パッド１３が支持体１の第一の辺１ｃに沿って配設されると共に、同じく５個の吸着パッド１３が支持体１の第一の辺１ｃと直交する第二の辺１ｄ（図７でいえば横方向に伸びる辺）に沿って配設されている。よって、この場合、５個で一列をなす吸着パッド１３が５列で計２５個配設される。

ここで、吸着パッド１３の吸着部が円形をなす場合、その外径寸法（最大外径寸法）は、例えば２０ｍｍ以上でかつ８０ｍｍ以下に設定され、好ましくは２０ｍｍ以上でかつ４０ｍｍ以下に設定される。また、吸着パッド１３の水平方向の間隔は任意であり、例えば０ｍｍ以上でかつ１００ｍｍ以下に設定され、好ましくは１ｍｍ以上でかつ５０ｍｍ以下に設定される。また、吸着パッド１３による支持体１の吸着圧は、例えば、０．１ＭＰａ以上でかつ１．０ＭＰａ以下に設定され、好ましくは０．２ＭＰａ以上でかつ０．８ＭＰａ以下に設定される。

各吸着パッド１３には伸縮可能なベローズ１４が取付けられる。本実施形態では、二段のベローズ１４が吸着パッド１３の反吸着側に一体的に取付けられている（図８を参照）。ここで、ベローズ１４は、支持体１を吸着パッド１３で吸着した際、吸着パッド１３及びベローズ１４内に生じた負圧（減圧状態）により、吸着パッド１３を上昇するように収縮可能とされる。なお、ベローズ１４が上述の如く収縮可能な限りにおいてその材質、構造は任意であり、例えば吸着パッド１３とベローズ１４とを同一の材料で形成してもよく、相互に異なる材料で形成してもよい。また、後述するように、支持体１の引き上げ箇所に応じてその応答性（支持体１の引き上げ速度、引き上げ量など）を変えたい場合には、対応する吸着パッド１３とベローズ１４（特にベローズ１４）の材質、構造などを異ならせてもよい。例えば本実施形態のように、剥離進展を二段階（第一剥離進展工程Ｓ５と第二剥離進展工程Ｓ６）で行う場合、第一剥離進展工程Ｓ５で使用するベローズ１４（図７の最も左側の列のベローズ１４ａ〜１４ｅ）を相対的に伸縮し易い材質、構造とし、第二剥離進展工程Ｓ６で使用するベローズ１４（図７の左側から第二列〜第五列のベローズ１４ｆ，１４ｇ…）を相対的に伸縮し難い材質、構造としてもよい。ここで、相対的に伸縮し易い材質の一例としてシリコンゴムを挙げることができ、相対的に伸縮し難い材質の一例としてニトリルゴムを挙げることができる。

ベローズ１４には排気室１５が接続されると共に、排気室１５はポンプなどの排気用駆動部１６に接続される。ここで、排気室１５はベローズ１４ごとに区切られており、排気室１５を別個独立に排気することにより、吸着パッド１３及びベローズ１４をそれぞれ独立して駆動可能としている。本実施形態では、一個の排気用駆動部１６が複数の排気室１５に接続されると共に、各排気室１５と排気用駆動部１６との間に、排気室１５と排気用駆動部１６との間を連通状態と遮断状態とに切替える切替え弁２２が設けられている。ここで、例えば排気用駆動部１６を電動ポンプとし、切替え弁２２を電磁弁として、排気用駆動部１６と切替え弁２２とを図示しない制御装置で電気的に制御することにより、後述する吸着パッド１３及びベローズ１４の動作を独立して電気的に制御することが可能となる。

高さ位置変更装置１７は、本実施形態では、全ての吸着パッド１３及びベローズ１４が排気室１５を介して取り付けられる取付け部２３と、取付け部２３を昇降駆動する昇降駆動部２４とを有する（図８を参照）。よって、この場合、昇降駆動部２４により取付け部２３が高さ方向（支持体１の法線方向）に沿って移動することで、取付け部２３に固定された全ての吸着パッド１３及びベローズ１４が取付け部２３と共に上記高さ方向に沿って移動可能とされている。また、昇降駆動部２４により、取付け部２３を所定の高さ位置で保持することで、取付け部２３に固定された全ての吸着パッド１３及びベローズ１４の支持体１に対する高さ位置が所定の位置に保持される。

本実施形態では、吸着パッド１３が支持体１に接触し、ベローズ１４が所定量だけ収縮する位置まで取付け部２３を降下させることで、ベローズ１４の最大収縮量、言い換えると吸着パッド１３による支持体１の最大引き上げ量が設定される。すなわち、図９に示すように、吸着パッド１３を支持体１に接触させた際のベローズ１４の収縮量（初期収縮量ｚ０）に応じて、その後の減圧によるベローズ１４の最大収縮量（図１０に示す減圧時収縮量ｚ１から初期収縮量ｚ０を減じた値ｚ１−ｚ０）が設定される。よって、剥離進展時、排気室１５の高さ位置が一定に保たれる場合、ベローズ１４の初期収縮量ｚ０が小さければ、その分だけベローズ１４の減圧時収縮量ｚ１−ｚ０は大きくなり、初期収縮量ｚ０が大きければ、その分だけベローズ１４の減圧時収縮量ｚ１−ｚ０は小さくなる。具体例として、ベローズ１４の減圧時収縮量ｚ１−ｚ０、すなわち最大引き上げ量は、２ｍｍ以上で１０ｍｍ以下に設定され、好ましくは２ｍｍ以上でかつ５ｍｍ以下に設定される。

次に、上記構成の剥離装置１１を用いた剥離進展動作（第一剥離進展工程Ｓ５及び第二剥離進展工程Ｓ６）の一例を、本発明の作用効果と共に、主に図７〜図１１に基づき説明する。

まず、剥離対象となる支持体付き有機ＥＬパネル８を、支持体１を上側にした状態で保持部材１２の上に載置する（図７及び図８を参照）。そして、吸引装置２１の駆動により、保持部材１２の載置面１８にガラスフィルム２を吸着保持する。また、高さ位置変更装置１７の昇降駆動部２４により、支持体付き有機ＥＬパネル８の上方に配置した吸着パッド１３及びベローズ１４を下降させて、支持体１のガラスフィルム２とは反対側の表面１ｂに吸着パッド１３を接触させる（図９を参照）。この時点では、何れの吸着パッド１３も減圧状態になっておらず、故に支持体１に何らの吸着力も作用していない。なお、コーナー部４に形成された剥離起点部９には、支持体１とガラスフィルム２との再付着を防止する目的で、フィルム２５を介在させている。

次に、排気用駆動部１６を駆動させて、排気室１５内を排気することにより、排気室１５と連通するベローズ１４及び吸着パッド１３の内部空間を減圧する。ここでは剥離起点部９に最も近い吸着パッド１３ａ及びベローズ１４ａの排気室１５に設けられた切替え弁２２を開放して、当該吸着パッド１３ａを支持体１に吸着させる。また、ベローズ１４ａ内を減圧して、減圧開始時の状態（図９に示す状態）よりもさらに収縮させることにより、吸着パッド１３ａで吸着された状態の支持体１にガラスフィルム２からの引き剥がし力Ｆを付与する（図１０を参照）。これにより、ベローズ１４ａが取付けられた吸着パッド１３ａで吸着した支持体１のコーナー部４が上方へ引き上げられると共に、この直下に位置する剥離起点部９が隣接する吸着パッド１３ｂ直下の領域に向けて（図７の矢印Ｘで示す方向に）進展する。

この際、支持体１は上方へ引き上げられるのに伴い、所定のたわみ変形を生じる。また、吸着パッド１３ａはベローズ１４ａの収縮に伴って上昇し、吸着状態の支持体１を上方に引き上げた結果、支持体１のたわみ変形に応じて平坦姿勢から傾動しようとする（図１０を参照）。ここで、ベローズ１４ａは、支持体１及び吸着パッド１３ａよりも小さい変形抵抗を示すことから、支持体１のたわみ変形に応じてベローズ１４ａが容易にかつ優先的に曲げ変形を生じる。よって、吸着状態にある吸着パッド１３ａにより支持体１が不要な曲げモーメントを生じる事態を可及的に防止し又は抑制して、支持体１の割れを防止しながら剥離を安全に進展させることができる。また、この構造だと、必ず吸着パッド１３ａが支持体１を吸着してからベローズ１４ａが収縮するため、確実に支持体１を引き上げる（支持体１に引き剥がし力Ｆを付与する）ことができる。

なお、この時点において、吸着パッド１３ｂは減圧状態になっておらず、また高さ位置変更装置１７により所定の高さ位置に保持された結果、支持体１に接触した状態にある。よって、支持体１には吸着パッド１３ｂから特段の大きな力は作用していない。以上より、吸着パッド１３ａによる支持体１の引き上げ度合いによっては、図１０に示すように、剥離起点部９が隣接する吸着パッド１３ｂの直下領域にまで進展した状態となる。これにより、次の吸着パッド１３ｂを無理なく容易に引き上げることができ、より円滑に剥離を進展させることが可能となる。詳述すると、次の吸着パッド１３ｂがベローズ１４ｂを有するため、吸着パッド１３ａ直下の支持部１（コーナー部４）の引き上げに伴って、吸着力を付与することなくベローズ１４ｂを収縮させて、吸着パッド１３ｂを傾くように持ち上げることができる。これにより、吸着パッド１３ａを引き上げたときに、剥離起点部９を、次の吸着パッド１３ｂの直下領域まで容易に進展させることが可能となる。これにより、吸着状態にある吸着パッド１３ａにより支持体１に不要な曲げモーメントが生じる事態を可及的に防止し又は抑制して、支持体１の割れを防止しながら剥離を安全に進展させることができる。

このようにして、剥離起点部９に最も近い吸着パッド１３ａの上昇により支持体１を引き上げた後、この吸着パッド１３ａに第一の辺１ｃに沿った向きに隣接する吸着パッド１３ｂから最も第二の辺１ｄに近い吸着パッド１３ｅまでの順に支持体１を吸着しながら上昇させていくことで、コーナー部４に形成された剥離起点部９を第一の辺１ｃ全域にわたって沿って進展させる（図７を参照）。本実施形態では、各排気室１５に取付けられた切替え弁２２を順に開放していくことで、対応する吸着パッド１３ｂ（１３ｃ…）及びベローズ１４ｂ（１４ｃ…）が順に減圧状態となり、上述した如きベローズ１４ｂ（１４ｃ…）の収縮及び吸着パット１３ｂ（１３ｃ…）の上昇動作を生じる。これにより、支持体１が第一の辺１ｃに沿って引き上げられていき、剥離が支持体１の第一の辺１ｃの全域にわたって進展することで、第一の辺１ｃ近傍がガラスフィルム２と完全に剥離した状態（図１１で示す剥離領域９’が形成された状態）となる。これにより、第一剥離進展工程Ｓ５が終了する。

次に、第二剥離進展工程Ｓ６を開始する。具体的には、剥離領域９’から二番目に近い列の吸着パッド１３ｆ…とベローズ１４ｆ…を使用して、剥離領域９’を支持体１の第二の辺１ｄに沿った向きＹに進展させる（図１１を参照）。この場合、各排気室１５に取付けられた切替え弁２２を同時に開放することで、対応する複数（ここでは各５個）の吸着パッド１３ｆ…及びベローズ１４ｆ…が減圧状態となり、上述した如きベローズ１４ｆ…の収縮及び吸着パット１３ｆ…の上昇動作を生じる。これにより、支持体１のうち吸着パッド１３ｆ直下の領域が引き上げられ、剥離領域９’が第二の辺１ｄに沿った向きにＹに伸展する。以上の動作を、隣接する吸着パッド１３ｇ…（１３ｈ…，１３ｉ…）及びベローズ１４ｇ…（１４ｈ…，１４ｉ…）についても同様に実施することで、剥離領域９’が支持体１の第二の辺１ｄに沿って順次進展する。そして、剥離領域９’が支持体１の第二の辺１ｄの他端（剥離起点部９の側と反対側の端部）にまで達することで、支持体１とガラスフィルム２とが完全に剥離した状態となる。あるいは、剥離領域９’が所定の大きさに至った時点で引き上げ動作を終了し、必要に応じて例えば作業者の手で支持体１をガラスフィルム２から完全に剥離する。これにより、第二剥離進展工程Ｓ６が終了し、ガラスフィルム２を含む有機ＥＬパネル７と支持体１とが分離した状態となる。

以上、本発明に係るガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法の第一実施形態を説明したが、この製造方法は、当然に本発明の範囲内において任意の形態を採ることができる。

図１２は、本発明の第二実施形態に係る分離工程Ｓ３’の概要を説明するための平面図を示している。図１２に示すように、本実施形態に係る分離工程Ｓ３’は、第一実施形態と同様、剥離起点部９をガラスフィルム２のコーナー部４に形成する剥離起点部形成工程Ｓ４を有すると共に、剥離起点部９を支持体１の対角線Ｄに沿って進展させる剥離進展工程Ｓ７を有する点で、第一実施形態に係る分離工程Ｓ３と相違する。すなわち、第一実施形態では、支持体１の各辺１ｃ，１ｄに沿って順に剥離を進展させる場合を例示したが、本実施形態では支持体１の対角線Ｄに沿って剥離を進展させる。

この場合、吸着パッド１３及びベローズ１４を、第一実施形態とは異なる手順で作動させる。具体的には、図１２に示すように、支持体１の対角線Ｄに直交する向きに並ぶ一又は複数の吸着パッド１３Ａ，１３Ｂ，１３Ｂ，１３Ｃ…，１３Ｉと複数のベローズ１４Ａ，１４Ｂ，１４Ｂ，１４Ｃ…，１４Ｉをそれぞれ一つのグループとし、これら各グループの吸着パッド１３Ａ（１３Ｂ…）とベローズ１４Ａ（１４Ｂ…）をそれぞれグループごとに同期させて作動させる。よって、上述の場合であれば、まずその直下に剥離起点部９が位置する１個の吸着パッド１３Ａ及びベローズ１４Ａを第一実施形態と同じように作動して、支持体１を引き上げる。これにより、剥離起点部９は支持体１の対角線Ｄに沿った向きで隣接する吸着パッド１３Ｂ，１３Ｂに向けて進展する。このようにして剥離起点部９が対角線Ｄに沿って進展を開始した後、隣接する吸着パッド１３Ｂ，１３Ｂ及びベローズ１４Ｂ，１４Ｂを作動して、支持体１を引き上げる。これにより、剥離起点部９は、吸着パッド１３Ｂ，１３Ｂの直下を超えてこれら吸着パッド１３Ｂ，１３Ｂに隣接する吸着パッド１３Ｃ，１３Ｃ，１３Ｃに向けて進展する。以上の動作を、対角線Ｄ上の剥離起点部９側からその反対側（剥離進展の最も前方側）に向けて順次実施することで、支持体１とガラスフィルム２とが完全に剥離した状態となる。

このように、本発明に係るガラスフィルムの製造方法（剥離方法）及び電子デバイスの製造方法によれば、その剥離方向によらず、支持体１とガラスフィルム２とを安全に剥離することができる。

なお、以上の説明では、剥離起点部形成工程Ｓ４で、ガラスフィルム２を上側にした状態でガラスフィルム２のコーナー部４と支持体１との間に剥離起点部形成部材１０を挿入し、各剥離進展工程Ｓ５〜Ｓ７で、支持体１を上側にした状態で支持体１の表面１ｂに吸着パッド１３ａ〜１３ｉ（１３Ａ〜１３Ｉ）を吸着させて引き上げる場合を例示したが、もちろんこれとは異なる形態をとることも可能である。図示は省略するが、剥離起点部形成工程Ｓ４で、支持体１を上側にした状態で支持体１とガラスフィルム２との間に剥離起点部９を形成してもよい。あるいは、各剥離進展工程Ｓ５〜Ｓ７で、ガラスフィルム２を上側にした状態でガラスフィルム２の表面２ｂ（カバーガラス６）に吸着パッド１３ａ〜１３ｉ（１３Ａ〜１３Ｉ）吸着させて引き上げてもよい。

また、第一実施形態では、高さ位置変更装置１７で全ての吸着パッド１３ａ〜１３ｉ及びベローズ１４ａ〜１４ｉを同一の高さ位置に設定する場合を例示したが、もちろんこれ以外の形態をとることも可能である。例えば図示は省略するが、第一剥離進展工程Ｓ５で使用する吸着パッド１３ａ〜１３ｅと、第二剥離進展工程Ｓ６で使用する吸着パッド１３ｆ〜１３ｉとで異なる高さ位置変更装置を用いて、ベローズ１４ａ〜１４ｅ，１４ｆ〜１４ｉによる減圧時収縮量（ｚ１−ｚ０）を第一剥離進展工程Ｓ５と第二剥離進展工程Ｓ６とで異ならせてもよい。

また、排気用駆動部１６についても、例えば図示は省略するが、第一剥離進展工程Ｓ５で使用する吸着パッド１３ａ〜１３ｅと、第二剥離進展工程Ｓ６で使用する吸着パッド１３ｆ〜１３ｉとで異なる排気用駆動部を用いてもよい。

また、上記実施形態では、ガラスフィルム２のコーナー部４に剥離起点部９を形成した場合を例示したが、もちろんこれ以外の形態をとることも可能である。例えば図１１に示すように、剥離進展工程Ｓ５〜Ｓ７の前に、支持体１の第一の辺１ｃ全域にわたって剥離起点部としての剥離領域９’を形成してもよく、第二の辺１ｄ全域にわたって剥離起点部としての剥離領域９’を形成してもよい。あるいは、例えば図７に示す吸着パッド１３ａ及びベローズ１４ａの作動により、ガラスフィルム２のコーナー部４に剥離領域を新たに形成することができるのであれば、剥離起点部形成工程Ｓ４を省略することも可能である。

また、上記実施形態では、支持体１として板状ガラスを採用し、かつこの支持体１とガラスフィルム２とを直接密着で相互に固定した場合を例示したが、もちろんこれ以外の手段でガラスフィルム２と支持体１とを固定してなる積層体３に対しても本発明を適用することは可能である。例えば、アクリル粘着層、シリコーン薄膜層、無機薄膜層（ＩＴＯ、酸化物、金属、カーボン）など非ガラス材からなる層と板状ガラスとで支持体１を構成し、非ガラス材層とガラスフィルム２を密着させてなる積層体（図示は省略）に対しても本発明を適用することが可能である。

また、以上の説明では、電子デバイスとして有機ＥＬパネル７を製造する場合を例示したが、もちろんこれ以外の電子デバイスの製造方法に対しても本発明を適用することが可能である。図１３はその一例に係る支持体付き液晶パネル３１の断面図を示している。このパネル３１は、最終製品としての液晶パネル３２の両側に一対の支持体１，１を固定してなるもので、例えば以下のようにして形成される。すなわち、まずそれぞれ支持体１とガラスフィルム２とを積層してなる一対の積層体３，３を形成する（積層体形成工程Ｓ１）。然る後、一方の積層体３のガラスフィルム２の表面２ｂ上に、図示しない液晶を封入するための空間を区画形成するスペーサ３３を形成し、このスペーサ３３上に他方の積層体３のガラスフィルム２を固定する（取付け工程Ｓ２）。このようにして支持体付き液晶パネル３１を準備した後、上述した剥離方法で支持体１を一枚ずつ剥離し、１枚の支持体付き液晶パネル３１を、２枚の支持体１，１と、１枚の液晶パネル３２とに分離する（分離工程Ｓ３）。よって、液晶パネル３２を製造する場合にあっても本発明を適用して、ガラスフィルム２を破損させることなく、安全かつ容易に支持体付き液晶パネル３１を、支持体１と液晶パネル３２とに分離させることが可能となる。

もちろん、ガラスフィルム２自体を最終製品として取得（製造）する場合においても、本発明を適用することにより、ガラスフィルム２を破損させることなく、安全かつ容易に支持体１をガラスフィルム２と分離させることが可能となる。

１ 支持体
１ｃ，１ｄ 辺
２ ガラスフィルム
３ 積層体
４ コーナー部
５ 有機ＥＬ素子
６ カバーガラス
７ 有機ＥＬパネル
８ 支持体付き有機ＥＬパネル
９ 剥離起点部
９’ 剥離領域
１０ 剥離起点部形成部材
１１ 剥離装置
１２ 保持部材
１３（１３ａ〜１３ｉ，１３Ａ〜１３Ｉ） 吸着パッド
１４（１４ａ〜１４ｉ，１４Ａ〜１４Ｉ） ベローズ
１５ 排気室
１６ 排気用駆動部
１７ 高さ位置変更装置
１８ 載置面
１９ 溝
２０ 吸引孔
２１ 吸引装置
２２ 切替え弁
２３ 取付け部
２４ 昇降駆動部
２５ フィルム
３１ 支持体付き液晶パネル
３２ 液晶パネル
３３ スペーサ
Ｆ 引き剥がし力
Ｓ１ 積層体形成工程
Ｓ２ 取付け工程
Ｓ３ 分離工程
Ｓ４ 剥離起点部形成工程
Ｓ５ 第一剥離進展工程
Ｓ６ 第二剥離進展工程
Ｓ７ 剥離進展工程（対角線）
ｚ０ 初期収縮量
ｚ１ 減圧時収縮量

Claims (9)

1. 製造関連処理が施されたガラスフィルムが、前記ガラスフィルムを支持する支持体上に積層された状態の積層体を準備する準備工程と、
   前記支持体と前記ガラスフィルムのうち一方のワークを他方のワークから剥離して、前記準備した積層体を、前記支持体と前記ガラスフィルムとに分離する分離工程とを備えたガラスフィルムの製造方法において、
   前記分離工程で、ベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、減圧により前記吸着パッドで前記一方のワークを吸着すると共に前記ベローズを収縮させて、前記一方のワークに前記他方のワークからの引き剥がし力を付与することを特徴とする、ガラスフィルムの製造方法。
2. 前記剥離進展方向に沿って複数の前記吸着パッドを配置し、
   前記剥離進展後方側の吸着パッドで前記一方のワークを吸着して前記ベローズの収縮を開始した後、前記剥離進展後方側の吸着パッドと隣接する剥離進展前方側の吸着パッドで前記一方のワークを吸着して前記ベローズの収縮を開始する請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
3. 前記剥離進展後方側の吸着パッドに取付けられた前記ベローズの収縮により、前記剥離進展領域が少なくとも前記剥離進展前方側の吸着パッドの直下にまで到達したことを条件として、前記剥離進展前方側の吸着パッドによる前記一方のワークの吸着及び前記ベローズの収縮を開始する請求項２に記載のガラスフィルムの製造方法。
4. 前記吸着パッドの前記一方のワークに対する高さ位置を変更可能な高さ位置変更装置を使用して、前記ベローズの減圧時の収縮量を調整する請求項１〜３の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
5. 前記一方のワークは矩形状をなし、
   前記分離工程は、前記一方のワークのコーナー部に剥離起点部を形成する剥離起点部形成工程と、
   前記剥離起点部を、前記一方のワークの第一の辺に沿って進展させる第一剥離進展工程と、
   前記第一の辺に沿って進展させた剥離進展領域を、前記第一の辺と直交する前記一方のワークの第二の辺に沿って進展させる第二剥離進展工程とを有する請求項１〜４の何れか一項に記載のガラスフィルムの製造方法。
6. 前記第一剥離進展工程では、前記ベローズとして相対的に変形し易いベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、前記第二剥離進展工程では、前記ベローズとして相対的に変形し難いベローズが取付けられた吸着パッドを使用する請求項５に記載のガラスフィルムの製造方法。
7. 前記支持体は板状ガラスであって、前記積層体において、前記板状ガラスと前記ガラスフィルムとが直接密着している請求項１〜６の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。
8. 前記ガラスフィルムが、前記ガラスフィルムを支持する支持体上に積層された状態の積層体の前記支持体と前記ガラスフィルムのうち一方のワークを他方のワークから剥離するための剥離装置を備えたガラスフィルムの製造装置において、
   前記剥離装置は、前記一方のワークを吸着する吸着パッドを有する共に、前記吸着パッドにはベローズが取付けられており、
   前記吸着パッドは、減圧により前記一方のワークを吸着すると共に前記ベローズを収縮させて、前記一方のワークに前記他方のワークからの引き剥がし力を付与するよう構成されていることを特徴とする、ガラスフィルムの製造装置。
9. 電子デバイス要素が取付けられたガラスフィルムが、前記ガラスフィルムを支持する支持体上に積層された状態の積層体である支持体付き電子デバイスを準備する準備工程と、
   前記支持体と前記ガラスフィルムのうち一方のワークを他方のワークから剥離して、前記準備した支持体付き電子デバイスを、前記ガラスフィルムを含む電子デバイスと前記支持体とに分離する分離工程とを備えた電子デバイスの製造方法において、
   前記分離工程で、ベローズが取付けられた吸着パッドを使用し、減圧により前記吸着パッドで前記一方のワークを吸着すると共に、前記ベローズを収縮させて前記一方のワークに前記他方のワークからの引き剥がし力を付与することを特徴とする、電子デバイスの製造方法。

Images