JP2020019982A - 金微粒子の作製方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】より簡便により大きな金微粒子を高密度に形成する。【解決手段】まず第1工程S101で、p型のIII−V族化合物半導体から構成された半導体層を用意する。半導体層は、III−V族化合物半導体の結晶から構成すればよい。次に、第2工程S102で、上述した半導体層の表面に、無電界めっき法により金を成長させて金の微粒子を形成する。この工程では、例えば、無電界金めっき液に半導体層を浸漬するなど、半導体層の表面に金の無電界めっき液を接触させる。また、このめっき処理においては、無電界金めっき液の液温を、室温(20−30℃程度)として行うとよい。【選択図】 図1
Description
本発明は、VLS(Vapor-liquid-solid)成長法によるナノワイヤの形成で用いられる金微粒子を作製する金微粒子の作製方法に関する。
径がナノメータスケールのIII−V族半導体からなるナノワイヤの、太陽電池や発光素子などの光デバイスへの応用が検討されている。このナノワイヤは、触媒となる金の微粒子を用いた有機金属気相成長法による結晶成長によって、ボトムアップ的に作製されている。このナノワイヤ製造用途においては、100nm以上の粒子径の大きな金微粒子を、107cm-2以上の高い密度で配置することが重要となる。
ナノワイヤで太陽電池を構成する場合、光を効率的に吸収するためには、例えばInPナノワイヤでは、長さ2000nmで、最適な径は180nm、最適な間隔は360nmと計算されている(非特許文献1参照)。このように、太陽電池にナノワイヤを提供させる場合、径の大きなナノワイヤを高密度で成長させる技術が重要となる。また、ナノワイヤの発光素子においても、径が大きいほど光学的利得媒体の体積が大きくなり、発光強度は大きくなる。
上述したナノワイヤの形成で用いられる金微粒子の作製方法としては、例えば、蒸着により基板の上に金薄膜を形成し、これを加熱することで自己整合的に金微粒子を形成する技術がある。また、金微粒子のコロイド溶液を用いる方法もある。
金の薄膜を形成してから加熱する方法では、高温の加熱処理において、オストワルドライプニングによって、大きい微粒子が生成されるが、大きな粒子同士は、互いに離れた位置に形成される。このため、この方法では、大きな微粒子を高い密度で配置することは困難である[図5参照]。
また、金微粒子のコロイド溶液を用いる方法では、図6に示すように、コロイド溶液の濃度は、粒子径が大きいほど低くなる。このため、この方法においても、100nm径以上の大きな微粒子を、高密度に基板に分散させることは難しい。
J. Kupec et al., "Light absorption and emission in nanowire array solar cells", Optics Express, vol. 18, no. 26, pp. 27589-27605, 2010.
上述したように、ナノワイヤの太陽電池や発光素子などの光デバイスへの応用においては、より太いナノワイヤを形成することが重要となり、このためには、より大きな金微粒子を高密度に形成することが必要となる。しかしながら、前述した金微粒子の作製技術では、大きな粒子径の金微粒子を高密度に形成することが難しい。これに対し、電子線リソグラフィーを用いて金薄膜をパターニングすることで、大きな粒子径の金微粒子を高密度に形成することは可能である。しかしながら、リソグラフィー技術を用いたパターニングによる金微粒子の作製では、作製に多くの時間を要するという問題がある。また、より短時間により多くの素子を作製するためには、大面積の基板上に、より多くの素子を形成することが重要となるが、よく知られているように、電子線リソグラフィーの技術では、大面積化が容易ではない。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、より簡便により大きな金微粒子を高密度に形成することを目的とする。
本発明に係る金微粒子の作製方法は、p型のIII−V族化合物半導体から構成された半導体層を用意する第1工程と、半導体層の表面に、無電解めっき法により金を成長させて金の微粒子を形成する第2工程とを備える。第2工程では、半導体層の表面に金の無電解めっき液を接触させる。
上記金微粒子の作製方法において、半導体層は、III−V族化合物半導体の結晶から構成すればよい。なお、半導体層は、III−V族化合物半導体から構成された基板であってもよく、半導体層は、基板の上に形成されているものであってもよい。
以上説明したように、本発明によれば、p型とした化合物半導体層の表面に、金の無電解めっき法により金をめっき成長させるようにしたので、より簡便により大きな金微粒子を高密度に形成することができるという優れた効果が得られる。
以下、本発明の実施の形態おける金微粒子の作製方法について図1を参照して説明する。
まず第1工程S101で、p型のIII−V族化合物半導体から構成された半導体層を用意する。半導体層は、III−V族化合物半導体の結晶から構成すればよい。なお、半導体層は、III−V族化合物半導体から構成された基板であってもよく、半導体層は、基板の上に形成されているものであってもよい。
次に、第2工程S102で、上述した半導体層の表面に、無電解めっき法により金を成長させて金の微粒子を形成する。この工程では、例えば、無電解金めっき液に半導体層を浸漬するなど、半導体層の表面に金の無電解めっき液を接触させる。また、このめっき処理においては、無電解金めっき液の液温を、室温(20−30℃程度)として行うとよい。
上述した実施の形態における金微粒子の作製方法によれば、半導体層の表面に、粒子径100nm以上の金微粒子を107cm-2以上の密度で形成することができる。
よく知られているように、無電解金めっきの技術は、電気配線などで部分的に比較的厚く金を積層させるための技術であり、電解めっき法よりも扱いが容易である。無電解金めっきにより金微粒子を作製しようとする場合、金のめっき成長が起きやすくなるように、基板の上にリソグラフィー技術により、金の薄層を島状に形成しておく必要がある。また、一般的な条件で無電解金めっきを実施すると、金の析出速度が速いため、金の微粒子を分散配置させる用途には適していない。
これらのことに対し、本発明によれば、p型のIII−V族化合物半導体から構成された半導体層の表面に、無電解金めっきを施すようにしたので、金の薄膜をあらかじめ形成することなく、粒子径100nm以上のより大きな金微粒子が、高密度に形成できるようになる。
発明者らの鋭意の検討により、半導体表面では、無電解金めっきにより、適度に間隔をおいて大きめの金微粒子が形成されることが見いだされた。また、無電解金めっき液に漬ける時間によって、金微粒子の径を制御できることが分かった。無電解金めっき法では、通常、無電解金めっき液の液温を50℃以上として行うが、20−30℃程度の室温で行うことによって析出速度を遅くできることが分かった。また、半導体層は、溶液中で溶出しやすいp型において金微粒子がめっき成長し、n型ではめっき成長(析出)が確認されなかった。n型の半導体は、無電解金めっきに溶解しにくいため、金イオンとの酸化還元反応が起こりにくいため、めっきの成長が起きにくいものと考えられる。
以下、実施例を用いてより詳細に説明する。
[実施例1]
はじめに、実施例1について説明する。無電解金めっき液として、関東化学株式会社製の製品名「Aurexel MD」を用いた。水500mlに、「Aurexel MD-101A」200ml、亜硝酸金(I)Na水溶液(小島化学薬品製品、Au10g/100ml)40ml、「Aurexel MD-101C」1ml、「Aurexel MD-101B」200mlを加え、これらを攪拌し、さらに水を加えて全量を1リットルとし、実施例1における無電解金めっき液とした。この無電解金めっき液は、シアンを含まず、中性領域(pH7.2)50℃程度の低温で数μmの無電解金めっきが可能である。
はじめに、実施例1について説明する。無電解金めっき液として、関東化学株式会社製の製品名「Aurexel MD」を用いた。水500mlに、「Aurexel MD-101A」200ml、亜硝酸金(I)Na水溶液(小島化学薬品製品、Au10g/100ml)40ml、「Aurexel MD-101C」1ml、「Aurexel MD-101B」200mlを加え、これらを攪拌し、さらに水を加えて全量を1リットルとし、実施例1における無電解金めっき液とした。この無電解金めっき液は、シアンを含まず、中性領域(pH7.2)50℃程度の低温で数μmの無電解金めっきが可能である。
また、半導体層として、p型InP(111)B基板と、p型GaAs(111)B基板とを用意した。いずれも、Znをドープすることで、p型としている。また、いずれの基板も、平面視で1.5cm角の大きさとした。
実施例1の無電解めっき処理では、ビーカーに上述した無電解金めっき液20mlを収容し、この中にp型InP(111)B基板およびp型GaAs(111)B基板を浸漬し、ビーカーを30℃の湯浴に5分間浸した。この無電解めっき処理をした結果を図2A、図2Bに示す。図2Aは、p型InP(111)B基板の表面を走査電子顕微鏡で観察した結果を示す写真である。図2Bは、p型GaAs(111)B基板の表面を走査電子顕微鏡で観察した結果を示す写真である。図2A、図2Bに示すように、基板の表面に100−200nm径の金微粒子が形成されていることがわかる。
上述した金微粒子を用い、よく知られたVLS(vapor-liquid-solid)によりInPのナノワイヤを作製(成長)した。ナノワイヤの成長は、有機金属気相成長(MOCVD)装置で行った。処理条件としては、成長温度を420℃とした。また、Inの原料ガスは、TMIn(trimethylindium)とし、4μmol/minで供給した。また、Pの原料ガスは、TBP(tertiarybutyl phosphine)とし、179μmol/minで供給した。
また、上述した原料ガスに加え、ナノワイヤ延在方向(軸方向)に垂直な径方向の成長を制御(抑制)し、軸方向に直径が均一なナノワイヤを形成するために、成長雰囲気にTBCl(tertiarybutyl chloride)を7.5μmol/minで供給した。また、p型ドーパントとしてDEZn(diethylzinc)、およびn型ドーパントとしてDTBS(ditertiarybutyl sulphide)を、順次に供給することで、ダイオード(pn接合)構造を形成した。成長時間は25分とした。
実際に作製したナノワイヤの走査電子顕微鏡写真を図3に示す。高密度にInPナノワイヤが成長されていることが確認される。
図4に、p−InP(111)B基板の表面に、上述した無電解金めっき液を用い、液温を24℃として金微粒子をめっき成長させたときの、めっき処理時間と、形成される金微粒子の平均径、径の最大値、最小値の変化を示す。めっき処理時間を長くすることによって、大きな径の金微粒子が形成されることが分かった。
[実施例2]
次に、実施例2について説明する。実施例2では、InP(111)B基板の上に成長した層厚100nmのp−GaAs層の表面に、無電解金めっきにより金微粒子を形成した。なお、InP(111)B基板は、Sドープによりn型としている。また、p−GaAs層は、Znをドープしている。
次に、実施例2について説明する。実施例2では、InP(111)B基板の上に成長した層厚100nmのp−GaAs層の表面に、無電解金めっきにより金微粒子を形成した。なお、InP(111)B基板は、Sドープによりn型としている。また、p−GaAs層は、Znをドープしている。
また、実施例2においても、実施例1と同じ無電解めっき液を用いた。また、液温を24℃とし、処理時間を5分とし、p−GaAs層の表面に金微粒子をめっき成長させた。この結果、p−GaAs層の表面に、100−300nm径の金微粒子が、108cm-2程度の密度で分散して形成されているが確認された。
以上に説明したように、本発明によれば、p型とした化合物半導体層の表面に、金の無電解めっき法により金をめっき成長させるようにしたので、より簡便により大きな金微粒子を高密度に形成することができる。本発明によれば、めっきによる成長で、自己整合的に金微粒子が形成できる。本発明によれば、高効率なナノワイヤ太陽電池やナノワイヤLED、太陽光水分解、人工光合成素子を実現することが可能となる。本発明によれば、リソグラフィー技術などを用いる必要が無く、安価に作製可能である。
なお、本発明は以上に説明した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で、当分野において通常の知識を有する者により、多くの変形および組み合わせが実施可能であることは明白である。
Claims (5)
- p型のIII−V族化合物半導体から構成された半導体層を用意する第1工程と、
前記半導体層の表面に、無電解めっき法により金を成長させて金の微粒子を形成する第2工程と
を備えることを特徴とする金微粒子の作製方法。 - 請求項1記載の金微粒子の作製方法において、
前記第2工程では、前記半導体層の表面に金の無電解めっき液を接触させることを特徴とする金微粒子の作製方法。 - 請求項1または2記載の金微粒子の作製方法において、
前記半導体層は、III−V族化合物半導体の結晶から構成することを特徴とする金微粒子の作製方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の金微粒子の作製方法において、
前記半導体層は、III−V族化合物半導体から構成された基板であることを特徴とする金微粒子の作製方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の金微粒子の作製方法において、
前記半導体層は、基板の上に形成されていることを特徴とする金微粒子の作製方法。
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