JP2020053443A - 半導体ウェハの製造方法 - Google Patents
半導体ウェハの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020053443A JP2020053443A JP2018178187A JP2018178187A JP2020053443A JP 2020053443 A JP2020053443 A JP 2020053443A JP 2018178187 A JP2018178187 A JP 2018178187A JP 2018178187 A JP2018178187 A JP 2018178187A JP 2020053443 A JP2020053443 A JP 2020053443A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- protective film
- wafer
- semiconductor wafer
- wiring layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 31
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 66
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims abstract description 48
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 8
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
Description
第1実施形態について説明する。図1に示す本実施形態の半導体ウェハは、例えば自動車などの車両に搭載され、車両用の各種電子装置を駆動するための装置として適用されるものである。具体的には、本実施形態の半導体ウェハは、圧力センサ、加速度センサ、角速度センサ等に用いられる検出素子を構成するものである。
なお、本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。また、上記実施形態において、実施形態を構成する要素は、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。また、上記実施形態において、実施形態の構成要素の個数、数値、量、範囲等の数値が言及されている場合、特に必須であると明示した場合および原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。また、上記実施形態において、構成要素等の形状、位置関係等に言及するときは、特に明示した場合および原理的に特定の形状、位置関係等に限定される場合等を除き、その形状、位置関係等に限定されるものではない。
12 配線層
13 保護膜
Claims (2)
- 半導体ウェハの製造方法であって、
基板(10)の表面側に配線層(12)を形成することと、
前記配線層を形成することの後に、前記基板の表面側に、前記配線層を覆う保護膜(13)を形成することと、
前記保護膜を形成することの後に、前記基板の外周部に形成された前記保護膜を除去することと、
前記保護膜を除去することの後に、前記基板の表面側を固定して裏面を加工することと、を備え、
前記保護膜を除去することでは、前記保護膜の除去によって前記基板の表面側に形成されるテラス領域(1a)の幅を0.7mm以下とする半導体ウェハの製造方法。 - 前記保護膜を形成することでは、前記基板の表面側および側面側に前記保護膜を形成し、
前記保護膜を除去することでは、前記基板の表面側が前記保護膜によって覆われた状態が維持されるように、前記基板の側面側に形成された前記保護膜を除去する請求項1に記載の半導体ウェハの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018178187A JP2020053443A (ja) | 2018-09-24 | 2018-09-24 | 半導体ウェハの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018178187A JP2020053443A (ja) | 2018-09-24 | 2018-09-24 | 半導体ウェハの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020053443A true JP2020053443A (ja) | 2020-04-02 |
Family
ID=69993967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018178187A Pending JP2020053443A (ja) | 2018-09-24 | 2018-09-24 | 半導体ウェハの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020053443A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001223202A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-08-17 | Sharp Corp | 半導体ウエハの薄層化方法および半導体ウエハの裏面研削装置 |
JP2005064326A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Canon Inc | 半導体ウェハ加工における半導体ウェハのデバイス面保護膜形成方法 |
JP2017112158A (ja) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
-
2018
- 2018-09-24 JP JP2018178187A patent/JP2020053443A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001223202A (ja) * | 1999-12-01 | 2001-08-17 | Sharp Corp | 半導体ウエハの薄層化方法および半導体ウエハの裏面研削装置 |
JP2005064326A (ja) * | 2003-08-18 | 2005-03-10 | Canon Inc | 半導体ウェハ加工における半導体ウェハのデバイス面保護膜形成方法 |
JP2017112158A (ja) * | 2015-12-15 | 2017-06-22 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008279567A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20130093104A1 (en) | Bond pad structure and fabricating method thereof | |
JP2019517750A (ja) | Memsマイクロホンおよびその準備方法 | |
JP5540911B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2005049130A (ja) | 加速度センサ及び加速度センサの製造方法 | |
JP4306540B2 (ja) | 半導体基板の薄型加工方法 | |
CN107251201B (zh) | 半导体装置的制造方法 | |
US9613904B2 (en) | Semiconductor structure and manufacturing method thereof | |
US11130671B2 (en) | MEMS device and fabrication method thereof | |
US9349644B2 (en) | Semiconductor device producing method | |
JP2020053443A (ja) | 半導体ウェハの製造方法 | |
US20130049230A1 (en) | Stacking method and stacking carrier | |
US7998834B2 (en) | Substrate level bonding method and substrate level package | |
JP2003166998A (ja) | 半導体加速度センサ | |
JP5876893B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP6186984B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010067722A (ja) | 電子装置及びその電子装置に用いる構造体の製造方法 | |
JP2008283150A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2009054824A (ja) | 貫通配線付基板の製造方法 | |
US9806034B1 (en) | Semiconductor device with protected sidewalls and methods of manufacturing thereof | |
JP2660024B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5406081B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010179401A (ja) | 半導体装置の製造方法および半導体装置 | |
JP6699515B2 (ja) | 半導体ウエハおよびその製造方法 | |
JP2005224925A (ja) | マイクロパッケージ、及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210413 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220421 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220510 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220802 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20230207 |