JP2016162036A - 半導体製造装置及びその位置決め制御方法 - Google Patents
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Abstract
Description
X0=(V0)2/2a…(1)
Vmax=√(2*a*X0)…(2)
本発明は、半導体ウエハを保持するステージを少なくとも1つの移動部を有する移動機構で移動させて半導体ウエハに処理を施す半導体製造装置であれば、どのようなものにも適用可能である。
演算部88は、次の演算処理ステップを行う。
演算部88は、各移動部20、22、24において、加速期間又は減速期間での瞬停又は瞬時電圧低下の発生時に、制御信号を増幅する増幅器90のコンデンサ容量で各移動部20、22、24を駆動するサーボモータ44、58、74が正常に駆動する最大許容速度V0を決定する。
次に演算部88は、最大許容速度V0からステージ移動の最大許容変位量X0を求める。即ち、制御信号を増幅する増幅器90のコンデンサ容量で瞬停又は瞬時電圧低下に耐えられる変位量の最大許容値を求める。
X0=(V0)2/2a…(1)
次に演算部88は、各移動部20、22、24の逐次動作における加速期間又は減速期間の個別変位量、若しくは各移動部20、22、24の複合動作における加速期間同士、減速期間同士、又は加速期間と減速期間との複合動作部分の合計変位量が最大許容変位量X0以下になるように各移動部20、22、24の上限速度Vmaxを演算する。
Vmax=√(2*a*X0)…(2)
図4は、制御部86が各移動部20、22、24を逐次動作させる場合のタイムチャート図である。
図5は、制御部86が各移動部20、22、24を複合動作させる場合のタイムチャート図である。
そして、制御部86は演算部88が演算した各移動部20、22、24の上限速度Vmaxを超えないように各移動部20、22、24の加速期間及び減速期間の最高速度を制御する。
Claims (12)
- 半導体ウエハを保持するステージと、
前記半導体ウエハに処理を施す処理部と、
前記ステージを移動させて前記処理部に対する前記半導体ウエハの処理位置を位置決めする少なくとも1つの移動部を有する移動機構と、
前記移動部のモータを駆動するモータ駆動部と、
前記モータ駆動部を制御する制御部と、
前記制御部から前記モータ駆動部への制御信号を増幅する増幅器と、
前記移動部において、加速期間又は減速期間での瞬停又は瞬時電圧低下の発生時に前記増幅器のコンデンサ容量で前記モータが正常に駆動する最大許容速度V0を決定し、前記最大許容速度V0から最大許容変位量X0を求め、前記移動部の加速期間又は減速期間の変位量が前記最大許容変位量X0以下になるように前記移動部の上限速度Vmaxを演算する演算部と、を備え、
前記制御部は前記演算部で演算された上限速度Vmaxを超えないように前記移動部の速度を制御することを特徴とする半導体製造装置。 - 前記最大許容変位量X0及び前記上限速度Vmaxは、次式(1)及び(2)で表される請求項1に記載の半導体製造装置。
X0=(V0)2/2a…(1)
Vmax=√(2*a*X0)…(2) - 前記最大許容変位量X0は、該最大許容変位量X0を前記ステージの移動時間に換算したときに、SEMI−F47で推奨されている1cycleの瞬停である請求項1又は2に記載の半導体製造装置。
- 前記半導体製造装置は、プローブ装置である請求項1〜3の何れか1項に記載の半導体製造装置。
- 前記半導体製造装置は、ダイシング装置である請求項1〜3の何れか1項に記載の半導体製造装置。
- 前記移動機構は、
前記ステージを水平なX−Y軸方向及び垂直なZ軸方向に移動させて前記処理部に対する前記半導体ウエハの処理位置を位置決めするX軸移動部、Y軸移動部、及びZ軸移動部の各移動部を有し、
前記演算部は、前記各移動部において、加速期間又は減速期間での瞬停又は瞬時電圧低下の発生時に前記増幅器のコンデンサ容量で前記モータが正常に駆動する最大許容速度V0を決定し、前記最大許容速度V0から最大許容変位量X0を求め、前記各移動部の逐次動作における前記加速期間又は減速期間の個別変位量、若しくは前記各移動部の複合動作における前記加速期間同士、減速期間同士、又は加速期間と減速期間との複合動作部分の合計変位量が前記最大許容変位量X0以下になるように前記各移動部の上限速度Vmaxを演算し、
前記制御部は前記演算部で演算された上限速度Vmaxを超えないように前記各移動部の速度を制御することを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の半導体製造装置。 - 半導体ウエハを保持するステージを少なくとも1つの移動部を有する移動機構で移動させて前記半導体ウエハに処理を施す処理部に対して前記半導体ウエハの処理位置を位置決めする半導体製造装置の位置決め制御方法であって、
前記移動部において、加速期間又は減速期間での瞬停又は瞬時電圧低下の発生時に制御信号を増幅する増幅器のコンデンサ容量で前記移動部を駆動するモータが正常に駆動する最大許容速度V0を決定する最大許容速度決定ステップと、
前記最大許容速度V0から最大許容変位量X0を求める最大許容変位量取得ステップと、
前記移動部の加速期間又は減速期間の変位量が前記最大許容変位量X0以下になるように前記移動部の上限速度Vmaxを演算する上限速度演算ステップと、
前記演算された上限速度Vmaxを超えないように前記移動部の速度を制御する速度制御ステップと、
を備えたことを特徴とする半導体製造装置の位置決め制御方法。 - 前記最大許容変位量X0及び前記上限速度Vmaxは、次式(1)及び(2)で表される請求項7に記載の半導体製造装置の位置決め制御方法。
X0=(V0)2/2a…(1)
Vmax=√(2*a*X0)…(2) - 前記最大許容変位量X0は、該許容変位量X0を前記ステージの移動時間に換算したときに、SEMI−F47で推奨されている1cycleの瞬停である請求項7又は8に記載の半導体製造装置の位置決め制御方法。
- 前記半導体製造装置はプローブ装置である請求項7〜9の何れか1項に記載の半導体製造装置の位置決め制御方法。
- 前記半導体製造装置はダイシング装置である請求項7〜9の何れか1項に記載の半導体製造装置の位置決め制御方法。
- 前記移動機構は、
前記ステージを水平なX−Y軸方向及び垂直なZ軸方向に移動させて前記処理部に対する前記半導体ウエハの処理位置を位置決めするX軸移動部、Y軸移動部、及びZ軸移動部の各移動部を有し、
前記最大許容速度決定ステップでは、前記各移動部において、加速期間又は減速期間での瞬停又は瞬時電圧低下の発生時に前記増幅器のコンデンサ容量で前記モータが正常に駆動する最大許容速度V0を決定し、
最大許容変位量取得ステップでは、前記最大許容速度V0から最大許容変位量X0を求め、
前記上限速度演算ステップでは、前記各移動部の逐次動作における前記加速期間又は減速期間の個別変位量、若しくは前記各移動部の複合動作における前記加速期間同士、減速期間同士、又は加速期間と減速期間との複合動作部分の合計変位量が前記最大許容変位量X0以下になるように前記各移動部の上限速度Vmaxを演算し、
前記速度制御ステップでは、前記演算された上限速度Vmaxを超えないように前記各移動部の速度を制御することを特徴とする請求項7〜9の何れか1項に記載の半導体製造装置の位置決め制御方法。
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