JP2020056767A - 光透過測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は光透過物質の厚み、濃度、密度等の測定を行う光透過測定装置に関し、特に本発明は測定中に自動的に入力感度設定（発光光量）を段階的に変更することによって光透過物質の厚さや、濃度、密度等の測定を高い分解能で行うことができる光透過測定装置を提供するものである。【解決手段】 測定試料を一定速度で移動させる可動部と、測定試料の下方に配設され、所定の時間間隔で段階的に光量の異なる発光を測定試料の下方より照射する発光部と、測定試料の上方に配設され、測定試料を透過した透過光の光量を検出するカメラとを備え、測定試料が存在しない状態で、所定の間隔で段階的に光量の異なる発光を発光部よりカメラに照射し、各段階でのエネルギー比を計算し、該計算結果とカメラが各段階で受光する透過光の輝度値を使用して各段階での遮蔽量Ａ（ｎ）を計算し、更に総遮蔽量Ｍを計算し、該計算結果に基づいて測定試料の厚さ、又は濃度、又は密度を測定することを特徴とする。【選択図】 図１

Description

本発明は光透過物質の厚み、濃度、密度、重量の測定を行う光透過測定装置に関する。

今日、光透過物質として、例えばガラス繊維シート等が広く使用されている。このような光透過物質は用途によって厚さや、濃度、密度等が厳格の規定されている。従来このような光透過物質の厚さや、濃度、密度等の測定は、当該物質に光を照射し、その透過光を測定する手法が用いられている。例えば、測定試料であるガラス繊維シートの下方より光を照射し、当該シートの上方に取り付けたカメラで透過光を撮影し、光の減衰量を計測し、測定値としている。

図１３は従来の光透過物質の測定方法を説明するフローチャートである。先ず、測定試料を一定の速度で移動させ、照明設定を行った発光装置から光を照射し（ステップ（以下、Ｓで示す）１）、例えば測定試料がＬ（ｍｍ）移動すると（Ｓ２）、当該測定試料を透過した光をカメラで撮影し（Ｓ３）、この透過光の減衰量を測定する（Ｓ４）。

その後、測定試料の全長であるＬmaxの撮影処理が完了したか判断し（Ｓ５）、測定試料の全長Ｌmaxの測定が完了するまで、上記照明装置の発光光量を変えることなく測定処理を繰り返す（Ｓ５がＮＯ、Ｓ２〜Ｓ５）。そして、全ての処理が完了すると（Ｓ５がＹＥＳ）、処理を終了する。

一方、特許文献１は透過光強度を平均化して半透明物体のシートの厚さを測定する方法を開示する。この発明は、レーザ光を搬送中のシートに照射し、その透過光をレンズで集光して光検出器を使用してその強度を測定する方法であり、周期的に多数回測定し、その多数回のデータの平均値を演算してシートの厚さを測定する。

具体的には、シートの幅方向に複数の受光器を配設し、搬送方向に位置をズラして所定のサンプリング周期で多数回測定し、その測定データを平均化してシートの厚さの偏りを検出する。

特開平７−１２８０２３号公報

しかしながら、先ず前述の図１３に示す方法では、カメラから得られる光量の分解能は８bit〜１６bit程度であり、入力光に対するダイナミックレンジが狭い。この為、従来の方法によって光透過物質の厚さや、濃度、密度を測定する場合、例えば照明の出力を変える、又はカメラの利得を変える、又はカメラの露光時間を変える、又はレンズの絞りを変える、更には減光フィルターを切り替える等の煩雑な作業を行う必要があった。

また、上記作業によって測定は可能であるが、例えば厚さが厚い、濃度が濃い、密度が高い光透過物質の測定に撮影条件を合わせると分解能が粗くなる。一方、厚さが薄い、濃度が薄い、密度が低い光透過物質の測定に撮影条件を合わせると厚い物質や、密度が高い物質の測定が困難になる。

一方、特許文献１に開示された半透明物体のシートの厚さ測定方法では、シートへのレーザ光の入射強度がシート全長に渡って一定であり、レーザ光の発光強度を調整することはない。したがって、入力光に対するダイナミックレンジは狭く、図１３に示す方法と同様の問題が発生する。

そこで、本発明は光透過物質の厚さや、濃度、密度を計測する際、光透過物質を設置する毎に入力感度の設定作業を行う必要がなく、測定中に自動的に入力感度設定（発光光量）を段階的に変更することによって光透過物質の厚さや、濃度、密度の測定を高い分解能で行うことができる光透過測定装置を提供するものである。

上記課題は本発明によれば、測定試料を一定速度で移動させる可動部と、上記測定試料の下方に配設され、所定の間隔で段階的に光量の異なる発光を測定試料の下方より照射する発光部と、測定試料の上方に配設され、測定試料を透過した透過光の光量を検出するカメラとを備え、測定試料が存在しない状態で、上記所定の間隔で段階的に光量の異なる発光を発光部よりカメラに照射し、上記各段階でのエネルギー比を計算し、該計算結果とカメラが各段階で受光する透過光の輝度値を使用して各段階での遮蔽量Ａ（ｎ）を計算し、更に総遮蔽量Ｍを計算し、この計算結果に基づいて測定試料の厚さ、又は濃度、又は密度を測定する光透過測定装置を提供することによって達成できる。

また、上記遮蔽量Ａ（ｎ）及び総遮蔽量Ｍを求める計算は、
であり、上記Ｃmaxはカメラの最大輝度値、Ｂはカメラ輝度値データビット数、Ｅ（ｎ）は入力感度設定ｎでのエネルギー比、Ｃ（ｎ）は入力感度設定ｎで測定試料を撮影したカメラの輝度値、Ｔは入力感度設定が１の場合において、測定物がない状態(完全透過状態)で撮影したカメラの輝度値である。

本実施形態の光透過測定装置の外観図である。 本実施形態の光透過測定装置の右側面図である。 ＬＥＤ発光部によって照射された光の透過光を測定試料の上方に取り付けられたカメラによって撮影する状態を示す図である。 光透過測定装置を使用した検査ユニットのシステム図である。 本実施形態の光透過測定装置を用いた測定試料の密度を計測する同期モードの設定例を示す図である。 本実施形態の光透過測定装置を用いた測定試料の異物検査を行う連続モードの設定例を示す図である。 本実施形態の光透過測定装置の測定処理を説明するフローチャートである。 撮影データを使用して測定試料の対応するエリアの光透過度を測定する処理を段階的に説明する図である。 入力感度設定を段階的に変えた場合のカメラによる透過光の統合画像を示す図である。 ＬＥＤ発光部の出力設定を、例えば２４ずつ変化させた時の光エネルギー換算値を説明する図である。 本実施形態の光透過測定装置による測定画面を示す図である。 本実施形態の光透過測定装置によって測定した測定試料の密度と重さとの相関関係を示す図である。 従来の光透過物質の測定方法を説明するフローチャートである。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は本実施形態の光透過測定装置の外観図である。同図において、光透過測定装置１はフレーム本体２、ＬＥＤ発光部３、エンコーダ４、及びカメラ５で構成されている。また、ローラ６は測定試料を一定速度で巻き取るローラであり、端部に設けられたモータ６ａによって回転駆動する。エンコーダ４は上記ローラ６の周面に当接して取り付けられ、測定試料の移動量を計測する。

図２は上記光透過測定装置１の右側面図である。ＬＥＤ発光部３はフレーム本体２の下方に取り付けられ、フレーム本体２の下方から上方（矢印方向）に向けて光照射を行う。カメラ５はフレーム本体２の上部に複数並列に取り付けられ、測定試料を透過した透過光を受光する。すなわち、測定試料（例えば、ガラス繊維シート）の下方よりＬＥＤ発光部３によって照射された光の透過光（同図に点線矢印で示す）を上方のカメラ５によって撮影する。尚、照明９は測定試料の表面に付着する異物検査に使用される。

図３はＬＥＤ発光部３によって照射された光の透過光を測定試料の上方に取り付けられたカメラ５によって撮影する状態を示す図である。上記のようにカメラ５はフレーム本体２の上部に複数並列に取り付けられ、夫々のカメラ５は測定試料の所定幅のエリアをカバーし、当該エリアの透過光８を受光する。
尚、同図において、７は測定試料（例えば、ガラス繊維シート）であり、ローラ６の回転駆動によって同図の紙面手前方向に一定速度で移動し、ＬＥＤ発光部３からの光照射による透過光８がカメラ５によって撮影される。

図４は本例の光透過測定装置１を使用した検査ユニット１０のシステム図である。検査ユニット１０はパーソナルコンピュータ（以下、ＰＣで示す）１１、照明制御部１２、及び前述のＬＥＤ発光部３、エンコーダ４、カメラ５で構成されている。また、照明９は上記のように測定試料７の表面に付着する異物の検査に使用される。

尚、同図に示す例では、長さ１６００ｍｍのＬＥＤ発光部３を使用し、夫々のカメラ５が測定試料７の幅６００ｍｍをカバーし、この間の透過光を受光する。

ＰＣ１１はＣＰＵ１３、ＲＯＭ１４、ＲＡＭ１５、記憶部１６等で構成され、ＣＰＵ１３はＲＯＭ１４に登録されたプログラムに従って処理を行い、例えば上記カメラ５よって撮影された撮影データを使用して後述する完全透過閾値の計算処理や、測定試料の計測制御、遮蔽量や総遮蔽量の計算処理を行う。

また、記憶部１６は所定長のロール毎の測定試料の測定データ等を記憶する。また、ＰＣ１１は後述するディスプレイへの検査設定画面や、検査画面、統合画像の表示制御も行う。

尚、本システムでは上記ＲＯＭ１４に記憶したプログラムに従って本例の処理を行うが、ＰＣ１１のメディアドライバにＣＤ−ＲＯＭ等の記録媒体を装着し、当該記録媒体から上記プログラムを読み出して処理を行う構成としてもよい。

一方、前述のカメラ５はカメラケーブル（同軸ケーブル）によってＰＣ１１に接続され、カメラ５によって撮影したデータはＰＣ１１に送信される。また、ＰＣ１１はエンコーダ４からも情報を入力し、エンコーダ４から測定試料７の移動情報を受信する。

照明制御部１２は照明制御基板１８を備え、ＬＥＤ発光部３の発光制御を行う。また、照明制御部１２には電源１９が接続され、照明制御部１２は電源１９から供給される電力をＬＥＤ発光部３に供給し、発光制御を行う。
この発光制御は、本例においてはＬＥＤ発光部３に流す電流を電圧で制御して行うが、ＰＷＭ（pulse width modulation）制御を行い、パルス波のデューティ比を変えて発光制御を行ってもよい。

次に、上記構成の光透過測定装置１を用いた測定試料７の測定処理を説明する。
図５及び図６は、本例の光透過測定装置１を用いて測定を行う際の設定画面であり、特に図５は測定試料７の密度を測定する同期モードの設定画面であり、図６は測定試料７の表面の異物検査を行う連続モードの設定画面である。

図５の設定画面は、同図に示す同期モードを選択することによって表示され、測定試料７の密度測定用のパラメータの設定を行う。例えば、密度検査の良品範囲として、３０目付〜２００目付の設定が行われる。この目付範囲は、密度検査データから単位面積当たりの重さを計算し、目付換算した良品範囲である。また、検査サイズや、検査範囲の設定も行われる。

尚、同図に示す「範囲 左、右」の表示は検査範囲を示し、例えば測定試料７の幅がロットによって異なる為、カメラ５の視野に対してシートの幅が狭い場合に検査範囲を限定する為の設定である。また、同図に示す「Ａ１１」は画像表示エリアにカメラ視野全体を表示させる設定であり、「ｘ１」はカメラピクセルと画面ピクセルを１：１に表示させる設定であり、「ｘ２」はカメラピクセルと画面ピクセルを１：２に表示させる設定である。

一方、図６の検査設定画面は、同図に示す連続モードを選択することによって表示され、測定試料７の異物検査用のパラメータの設定画面である。例えば、異物検査を行う為に最適な照明輝度を設定し、検出する異物サイズの閾値等を設定する。

図７は上記設定に基づいて行われる本例の処理を説明するフローチャートである。
先ず、測定試料（例えば、ガラス繊維シート）７を本例の光透過測定装置１にセットし、例えばディスプレイに表示されたスタートボタンをクリックすると、測定が開始され、前述のローラ６を回転駆動して測定試料７の移動を開始し、エンコーダ４によって測定試料の移動量を計測する。

この間、先ず測定試料７の表面の異物検査を行う（ステップ（以下、ＳＴで示す）１）。この異物検査は前述の図６の設定画面で設定した異物サイズの閾値に従って行われ、設定した閾値を超える異物の検出を行う。例えば、測定試料７の表面に２ｍｍ以上のサイズの物が検出された場合、異物とされる。

その後、測定試料が１０ｍｍ移動すると（ＳＴ２）、ＬＥＤ発光部３に対する最初の入力感度設定を行い（照明設定「１」）、ＬＥＤ発光部３から対応する光量の発光を行う（ＳＴ３）。この測定試料の１０ｍｍの移動は、前述のエンコーダ４からの情報によって計測し、入力感度設定は前述の照明制御部１２によって行われる。

カメラ５は測定試料７からの透過光を撮影し（撮影「１」、ＳＴ４）、撮影したデータをＰＣ１１に送信する。尚、この撮影処理は並列に配設された複数のカメラ５で行われ、各カメラ５が担当するエリアの測定試料７の撮影データがＰＣ１１に入力する。

次に、ＰＣ１１はエンコーダ４からの情報に基づいて測定試料が更に１０ｍｍ移動したことを検知すると（ＳＴ５）、前述の照明制御部１２の制御によって次の入力感度設定を行い（照明設定「２」）、ＬＥＤ発光部３から対応する光量の発光を行う（ＳＴ６）。そして、前述と同様、カメラ５によって測定試料の裏面に照射された光の透過光を撮影し（撮影「２」、ＳＴ７）、データをＰＣ１１に送信する。

以後、上記処理を繰り返し、測定試料が１０ｍｍ移動する毎にＬＥＤ発光部３の照明設定を「３」→「４」→・・と切換え、夫々の照明設定毎にカメラ５によって測定試料７の透過光を順次撮影し（撮影「３」→「４」→・・）、データをＰＣ１１に送信する（ＳＴ２〜ＳＴ７）。

その後、測定試料７が最後の１０ｍｍ移動すると（ＳＴ８）、照明制御部１２の制御によって最後の入力感度設定が行われ（照明設定「８」）、ＬＥＤ発光部３から対応する光量の発光を行う（ＳＴ９）。そして、カメラ５によって測定試料７の透過光を撮影し（撮影「８」、ＳＴ１０）、データをＰＣ１１に送信し、ＰＣ１１による測定試料の測定処理が行われる（ＳＴ１１）。

この時点でＰＣ１１には８回入力した撮影データ（照明設定「１」〜「８」のカメラ５からの夫々の撮影データ）が蓄積されており、このデータを使用して該当エリアの光透過度を測定する。

図８及び図９はこの処理を説明する図である。尚、図８に示す入力感度設定１〜８は上記照明設定「１」〜「８」に対応し、測定試料が１０ｍｍ進む毎に入力感度を変え、カメラ５によって対象エリアを撮影した結果である。

例えば、最初の入力感度設定１（照明設定「１」）の場合、透過光は小さく、カメラ５による透過光を撮影した画像は、例えば図９に示す２０−１の通りである。次の入力感度設定２（照明設定「２」）の場合、透過光の光量は少し増すが、カメラ５による透過光を撮影した画像は図９に示す２０−２であり、以下入力感度設定３、４、・・８（照明設定「３」→「４」→・・「８」）を徐々に大きくした場合、カメラ５による透過光を撮影した画像は図９に示す２０−３〜２０−８のように変化する。

このようにＬＥＤ発光部３とカメラ５の間に測定試料７を挟み、入力感度を段階的に切り替え、カメラ５によって測定試料７を透過した透過光を撮影することによって、上記撮影データがＰＣ１１の記憶部１６に蓄積される。図９に示す統合画像２１−１、２１−２、２１−３、・・は各段階での上記透過光を対応エリアで統合した画像であり、後述する測定中の検査画面に表示される。

ＰＣ１１では上記データを使用して、測定試料７の該当エリアの光の遮蔽量を計算する（前述の図７のＳＴ１１）。具体的には上記入力感度設定に対する各段階ｎでの撮影データの遮蔽量Ａ（ｎ）、及び該当エリアの総遮蔽量Ｍを以下の計算式に従って計算する。

ここで、上記Ｃmaxはカメラの最大輝度値である。例えば、８bitデータの時は２５５、１６bitデータの時は６５５３５となる。また、上記C(n)は入力感度設定nで測定物を撮影したカメラ輝度値である。例えば、前述の図８及び図９において、入力感度設定を１〜８の段階的に設定した際にカメラ５が撮影した透過光の輝度値である。

一方、E(n)は入力感度設定ｎにおけるエネルギー比を示す。図１０はこの入力感度設定ｎにおける入力感度設定１とのエネルギー比を説明する図である。例えば、入力感度設定１（照明設定「１」）の数値“２２”をエネルギー比１とした時、入力感度設定２（照明設定「２」）の数値“４６”で撮影した場合には、エネルギー比３．１３１となり、エネルギー比が３．１３１倍の厚み及び密度の評価となる。同様に、入力感度設定３（照明設定「３」）の数値“７０”で撮影した場合には、エネルギー比５．２７７となり、エネルギー比が５．２７７倍の厚み及び密度の評価となる。以下、入力感度設定４（照明設定「４」）、入力感度設定５（照明設定「５」）、・・の場合も同図に示す通りであり、最後の入力感度設定８（照明設定「８」）の数値“１９０”で撮影した場合には、エネルギー比１５．６８２となり、エネルギー比が１５．６８２倍の厚み及び密度の評価となる。
尚、上記計算式において、Ｔは入力感度設定が１の場合において、測定物がない状態(完全透過状態)で撮影したカメラの輝度値である。

ここで、カメラ輝度値データのビット数Ｂを８bitとして、上記条件に従って搬送方向に移動する測定試料７のあるエリアの遮蔽量Ａ(ｎ)を計算すると、入力感度設定１におけるカメラ５が検出した輝度値が、例えば“５”であった場合、Ａ (ｎ)＝（２５５−Ｃ（ｎ））×Ｅ（ｎ）の計算式から遮蔽量Ａ (１)は（２５５−５）×１．００＝２５０．００となる。また、同じエリアの入力感度設定２におけるカメラ輝度値が、例えば“１５”であった場合、Ａ (ｎ)＝（２５５−Ｃ（ｎ））×Ｅ（ｎ）の計算式から遮蔽量Ａ (２)は（２５５−１５）×３．１３１＝７５１．４４となる。さらに、同じエリアの入力感度設定３、４、・・における遮蔽量Ａ (３)、Ａ (４)、・・を同様に計算し、最後の入力感度設定８におけるカメラ輝度値が、例えば“１７５”であった場合、Ａ (ｎ)＝（２５５−Ｃ（ｎ））×Ｅ（ｎ）の計算式から遮蔽量Ａ (８)は（２５５−１７５）×１５．６８２＝１２５４．５６となる。

したがって、測定試料７の搬送方向１０ｍｍ間隔での総遮蔽量Ｍは、上記各段階でのＡ（ｎ）を加算したものであり、例えば上記例では２５０．００＋７５１．４４＋・・＋１２５４．５６となる。このようにして測定試料７の該当エリアの測定値（総遮蔽量Ｍ）が計算でき、順次記憶部１６に記憶される。
その後、上記処理を繰り返し、測定試料７の全長である、例えばＬmax移動して撮影処理が完了したか判断し（図７のＳＴ１２）、測定試料７の全長の測定が完了するまで、上記測定処理を繰り返す（ＳＴ１２がＮＯ、ＳＴ１〜ＳＴ１２）。また、この間処理（ＳＴ１）の測定試料７の異物検査も継続して行われる。

図１１は上記測定中の検査画面を示す図であり、上記異物検査及び密度検査中、この検査画面が表示される。例えば、カメラ画像の表示エリア２４には前述のカメラ５によって撮影した輝度値のデータが表示され、異物画像の表示エリア２５にはカメラ５によって撮影した測定試料７の表面の画像が表示され、密度画像の表示エリア２６には前述の統合画像が表示される。

そして、異物画像の表示エリア２５に表示される画像に、例えば設定された閾値以上の大きさの物を検出すると、異物であると判断し、異物結果ＭＡＰ２７に記録する。また、密度画像の表示エリア２６に表示される統合画像に設定した前述の良品範囲から外れた密度の画像を検出すると、不良個所と判断し、密度結果ＭＡＰ２８に記録する。

その後上記処理を繰り返し、閾値以上の異物を検出する度に、異物の検出位置を異物結果ＭＡＰ２７に記録し、良品範囲から外れた密度の画像を検出する度にその位置を密度結果ＭＡＰ２８に記録する。尚、異物結果ＭＡＰ２７の下部には異物エラーの数が表示され、密度結果ＭＡＰ２８の下部には密度エラーの数が表示される。

その後、全ての処理が完了すると（Ｓ１２がＹＥＳ）、処理を終了する。検査処理が終了すると、異物結果ＭＡＰ２７には測定試料７全長の異物の情報が記録され、異物の検出位置及びその数を容易に知ることができる。同様に、密度結果ＭＡＰ２８には測定試料７全長の密度の情報が記録され、密度不良の検出位置及びその数も容易に知ることができる。

以上のように、本例によればＬＥＤ発光部３の発光光量を段階的に切り替えて撮影するので、カメラ５によって各段階での発光光量に対する透過光のデータを取得でき、高い分解能の撮影データに基づいて測定試料７の厚さや、濃度、密度の測定を行うことができる。例えば、本例の場合、入力感度設定を１〜８の段階に設定して測定試料７の測定を行うことによって、従来に比べて１６倍のエネルギー比間隔で測定することができ、従来の１６倍の解像度で測定試料７の厚さや、濃度、密度を計測することができる。

尚、本例の説明では測定資料７の搬送方向に対して一定範囲の画像を８段階の発光光量で切り替えて撮影したが、本発明は８段階に限らず、１０段階、１２段階、・・等、発光光量を任意に切り替えて各段階での透過光のデータを取得するようにしてもよく、この場合更に高い分解能の撮影データに基づく測定試料７の厚さや、濃度、密度の測定結果を得ることができる。

したがって、本発明によれば入力光に対するダイナミックレンジが実質的に広くなり、例えば厚さが厚い、濃度が濃い、密度が高い光透過物質の測定に撮影条件を合わせ、又は厚さが薄い、濃度が薄い、密度が低い光透過物質の測定に撮影条件を合わせる等の煩雑な作業を行う必要がない。また、光透過物質である測定試料７を非破壊、非接触で測定でき、更に全数測定が可能となる。また、測定試料７の表面の異物も同時に検出することができる。

尚、本実施形態の説明では、測定試料の例としてガラス繊維シートの密度の計測を行ったが、更に測定した密度と測定試料７の重さとの関係を確認し、上記測定結果（評価値）が測定試料７の重さにも対応するか確認した。

図１２は上記評価値と重さとの相関性の確認を行った結果であり、同図に示す４つの表は、１００目付、３００目付、３８０目付、４５０目付の繊維密度について、評価値と重さとの相関を示したものである。同図に示すように、結果は重さと評価値の相関係数値が0.999458となり、相関関係にあることが確認できた。単純な線形変換を行っても平均重量誤差1.43% 最大重量誤差5.13%に納まる結果となった。

なお、性能評価方法として、ガラス繊維シート100mm角にカットし、各カット片の重さを0.1mgが計測できる重量計で量り、面積を固定することにより重さを密度の参考値にした。また、同図の各表の横軸はガラス繊維シート100mm角の重さを示し、単位はｇ（グラム）であり、縦軸は前述のカメラ５から得られた輝度値のデータから計算した測定値である。

１・・・光透過測定装置
２・・・フレーム本体
３・・・ＬＥＤ照明
４・・・エンコーダ
５・・・カメラ
６・・・ローラ
６ａ・・モータ
７・・・測定試料
８・・・透過光
９・・・照明
１０・・検査ユニット
１１・・パーソナルコンピュータ（ＰＣ）
１２・・照明制御部
１３・・ＣＰＵ
１４・・ＲＯＭ
１５・・ＲＡＭ
１６・・記憶部
１８・・照明制御基板
１９・・電源
２０−１、２０−２、２０−３、・・撮影画像
２１−１、２１−２、２１−３、・・統合画像
２４・・カメラ画像の表示エリア
２５・・異物画像の表示エリア
２６・・密度画像の表示エリア
２７・・異物結果ＭＡＰ
２８・・密度結果ＭＡＰ

Claims (5)

1. 測定試料を一定速度で移動させる可動部と、
   前記測定試料の下方に配設され、所定の間隔で段階的に光量の異なる発光を前記測定試料の下方より照射する発光部と、
   前記測定試料の上方に配設され、前記測定試料を透過した透過光の光量を検出するカメラと、を備え、
   前記測定試料が存在しない状態で、前記所定の間隔で段階的に光量の異なる発光を前記発光部より前記カメラに照射し、前記各段階でのエネルギー比を計算し、
   該計算結果と前記カメラが各段階で受光する前記透過光の輝度値を使用して前記各段階での遮蔽量Ａ（ｎ）を計算し、更に総遮蔽量Ｍを計算し、該計算結果に基づいて前記測定試料の厚さ、又は濃度、又は密度を測定することを特徴とする光透過測定装置。
2. 前記遮蔽量Ａ（ｎ）及び総遮蔽量Ｍを求める計算は、
   であり、Ｃmaxはカメラの最大輝度値、Ｂはカメラ輝度値データビット数、Ｅ（ｎ）は入力感度設定ｎのエネルギー比、Ｃ（ｎ）は入力感度設定ｎで測定試料を撮影したカメラの輝度値、Ｔは入力感度設定が１の場合において測定物がない状態(完全透過状態)で撮影したカメラの輝度値、
   であることを特徴とする請求項１に記載の光透過測定装置。
3. 前記発光部はＬＥＤであることを特徴とする請求項１、又は２に記載の光透過測定装置。
4. 前記カメラはＣＣＤカメラ、又はＣＭＯＳカメラであることを特徴とする請求項１、２、又は３に記載の光透過測定装置。
5. 前記測定試料の表面の異物検出も同時に行うことを特徴とする請求項１、２、３、又は４に記載の光透過測定装置。