JP2020096514A5 - - Google Patents
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- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 claims 7
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- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 2
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020190157174A KR102546009B1 (ko) | 2018-12-07 | 2019-11-29 | 반송 장치 및 물품의 제조 방법 |
| CN201911218215.XA CN111293855B (zh) | 2018-12-07 | 2019-12-03 | 搬送装置以及物品制造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2018230243 | 2018-12-07 | ||
| JP2018230243 | 2018-12-07 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2020096514A JP2020096514A (ja) | 2020-06-18 |
| JP2020096514A5 true JP2020096514A5 (enrdf_load_stackoverflow) | 2022-12-08 |
| JP7406897B2 JP7406897B2 (ja) | 2023-12-28 |
Family
ID=71085197
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2019202780A Active JP7406897B2 (ja) | 2018-12-07 | 2019-11-07 | 搬送装置および物品の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7406897B2 (enrdf_load_stackoverflow) |
| KR (1) | KR102546009B1 (enrdf_load_stackoverflow) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7538691B2 (ja) | 2020-10-29 | 2024-08-22 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、真空装置、加工システム及び物品の製造方法 |
| JP7534923B2 (ja) * | 2020-10-30 | 2024-08-15 | キヤノン株式会社 | 搬送システム及び搬送システムの制御方法 |
| JP2023019092A (ja) * | 2021-07-28 | 2023-02-09 | キヤノン株式会社 | 搬送システム、搬送システムの制御方法、加工システム、物品の製造方法及びモータ |
| CN115097851B (zh) * | 2022-06-30 | 2025-04-22 | 瑞声光电科技(常州)有限公司 | 直驱传输系统的控制方法及相关设备 |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2314178A1 (fr) * | 1975-06-11 | 1977-01-07 | Ile De France | Nouveau procede de preparation du n-(1-ethyl-2-pyrrolidylmethyl) 2-methoxy 5-methoxy 5-sulfamoyl benzamide |
| JPS6311609A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-19 | Nippon Steel Corp | 鉄鉱石の予備還元装置 |
| JPH05231068A (ja) * | 1992-02-25 | 1993-09-07 | Fuji Electric Co Ltd | ドア開閉用リニアモータ |
| JPH08289531A (ja) * | 1995-04-14 | 1996-11-01 | Toyota Auto Body Co Ltd | リニア直流モータ |
| JP2000245128A (ja) * | 1999-02-22 | 2000-09-08 | Nkk Corp | リニア同期モータ |
| JP4314555B2 (ja) | 2002-12-03 | 2009-08-19 | 株式会社ニコン | リニアモータ装置、ステージ装置、及び露光装置 |
| JP2004328830A (ja) | 2003-04-22 | 2004-11-18 | Asyst Shinko Inc | リニアモータレール装置 |
| DE102006014616A1 (de) | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Siemens Ag | Linearmotor mit verschieden gestalteten Sekundärteilabschnitten |
| WO2009128321A1 (ja) * | 2008-04-18 | 2009-10-22 | 株式会社安川電機 | 多自由度アクチュエータおよびステージ装置 |
| EP2182627B1 (en) * | 2008-10-31 | 2012-02-01 | Robert Bosch GmbH | Method and apparatus for controlling a linear motion system |
| JP5508181B2 (ja) | 2010-08-03 | 2014-05-28 | 東芝機械株式会社 | リニアモータ及びリニアモータ装置 |
| JP2012095414A (ja) | 2010-10-26 | 2012-05-17 | Murata Mach Ltd | リニアモータおよびこれを用いた搬送システム |
| JP5829153B2 (ja) * | 2012-03-12 | 2015-12-09 | 住友重機械工業株式会社 | 射出成形機 |
| KR101531656B1 (ko) | 2013-10-16 | 2015-06-25 | 한국전기연구원 | 자기 부상 이송 장치 |
-
2019
- 2019-11-07 JP JP2019202780A patent/JP7406897B2/ja active Active
- 2019-11-29 KR KR1020190157174A patent/KR102546009B1/ko active Active