JP2020025985A - マルチビームはんだ付けシステムおよびマルチビームはんだ付け方法 - Google Patents
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Abstract
Description
101、102、103、104 ステップ
200 マルチビームはんだ付けシステム
201 基板
202 はんだ付け領域
203 第1の要素
204 第2の要素
210 マルチビームスキャナ
211 光源
212 ガルバノスキャナ
213 レンズセット
214 第1のビーム
215 第2のビーム
220 センサ
230 制御装置
301 ガルバノスキャナレンズ
401 反射レンズ
501 第1のビームスプリッタ
502 第2のビームスプリッタ
601 ビーム
602 焦点
603 非焦点領域
Claims (17)
- 少なくとも第1のビームと第2のビームを発生し、前記第1のビームをはんだ付け領域の第1の要素にガイドし、前記第2のビームを前記はんだ付け領域の第2の要素にガイドするマルチビームスキャナ、
はんだ付けプロセス中、少なくとも前記第1の要素の第1の温度と前記第2の要素の第2の温度を同時に検出するセンサ、および
前記第1の温度と前記第2の温度が実質的に異なるという条件において、前記第1のビームと前記第2のビームのパラメータを調整する制御装置
を含むマルチビームはんだ付けシステム。 - 前記マルチビームスキャナは、
少なくとも1本のビームを生成する光源、および
前記第1のビームおよび前記第2のビームをガイドするレンズセット
を含む請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。 - 前記レンズセットは、前記第1のビームおよび/または前記第2のビームの焦点位置を変える反射レンズを含む請求項2に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記レンズセットは、前記第1のビームおよび/または前記第2のビームの焦点位置を変えるビームスプリッタを含む請求項2に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記マルチビームスキャナは作動装置を含み、前記作動装置はステッピングモータ、ボイスコイルモータ、または圧電アクチュエータを含む請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記マルチビームスキャナは、ガルバノスキャナを含み、前記ガルバノスキャナは、前記第1のビームおよび/または前記第2のビームの焦点位置を変えるためのガルバノスキャナレンズを更に含む請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記第1のビームおよび前記第2のビームは、複数の集束光ビームまたは複数の平行光ビームのいずれかである請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記光源は、レーザービーム、X線、紫外線、テラヘルツ放射、マイクロ波、またはそれらの組み合わせである請求項2に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記焦点位置は、幾何学的パターンに応じて変えられ、前記幾何学的パターンは、円形状、リング状、または多角形状を含む請求項3に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記第1のビームおよび/または前記第2のビームは、それぞれの焦点に集束される請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記第1のビームおよび/または前記第2のビームは、それぞれの非焦点領域に集束される請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記制御装置は、前記センサによって検出された第1の温度と第2の温度間の差が30%より大きいという条件において、前記第1のビームおよび前記第2のビームのパラメータを調整するように構成される請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記センサは、非接触型センサ、接触型センサ、または等価温度センサである請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記第1の温度と前記第2の温度を検出する前記センサの検出対象は、可視光または不可視光である請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記制御装置は、前記第1のビームと前記第2のビームのパワーを調整するように構成される請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 前記制御装置は、比例積分微分制御装置、ファジィ制御装置、閉ループ制御装置、または等価フィードバック制御装置である請求項1に記載のマルチビームはんだ付けシステム。
- 基板のはんだ付け領域のはんだ付け部品の第1の要素を加熱する第1のビームをガイドし、前記基板の前記はんだ付け領域の第2の要素を加熱する第2のビームをガイドするステップ、
少なくとも前記第1の要素の第1の温度と前記第2の要素の第2の温度を同時に検出するステップ、および
前記第1の温度と前記第2の温度が実質的に異なるという条件において、前記第1のビームと前記第2のビームのパラメータを調整するステップ
を含むマルチビームはんだ付け方法。
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