JP2020032472A - ワイヤソー装置 - Google Patents
ワイヤソー装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2020032472A JP2020032472A JP2018158764A JP2018158764A JP2020032472A JP 2020032472 A JP2020032472 A JP 2020032472A JP 2018158764 A JP2018158764 A JP 2018158764A JP 2018158764 A JP2018158764 A JP 2018158764A JP 2020032472 A JP2020032472 A JP 2020032472A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- wire
- saw device
- wire saw
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
【課題】ワイヤソー装置を小型化でき、揺動機構と同様の効果を有したワイヤソー装置を提供する。【解決手段】上記の課題を解決するため、本発明は、少なくとも1本のワイヤ2を複数のガイドローラー7、7間に掛け渡し、当該ワイヤ2を走行させて上記ガイドローラー7に掛け渡されたワイヤ2にワーク固定台911に固定したワークWを押し付けることで切断加工するワイヤソー装置1において、上記ワーク固定台911に、周波数が20kHz未満、振幅が15mm以下の振動発生手段を設けて、ワークWに振動を与えながら切断加工を行う。【選択図】図1
Description
本発明は、ワイヤソー装置に関するものである。
従来から、半導体インゴット、セラミック、ガラス等の結晶塊を一定の厚さに切断する装置としてワイヤソー装置がある。ワイヤソー装置は、ワイヤの一方端をワイヤリールに巻回し、ワイヤの少なくとも一本を複数のガイドローラー間に巻き掛けて、ワイヤの他端を他方のワイヤリールに巻回する。ワイヤをワイヤリール間で高速往復させて、ワークをガイドローラー間の位置でワイヤに押し付けて切断するものである。
このワイヤソー装置において、ワークやガイドローラーを揺動させる機構を有するものが知られている(例えば特許文献1)。
特許文献1のワイヤソー装置では、ワークやガイドローラーを揺動させながらワークを切断することで、ワークとガイドローラー間のワイヤとを点接触に近い状態にでき高荷重を加えた効果的な切断ができる。また、ワークとワイヤが円弧で接触するためスラリの供給と、切削屑の排出がしやすくなり、切断スピードを上げることができる。
また、ワークに超音波振動を与えて切断加工を行うワイヤソー装置も知られている(例えば特許文献2)。
上記に示した通り、ワークやガイドローラーを揺動させる機構は、ワイヤソーでワークを切断加工するうえで有用な効果を有している。
もっとも、特許文献1に示すようにガイドローラーを揺動させるためには、大型のベアリングやガイドを用いた揺動機構が必要となり、装置が大型にならざるを得ない。
また、ワークに超音波振動を与えて切断する方法は、ワイヤソー装置を長時間稼働させることが多いことにも鑑みると長時間の超音波振動により装置自体に損傷を与える可能性がある。また、超音波振動は、ワーク自体にも損傷を与える可能性がある。
そこで、本発明は、超音波でない領域の振動を用いて上記の揺動機構と同様の切断加工の効果を維持しつつ、小型な装置を提供する。
上記の課題を解決するため、本発明は、少なくとも1本のワイヤを複数のガイドローラー間に掛け渡し、当該ワイヤを走行させて上記ガイドローラーに掛け渡されたワイヤにワーク固定部に固定したワークを押し付けることで切断するワイヤソー装置において、上記ワーク固定部を上下振動させる振動発生手段を備え、上記ワークに振動を与えながら切断を行うことを特徴とする。
また、上記振動発生手段において発生させる振動の周波数が20kHz未満、振幅が15mm以下であることが好ましい。
本発明は、上記手段を用いることで、ワークを振動させることによってワイヤがワークに対し接触離反動するため、スラリの供給と切削屑との排出がしやすくなる。また、ワイヤとワークとの接触時間が少なくなりワイヤへの負荷が軽減される。
また、ワークとワイヤとは、点接触の状態にはならないが、ワイヤがワークの同じ箇所を周期的に何度も往復するためワーク表面のラッピング効果を期待できる。
本発明は、ワークを振動させる機構を備えればよいので、小型なワイヤソー装置を提供できる。
本発明の実施例であるワイヤソー装置1について、以下添付図面を参照して説明する。
図1は、ワイヤソー装置1の全体概略図である。図1に示すように、ワイヤソー装置1はワイヤ2が多数巻き掛けられた供給リール3と、上記ワイヤ2を巻き取る回収リール4とを備える。上記供給リール3と上記回収リール4との間には、上記ワイヤ2に所定の張力を付与するテンショナー5と、ワイヤ2を所定の方向に導くガイドプーリ6と、ワイヤ2が巻き掛けられてワイヤ列を形成するガイドローラー7とを備える。さらに、ガイドローラー7、7の間には、ワークWを上記のワイヤ列に押し付けるワーク保持部8と、ワーク保持部8に固定されワークWを押し付ける際にワークWに上下振動を与えるワーク振動装置9とを備えている。
上記供給リール3には、固定砥粒式ワイヤソーの場合、例えば鋼線で形成された芯線にダイヤモンドなどの砥石が電着、レジン等で固定された固定砥粒ワイヤが巻き回される。また、遊離砥粒方式のワイヤソーの場合は、鋼線に銅メッキやブラスメッキが施されたワイヤが巻き回される。供給リール3には図示しないモーターが接続され、供給リールを正逆転させてワイヤ2の繰り出しと、走行反転時のワイヤ2の巻取りを行うようになっている。
回収リール4は、供給リール3と同様に図示しないモーターが接続されており、回収リールを正逆転させてワイヤ2の巻取りと、走行反転時のワイヤ2の繰り出しを行うようになっている。
ワイヤ2は供給リール3から繰り出され、プーリー6、6、テンショナー5、プーリー6を経由してガイドローラー7に導かれる。上記ガイドローラー7に導かれたワイヤ2はガイドローラー7、7に複数回巻き掛けられワイヤ列を形成する。上記ガイドローラー7から出たワイヤ2は、プーリー6、テンショナー5、プーリー6、6を経由して回収リール4に巻き取られるようになっている。上記ワイヤ2は、図示しないロードセルによってワイヤ張力を計測し、テンショナー5、5によって適当な張力が与えられている。
なお、ワイヤソー装置1は、ガイドローラー7、7に複数回ワイヤ2を巻き付けるマルチワイヤソー装置を例に説明するが、ガイドローラー7、7に一回ワイヤ2を巻き付けるシングルワイヤソー装置であっても良い。
ワーク保持部8は、テーブルを備え、モーターMおよび駆動軸によってテーブルに固定されたワーク振動装置9を昇降させることが可能となっている。
ワーク振動装置9について図2及び図3を参照して説明する。図2は、ワーク振動装置9の正面図である。図3は、図2のA−A方向矢視図である。
ワーク振動装置9は、ワークWを固定するためのワーク固定ベース91と、ワイヤソー装置1に取り付けるためのユニットベース92と、上記ワークWを振動させるためのクランク機構93からなる。
なお、ワーク振動装置9は、ワークWの切削屑等による汚れを防ぐためワーク固定台911だけが露出した図示しない箱形のカバーでおおわれている。
図2に示すように、ワーク固定ベース91は、ワーク固定台911とスライダー912とを備えている。
また、ユニットベース92は、装置へ取り付けるための装置固定台921と、モーター922と、ガイドレール923とを備えている。上記ワーク固定ベース91は、上記スライダー912を上記ガイドレール923に嵌合させることによって上下に摺動可能になっている。
本発明の振動発生手段として、クランク機構93を用いる。図2及び図3に示すように、クランク機構93は、プレート931と回転ベース932とシャフト933a、933bとを備え、ワーク固定ベース91とユニットベース92とを繋いでいる。シャフト933a、933bは、ベアリング等を用いてプレートに回動可能なように取り付けられている。図3に示すように、上記シャフト933bは、回転ベース932を介してモーター軸924と偏心配置になるよう配置される。上記クランク機構93は、シャフト933bとモーター軸924との偏心配置により、モーター922の回転運動を上記ワーク固定ベース91の上下運動へと変換することができるようになっている。
なお、シャフト933bとモーター軸924との偏心配置については、上記回転ベース932やプレート931の穴位置の変更によって所望の位置に変更可能になっている。
ガイドローラー7、7の間には、図示しない加工液を供給する加工液供給ノズルが延設されている。この加工液供給ノズルから、ワイヤ2やワークWに向けて加工液が噴射されるようになっている。固定砥粒式ワイヤソーの場合、水に界面活性剤等が添加された加工液が用いられる。また、遊離砥粒式ワイヤソーの場合は、ダイヤモンドやSiC等の砥粒が油やグリコール等に混合されたスラリが加工液として用いられる。
以下では、ワイヤソー装置1を用いた動作について図4および図5を参照して説明する。図4および図5は、図1のガイドローラー7およびワーク振動装置9の部分を拡大したものであり、クランク機構の回動動作を示したものである。
ワーク固定台911にワークWを固定する。供給リール3と回収リール4の間でワイヤ2を高速往復させて、ガイドローラー7、7間でワーク保持部8を上昇させながらワークWを切断加工していく。ワーク保持部8を上昇させる際に、ワーク振動装置9によりワークWを上下振動させながら切断加工を行う。
ワーク振動装置9のユニットベース92に備えられたモーター922を作動させると、モーター軸924が回転する。上記の通りシャフト933bとモーター軸924とは回転ベース932を介して偏心配置されているから、プレート931がモーター軸924を中心に偏心運動することになる。
上記プレート931が偏心運動することで、その偏心量分がシャフト933b、プレート931、シャフト933aを介して上記ワーク固定ベース91に伝わり、上下運動に変換される。ワーク固定ベース91は、スライダー912により偏心運動で描かれる円の軌跡の直径分、上下に振動することになる。
具体的には以下の動作になる。図4(a)に示すように、回転ベース932に繋がっているシャフト933bが下死点に位置しており、ワーク固定ベース91は最下点にある。図4(b)に示すように、この状態で、モーター軸924が45度動くと、回転ベース932が45度回転し、シャフト933bが偏心回転する。ワーク固定ベース91が、プレート931、シャフト933a、スライダー912を介して、偏心量分(図4(a)のシャフト933bと図4(b)のシャフト933bとの高低差分)上昇することになる。そして、図5(c)に示すように、図4(b)の状態からさらに45度回転すると、回転ベース932が更に45度回転し、シャフト933bの偏心回転に伴いワーク固定ベース91はさらに上昇する。更に、図5(d)に示すように、図5(c)の状態から90度回転すると、シャフト933bは上死点まで偏心回転し、ワーク固定ベース91は最上点まで上昇する。その後は図示しないが、モーター軸924が更に一方向に回転することでシャフト933bは下死点まで戻り、ワーク固定ベース91は最下点まで下降する。
このようにワーク固定ベース91は、モーター922で発生する回転運動をクランク機構93によって上下運動に変換され、最下点と最上点の往復を繰り返すことで上下振動することになる。ワーク固定ベース91に固定されたワークWは、ワーク保持部8によって上昇しながら、上記上下振動に合せてワイヤ2に対して接触離反動を繰り返し切断加工されていく。
この上下振動における周波数は、超音波でない領域の周波数を用いる。超音波の周波数は、20kHz以上であるから、上記上下振動で好ましい周波数は、20kHz未満である。特に好ましい周波数は、100Hz以下である。より好ましい周波数は、1Hz乃至10Hz以下である。上記上下振動での周波数が超音波の領域に近づくとワークが損傷する恐れがあるためである。もっとも、ワイヤソー装置1で切断するワークWは半導体インゴット、セラミック、ガラス等材質が多岐にわたるため適宜材質に合せて周波数を決定するのが好ましい。
また、上下振動において好ましい振幅は15mm以下である。特に好ましい振幅は、0.25mm乃至1.5mm以下である。上記振幅は、ワイヤ2が一回離れる距離以上であって、ワイヤ2に適当なテンションをかけるためワイヤ2のたわみ量の半分程度のものが好ましい。もっとも、周波数と同様に振幅もワークWの材質によって適宜決定するのが好ましい。
ワーク振動装置9は、本発明の実施形態の一つに過ぎないため、上記構成に限らない。また、クランク機構93以外の振動発生手段を採用することもできる。
本発明の実施において、ワークWをワイヤの上方から降下させて切断を行う構成にしても良い。また、本発明を実施するにあたって用いるワイヤソー装置1のガイドローラー7の数は、図1、図4、図5に示すような2本に限らず、3本、4本であっても良い。
1 ワイヤソー装置
2 ワイヤ
3 供給リール
4 回収リール
5 テンショナー
6 プーリー
7 ガイドローラー
8 ワーク保持部
9 ワーク振動装置
91 ワーク固定ベース
92 ユニットベース
93 クランク機構
911 ワーク固定台
912 スライダー
921 装置固定台
922 モーター
923 ガイドレール
924 モーター軸
931 プレート
932 回転ベース
933a シャフト
933b シャフト
2 ワイヤ
3 供給リール
4 回収リール
5 テンショナー
6 プーリー
7 ガイドローラー
8 ワーク保持部
9 ワーク振動装置
91 ワーク固定ベース
92 ユニットベース
93 クランク機構
911 ワーク固定台
912 スライダー
921 装置固定台
922 モーター
923 ガイドレール
924 モーター軸
931 プレート
932 回転ベース
933a シャフト
933b シャフト
Claims (2)
- 少なくとも1本のワイヤを複数のガイドローラー間に掛け渡し、該ワイヤを走行させて前記ガイドローラーに掛け渡されたワイヤにワーク固定部に固定したワークを押し付けることで切断するワイヤソー装置において、
前記ワーク固定部を上下振動させる振動発生手段を備え、
前記ワークに振動を与えながら切断を行うことを特徴とするワイヤソー装置。 - 前記振動発生手段において発生させる振動の周波数が20kHz未満、振幅が15mm以下であることを特徴とする、請求項1記載のワイヤソー装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018158764A JP2020032472A (ja) | 2018-08-27 | 2018-08-27 | ワイヤソー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018158764A JP2020032472A (ja) | 2018-08-27 | 2018-08-27 | ワイヤソー装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020032472A true JP2020032472A (ja) | 2020-03-05 |
Family
ID=69666508
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018158764A Pending JP2020032472A (ja) | 2018-08-27 | 2018-08-27 | ワイヤソー装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2020032472A (ja) |
-
2018
- 2018-08-27 JP JP2018158764A patent/JP2020032472A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100350657B1 (ko) | 경질의 취성가공물에서 다수의 디스크를 절삭하는 방법 및 그 장치 | |
US3831576A (en) | Machine and method for cutting brittle materials using a reciprocating cutting wire | |
US6640796B2 (en) | Method for separating slices from a hard brittle workpiece, and wire saw for carrying out the method | |
JP2008068327A (ja) | ウェーハエッジの研磨装置、及びウェーハエッジの研磨方法 | |
JP2007160462A (ja) | ワイヤソー | |
JP4535999B2 (ja) | 研磨テープ振動研磨方法および装置 | |
US4574769A (en) | Multi-wire vibratory cutting method and apparatus | |
JP2000158319A (ja) | ダイヤモンドワイヤーソー及び切断加工方法 | |
CN209503113U (zh) | 一种基于超磁致伸缩的自适应可控式振动金属切削装置 | |
JP2006346848A (ja) | 超音波ワイヤソー装置 | |
JP3775044B2 (ja) | ワイヤソー加工方法およびワイヤソー加工装置 | |
JP2015016538A (ja) | ワイヤソー及び切断加工方法 | |
JP2020032472A (ja) | ワイヤソー装置 | |
JP4349369B2 (ja) | ワイヤソー加工方法 | |
JP2011167810A (ja) | ワイヤソー | |
JP2011167810A5 (ja) | ||
JP2015016538A5 (ja) | ||
CN108247877A (zh) | 多线切割机摇摆接触式工作台 | |
US4188936A (en) | Method for increasing the cutting performance of reciprocating slurry saws and a reciprocating slurry saw for carrying out this method | |
CN113226640B (zh) | 工件的切断方法及线锯 | |
JP3032125B2 (ja) | ワイヤソー装置 | |
JP6733022B2 (ja) | ワイヤソーによる溝加工装置とその方法 | |
JP2001062700A (ja) | ワイヤソー | |
JP2004322299A (ja) | ワイヤソーマシーン | |
CN220030779U (zh) | 线切割设备 |