JP2020012477A - 流体移送用コネクタのプラグ、流体移送用コネクタのソケット及び流体移送用コネクタ並びに流体移送用コネクタの接続方法 - Google Patents

流体移送用コネクタのプラグ、流体移送用コネクタのソケット及び流体移送用コネクタ並びに流体移送用コネクタの接続方法 Download PDF

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Abstract

【課題】キーとキー溝とを容易に合わせることができる流体移送用コネクタのプラグを提供する。【解決手段】流体移送用コネクタのプラグ3は、基端部にホースが固定されると共に先端部がソケットに対して着脱可能に接続され、ホースに連通する流体流路が形成されたプラグ本体と、プラグ本体の外周に設けられ、プラグ本体に対して回動自在とされたキープレート30と、キープレート30に設けられた2以上のキー32とを備えている。他のキー32に対して、円周方向の幅が大きいメインキー32aを備えている。【選択図】図6

Description

本発明は、例えば半導体製造装置に用いる薬液やガスを移送するための流体移送用コネクタのプラグ、流体移送用コネクタのソケット及び流体移送用コネクタ並びに流体移送用コネクタの接続方法に関するものである。
例えば特許文献1に示されているように、半導体製造装置に用いる流体(薬液やガス)を移送するために流体移送用コネクタが用いられる。流体移送用コネクタは、例えば、流体を一時的に貯蔵するバッファタンクが設けられた建屋側に固定設置されたソケットと、タンクローリから導かれたホースの先端に固定されたプラグとを備えている。ソケットに対してプラグを接続することによって、タンクローリからバッファタンクへと流体が移送される。
特許第5046958号公報
半導体製造装置に用いる流体には様々な種類があり、それぞれの流体に対して個別にプラグとソケットとの組み合わせがある。この固有のプラグとソケットの組み合わせを間違えずに接続するために、誤接続防止用のキーとキー溝が用いられる。一般に、キー又はキー溝はプラグ及びソケットの所定の位置に固定して設ければその機能としては十分である。しかし、プラグに固定されるホースの剛性が大きい場合(例えばホース内径が25mm以上となる場合)には、キーとキー溝とを合わせるためにプラグをホースと共に回動する際に大きな力を要し、作業者に負担をかけてしまう。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、キーとキー溝とを容易に合わせることができる流体移送用コネクタのプラグ、流体移送用コネクタのソケット及び流体移送用コネクタ並びに流体移送用コネクタの接続方法を提供することを目的とする。
本発明の一態様に係る液体移送用コネクタのプラグは、基端部にホースが固定されると共に先端部がソケットに対して着脱可能に接続され、該ホースに連通する流体流路が形成されたプラグ本体と、前記プラグ本体の外周に設けられ、該プラグ本体に対して回動自在とされたリング体と、前記リング体に設けられた2以上のキー又はキー溝と、を備えている。
プラグをソケットに対して差し込むことによって接続し、流体流路がプラグとソケットとの間で連通される。
リング体には、2以上のキー又はキー溝が設けられている。2以上のキー又はキー溝を設けることによって、プラグとソケットとを1対1に対応させることができ、誤接続を防止することができる。
プラグ本体の外周にはプラグ本体に対して回動自在とされたリング体が設けられているので、キー又はキー溝をソケット側のキー溝又はキーと位置合わせする際に、プラグ本体を回動させる必要がなく、ひいてはプラグ本体に固定されたホースをも回動させる必要がない。これにより、キーとキー溝との位置合わせの際にホースと共にプラグを回動させるという重労働を作業者に課す必要がない。特に、タンクローリから薬液を移送する際に用いるホースは太い(例えば内径が25mm以上)ので作業が極めて容易となる。
リング体は、所定範囲の角度にわたって回動自在とされていれば良いが、360°にわたって回転自在としても良い。
さらに、本発明の一態様に係る液体移送用コネクタのプラグでは、他の前記キー又は前記キー溝に対して、前記回動方向の幅が大きいメインキー又はメインキー溝を備えている。
他よりも回動方向の幅が大きいキー又はキー溝を設けることによって、これをメインキー又はメインキー溝として認識することができる。これにより、メインキー又はメインキー溝を目印としてリング体の回動方向の位置合わせを容易に行うことができる。
また、本発明の一態様に係る液体移送用コネクタのソケットは、上記の流体移送用コネクタのプラグが接続され、該プラグの前記キー又は前記キー溝に対応するキー溝又はキーが設けられている。
上記のプラグのキー又はキー溝に対応するキー溝又はキーを設けることで、上記のプラグに対応したソケットが提供される。
また、本発明の一態様に係る液体移送用コネクタは、上記の流体移送用コネクタのプラグと、上記の流体移送用コネクタのソケットと、を備えている。
回動するリング体に設けたキー又はキー溝を用いることによってプラグとソケットを接続することとした。これにより、接続の際に容易にキーとキー溝とを合わせることによって誤接続を防止することができる流体移送用コネクタが提供される。
また、本発明の一態様に係る液体移送用コネクタの接続方法は、基端部にホースが固定されると共に先端部がソケットに対して着脱可能に接続され、該ホースに連通する流体流路が形成されたプラグ本体と、前記プラグ本体の外周に設けられ、該プラグ本体に対して回動自在とされたリング体と、前記リング体に設けられた2以上のキー又はキー溝と、を備えている流体移送用コネクタのプラグに対して、前記プラグの前記キー又は前記キー溝に対応するキー溝又はキーが設けられた前記ソケットを接続する流体移送用コネクタの接続方法であって、前記リング体を回動させて前記プラグの前記キー又は前記キー溝と、前記ソケットの前記キー溝又は前記キーとを合わせた後に、前記プラグと前記ソケットとを接続する。
リング体を回動させてキーとキー溝とを合わせた後にプラグとソケットを接続することとしたので、接続の際に容易にキーとキー溝とを合わせることができる。
さらに、本発明の一態様に係る液体移送用コネクタの接続方法では、前記プラグは、前記キー又は前記キー溝に対して、前記回動方向の幅が大きいメインキー又はメインキー溝を備え、前記ソケットは、前記メインキー又は前記メインキー溝に対応したメインキー溝又はメインキーを備え、前記プラグの前記メインキー又は前記メインキー溝が鉛直上方に位置するように前記リング体を回動させた後に、前記プラグと前記ソケットとを接続する。
他よりも回動方向の幅が大きいキー又はキー溝を設けることによって、これをメインキー又はメインキー溝として認識することができる。これにより、メインキー又はメインキー溝を目印としてリング体の回動方向の位置合わせを容易に行うことができる。また、メインキー又はメインキー溝を鉛直上方に位置させることで、作業者が上方からメインキー又はメインキー溝を容易に視認することができるので、作業者に負担を強いずに接続作業を行うことができる。
プラグ本体の外周にプラグ本体に対して回動自在とされたリング体を設け、リング体にキー又はキー溝を設けることとしたので、キーとキー溝とを容易に合わせることができる。
本発明の一実施形態に係る流体移送用コネクタを示した斜視図である。 蓋部を閉じた状態のソケットを示した斜視図である。 プラグのキープレートを回動させた状態を示した斜視図である。 プラグを示した縦断面図である。 スリーブがロックボールの移動を規制した状態を示した縦断面図である。 スリーブがロックボールの移動を解除した状態を示した縦断面図である。 図4のプラグに設けたキーの位置を示した正面図である。 キーの位置の使用例を示した正面図である。 プラグの先端をソケットの差込口に挿入した状態を示した斜視図である。 プラグのキーとソケットのキー溝とを合致させた状態を示した斜視図である。 プラグを第1前進位置まで変位させ、前洗浄工程を行っている状態を示した斜視図である。 プラグを第2前進位置まで変位させ、流体移送工程を行っている状態を示した斜視図である。 プラグを第1前進位置まで変位させ、後洗浄工程を行っている状態を示した斜視図である。
以下に、本発明にかかる実施形態について、図面を参照して説明する。
図1には、本実施形態にかかるプラグ3とソケット5が示されている。プラグ3及びソケット5は、流体移送用コネクタ1として用いられる。用いられる流体としては、例えば半導体製造装置に用いられる薬液やガスである。
ソケット5は、建屋の壁部に固定されており、後端に配管6の一端が接続されている。配管6の他端は、建屋内に設置されたバッファタンク(図示せず)に接続されている。ソケット5は、前端(図1において左端)にプラグ3を受け入れる差込口8を備えている。差込口8は、円筒状の差込筒体10の内部に形成されている。差込筒体10の先端には、一部が切り欠かれて形成された複数のキー溝11が設けられている。キー溝11は、差込筒体10の円周方向に所定の間隔をおいて複数設けられている。鉛直上方に位置するキー溝11aは、メインキー溝とされており、他のキー溝11よりも円周方向の幅が大きい溝となっている。
差込筒体10は、円周方向に離間して配置された複数のロックボール9(図4参照)を保持している。各ロックボール9は、プラグ3とソケット5とを固定する際に用いられる。
差込筒体10の後方(図1において右方)には、ソケット本体13が設けられている。ソケット本体13は、水平方向に中心軸線を有する円筒形状とされており、内部に流路の開閉を行う弁体13a(図5A等参照)を備えている。ソケット本体13の前後には、前側固定板15と後側固定板16が固定されている。両固定板15,16は、鉛直方向に立設された矩形の板状体とされている。両固定板15,16の下方には、設置面に対して固定するための脚部17が設けられている。両固定板15,16の四隅を貫通するように4つの支持軸体18が水平方向に延在して設けられている。
各支持軸体18の前端及び後端は、前側支持板20と後側支持板21に固定されている。両支持板20,21は、鉛直方向に立設された矩形の板状体とされている。前側支持板20は、前述した差込筒体10を支持している。
各支持軸体18には、シリンダ23が取り付けられている。各シリンダ23は、前側固定板15と後側固定板16との間に固定されている。各シリンダ23には、エア供給配管24が接続されており、エア供給配管24から供給された空気圧によって支持軸体18がシリンダ23に対して軸線方向に往復動するようになっている。これにより、ソケット本体13に対して、前側支持板20に支持された差込筒体10が接近離間するようになっている。
上方の一方の第1支持軸体18aには、蓋部27が取り付けられている。具体的には、第1支持軸体18aの中心軸線上に沿って貫通するように内部に蓋部駆動用軸体18a1が設けられている。蓋部駆動用軸体18a1の先端に蓋部27が固定されている。蓋部駆動用軸体18a1は、第1支持軸体18aの後端に設けられた第1アクチュエータ29aによって、前後方向(軸線方向)における往復動作と、軸線回りの回動動作が行われるようになっている。第1アクチュエータ29aの動作は、図示しない制御部によって行われる。
蓋部27は、流体移送用コネクタ1が未使用状態で、プラグ3がソケット5から取り外されているときに差込口8を塞ぐために用いられる。図2には、蓋部27を閉とした状態が示されている。蓋部27が差込口8を塞ぐことによって流体の汚染が防止されるだけでなく、非使用時に蓋部27で差込口8を塞ぐことで、蓋部27からソケット本体13内の弁体までの流路の汚染を防止することができる。
図1に示すように、上方の他方の第2支持軸体18bと、第2支持軸体18bに対して差込筒体10を挟んで対角線上に位置する第3支持軸体18cとには、スリーブ駆動板19が取り付けられている。具体的には、第2支持軸体18bの中心軸線上に沿って貫通するように設けられたスリーブ駆動板用軸体18b1の先端と、第3支持軸体18cの中心軸線上に沿って貫通するように設けられたスリーブ駆動板用軸体18c1の先端とに、スリーブ駆動板19が固定されている。各スリーブ駆動板用軸体18b1,18c1は、各支持軸体18b,18cの後端に設けられた第2アクチュエータ29b及び第3アクチュエータ29cによって、前後方向(軸線方向)に往復動されるようになっている。アクチュエータ29b,29cの動作は、図示しない制御部によって行われる。
スリーブ駆動板19は、中央に開口が形成された略菱形形状の板状体とされている。スリーブ駆動板19の開口には、円筒形状とされたスリーブ22の先端22aが挿入されている。スリーブ22は、図4の下半部に部分的に示すように、差込筒体10の外周を覆うように配置されており、差込筒体10に対して軸線方向に往復動する。スリーブ駆動板19は、ソケット5に対して固定されたプラグ3を外すときに、スリーブ22を変位させるように動作させられる。具体的には、図5Aに示すように、スリーブ22でロックボール9の半径方向外側の移動を規制した状態から、図5Bに示すように、スリーブ駆動板19を前側支持板20側(同図において右側)に引き寄せてスリーブ22を変位させることによってロックボール9の半径方向外側への移動を許容し、ロック解除を行う。ソケット5に対してプラグ3の固定するときは、プラグ3を差込筒体10に挿入する動作に応じて、ロックボール9を転動させて第1固定リング39の凹所39aに対して係合させることによって行われる。このとき、スリーブ駆動板19は動作しない。このように、ロックボール9やスリーブ22等によって、プラグ3を差込筒体10すなわちソケット5に対してロックするロック機構が構成される。
図1に示すように、第2支持軸体18bの下方かつ第3支持軸体18cの側方には、第4支持軸体18dが設けられている。第4支持軸体18dの内部からスリーブ22の内側にかけて、センサ線18d1が設けられている。センサ線18d1の先端には投光素子(例えばLED)と受光素子とが対とされたセンサ(図示せず)が設けられている。このセンサによって差込筒体10内にプラグ3が適正位置まで挿入されたか否かが検出される。センサの出力は、センサ線18d1を介して図示しない制御部へと伝送される。
制御部は、例えば、CPU(Central Processing Unit)、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)、及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体等から構成されている。そして、各種機能を実現するための一連の処理は、一例として、プログラムの形式で記憶媒体等に記憶されており、このプログラムをCPUがRAM等に読み出して、情報の加工・演算処理を実行することにより、各種機能が実現される。なお、プログラムは、ROMやその他の記憶媒体に予めインストールしておく形態や、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体に記憶された状態で提供される形態、有線又は無線による通信手段を介して配信される形態等が適用されてもよい。コンピュータ読み取り可能な記憶媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、CD−ROM、DVD−ROM、半導体メモリ等である。
図1に示すように、プラグ3は、略円筒形状とされており、内部に流体が流通する流路を備えている。プラグ3の基端部(図1において左方)には、ホース4の一端が固定されている。ホース4の他端は、タンクローリ(図示せず)に固定されている。ホース4の内径は、25mm以上、好ましくは50mm以上とされている。
プラグ3の後方位置には、キープレート(リング体)30が取り付けられている。キープレート30は、無端状のリング形状とされている。キープレート30の円周方向における複数ヶ所には、先端側(図1において右側)に突出するキー32が設けられている。複数あるキー32の内の1つは、他のキー32よりも円周方向における幅が大きいメインキー32aとされている。キープレート30は、プラグ本体3Aに対して軸線回りに相対的に回転可能となっている。これにより、図3に示すように、作業者は手動によってキープレート30を回動させてメインキー32aを所望の位置である鉛直上方位置に移動させることができる。
図4には、プラグ3の縦断面図が示されている。なお、図4の下半部には、ソケット5側のロックボール9、差込筒体10、スリーブ22及びスリーブ駆動板19が示されている。
プラグ本体3Aは、先端側(図4において右側)から、先端筒部33、中間筒部34及び基端筒部35を備えている。これら筒部33,34,35は、共通のプラグ中心軸線L1を有して接続され、内部に流体が流れる流路が形成される。
先端筒部33内には、弁体33aが収納されている。弁体33aは、先端筒部33の先端側に向かってバネ33bによって付勢されている。これにより、弁体33aは、先端筒部33の先端開口を閉じている。弁体33aの先端側の中央には、プラグ中心軸線L1上に沿って先端側に突出する突出部33cが設けられている。突出部33cは、プラグ3とソケット5とが接続された際に、対向するソケット5側の弁体の突出部(図示せず)に突き当たるようになっている。ソケット5側の弁体の突出部とプラグ3の突出部33cとが突き当たり、バネ33bによる付勢力に打ち勝つことで、弁体33aが基端部側に退避し、プラグ3内の流路が開とされる。
先端筒部33の基端側(左側)と中間筒部34の先端側とが付き合わされた状態でインローにて接続されている。先端筒部33と中間筒部34との間には、Oリング37が設けられており、液密又は気密に接続されている。
先端筒部33の基端側の外周を覆うように第1固定リング39が設けられている。第1固定リング39の外周には、凹所39aが円周方向にわたって設けられている。プラグ3をソケット5側に対して接続した際に、差込筒体10に保持されたロックボール9がスリーブ22によって半径方向内側へ移動して凹所39aに入り込むようになっている。ロックボール9が凹所39a内に嵌合することで、プラグ3がソケット5に対して固定されるようになっている。第1固定リング39の内周側には、段付きとされた肩部39bが形成されており、この肩部39bに対して先端筒部33の基端部に設けた大径部が係合するようになっている。第1固定リング39の基端側の内周には雌ネジ部39cが形成されている。
中間筒部34の外周の略全体を覆うように第2固定リング41が設けられている。第2固定リング41の内周側には、段付きとされた肩部41bが形成されており、この肩部41bに対して中間筒部34の先端側に設けた大径部が係合するようになっている。第2固定リング41の先端側の外周には雄ネジ部41cが形成されている。第2固定リング41の雄ネジ部41cと第1固定リング39の雌ネジ部39cとを螺合することによって、先端筒部33と中間筒部34とが互いに固定される。
第2固定リング41の雄ネジ部41cには基端部側から止めナット43が螺結されている。止めナット43は、第1固定リング39の基端側の端部に突き当たった位置にて固定されている。止めナット43は、キープレート30の内周側に収納されている。止めナット43の基端部は、キープレート30の基端部よりも先端側に位置している。これにより、止めナット43は、キープレート30の内部に収納されており、キープレート30の基端部側から突出していない。
止めナット43の先端側の外周は、基端側よりも小径とされている。これにより、止めナット43と第1固定リング39の基端側の端部との間に溝が形成され、この溝内にキープレート30の先端側の内周側に突出した小径部30aが挿入されている。小径部30aのプラグ中心軸線L1方向の寸法は、挿入される溝よりも小さくされている。このようにキープレート30の小径部30aを溝内に遊嵌することで、キープレート30が回転方向に自由に移動することができる一方で、プラグ中心軸線L1方向の位置が規制されている。
各キー32は、それぞれ、キープレート30に対してボルト45によって固定されている。ボルト45は、基端側から先端側に向かってキープレート30及びキー32に差し込まれている。なお、キー32の固定方法は、ボルト45による固定に限定されるものではなく、例えば、キープレート30とキー32とを一体的に形成しても良い。
中間筒部34の基端側と基端筒部35の先端側とが付き合わされた状態でインローにて接続されている。中間筒部34と基端筒部35との間には、Oリング47が設けられており、液密又は気密に接続されている。
第2固定リング41の基端側のフランジ41aが基端側フランジ49に対してボルト50によって固定されている。基端側フランジ49は、基端筒部35の基端部の外周に係合された状態で固定されている。ボルト50は、基端側フランジ49に対して螺結されている。これにより、基端筒部35は、中間筒部34及び先端筒部33に対して固定される。
基端側フランジ49の基端側の面には、複数の固定ボルト52が固定されている。各固定ボルト52は、ホース4を固定するためのホース用フランジ53を貫通し、先端にナット51が螺結される。これにより、ホース用フランジ53と基端側フランジ49とが固定されることで、プラグ3に対してホース4が固定される。
図6には、複数のキー32の円周方向における角度位置が示されている。同図では、3つのキー32が示されている。鉛直上方すなわち12時に位置にはメインキー32aがキープレート30に対して固定されている。なお、図6では、回転自在とされたキープレート30の円周方向の位置を、メインキー32aが12時の位置となるように位置させたときの状態である。
第1サブキー32bは、9時と12時との中間位置にキープレート30に対して固定されている。第2サブキー32cは、6時の位置にキープレート30に対して固定されている。メインキー32aの円周方向の幅は、第1サブキー32bや第2サブキー32cよりも大きくされており、約2倍の寸法となっている。第1サブキー32bと第2サブキー32cの円周方向の幅は、同等とされている。なお、第1サブキー32bと第2サブキー32cの幅方向の寸法を異ならせても良い。
メインキー32aに対する第1サブキー32b及び第2サブキー32cの角度位置は、用いられる流体の種類に応じて変更することができるようになっている。具体的には、図7に示すように、プラグ3及びソケット5の流体が流れる流路に面する部材の材質(金属、樹脂等)に応じて第1サブキー32bの位置を(A)〜(C)で選択できるようになっており、かつ、第2サブキー32cの位置を流体の種類(化学種)に応じて(01)から(15)まで選択できるようになっている。このように、プラグ3及びソケット5に用いる材質と流体の種類に応じて1つずつキー32の配置が選定できるようになっている。
次に、上述したプラグ3をソケット5に接続・解除する動作について説明する。
<接続前準備工程>
先ず、図1に示したように、ソケット5に対向した位置にプラグ3を位置される。そして、図3に示したように、キープレート30を作業者の手動によって回動させて、作業者が上方から視認しやすい位置、すなわちメインキー32aが鉛直上方に位置するように位置決めする。
<挿入工程>
キープレート30を位置決めした後に、図8に示すように、プラグ3の先端をソケット5の差込口8に挿入する。そのままプラグ3をソケット5に対して軸線方向に挿入していくと、図9に示すように、ソケット5の差込筒体10に設けたキー溝11にキー32が合致して嵌合される。キー32とキー溝11が合致して嵌合すると、ソケット5に対応したプラグ3であることが確認され誤接続が防止される。もし、キー32に対してキー溝11が合致していない場合には、プラグ3をソケット5に対して接続位置まで押し込むことができないので、作業者はプラグ3とソケット5とが対応していないことが分かる。
<ロック工程>
キー32とキー溝11が合致して差込筒体10に対してプラグ3が適正に挿入されると、プラグ3を差込筒体10に対して軸線方向に押し込む動作に応じて、図4の下半部に示すように、差込筒体10に保持された各ロックボール9がプラグ3の第1固定リング39に設けた凹所39a内に挿入され、プラグ3とソケット5との固定が行われる。
<前洗浄工程>
図10に示すように、図9の状態からプラグ3をソケット本体13側に引き寄せて第1前進位置P1まで変位させる。具体的には、制御部の指示により、エア供給配管24から各シリンダ23に供給した空気を用いて各支持軸体18を軸線方向に動作させることによって自動的に行う。そして、図10に矢印A1及びA2で示すように、プラグ3の先端とソケット5との間の空間を純水によって洗浄し、その後、窒素等の不活性ガスで乾燥を行う。この前洗浄工程では、プラグ3の弁体33a(図4参照)及びソケット5の弁体13aは閉位置となっており、それぞれの流路を遮断している。
<流体移送工程>
次に、図11に示すように、図10の第1前進位置P1から更にプラグ3をソケット本体13側に引き寄せて第2前進位置P2まで変位させる。具体的には、制御部の指示により、エア供給配管24から各シリンダ23に供給した空気を用いて各支持軸体18を軸線方向に動作させることによって自動的に行う。このように、プラグ3は、図9に示した初期位置P0に対して、図10の第1前進位置P1および図11の第2前進位置P2の2段階に分けて前進させられるようになっている。
第2前進位置P2までプラグ3が位置すると、プラグ3の弁体33aの突出部33c(図4参照)とソケット5の弁体13aの突出部とが突き当たり、互いを押圧して開位置まで変位させることによってそれぞれの流路を解放する。これにより、矢印A3及びA4で示すように、流体移送用コネクタ1を介してタンクローリから建屋内のバッファタンクへと流体を移送する。
<後洗浄工程>
流体の移送が終了すると、図12に示すように、図10と同様の第1前進位置P1まで後退させる。そして、図12に矢印A1及びA2で示すように、プラグ3の先端とソケット5との間の空間を純水によって洗浄し、その後、窒素等の不活性ガスで乾燥を行う。この後洗浄工程では、プラグ3の弁体33a(図4参照)及びソケット5の弁体13aは閉位置となっており、それぞれの流路を遮断している。
<取り外し工程>
図12に示した後洗浄工程が終了すると、図9に示した初期位置P0までプラグ3を後退させ、制御部の指示により、スリーブ駆動板19を動作させてスリーブ22をプラグ3の先端方向(図12において右方向)に移動させてロックボール9によるロックを解除した後に、プラグ3をソケット5から取り外す。
本実施形態によれば、以下の作用効果を奏する。
図6に示したように、キープレート30に、2以上のキー32を設けることによって、プラグ3とソケット5とを1対1に対応させることができ、誤接続を防止することができる。
図4に示したように、第1固定リング39の外周にプラグ本体3Aに対して回転自在とされたキープレート30を設けることとしたので、キー32をソケット5側のキー溝11と位置合わせする際に、プラグ本体3Aを回動させる必要がなく、ひいてはプラグ本体3Aに固定されたホース4をも回動させる必要がない。これにより、キー32とキー溝11との位置合わせの際にホース4と共にプラグ3を回動させるという重労働を作業者に課す必要がない。特に、タンクローリから薬液を移送する際に用いるホース4は太く(例えば内径が25mm以上)、剛性を有するので作業が極めて容易となる。
他よりも円周方向の幅が大きいキー32を設けることによって、これをメインキー32aとして認識することができる。これにより、メインキー32aを目印としてキープレート30の回動方向の位置合わせを容易に行うことができる。
メインキー32aを鉛直上方に位置させることで、作業者が上方からメインキー32aを容易に視認することができるので、作業者に負担を強いずに接続作業を行うことができる。
なお、本実施形態では、キープレート30を回転自在とすることとしたが、本発明はこれに限定されるものではなく、キー32の位置合わせに必要な角度範囲だけ回動できるようになっていればよく、360°未満の所定範囲の角度にわたって回動自在とされていれば良い。
また、本実施形態では、プラグ3側にキー32を設け、ソケット5側にキー溝11を設ける構成としたが、この逆、すなわちプラグ3側にキー溝を設け、ソケット5側にキーを設ける構成としても良い。
また、移送する流体としては、ホース4の剛性が大きいのでガスよりも液体の方が好ましいが、本発明はこれに限定されるものではなく、ガスにも適用できる。
1 流体移送用コネクタ
3 プラグ
3A プラグ本体
4 ホース
5 ソケット
6 配管
8 差込口
9 ロックボール
10 差込筒体
11 キー溝
11a メインキー溝
13 ソケット本体
13a 弁体
15 前側固定板
16 後側固定板
17 脚部
18 支持軸体
18a 第1支持軸体
18a1 蓋部駆動用軸体
18b 第2支持軸体
18b1 スリーブ駆動板用軸体
18c 第3支持軸体
18c1 スリーブ駆動板用軸体
18d 第4支持軸体
18d1 センサ線
19 スリーブ駆動板
20 前側支持板
21 後側支持板
22 スリーブ
22a 先端
23 シリンダ
24 エア供給配管
27 蓋部
29a 第1アクチュエータ
29b 第2アクチュエータ
29c 第3アクチュエータ
30 キープレート(リング体)
30a 小径部
32 キー
32a メインキー
33 先端筒部
33a 弁体
33b バネ
33c 突出部
34 中間筒部
35 基端筒部
37 Oリング
39 第1固定リング
39a 凹所
39b 肩部
39c 雌ねじ部
41 第2固定リング
41a フランジ
41b 肩部
41c 雄ネジ部
43 止めナット
45 ボルト
47 Oリング
49 基端側フランジ
50 ボルト
51 ナット
52 固定ボルト
53 ホース用フランジ
L1 プラグ中心軸線
P0 初期位置
P1 第1前進位置
P2 第2前進位置

Claims (6)

  1. 基端部にホースが固定されると共に先端部がソケットに対して着脱可能に接続され、該ホースに連通する流体流路が形成されたプラグ本体と、
    前記プラグ本体の外周に設けられ、該プラグ本体に対して回動自在とされたリング体と、
    前記リング体に設けられた2以上のキー又はキー溝と、
    を備えている流体移送用コネクタのプラグ。
  2. 他の前記キー又は前記キー溝に対して、前記回動方向の幅が大きいメインキー又はメインキー溝を備えている請求項1に記載の流体移送用コネクタのプラグ。
  3. 請求項1又は2に記載の流体移送用コネクタのプラグが接続され、該プラグの前記キー又は前記キー溝に対応するキー溝又はキーが設けられている流体移送用コネクタのソケット。
  4. 請求項1又は2に記載の流体移送用コネクタのプラグと、
    請求項3に記載の流体移送用コネクタのソケットと、
    を備えている流体移送用コネクタ。
  5. 基端部にホースが固定されると共に先端部がソケットに対して着脱可能に接続され、該ホースに連通する流体流路が形成されたプラグ本体と、
    前記プラグ本体の外周に設けられ、該プラグ本体に対して回動自在とされたリング体と、
    前記リング体に設けられた2以上のキー又はキー溝と、
    を備えている流体移送用コネクタのプラグに対して、
    前記プラグの前記キー又は前記キー溝に対応するキー溝又はキーが設けられた前記ソケットを接続する流体移送用コネクタの接続方法であって、
    前記リング体を回動させて前記プラグの前記キー又は前記キー溝と、前記ソケットの前記キー溝又は前記キーとを合わせた後に、
    前記プラグと前記ソケットとを接続する流体移送用コネクタの接続方法。
  6. 前記プラグは、前記キー又は前記キー溝に対して、前記回動方向の幅が大きいメインキー又はメインキー溝を備え、
    前記ソケットは、前記メインキー又は前記メインキー溝に対応したメインキー溝又はメインキーを備え、
    前記プラグの前記メインキー又は前記メインキー溝が鉛直上方に位置するように前記リング体を回動させた後に、
    前記プラグと前記ソケットとを接続する請求項5に記載の流体移送用コネクタの接続方法。
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