JP2020096109A - 測定装置、及び加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
3 ストリート
5 デバイス
7 テープ
9 環状フレーム
11a,11b 余裕幅
13a 移動開始位置
13b 停止位置
2 切削装置
4 装置基台
4a 移動ユニット
6 X軸移動テーブル
8 チャックテーブル
8a 保持面
10 クランプ
12,24,32 ガイドレール
14,28,34 ボールねじ
14a ナット部
16,30,36 パルスモータ
18 切削ユニット
18a 切削ブレード
20 排水路
22 支持構造
26a,26b 移動プレート
38 撮像ユニット(カメラ)
40 刃先検出ユニット
42 測定ユニット
42a レーザビーム
44 制御ユニット
46a,46b グラフ
Claims (6)
- 表面にストリートが設定された被測定物を保持面で保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被測定物にレーザビームを照射して該ストリートに沿って該被測定物の高さを測定する測定ステップを実施できる測定ユニットと、
該チャックテーブル及び該測定ユニットを該ストリートに沿った送り方向に相対的に移動させる移動ユニットと、
各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える測定装置であって、
該移動ユニットは、
該チャックテーブル及び該測定ユニットの該送り方向における相対速度がゼロからvになるまで一定の加速度aで該チャックテーブル及び該測定ユニットを相対的に加速させる加速ステップと、
該加速ステップの後に、該チャックテーブル及び該測定ユニットを該送り方向における相対速度vで該送り方向に沿って相対的に移動させる等速移動ステップと、
該等速移動ステップの後、該チャックテーブル及び該測定ユニットの該送り方向における相対速度がvからゼロになるまで一定の加速度bで該チャックテーブル及び該測定ユニットを相対的に減速させる減速ステップと、を実施する機能を有し、
該制御ユニットは、
該移動ユニットに該等速移動ステップを実施させながら該測定ユニットに該測定ステップを実施させる機能を備え、
該測定ステップで該レーザビームが照射される該ストリートの長さをLとしたときに、v/aで表される該加速ステップの所要時間t1と、L/vで表される該等速移動ステップの所要時間t2と、v/bで表される該減速ステップの所要時間t3と、の和T=t1+t2+t3が最小値に近づくように該相対速度vの値を導出する速度導出部を備えることを特徴とする測定装置。 - 該速度導出部は、該測定ステップを実施可能な速度の許容範囲で段階的に設定された複数の速度の選択肢の中から該Tが最小となる該相対速度vの値を導出することを特徴とする請求項1記載の測定装置。
- 該制御ユニットは、該速度導出部により導出された該相対速度vの値が該等速移動ステップにおいて該移動ユニットが該チャックテーブル及び該測定ユニットを該送り方向において相対的に移動させる際の相対速度として登録される移動速度登録部をさらに備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の測定装置。
- 該移動ユニットは、該加速ステップの前に、該加速ステップを実施する間に該チャックテーブル及び該測定ユニットが相対的に移動する該送り方向における移動距離以上に該チャックテーブルに保持された被測定物から該送り方向に離間する位置であって、かつ、該ストリートの延長線の上方の位置に該測定ユニットが位置するように該チャックテーブル及び測定ユニットを相対的に位置付ける準備ステップを実施する機能を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の測定装置。
- 請求項1乃至4のいずれか一に記載の測定装置を含む加工装置であって、
該チャックテーブルに保持された被測定物を該ストリートに沿って切削して該被加工物に所定の深さの切削溝を形成する切削ユニットをさらに備え、
該測定ユニットで測定した該ストリートに沿った被加工物の高さに基づいて該切削ユニットの高さを調節しながら該ストリートに沿って該被測定物を切削できることを特徴とする加工装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一に記載の測定装置を含む加工装置であって、
該チャックテーブルに保持された被測定物に該ストリートに沿って加工用のレーザビームを集光し該被加工物をレーザ加工するレーザ加工ユニットをさらに備え、
該測定ユニットで測定した該ストリートに沿った該被加工物の高さに基づいて該加工用のレーザビームの集光点を所定の深さに位置付けるように該集光点の高さを調節しながら該被測定物に該加工用のレーザビームを照射できることを特徴とする加工装置。
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