JP2020021852A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
この発明の目的は、強誘電体実キャパシタの下部電極とコンタクトプラグとの間の界面抵抗の小さい半導体装置を提供することである。
この発明の一実施形態では、前記実キャパシタ酸化抑制構造が平面視環状または略環状に形成されている。
この発明の一実施形態では、前記実キャパシタ酸化抑制構造は、平面視環状の前記強誘電体ダミーキャパシタと平面視環状の前記第2プラグとを含む。
この発明の一実施形態では、前記第1シールリングの一部を構成する前記実キャパシタ酸化抑制構造は、平面視環状の前記強誘電体ダミーキャパシタと平面視環状の前記第2プラグとを含む。
この発明の一実施形態では、前記第2シールリングの一部を構成する前記実キャパシタ酸化抑制構造は、平面視環状の前記強誘電体ダミーキャパシタと平面視環状の前記第2プラグとを含む。
この発明の一実施形態では、前記第1シールリングの一部を構成する前記実キャパシタ酸化抑制構造は、平面視環状の前記強誘電体ダミーキャパシタと平面視環状の前記第2プラグとを含み、前記第2シールリングの一部を構成する前記実キャパシタ酸化抑制構造は、平面視環状の前記強誘電体ダミーキャパシタと平面視環状の前記第2プラグとを含む。
この発明の一実施形態では、前記第1導電型がp型であり、前記第2導電型がn型である。
この発明の一実施形態では、前記不揮発性記憶素子は、強誘電体メモリにおけるメモリセルである。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体装置を作成するためのウエハプロセス後の半導体ウエハを示す図解的な平面図である。半導体ウエハ1は、複数の機能素子領域2と、各機能素子領域2を取り囲むように形成されたスクライブ領域3とを有している。図1に示す平面視において、各機能素子領域2は、矩形状である。図1に示す平面視において、各機能素子領域2は、縦方向および横方向に間隔を置いて行列状に整列して配置されている。隣接する機能素子領域2の間の部分がスクライブ領域3である。半導体ウエハ1は、スクライブ領域3に沿ってダイシングブレードにより切断される。これにより、機能素子領域2を含む半導体装置(チップ)4が切り出される。半導体装置4は、周縁部にスクライブ領域3を有し、スクライブ領域3に囲まれた中央領域に機能素子領域2を有することになる。
機能素子領域2には、半導体装置4の機能を担う、機能素子が形成される。この実施形態では、機能素子領域2は、パワートランジスタ領域11、アナログ回路領域12、不揮発性ロジック領域13、ロジック領域14、SRAM領域15、CPU領域16、ROM領域17等を含んでいる。パワートランジスタ領域11内に、パワートランジスタが形成されている。
不揮発性ロジック領域13は、不揮発性ロジックが形成される平面視矩形状のコア領域13Aと、コア領域13Aを取り囲むように形成された平面視矩形環状のガードリング領域13Bと、コア領域13Aとガードリング領域13Bとの間の平面視矩形環状の領域(以下、「隙間領域13C」という。)とを含む。
図4は、不揮発性ロジックの電気的構成を示すブロック図である。
コア領域13Aには、複数の不揮発性ロジックセル21が形成されている。複数の不揮発性ロジックセル21は、平面視において、縦方向および横方向に間隔をおいて、略マトリクス状に配置されている。不揮発性ロジックセル21は、揮発性記憶部23としてのフリップフロップ(図示略)と、不揮発性記憶部24に含まれる強誘電体キャパシタ25(強誘電体実キャパシタ。図6参照。)およびMOSFET26(図6参照)を含んでいる。以下、不揮発性記憶部24に含まれる強誘電体キャパシタ25を、「実キャパシタ25」ということにする。
シールドリング300は、図7Aおよび図7Bに示すように、平面視において矩形環状に形成された第1シールドリング310と、第1シールドリング310を取り囲むように配置された第2シールドリング330とを含んでいる。
図6は、図5のVI−VI線に沿う模式的な断面図である。つまり、図6は、不揮発性ロジック領域13におけるガードリング領域13Bと隙間領域13Cと1つの不揮発性ロジックセル21とを含む領域の模式的な断面図である。図7Aは、図5のVIIA−VIIA線に沿う模式的な断面図である。つまり、図7Aは、不揮発性ロジック領域13とスクライブ領域3との境界部付近の模式的な断面図である。図7Bは、主としてシールドリングを示す、図7Aの部分拡大断面図である。
機能素子領域2の周縁部(ガードリング領域13Bにおけるスクライブ領域3に沿う領域を含む)において、半導体基板40の表層部には、平面視矩形環状のp型拡散領域301(図7Aおよび図7B参照)が形成されている。ガードリング領域13Bにおけるスクライブ領域3に沿う領域においては、p型拡散領域301は、n型拡散領域49の外側(スクライブ領域3側)に配置されている。
実キャパシタ25は、第1層間絶縁膜50上において、平面視で少なくともその一部がドレイン領域42またはソース領域43(この実施形態ではドレイン領域42)と重なる位置に形成されている。実キャパシタ25は、下部電極51、強誘電体膜52および上部電極53を第1層間絶縁膜50上にこの順に積層した構造を有している。言い換えれば、実キャパシタ25は、下部電極51とこれに対向する上部電極53との間に強誘電体膜52を介在させた積層構造を有している。実キャパシタ25は、この実施形態では、平面視円形状(または方形状)でかつ断面視台形状(メサ形状)に形成されている。
図7Aおよび図7Bを参照して、第4ダミーキャパシタ34は、スクライブ領域3内において、第1層間絶縁膜50上に形成されている。第5ダミーキャパシタ312は、ガードリング領域13B内(正確には機能素子領域2の周縁部)において、第1層間絶縁膜50上に形成されている。第1〜第5ダミーキャパシタ31,32,33,34,312の層構造は、実キャパシタ25の層構造と同じである。つまり、これらのダミーキャパシタ31,32,33,34,312は、下部電極51、強誘電体膜52および上部電極53を第1層間絶縁膜50上にこの順に積層した構造を有している。
実キャパシタ25、ダミーキャパシタ31,32,33,34,312および第1層間絶縁膜50の各表面は、強誘電体膜52の水素還元による特性劣化を防止するための水素バリア膜56によって被覆されている。水素バリア膜56は、例えば、Al2O3からなる。水素バリア膜56上には、第2層間絶縁膜57が積層されている。第2層間絶縁膜57は、例えば、SiO2からなる。
ドレイン領域42と実キャパシタ25の下部電極51との間には、第1層間絶縁膜50を貫通する第1コンタクトホール65が形成されている。第1コンタクトホール65の側面およびドレイン領域42の第1コンタクトホール65に臨む部分上には、バリアメタル66が形成されている。バリアメタル66は、例えば、TiNからなる。第1コンタクトプラグ61は、バリアメタル66を介して、第1コンタクトホール65に埋設されている。第1コンタクトプラグ61は、例えば、W(タングステン)からなる。
具体的には、実キャパシタ25の上部電極53の上方には、第1ビアホール85が形成されている。第1ビアホール85は、第2層間絶縁膜57を貫通し、水素バリア膜56をさらに貫通して、実キャパシタ25の上部電極53の電極上層55の途中部に達している。第1ビアホール85の側面および電極上層55の第1ビアホール85に臨む部分上には、バリアメタル86が形成されている。バリアメタル86は、例えば、TiNからなる。第1ビアプラグ81は、バリアメタル86を介して、第1ビアホール85に埋設されている。第1ビアプラグ81は、例えば、W(タングステン)からなる。
具体的には、第3コンタクトプラグ63の上方には、第3ビアホール89が形成されている。第3ビアホール89は、第2層間絶縁膜57を貫通し、水素バリア膜56をさらに貫通して、第3コンタクトプラグ63に達している。第3ビアホール89の側面および第3コンタクトプラグ63の第3ビアホール89に臨む部分上には、バリアメタル90が形成されている。バリアメタル90は、バリアメタル86と同じ材料からなる。第3ビアプラグ83は、バリアメタル90を介して、第3ビアホール89に埋設されている。第3ビアプラグ83は、第1ビアプラグ81と同じ材料からなる。
具体的には、第5ダミーキャパシタ312の上部電極53の上方には、第7ビアホール319が形成されている。第7ビアホール319は、第2層間絶縁膜57を貫通し、水素バリア膜56をさらに貫通して、第5ダミーキャパシタ312の上部電極53の電極上層55の途中部に達している。第7ビアホール319の側面および電極上層55の第7ビアホール319に臨む部分上には、バリアメタル320が形成されている。バリアメタル320は、バリアメタル86と同じ材料からなる。第7ビアプラグ313は、バリアメタル320を介して、第7ビアホール319に埋設されている。第7ビアプラグ313は、第1ビアプラグ81と同じ材料からなる。
ガードリング領域13Bにおいて、第2層間絶縁膜57上には、第3ビアプラグ83に電気的に接続される平面視矩形環状のグランドライン95と、第4ビアプラグ84に電気的に接続される平面視矩形環状の電源ライン96とが形成されている。
第2層間絶縁膜57上には、配線93,94とグランドライン95と電源ライン96とシールド配線314とを覆う、第3層間絶縁膜97が形成されている。第3層間絶縁膜97は、例えば、SiO2からなる。
具体的には、第1配線93の上方には、第5ビアホール100が形成されている。第5ビアホール100は、第3層間絶縁膜97を貫通して、第1配線93に達している。第5ビアホール100の側面および第1配線93の第5ビアホール100に臨む部分上には、バリアメタル101が形成されている。バリアメタル101は、例えば、TiNからなる。第5ビアプラグ98は、バリアメタル101を介して、第5ビアホール100に埋設されている。第5ビアプラグ98は、例えば、W(タングステン)からなる。
ガードリング領域13B(正確には、機能素子領域2の周縁部)において、第3層間絶縁膜97上には、第9ビアプラグ315および第10ビアプラグ333に電気的に接続される第2共通シールド配線316が形成されている。
以下において、層構造が実キャパシタ25の層構造と同じでありかつ不揮発性記憶素子として使用されない強誘電体ダミーキャパシタと、当該強誘電体ダミーキャパシタの下部電極を半導体基板40に電気的に接続するプラグとを有する構造を、「実キャパシタ酸化抑制構造」ということにする。なお、強誘電体ダミーキャパシタの上部電極は、オープンであってもよいし、電源またはGNDに接続されてもよい。
この後、図8Bおよび図9Bに示すように、スパッタ法により、第1層間絶縁膜50上に、実キャパシタ25およびダミーキャバシタ31〜34,312の下部電極51の材料からなる下部電極材料膜201が成膜される。さらに、MOCVD法により、下部電極材料膜201上に、強誘電体膜52の材料であるPZTからなるPZT膜202が成膜される。
そして、電極上層55をマスクとするドライエッチングにより、積層膜203、PZT膜202および下部電極材料膜201における電極上層55から露出する部分が順に除去される。このとき、適当なタイミングで反応ガス(エッチャント)を切り換えることにより、積層膜203、PZT膜202および下部電極材料膜201が連続的にエッチングされる。
前述の材料膜201〜204をパターニングするためのエッチング工程(図8Dおよび図9Dの工程ならびに図8Eおよび図9Eの工程)およびキャパシタ25,31〜34,312上に、水素バリア膜56を成膜する工程(図8Fおよび図9Fの工程)においては、チャンバー内にプラズマが発生する。本発明者は、実キャパシタ25の下部電極51と第1コンタクトプラグ61との間の界面抵抗が大きくなる原因がこれらの工程で発生するプラズマに起因することを突き止めた。
この場合、まず、深さが大きい第2ビアホール87、第3ビアホール89、第4ビアホール91および第8ビアホール336を形成し、その後に深さが小さい第1ビアホール85および第7ビアホール319を形成するようにしてもよい。
特に、グランドライン35および電源ライン36を有するガードリング20には、多数のビアホール89,91が形成されているので、これらのビアホール89,91の内面のバリアメタル材料膜205の改質処理時には、多くの水素がこれらのビアホール89,91を通って第1層間絶縁膜50内に侵入する。この実施形態では、ガードリング領域13Bの内側の隙間領域13Cにも、多数の第3ダミーキャパシタ33が形成されている。このため、ビアホール89,91を通って第1層間絶縁膜50内に侵入した水素を、これらのダミーキャパシタ33によって効率よく吸収することができる。これにより、実キャパシタ25の特性劣化をより効果的に抑制できる。
次に、図8Nおよび図9Nに示すように、フォトリソグラフィおよびエッチングにより、第3層間絶縁膜97に第5ビアホール100、第6ビアホール102、第9ビアホール321および第10ビアホール338が形成される。
キャパシタ材料膜における実キャパシタ25の形成予定領域の下部電極材料膜201または実キャパシタ25の下部電極51は、第1コンタクトプラグ61を介して半導体基板40のドレイン領域42に電気的に接続されている。このため、前記工程でプラズマが発生すると、プラズマ中の荷電粒子が、実キャパシタ25の形成予定領域の下部電極材料膜201または実キャパシタ25の下部電極51、第1コンタクトプラグ61および半導体基板40からなる第1導電経路を通過する。これにより、第1導電経路に大きな電流が流れるので、実キャパシタ25の下部電極51と第1コンタクトプラグ61との接続部が酸化し、実キャパシタ25の下部電極51と第1コンタクトプラグ61との間の界面抵抗が大きくなる。酸化の度合は、前記第1導電経路に流れる電流が大きいほど高くなる。
前述の実施形態では、半導体装置4の製造過程、特に、ビアホール(主として第1〜第4、第7および第8ビアホール85,87,89,91,319,336)内へのバリアメタル66,68,70,72,320,337の成膜後の改質処理において、水素(水素プラズマ)が使用される。特に、ガードリング20は、グランドライン35および電源ライン36を備えているため、多数のビアホール89,91を含んでいる。このため、これらのビアホール89,91の内面のバリアメタル材料膜の改質処理時には、多くの水素がこれらのビアホール89,91を通って第1層間絶縁膜50内に侵入する。
以上、この発明の実施形態について説明したが、この発明はさらに他の実施形態で実施することもできる。
図11の第1シールドリング310は、前述の実施形態の第1シールドリング310(図7B参照)と同じ構造を有し、図11の第2シールドリング330は、図10の第2シールドリング330と同じ構造を有している。
前述の実施形態では、第1共通シールド配線314および第2通シールド配線316は第1シールドリング310および第2シールドリング330で共通な配線とされている。しかし、第1共通シールド配線314を、第1シールドリング310用と第2シールドリング330用に分離して設けてもよい。同様に、第2共通シールド配線316を、第1シールドリング310用と第2シールドリング330用に分離して設けてもよい。
前述の実施形態では、実キャパシタ酸化抑制構造は、シールドリングの一部として形成されているが、実キャパシタ酸化抑制構造をシールドリングとは別に形成するようにしてもよい。
また、前述の実施形態では、不揮発性ロジック領域13内には、平面視において、不揮発性ロジックセル21の周囲に第2および第3ダミーキャパシタ32,33が形成されているが、第2および第3ダミーキャパシタ32,33は形成されていなくてもよい。
前述の実施形態では、不揮発性ロジックを有する半導体装置に、本願発明を適用した場合について説明したが、本願発明は強誘電体メモリ(FeRAM)を有する半導体装置にも適用することができる。強誘電体メモリは、複数のメモリセルを含んでいる。各メモリセルは、例えば、特開2014−103426号公報に開示されているように、電界効果トランジスタと強誘電体キャパシタとから構成されている。この場合には、強誘電体メモリのメモリセルが、本願発明の不揮発性記憶素子の一例となる。
2 機能素子領域
3 スクライブ領域
4 半導体装置
11 パワートランジスタ領域
12 アナログ回路領域
13 不揮発性ロジック領域
13A コア領域
13B ガードリング領域
13C 隙間領域
14 ロジック領域
15 SRAM領域
16 CPU領域
17 ROM領域
20 ガードリング
21 不揮発性ロジックセル(不揮発性記憶素子)
22 制御回路
23 揮発性記憶部
24 不揮発性記憶部
25 強誘電体キャパシタ(実キャパシタ)
26 MOSFET
31 第1ダミーキャパシタ
32 第2ダミーキャパシタ
33 第3ダミーキャパシタ
34 第4ダミーキャパシタ
40 半導体基板
42 ドレイン領域
43 ソース領域
44 n−型高抵抗領域
45 ゲート絶縁膜
46 ゲート電極
47 サイドウォール
48 p型拡散領域
49 n型拡散領域
50 第1層間絶縁膜
51 下部電極
52 強誘電体膜
53 上部電極
54 電極下層
55 電極上層
56 水素バリア膜
57 第2層間絶縁膜
61〜64 第1〜第4コンタクトプラグ
65 第1コンタクトホール
66 バリアメタル
67 第2コンタクトホール
68 バリアメタル
69 第3コンタクトホール
70 バリアメタル
71 第4コンタクトホール
72 バリアメタル
81〜84 第1〜第4ビアプラグ
85 第1ビアホール
86 バリアメタル
87 第2ビアホール
88 バリアメタル
89 第3ビアホール
90 バリアメタル
91 第4ビアホール
92 バリアメタル
93 第1配線
94 第2配線
95 グランドライン
96 電源ライン
97 第3層間絶縁膜
98 第5ビアプラグ
99 第6ビアプラグ
100 第5ビアホール
101 バリアメタル
102 第6ビアホール
103 バリアメタル
104 第3配線
105 第4配線
300 シールドリング
301 p型拡散領域
310 第1シールドリング
311 第5コンタクトプラグ
312 第5ダミーキャパシタ
313 第7ビアプラグ
314 第1共通シールド配線
315 第9ビアプラグ
316 第2共通シールド配線
317 第5コンタクトホール
318 バリアメタル
319 第7ビアホール
320 バリアメタル
321 第9ビアホール
322 バリアメタル
330 第2シールドリング
331 第6コンタクトプラグ
332 第8ビアプラグ
314 第1共通シールド配線
333 第10ビアプラグ
316 第2共通シールド配線
334 第6コンタクトホール
335 バリアメタル
336 第8ビアホール
337 バリアメタル
338 第10ビアホール
339 バリアメタル
Claims (19)
- 半導体基板と、前記半導体基板上に形成された層間絶縁膜と、前記層間絶縁膜上に形成された強誘電体実キャパシタを含む不揮発性記憶素子とを備え、前記強誘電体実キャパシタは、前記層間絶縁膜上に形成された第1下部電極、前記第1下部電極上に形成された第1の強誘電体膜および前記第1強誘電体膜上に形成された第1上部電極とを含み、前記強誘電体実キャパシタの第1下部電極が前記層間絶縁膜を貫通する第1プラグを介して前記半導体基板に電気的に接続されている、半導体装置であって、
前記層間絶縁膜上に形成された第2下部電極、前記第2下部電極上に形成された第2強誘電体膜および前記第2強誘電体膜上に形成された第2上部電極を含みかつ不揮発性記憶素子として使用されない強誘電体ダミーキャパシタと、前記層間絶縁膜を貫通しかつ前記第2下部電極を前記半導体基板に電気的に接続するための第2プラグとを有する実キャパシタ酸化抑制構造が形成されている、半導体装置。 - 前記不揮発性記憶素子は、前記半導体基板に形成されたトランジスタを含み、
前記強誘電体実キャパシタの第1下部電極は、前記トランジタに接続されており、
前記誘電体ダミーキャパシタの第2下部電極はトランジスタに接続されていない、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記実キャパシタ酸化抑制構造が平面視環状または略環状に形成されている、請求項1または2に記載の半導体装置。
- 平面視において前記半導体装置の周縁部に、水分の侵入を防止するための平面視環状のシールリングが形成されており、
前記実キャパシタ酸化抑制構造は、前記シールリングの一部として形成されている、請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記実キャパシタ酸化抑制構造は、平面視環状の前記強誘電体ダミーキャパシタと平面視環状の前記第2プラグとを含む、請求項4に記載の導体装置。
- 前記シールリングは、平面視環状の第1シールリングと、前記第1シールリングを取り囲むように形成された平面視環状の第2シールリングとを含み、
前記実キャパシタ酸化抑制構造は、前記第1シールリングの一部として形成されている、請求項4に記載の半導体装置。 - 前記第1シールリングの一部を構成する前記実キャパシタ酸化抑制構造は、平面視環状の前記強誘電体ダミーキャパシタと平面視環状の前記第2プラグとを含む、請求項6に記載の導体装置。
- 前記シールリングは、平面視環状の第1シールリングと、前記第1シールリングを取り囲むように形成された平面視環状の第2シールリングとを含み、
前記実キャパシタ酸化抑制構造は、前記第2シールリングの一部として形成されている、請求項4に記載の半導体装置。 - 前記第2シールリングの一部を構成する前記実キャパシタ酸化抑制構造は、平面視環状の前記強誘電体ダミーキャパシタと平面視環状の前記第2プラグとを含む、請求項8に記載の導体装置。
- 前記シールリングは、平面視環状の第1シールリングと、前記第1シールリングを取り囲むように形成された平面視環状の第2シールリングとを含み、
前記実キャパシタ酸化抑制構造は、前記第1シールリングの一部として形成されているとともに、前記第2シールリングの一部として形成されている、請求項4に記載の半導体装置。 - 前記第1シールリングの一部を構成する前記実キャパシタ酸化抑制構造は、平面視環状の前記強誘電体ダミーキャパシタと平面視環状の前記第2プラグとを含み、
前記第2シールリングの一部を構成する前記実キャパシタ酸化抑制構造は、平面視環状の前記強誘電体ダミーキャパシタと平面視環状の前記第2プラグとを含む、請求項10に記載の導体装置。 - 前記層間絶縁膜を第1層間絶縁膜とすると、
前記強誘電体実キャパシタ、前記強誘電体ダミーキャパシタおよび前記第1層間絶縁膜の表面を覆う水素バリア膜と、
前記水素バリア膜上に形成された第2層間絶縁膜とをさらに含み、
前記シールリングは、
前記第2層間絶縁膜上に形成された平面視環状のシールド配線と、
前記第2層間絶縁膜に埋設され、前記実キャパシタ酸化抑制構造の上部電極と前記シールド配線とを電気的に接続する平面視環状のシールドプラグとをさらに含む、請求項5に記載の導体装置。 - 前記層間絶縁膜を第1層間絶縁膜とすると、
前記強誘電体実キャパシタ、前記強誘電体ダミーキャパシタおよび前記第1層間絶縁膜の表面を覆う水素バリア膜と、
前記水素バリア膜上に形成された第2層間絶縁膜とをさらに含み、
前記第1シールリングは、
前記第2層間絶縁膜上に形成された平面視環状のシールド配線と、
前記第2層間絶縁膜に埋設され、前記実キャパシタ酸化抑制構造の上部電極と前記シールド配線とを電気的に接続する平面視環状のシールドプラグとをさらに含む、請求項7に記載の導体装置。 - 前記層間絶縁膜を第1層間絶縁膜とすると、
前記強誘電体実キャパシタ、前記強誘電体ダミーキャパシタおよび前記第1層間絶縁膜の表面を覆う水素バリア膜と、
前記水素バリア膜上に形成された第2層間絶縁膜とをさらに含み、
前記第2シールリングは、
前記第2層間絶縁膜上に形成された平面視環状のシールド配線と、
前記第2層間絶縁膜に埋設され、前記実キャパシタ酸化抑制構造の上部電極と前記シールド配線とを電気的に接続する平面視環状のシールドプラグとをさらに含む、請求項9に記載の導体装置。 - 前記層間絶縁膜を第1層間絶縁膜とすると、
前記強誘電体実キャパシタ、前記強誘電体ダミーキャパシタおよび前記第1層間絶縁膜の表面を覆う水素バリア膜と、
前記水素バリア膜上に形成された第2層間絶縁膜とをさらに含み、
前記第1シールリングは、
前記第2層間絶縁膜上に形成された平面視環状の第1シールド配線と、
前記第2層間絶縁膜に埋設され、前記実キャパシタ酸化抑制構造の上部電極と前記第1シールド配線とを電気的に接続する平面視環状の第1シールドプラグとをさらに含み、
前記第2シールリングは、
前記第2層間絶縁膜上に形成された平面視環状の第2シールド配線と、
前記第2層間絶縁膜に埋設され、前記実キャパシタ酸化抑制構造の上部電極と前記第2シールド配線とを電気的に接続する平面視環状の第2シールドプラグとをさらに含む、請求項9に記載の導体装置。 - 前記半導体基板が第1導電型であり、
前記第1プラグは、前記半導体基板の表層部に形成された第2導電型拡散領域に電気的に接続されており、
前記第2プラグは、前記半導体基板の表層部に形成された第1導電型拡散領域に電気的に接続されている、請求項1〜15のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記第1導電型がp型であり、前記第2導電型がn型である、請求項16に記載の半導体装置。
- 前記不揮発性記憶素子は、揮発性記憶部と、前記強誘電体実キャパシタを含みかつ前記揮発性記憶部のデータを保持するための不揮発性記憶部とを含む不揮発性ロジックセルである、請求項1〜17のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記不揮発性記憶素子は、強誘電体メモリにおけるメモリセルである、請求項1〜17のいずれか一項に記載の半導体装置。
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