JP2020047876A - ウェッジボンディング装置 - Google Patents
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Abstract
Description
とよい。
2 :半導体チップ
3 :プリント基板
4 :電極
6 :ワイヤ
7 :引出し電極
20 :支持ブロック
24 :超音波振動子
25 :ボンディングツール
27 :圧電素子
28 :基部
29 :ツール接続部
30 :テール部
33 :中板材(中板部)
38 :ブースター部
39 :ホーン部(ホーン)
50A〜50D:点
P :固定位置
Q :加振位置
Claims (8)
- ボンディングツールと、
前記ボンディングツールを支持するホーンを含み、所定の方向に延在する軸線を有する超音波振動子と、
第1周波数及び、前記第1周波数よりも高い第2周波数を含む少なくとも2つの周波数の交流電圧を出力可能な電圧源と、
前記電圧源に接続され、前記超音波振動子に駆動可能に設けられた圧電素子とを有し、
前記超音波振動子の軸線方向長さが、前記第1周波数に対応する半波長の奇数倍に等しく、かつ前記第2周波数に対応する半波長の奇数倍に等しくなるように、前記第1周波数及び前記第2周波数が定められ、
前記超音波振動子が、前記第1周波数及び前記第2周波数の両者についての前記超音波振動子の振動の節に対応する固定位置にて固定支持されていることを特徴とするウェッジボンディング装置。 - 前記圧電素子が、前記第1周波数及び前記第2周波数の両者についての前記超音波振動子の振動の節に対応する加振位置に取り付けられていることを特徴とする請求項1に記載のウェッジボンディング装置。
- 前記固定位置及び前記加振位置はともに、実質的に前記超音波振動子の軸線方向における略中央に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のウェッジボンディング装置。
- 前記第2周波数は前記第1周波数の3倍であり、
前記超音波振動子の軸線方向長さが、前記第1周波数における前記超音波振動子中での超音波の半波長に実質的に同一であることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1つの項に記載のウェッジボンディング装置。 - 前記超音波振動子は、前記所定の方向に向かって延在する基部と、前記基部の延在方向一端側から突出し、突端に前記ホーンを備えたツール接続部と、前記基部の延在方向他端側から突出するテール部とを有し、
前記基部の軸線方向長さと、前記ツール接続部の軸線方向長さと、前記テール部の軸線方向長さとはそれぞれ、前記第1周波数又は前記第2周波数における前記超音波振動子中での超音波の半波長に等しいことを特徴とする請求項4に記載のウェッジボンディング装置。 - 前記超音波振動子を前後、左右、及び上下に移動可能に支持する本体を有し、
前記固定位置は前記超音波振動子の周方向に配列された複数の点により構成され、
前記超音波振動子は前記複数の点において前記本体に支持されていることを特徴とする請求項5に記載のウェッジボンディング装置。 - 前記ツール接続部は、前記基部の前記延在方向一端側から突出する円柱状のブースター部と、前記ブースター部の端部から突出する円柱状の前記ホーンとを有し、
前記ホーンの直径は前記ブースター部の直径に比べて小さいことを特徴とする請求項6に記載のウェッジボンディング装置。 - 前記第1周波数は30kHz以上50kHz以下であり、
前記第2周波数は90kHz以上150kHz以下であり、
金属端子とワイヤとの接合のときには、前記電圧源は前記第1周波数の交流を出力し、半導体チップの電極と前記ワイヤとの接合のときには、前記電圧源は前記第2周波数の交流を出力することを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1つの項に記載のウェッジボンディング装置。
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JPH08153758A (ja) * | 1994-11-28 | 1996-06-11 | Nec Corp | 超音波ワイヤボンディング装置及び方法 |
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- 2018-09-21 JP JP2018177146A patent/JP2020047876A/ja active Pending
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