JP2020044733A - 品質管理システム及び品質管理方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】マスクテンションの悪化を予測することができる品質管理システム及び品質管理方法を提供する。【解決手段】管理システム1は、スクリーンマスクの形状変化量を取得する情報取得部25と、スクリーンマスクの形状変化量からスクリーンマスクの残りの使用回数を予測する予測部とを備える。【選択図】図5

Description

本開示は、品質管理システム及び品質管理方法に関する。
基板に半田等のペーストの印刷を行うスクリーン印刷に関して、スクリーンマスクのテンションを測定する特許文献1が知られている。特許文献1におけるスクリーンマスクのテンションを測定する方法は、スクリーンマスクに対して一定荷重を加えたときのスクリーンマスクの変位量を測定する。これにより、スクリーンマスクのテンションの変化を管理している。
特開2001−62996号公報
従来のスクリーンマスクのテンションを測定する方法では、スクリーンマスクのテンション及びたわみ量といった測定結果に基づいた基板に印刷された半田の印刷不良率から、人が経験的に判断して、スクリーンマスクの不良か否かを判定している。これでは、スクリーンマスクの張替え又は交換のタイミングにバラツキが生じ、実際には、スクリーンマスクの張替え又は交換を行う必要がないにも関わらずこれらを行ってしまうことがある。また、スクリーンマスクの張替え又は交換を行う必要があるにも関わらずこれらを行わなかったりしてしまうことで、基板に半田の印刷不良を生じさせてしまう。
本開示は、マスクテンションの悪化を予測することができる品質管理システム及び品質管理方法を提供する。
上記目的を達成するために、本開示の一形態に係る品質管理システムは、スクリーンマスクの形状変化量を取得する情報取得部と、前記スクリーンマスクの形状変化量から前記スクリーンマスクの残り使用回数を予測する予測部とを備える。
なお、これらの包括的又は具体的な態様は、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラム又はコンピュータ読み取り可能なCD−ROMなどの記録媒体で実現されてもよく、システム、方法、集積回路、コンピュータプログラム及び記録媒体の任意な組み合わせで実現されてもよい。
本開示の品質管理システム等によれば、マスクテンションの悪化を予測することができる。
図1は、実施の形態1に係り、管理システムを例示した模式図である。 図2は、実施の形態1に係り、管理システムを例示したブロック図である。 図3は、実施の形態1に係り、第1相関テーブルを例示した図である。 図4は、実施の形態1に係り、第2相関テーブルを例示した図である。 図5は、実施の形態1に係り、品質管理システムの処理フローを例示したフロー図である。 図6は、実施の形態1の変形例に係り、第3相関テーブルを例示した図である。 図7は、実施の形態2に係り、管理システムを例示したブロック図である。 図8は、実施の形態2に係り、管理システムにおける機械学習の処理フローを例示する図である。
上記目的を達成するために、本開示の一形態に係る品質管理システムは、スクリーンマスクの形状変化量を取得する情報取得部と、前記スクリーンマスクの形状変化量から前記スクリーンマスクの残り使用回数を予測する予測部とを備える。
このように、スクリーンマスクを用いて基板に半田を印刷することによって生じた、スクリーンマスクの形状変化量に基づいて、スクリーンマスクの残りの使用回数を定量化することができる。この残りの使用回数は、半田が不良とならないように基板に印刷することができるスクリーンマスクの使用回数である。
したがって、品質管理システムは、マスクテンションの悪化を予測することができる。これにより、作業者は、スクリーンマスクの張替え又は交換のメンテナンスのタイミングを把握することができる。その結果、不要なスクリーンマスクの張替え又は交換が生じ難くなり、メンテナンス費用の高騰化及び不要なメンテナンス作業を抑制することができる。その結果、スクリーンマスクの形状変化量に基づいて、スクリーンマスクを用いて基板に印刷した半田の不良が増加するタイミングを予測することもできる。
また、本開示の一形態に係る品質管理方法は、コンピュータが、スクリーンマスクの形状変化量を取得し、前記スクリーンマスクの形状変化量から前記スクリーンマスクの残りの使用回数を予測する。
この品質管理方法においても上述と同様の作用効果を奏する。
また、本開示の一形態に係る品質管理システムにおいて、前記情報取得部は、前記スクリーンマスクを介して基板に半田を印刷する作業に関する作業情報を取得し、前記予測部は、前記スクリーンマスクの前記形状変化量の他に、さらに前記作業情報から前記スクリーンマスクの残りの使用回数を予測する。
このように、スクリーンマスクの形状変化量とスクリーンマスクを用いた基板への半田の印刷に関する作業情報とに基づいて、スクリーンマスクの残りの使用回数をより精度よく定量化することができる。
また、本開示の一形態に係る品質管理システムにおいて、前記作業情報は、印刷回数を示す情報、印圧を示す情報、及び印刷不良を示す情報のいずれかひとつに関する情報を含む。
このように、印刷回数、印圧、及び印刷不良の各々の情報に基づいて、スクリーンマスクの残りの使用回数をより精度よく定量化することができる。
また、本開示の一形態に係る品質管理システムにおいて、前記情報取得部は、前記スクリーンマスクの生産機種に関する情報と、生産枚数を示す情報とを含む生産計画を取得する。前記予測部は、さらに、前記残りの使用回数と前記生産計画とから前記スクリーンマスクの使用期限を予測する。
このように、生産計画と残りの使用回数とからスクリーンマスクの使用期限を算出することができる。これにより、スクリーンマスクの張替え又は交換のメンテナンスの時期を、事前に把握することができる。その結果、不要なスクリーンマスクの張替え又は交換が生じ難くなり、メンテナンス費用の高騰化や不要なメンテナンス作業を抑制することができる。
また、本開示の一形態に係る品質管理システムにおいて、前記予測部は、さらに、前記スクリーンマスクの形状変化量と前記作業情報との相関テーブルに基づいて、前記スクリーンマスクの使用期限を予測する。
このように、スクリーンマスクの形状変化量と作業情報とで示された相関テーブルに基づいて、スクリーンマスクの使用期限をより精度よく算出することができる。これにより、スクリーンマスクの張替え又は交換のメンテナンスの時期を、事前に簡易に把握することができる。その結果、不要なスクリーンマスクの張替え又は交換が生じ難くなり、メンテナンス費用の高騰化や不要なメンテナンス作業を抑制することができる。
また、本開示の一形態に係る品質管理システムは、前記スクリーンマスクの使用禁止を促す情報を報知する報知部をさらに備え、前記報知部は、前記生産計画から前記スクリーンマスクの前記使用期限となる前記スクリーンマスクの生産機種の生産開始時刻よりも前に報知する。
このように、スクリーンマスクの使用期限となる生産機種の生産開始時刻よりも前に報知することで、作業者は、半田の印刷不良となる前に生産機種の可動を停止させることができる。また、作業者は、スクリーンマスクの張替え又は交換のタイミングを正確に把握することができる。その結果、スクリーンマスクの使用期限を経過した印刷装置30による半田の印刷不良を抑制することができる。
また、本開示の一形態に係る品質管理システムは、前記スクリーンマスクの形状変化量と前記作業情報とから前記スクリーンマスクの形状変化量の増加率の傾向を特徴情報として生成する学習部をさらに備え、前記予測部は、前記特徴情報に基づいて、前記スクリーンマスクの使用期限を予測する。
このように、学習部がスクリーンマスクの形状変化量の増加率の傾向から特徴情報を生成することで、スクリーンマスクの使用期限及び残りの使用回数を予測する精度を向上させることができる。
以下、実施の形態について、図面を参照しながら具体的に説明する。なお、以下で説明する実施の形態は、いずれも本開示の一具体例を示すものである。以下の実施の形態で示される数値、形状、材料、構成要素、構成要素の配置位置及び接続形態、ステップ、ステップの順序などは、一例であり、本開示を限定する主旨ではない。また、以下の実施の形態における構成要素のうち、最上位概念を示す独立請求項に記載されていない構成要素については、任意の構成要素として説明される。
なお、各図は、模式図であり、必ずしも厳密に図示されたものではない。また、各図において、実質的に同一の構成に対しては同一の符号を付しており、重複する説明は省略又は簡略化する。
以下、本開示の実施の形態に係る品質管理システム及び品質管理方法について説明する。
(実施の形態1)
[構成]
まず、本実施の形態に係る管理システム1の構成について説明する。
図1は、実施の形態1に係り、管理システム1を例示した模式図である。図2は、実施の形態1に係り、管理システム1を例示したブロック図である。
図1及び図2に示すように、管理システム1は、スクリーンマスクのテンション(張力)及びたわみ量(距離)に基づいてスクリーンマスクの使用期限及び残りの使用回数に基づいて、スクリーンマスクの張替え又は交換のタイミングを管理するシステムである。スクリーンマスクの使用期限は、所望の製品(半田が適切に印刷された基板)を得ることができるまでのスクリーンマスクの残りの使用期間と同義である。
管理システム1は、第1検査装置10と、品質管理システム20と、印刷装置30と、第2検査装置40とを備える。以下、この順でそれぞれの構成を説明する。
[第1検査装置]
第1検査装置10は、印刷装置30における、基板に半田を印刷する前に行われるスクリーンマスクのテンション及びたわみ量を測定する装置である。以下では、テンション及びたわみ量のことを総称して形状変化量という。
第1検査装置10は、画像処理部11と、駆動制御部12と、算出部13と、報知部14と、通信部15と、記憶部16とを備える。
画像処理部11は、カメラ等の撮像装置によって得られたスクリーンマスクの画像データを処理し、スクリーンマスクの形状変化量を取得する。画像処理部11は、例えばスキージからスクリーンマスクまでの距離、スクリーンマスクの大きさ(範囲)を、画像データに基づいて算出する。
駆動制御部12は、スクリーンマスクの形状変化量を測定する際に、スクリーンマスクに接触させる測定子を制御する。スクリーンマスクの形状変化量の測定において、駆動制御部12は、例えば、スクリーンマスクの直上に測定子を位置させたうえで、測定子を下降させて(以下、測定子の下降する方向を軸方向という。)スクリーンマスクに接触させる。駆動制御部12は、測定子がスクリーンマスクに与える荷重が所定値になるまで、測定子を下降させる。駆動制御部12は、スクリーンマスクに所定値となる荷重を与えた際の下降量(後述する第1下降量及び第2下降量)を計測し、下降量を示す情報を記憶部16に格納する。
また、駆動制御部12は、スクリーンマスクの形状変化量の測定が終わると、測定子をスクリーンマスクから離間させる。駆動制御部12は、画像認識部から得た画像に含まれるスクリーンマスクの位置情報に基づいて、測定子を水平方向(スクリーンマスクをX−Y平面とした場合に、X軸方向及びY軸方向)に移動させることで、同様の測定を複数回行う。
算出部13は、スクリーンマスクに所定値となる荷重を与えた際の下降量等に基づいて、スクリーンマスクの形状変化量を算出する。具体的には、算出部13は、スクリーンマスクを基板から離した状態において、測定子がスクリーンマスクに所定値となる荷重を与えた際の第1下降量と、過去に測定子がスクリーンマスクに所定値となる荷重を与えた際の第2下降量との差分に基づいて、スクリーンマスクのたわみ量を算出する。また、算出部13は、スクリーンマスクの重さ、スクリーンマスクを支えるマスク枠の支点間距離、マスク枠の支点における水平張力、算出したたわみ量等に基づいてスクリーンマスクのテンションを算出する。なお、上記は、スクリーンマスクの形状変化量を測定する方法の一例であり、これには限定されず、他の公知の手段を用いスクリーンマスクのテンションを測定してもよい。また、例えば印刷装置30が備えるスキージを用いてスクリーンマスクのテンションを測定してもよい。
報知部14は、後述するスクリーンマスクの使用期限又は残りの使用回数を超えている場合、使用禁止を促す情報を報知する。また、報知部14は、生産計画に基づいて、スクリーンマスクの使用期限となる印刷装置30の生産開始時刻よりも前に報知する。これにより、作業者は、スクリーンマスクの使用期限のタイミングを認識することができる。
また、報知部14は、後述する半田の印刷を停止すること(停止情報)を報知する。さらに、報知部14は、基板に印刷された半田に不具合があることを示す異常を示す情報を報知する。
ここでいう報知は、音、光、映像等によって周囲に報知するという意味だけでなく、他の装置にもこれらの情報を報知する意味を含む。なお、報知部14は、このような報知を示す情報を、品質管理システム20、印刷装置30、第2検査装置40、作業者が所持する携帯端末等に出力してもよい。
通信部15は、算出部13が算出したスクリーンマスクの形状変化量を示す情報を出力する通信インターフェイスである。以下では、スクリーンマスクの形状変化量を示す情報を、変化情報という。
[品質管理システム]
品質管理システム20は、所望の製品を得ることができるように、スクリーンマスクの使用期限及び残りの使用回数を予測することで、製品の品質管理を行うシステムである。品質管理システム20は、記憶部21と、使用予測判定部22と、使用期限管理部23と、予測部24と、情報取得部25と、通信部26と、報知部27とを備える。
記憶部21は、スクリーンマスクに関するマスク情報、作業情報、第1相関テーブル(相関テーブルの一例)、第2相関テーブル(相関テーブルの一例)、生産計画情報等を格納するストレージである。
マスク情報は、スクリーンマスクの各々を識別するマスクID、スクリーンマスクを構成する材料に関する情報、スクリーンマスクの厚みを示す情報、スクリーンマスクの大きさ(スリットが形成されている側の表面積)を示す情報、スクリーンマスクの変化情報等で構成されている。
作業情報は、スクリーンマスクを介して基板に半田を印刷した印刷回数を示す情報(スクリーンマスクを使用した回数に関する情報)、基板に半田を印刷した際にスクリーンマスクにかかる印圧を示す情報、基板に印刷した半田の印刷不良を示す情報等で構成されている。
図3で示すように、第1相関テーブルは、スクリーンマスクの形状変化量と、スクリーンマスクの残りの使用回数との関係で示される。図3では、縦軸がスクリーンマスクの形状変化量であり、横軸がスクリーンマスクの残りの使用回数を示す。図3は、実施の形態1に係り、第1相関テーブルを例示した図である。スクリーンマスクの形状変化量が判れば、第1相関テーブルに基づいてスクリーンマスクの使用期限及び残りの使用回数を予測できる。
図4の(c)に示すように、第2相関テーブルは、スクリーンマスクの形状変化量と、作業情報に含まれる半田付け不良率との関係で示される。図4の(c)では縦軸が半田付け不良率であり、横軸がスクリーンマスクの形状変化量である。この第2相関テーブルによれば、スクリーンマスクの形状変化量と半田付け不良率とに基づいて、スクリーンマスクを使用することができるかどうかを判定することができる。作業情報は、図4の(c)に示される関数Fに寄与したり、使用可能な領域の大きさに寄与したりする。図4の(c)の関数Fはあくまでも一例である。
生産計画情報は、印刷装置30に関する情報、生産計画として、所定期間のうちに生産を予定している生産枚数を示す情報等で構成されている。なお、1つの基板を生産するに際し、複数回印刷する場合があるため、生産枚数と印刷回数とは必ずしも同一とは限らない。印刷装置30に関する情報は、生産機種に関する情報の一例である。
図2に示すように、使用予測判定部22は、スクリーンマスクを使用することができるかどうかを判定する。具体的には、使用予測判定部22は、記憶部21からスクリーンマスクの変化情報と、作業情報(本実施の形態では半田付け不良率を例に挙げている)とを取得する。使用予測判定部22は、それぞれの情報に含まれるスクリーンマスクの形状変化量と半田付け不良率とから、第2相関テーブル内の図4の(c)の使用可能な領域(ドットのハッチングで示した領域、C0とB0とで囲まれた領域)内であるかどうかによって、スクリーンマスクを使用することができるかどうかを判定する。
使用期限管理部23は、スクリーンマスクの使用期限を管理する。使用期限管理部23はスクリーンマスクの使用期限が過ぎている場合、半田の印刷を停止するための停止情報を、報知部27、第1検査装置10、印刷装置30、第2検査装置40等に出力する。
予測部24は、記憶部21に格納されている、第1、第2相関テーブルに基づいて、スクリーンマスクの形状変化量からスクリーンマスクの使用期限及び残りの使用回数を予測する。使用期限は、現在時刻からスクリーンマスクの使用ができなくなると予測される時刻までの期間を意味する。スクリーンマスクの使用期限は、予測部24が、生産計画情報とスクリーンマスクの残りの使用回数とからスクリーンマスクの使用期限を予測することで得られる。例えば、予測部24は、スクリーンマスクの残りの使用回数と、生産計画における予定の印刷回数とを比較して、残りの使用回数でどれだけの生産計画の数を生産することができるかを予測し、予測した数から生産にかかる期間を算出する。また、スクリーンマスクの使用期限は、予測部24が、作業情報とスクリーンマスクの残りの使用回数との第1、第2相関テーブルに基づいて予測することでも得られる。
なお、予測部24は、例えば、作業情報の一例である半田付け不良率に基づいて、第2相関テーブルからスクリーンマスクの形状変化量を予測してもよい。そして、予測部24は、予測されたスクリーンマスクの形状変化量から、第1相関テーブルによって、スクリーンマスクの使用期限及び残りの使用回数を予測してもよい。
情報取得部25は、第1検査装置10が測定したスクリーンマスクの、変化情報、作業情報等を取得する。また、情報取得部25は、作業者がこれらの情報を直接入力することで取得してもよい。
通信部26は、第1検査装置10、印刷装置30、及び第2検査装置40等と通信を行う通信インターフェイスである。
報知部27は、報知部14と同様の構成であるため、同一の構成部分についての説明は省略する。
[印刷装置]
印刷装置30は、基板に形成された電極にマスクを介してペースト状の半田をスクリーン印刷する装置である。印刷装置30は、生産機種の一例である。
印刷装置30は、印刷作業部31と、印刷制御部32と、作業禁止部33と、生産計画取得部34と、報知部35と、記憶部36と、通信部37とを有する。
印刷作業部31は、基板に半田のパターンを転写させるいわゆるスクリーン印刷を行う。具体的には、印刷作業部31は、半田のパターンに対応した開口を有するマスクを基板に接触させ、マスク上に半田を供給したうえで、マスク上でスキージを摺動させることによって、基板に半田を印刷する。印刷作業部31は、例えば、スキージ、スクリーンマスク、マスク枠、スキージ及びマスク枠をそれぞれ所定の姿勢で保持する各々の保持部材、スキージを移動させるスキージ移動機構等で構成される。
印刷制御部32は、半田を基板に印刷するための動作パラメータに基づいて、印刷作業部31を制御する。印刷制御部32は、生産計画情報に基づいて、生産すべき所定枚数分の製品(半田が印刷された基板)を製造する。
印刷制御部32は、印刷作業部31を制御することで、基板への半田の印刷速度及び印圧を制御することもできる。
作業禁止部33は、作業禁止指令を出力し、印刷装置30での印刷作業を禁止させる。具体的には、作業禁止部33は、印刷制御部32に作業禁止指令を出力し、当該指令を受けた印刷制御部32が印刷作業部31の駆動を停止させる。例えば、スクリーンマスクの使用期限及び残りの使用回数を超えている場合、作業禁止部33は、印刷制御部32を介して、基板に半田を印刷する印刷作業部31の作業を禁止させる。本実施形態における作業の禁止とは、印刷装置30の印刷作業を停止させること以外に、印刷装置30又は品質管理システム20が備えるディスプレイに半田の印刷不良が生じる可能性が高いことを表示させて、作業者に作業の禁止を促すことを含む。この場合、作業の禁止の判断は作業者によって判断される。
使用期限及び残りの使用回数は、所望の製品を製造することが期待できるスクリーンマスクの使用可能な期限及び回数である。使用期限及び残りの使用回数を超過したスクリーンマスクを用いて、基板に半田を印刷した場合は、半田の印刷不良が生じる可能性が高く、所望の製品を得難い。
生産計画取得部34は、印刷装置30に関する情報と、生産枚数を示す情報とを含む生産計画情報を取得する。生産計画取得部34は、取得した生産計画情報を印刷制御部32に出力する。
報知部35は、報知部14、27同様の構成であるため、同一の構成部分についての説明は省略する。
記憶部36は、例えば、使用期限に関する情報、印刷回数に関する情報、半田に関する情報、スクリーンマスクに関するマスク情報、半田を印刷するための動作パラメータ等を格納する。
通信部37は、使用期限に関する情報等の受信を行う通信インターフェイスである。
[第2検査装置]
第2検査装置40は、基板に印刷した半田の外観状態を検査する装置である。第2検査装置40は、検査作業部41と、検査制御部42と、報知部43と、記憶部44と、通信部45とを有する。
検査作業部41は、例えば、半田の状態を撮像する検査用カメラ等で構成されている。検査作業部41は、検査用カメラが撮像した、2次元画像又は3次元画像の少なくともいずれかの撮像データを処理する。検査作業部41は、撮像データを検査制御部42に出力する。
検査制御部42は、基板に印刷された半田の外観状態を検査作業部41に検査させる。検査制御部42は、検査作業部41から撮像データを取得すると、基板に印刷された半田の外観状態を解析する。具体的には、検査制御部42は、基板に印刷された半田における、基板の上から見た場合の半田のズレ量及び半田の面積、半田の体積、半田の高さ、半田の形状等の有無を解析したり、2つの電極を接続するブリッジ不良、未充填不良、半田のカスレ不良、半田の抉れ不良、半田の滲み不良、異物の付着等の有無を解析したりする。検査制御部42は、通信部45を介して、解析した基板に印刷された半田の検査結果を示す情報を、品質管理システム20等に送信する。検査結果は、例えば上述の半田付け不良率を示す。
検査制御部42は、基板に印刷された半田の不具合を解消するために、検査結果に異常がある場合、異常を示す情報を生成し、報知部43に出力する。また、検査制御部42は、通信部45を介して、品質管理システム20等に異常を示す情報を出力する。
報知部43は、報知部14、27、35と同様の構成であるため、同一の構成部分についての説明は省略する。
記憶部44は、基板に印刷された半田の検査結果を示す情報、これに基づく異常を示す情報等を格納する。
通信部45は、基板に印刷された半田の検査結果を示す情報、異常を示す情報等を、品質管理システム20に送信する通信インターフェイスである。
[処理フロー]
次に、本実施の形態における品質管理システム20の処理フローについて説明する。
図5は、実施の形態1に係り、品質管理システム20の処理フローを例示したフロー図である。
図5に示すように、まず、品質管理システム20は、第1検査装置10からスクリーンマスクの変化情報を取得する(S11)。
次に、品質管理システム20の使用予測判定部22は、スクリーンマスクを使用することができるかどうかを判定する(S12)。具体的には、使用予測判定部22は、スクリーンマスクの変化情報が示すスクリーンマスクの形状変化量が、図3の第1相関テーブルに示す使用可能な領域(A0とB0とで囲まれた領域)内であるかどうかによって、スクリーンマスクを使用することができるかどうかを判定する。スクリーンマスクの形状変化量が第1相関テーブルに示す使用可能な領域内でなければ、スクリーンマスクの使用期限(B0)を経過していることを意味する。
図4の(c)の第2相関テーブルは、スクリーンマスクの形状変化量とスクリーンマスクの残りの使用回数とを示す図4の(a)の相関図と、作業情報(本実施の形態では、半田付け不良率)とスクリーンマスクの残りの使用回数とを示す図4の(b)の相関図とに基づいて得られる。図4の(c)の第2相関テーブルは、スクリーンマスクの使用の禁止を予測するパラメータとして用いる。
図5に示すように、使用予測判定部22がスクリーンマスクを使用することができないと判定すると(S12でNo)、品質管理システム20の報知部27は、スクリーンマスクの使用禁止を促す情報を報知する(S16)。そして、品質管理システム20の処理を終了する。なお、品質管理システム20は、スクリーンマスクの使用禁止を促す情報を第1検査装置10、印刷装置30、第2検査装置40、作業者が所持する携帯端末等に出力してもよい。
次に、使用予測判定部22がスクリーンマスクを使用することができると判定すると(S12でYes)、予測部24は、記憶部21に格納されている、スクリーンマスクの形状変化量を示す第1相関テーブルに基づいて、スクリーンマスクの使用期限を予測する(S13)。なお、予測部24は、生産計画情報とスクリーンマスクの残りの使用回数とからスクリーンマスクの使用期限を予測してもよい。または、予測部24は、スクリーンマスクの形状変化量と作業情報との第2相関テーブルに基づいて、スクリーンマスクの使用期限を予測してもよい。例えば、第2相関テーブルを構成する、スクリーンマスクの形状変化量とスクリーンマスクの残りの使用回数とを示す図4の(a)の相関図、作業情報(本実施の形態では、半田付け不良率)とスクリーンマスクの残りの使用回数とを示す図4の(b)の相関図からスクリーンマスクの使用期限を予測できる。
使用予測判定部22は、ステップS13で予測したスクリーンマスクの使用期限が所定期間外かどうかを判定する(S14)。所定期間は、スクリーンマスクの目安となる張替え又は交換時期(図3のB0からB1までの期間)を示し、スクリーンマスクの使用期限B0よりも短い期間B1である。
スクリーンマスクの使用期限が所定期間外であることを、使用予測判定部22が判定すると(S14でYes)、報知部27は、使用予測判定部22がステップS13で予測したスクリーンマスクの使用期限を示す情報、つまり、スクリーンマスクを使用できる使用期限を示す情報を報知する(S15)。これにより、作業者は、スクリーンマスクを使用できる使用期限を認識することができ、図3のB0からB1までの期間にスクリーンマスクを張替え又は交換する。なお、報知部27は、スクリーンマスクの残りの使用回数を示す情報を報知してもよい。
そして、品質管理システム20の処理を終了する。
なお、品質管理システム20は、スクリーンマスクの使用期限を示す情報を第1検査装置10、印刷装置30、及び第2検査装置40に出力してもよい。この場合、第1検査装置10、印刷装置30、及び第2検査装置40のそれぞれの報知部14、27、35、43は、スクリーンマスクの使用期限を示す情報を報知してもよい。
スクリーンマスクの使用期限が所定期間内であることを、使用予測判定部22が判定すると(S14でNo)、品質管理システム20の報知部27は、スクリーンマスクの目安となる張替え又は交換時期を示す情報を報知する(S17)。これにより、作業者は、スクリーンマスクの張替え又は交換時期を認識することができる。そして、品質管理システム20の処理を終了する。
[効果]
このような品質管理システム20は、スクリーンマスクの形状変化量に基づいてスクリーンマスクの残りの使用回数を予測する。これにより、スクリーンマスクの残りの使用回数を定量化することができる。
したがって、品質管理システム20は、マスクテンションの悪化を予測することができる。これにより、作業者は、スクリーンマスクの張替え又は交換のメンテナンスのタイミングを把握することができる。その結果、不要なスクリーンマスクの張替え又は交換が生じ難くなり、メンテナンス費用の高騰化や不要なメンテナンス作業を抑制することができる。また、スクリーンマスクの形状変化量に基づいて、スクリーンマスクを用いて基板に印刷した半田の不良が増加するタイミングを予測することもできる。
(実施の形態1の変形例)
本変形例における他の構成は、特に明記しない場合は、実施の形態1と同様であり、同一の構成については同一の符号を付して構成に関する詳細な説明を省略する。
図6は、実施の形態1の変形例に係り、第3相関テーブルを例示した図である。図6で示すように、本変形例における第3相関テーブルは、スクリーンマスクの形状変化量、スクリーンマスクの半田付け不良率、及びスクリーンマスクの使用回数(作業情報に含まれる)の関係で示される。それぞれのパラメータN1〜Nmは、縦軸がスクリーンマスクの半田付け不良率であり、横軸がスクリーンマスクの形状変化量である。第3相関テーブルには、使用回数に応じたm(1以上の自然数)個のパラメータNmが存在する。この各々のパラメータNmが第2相関テーブルに相当する。
この第3相関テーブルによれば、スクリーンマスクの使用回数に応じてスクリーンマスクの使用を禁止するパラメータNmが変化する。具体的には、例えば、スクリーンマスクの使用回数の増加とともに、スクリーンマスクの形状変化量に対するスクリーンマスクの半田付け不良率の割合が増加している。つまり、各々のパラメータが示す所定の範囲が小さくなっている。このように、スクリーンマスクの使用回数に適した第2相関テーブルを用いることで、より精度よくマスクテンションの悪化を予測することができる。
(実施の形態2)
[構成]
図7は、実施の形態2に係り、管理システム200を例示したブロック図である。
本実施の形態の構成は、特に明記しない場合は、実施の形態1と同様であり、同一の構成については同一の符号を付して構成に関する詳細な説明を省略する。
図7に示すように、品質管理システム220は、さらに学習部229を備える。
学習部229は、第1検査装置10から変化情報、及び、印刷装置30から作業情報を取得して機械学習を行う。例えば、この機械学習では、例えば、入力情報に対してラベル(出力情報)が付与された教師データを用いて入力と出力との関係を学習する教師あり学習、ラベルのない入力のみからデータの構造を構築する教師なし学習、ラベルありとラベルなしのどちらも扱う半教師あり学習、状態の観測結果から選択した行動に対するフィードバックを得ることにより、最も多くのフィードバックを得ることができる行動を学習する強化学習等が挙げられる。また、機械学習の具体的な手法として、ニューラルネットワーク(多層のニューラルネットワークを用いた深層学習を含む)、遺伝的プログラミング、決定木、ベイジアン・ネットワーク、サポート・ベクター・マシン(SVM)等が存在する。
学習部229は、機械学習によって生成されたより最適な特徴情報を、第3相関テーブルに適用する。つまり、特徴情報は、第3相関テーブルにおける、スクリーンマスクの形状変化量と作業情報とからスクリーンマスクの形状変化量の増加率の傾向(パラメータN1〜Nmで示される各々の第2相関テーブル)を示す。これにより、予測部24は、第3相関テーブルに基づいて、スクリーンマスクの残りの使用回数、スクリーンマスクの使用期限をより精度よく予測することができる。
[動作]
次に、品質管理システム220における学習部229の動作について説明する。
図8は、実施の形態2に係り、管理システム200における機械学習の処理フローを例示する図である。
図8に示すように、まず、学習部229は、第1検査装置10から変化情報、及び、印刷装置30から作業情報を取得する(S201)。
次に、学習部229は、変化情報及び作業情報に基づいて機械学習を行い、特徴情報を生成する(S202)。特徴情報は、スクリーンマスクの形状変化量の増加率の傾向を示す。例えば、特徴情報は、図3では使用期間に対する形状変化量の増加率の傾向(第1相関テーブルの関数)を含み、図4では半田付け不良率に対する形状変化量の増加率の傾向(第2相関テーブルの関数)を含む。
次に、学習部229は、生成した特徴情報により、第1相関テーブル、第2相関テーブル、及び第3相関テーブルを更新する(S203)。そして、品質管理システム220は、この処理を終了する。
[効果]
このような品質管理システム220では、スクリーンマスクの形状変化量と作業情報とからスクリーンマスクの形状変化量の増加率の傾向を特徴情報として生成する。このため、スクリーンマスクの使用期限及び残りの使用回数を予測する精度を向上させることができる。
(その他)
以上、本開示について、実施の形態1、2及び実施の形態1の変形例に基づいて説明したが、本開示は、上記品質管理システム及び品質管理方法に限定されるものではない。
例えば、上記各実施の形態1、2及び実施の形態1の変形例に係る品質管理システム及び品質管理方法において、第1検査装置は、印刷装置、及び品質管理システムとは独立した別の装置であるが、印刷装置に搭載されていてもよく、品質管理システムに搭載されていてもよい。
また、上記各実施の形態1、2及び実施の形態1の変形例に係る品質管理システム及び品質管理方法を実現するプログラムは、典型的に集積回路であるLSIとして実現される。これらは個別に1チップ化されてもよいし、一部又は全てを含むように1チップ化されてもよい。
また、集積回路化はLSIに限るものではなく、専用回路又は汎用プロセッサで実現してもよい。LSI製造後にプログラムすることが可能なFPGA(Field Programmable Gate Array)、又はLSI内部の回路セルの接続や設定を再構成可能なリコンフィギュラブル・プロセッサを利用してもよい。
なお、上記各実施の形態1、2及び実施の形態1の変形例において、各構成要素は、専用のハードウェアで構成されるか、各構成要素に適したソフトウェアプログラムを実行することによって実現されてもよい。各構成要素は、CPU又はプロセッサなどのプログラム実行部が、ハードディスク又は半導体メモリなどの記録媒体に記録されたソフトウェアプログラムを読み出して実行することによって実現されてもよい。
また、上記で用いた数字は、全て本開示を具体的に説明するために例示するものであり、本開示の実施の形態1、2及び実施の形態1の変形例は例示された数字に制限されない。
また、ブロック図における機能ブロックの分割は一例であり、複数の機能ブロックを一つの機能ブロックとして実現したり、一つの機能ブロックを複数に分割したり、一部の機能を他の機能ブロックに移してもよい。また、類似する機能を有する複数の機能ブロックの機能を単一のハードウェア又はソフトウェアが並列又は時分割に処理してもよい。
また、フローチャートにおける各ステップが実行される順序は、本開示を具体的に説明するために例示するためであり、上記以外の順序であってもよい。また、上記ステップの一部が、他のステップと同時(並列)に実行されてもよい。
その他、実施の形態1、2及び実施の形態1の変形例に対して当業者が思いつく各種変形を施して得られる形態、本開示の趣旨を逸脱しない範囲で実施の形態1、2及び実施の形態1の変形例における構成要素及び機能を任意に組み合わせることで実現される形態も本開示に含まれる。
本開示は、例えば、基板に部品を実装する実装ラインに利用可能である。
20、220 品質管理システム
24 予測部
25 情報取得部
27 報知部
30 印刷装置(生産機種)
229 学習部

Claims (8)

  1. スクリーンマスクの形状変化量を取得する情報取得部と、
    前記スクリーンマスクの形状変化量から前記スクリーンマスクの残り使用回数を予測する予測部とを備える
    品質管理システム。
  2. 前記情報取得部は、前記スクリーンマスクを介して基板に半田を印刷する作業に関する作業情報を取得し、
    前記予測部は、前記スクリーンマスクの前記形状変化量の他に、さらに前記作業情報から前記スクリーンマスクの残りの使用回数を予測する
    請求項1に記載の品質管理システム。
  3. 前記作業情報は、印刷回数を示す情報、印圧を示す情報、及び印刷不良を示す情報のいずれかひとつに関する情報を含む
    請求項2に記載の品質管理システム。
  4. 前記情報取得部は、前記スクリーンマスクの生産機種に関する情報と、生産枚数を示す情報とを含む生産計画を取得し、
    前記予測部は、さらに、前記残りの使用回数と前記生産計画とから前記スクリーンマスクの使用期限を予測する
    請求項1から3のいずれか1項に記載の品質管理システム。
  5. 前記予測部は、さらに、前記スクリーンマスクの形状変化量と前記作業情報との相関テーブルに基づいて、前記スクリーンマスクの使用期限を予測する
    請求項2又は3に記載の品質管理システム。
  6. 前記スクリーンマスクの使用禁止を促す情報を報知する報知部をさらに備え、
    前記報知部は、前記生産計画から前記スクリーンマスクの前記使用期限となる前記スクリーンマスクの生産機種の生産開始時刻よりも前に報知する
    請求項4に記載の品質管理システム。
  7. 前記スクリーンマスクの形状変化量と前記作業情報とから前記スクリーンマスクの形状変化量の増加率の傾向を特徴情報として生成する学習部をさらに備え、
    前記予測部は、前記特徴情報に基づいて、前記スクリーンマスクの使用期限を予測する
    請求項2、3、5のいずれか1項に記載の品質管理システム。
  8. コンピュータが、スクリーンマスクの形状変化量を取得し、前記スクリーンマスクの形状変化量から前記スクリーンマスクの残りの使用回数を予測する
    品質管理方法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021250989A1 (ja) * 2020-06-12 2021-12-16 Ckd株式会社 基板製造方法、スクリーンマスク検査方法及びスクリーンマスク検査装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003048302A (ja) * 2001-08-06 2003-02-18 Noritake Co Ltd スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置
JP2005319743A (ja) * 2004-05-11 2005-11-17 Toshiba Corp 印刷版、およびスクリーン印刷装置
JP2006247942A (ja) * 2005-03-09 2006-09-21 Hitachi Communication Technologies Ltd クリーム半田印刷機
US20090151468A1 (en) * 2007-12-14 2009-06-18 Josef Kleinschnitz method of and apparatus for measuring the tension of a filter screen in a filter frame
JP2013169723A (ja) * 2012-02-21 2013-09-02 Yamaha Motor Co Ltd スクリーン印刷装置
WO2019116545A1 (ja) * 2017-12-15 2019-06-20 株式会社Fuji スクリーン印刷機

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003048302A (ja) * 2001-08-06 2003-02-18 Noritake Co Ltd スクリーン印刷方法およびスクリーン印刷装置
JP2005319743A (ja) * 2004-05-11 2005-11-17 Toshiba Corp 印刷版、およびスクリーン印刷装置
JP2006247942A (ja) * 2005-03-09 2006-09-21 Hitachi Communication Technologies Ltd クリーム半田印刷機
US20090151468A1 (en) * 2007-12-14 2009-06-18 Josef Kleinschnitz method of and apparatus for measuring the tension of a filter screen in a filter frame
JP2013169723A (ja) * 2012-02-21 2013-09-02 Yamaha Motor Co Ltd スクリーン印刷装置
WO2019116545A1 (ja) * 2017-12-15 2019-06-20 株式会社Fuji スクリーン印刷機

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021250989A1 (ja) * 2020-06-12 2021-12-16 Ckd株式会社 基板製造方法、スクリーンマスク検査方法及びスクリーンマスク検査装置
JP2021194831A (ja) * 2020-06-12 2021-12-27 Ckd株式会社 スクリーンマスク検査方法及びスクリーンマスク検査装置
TWI792296B (zh) * 2020-06-12 2023-02-11 日商Ckd股份有限公司 網遮罩檢查方法及網遮罩檢查裝置

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