JP2020007195A - レンズ加熱装置及びレンズ加熱処理方法 - Google Patents

Abstract

【課題】レンズを加熱した場合にレンズの形状不良の発生を抑制することができるレンズ加熱装置及びレンズ加熱処理方法を提供する。【解決手段】レンズアニール装置１０は、台座部３０と、加熱部４０と、カバー部材５０とを有する。台座部３０は、収容室２４の内側に設けられレンズ１２が載せられる。加熱部４０は、収容室２４の内側の気体を加熱する。カバー部材５０は、金属製で、収容室２４の空間部２５を、内側空間部２５Ａと外側空間部２５Ｂとに仕切る。また、カバー部材５０は、中空且つ光軸方向から見た場合に光軸対称に形成され、光軸Ｋを中心軸Ｇとして収容室２４内に配置されている。光軸方向と直交する直交方向におけるレンズ１２からカバー部材５０までの長さＬ２０は、光軸方向におけるレンズ１２からカバー部材５０までの長さＬ２１よりも短くされている。加熱部４０は、直交方向からカバー部材５０を加熱する。【選択図】図２

Description

本開示は、レンズ加熱装置及びレンズ加熱処理方法に関する。

特許文献１のアニール処理装置は、加熱部を有する熱処理炉と、熱処理炉内に設けられ光学素子を収容する炉内容器と、炉内容器内に乾燥ガスを供給する乾燥ガス供給部と、循環路を形成する仕切り板と、炉内雰囲気ガスを強制的に循環させる撹拌翼と、を有する。

特開２０１１−６３４８５号公報

特許文献１の構成では、撹拌翼が炉内容器に対して幅方向の一方側に配置されているので、炉内容器の一方側と他方側とで炉内雰囲気ガスの循環状態が異なり、炉内容器の温度上昇が一方側と他方側とで異なる。また、炉内容器の形状が規定されていないため、炉内容器が中心軸に対して非対称形状の場合には、炉内容器の温度上昇率が各部で異なることになる。

炉内容器の温度上昇が異なる場合には、炉内容器に収容されたレンズの温度上昇もレンズの各部で異なることになるので、レンズの膨張状態が各部で異なることになる。そして、レンズの膨張状態が各部で異なることで、レンズの光軸に対してレンズの形状が非対称になる形状不良が生じる可能性がある。つまり、特許文献１の構成において、レンズを加熱した場合にレンズの形状不良の発生を抑制するには、改善の余地がある。

本開示は、上記事実を考慮して、レンズを加熱した場合にレンズの形状不良の発生を抑制することができるレンズ加熱装置及びレンズ加熱処理方法を提供することを目的とする。

本開示の第１態様に係るレンズ加熱装置は、収容室の内側に設けられレンズが光軸方向を載置方向として載せられた台座部と、収容室の内側の気体を加熱する加熱部と、収容室の内側の空間部をレンズ及び台座部が配置された内側空間部と加熱部が配置された外側空間部とに仕切る金属製の仕切部材と、を有し、仕切部材は、中空且つ光軸方向から見た場合に光軸対称に形成され、レンズの光軸を中心軸として収容室内に配置され、光軸方向と直交する直交方向におけるレンズから仕切部材までの長さが、光軸方向におけるレンズから仕切部材までの長さよりも短くされ、加熱部が直交方向から仕切部材を加熱する。

本開示の第２態様に係るレンズ加熱装置の台座部には、レンズと接触されることで、光軸と中心軸とが一致する位置にレンズを位置決めさせる位置決め部が設けられていてもよい。

本開示の第３態様に係るレンズ加熱装置の位置決め部は、レンズの有効径範囲の外側で且つ有効径範囲の内側の曲面と連続する被位置決め部と接触されてもよい。

本開示の第４態様に係るレンズ加熱装置のレンズは、光軸方向に突出された光学面を有し、レンズの径方向において、光軸から台座部の外周までの長さは、光軸から光学面の外周までの長さよりも長くてもよい。

本開示の第５態様に係るレンズ加熱装置の台座部は、直交方向から見た場合に光軸対称に形成され、常温において仕切部材と直交方向に接触する接触部と、接触部から光軸方向に直立されレンズを支持する支持部と、を有してもよい。

本開示の第６態様に係るレンズ加熱装置の光軸方向における接触部の厚さに相当する第１長さは、直交方向における仕切部材の厚さに相当する第２長さよりも長く、且つ光軸方向における支持部の高さに相当する第３長さよりも短くてもよい。

本開示の第７態様に係るレンズ加熱装置の仕切部材の熱膨張率は、接触部の熱膨張率よりも大きくてもよい。

本開示の第８態様に係るレンズ加熱装置のレンズの熱伝導率は、台座部の熱伝導率よりも大きくされ、仕切部材の熱伝導率は、台座部の熱伝導率よりも大きくてもよい。

本開示の第９態様に係るレンズ加熱装置の収容室は、中心軸の軸方向から見た場合に四角形状に配置された４つの側壁に囲まれ、中心軸は、直交方向のうち一方向に対向する２つの側壁からの距離が等しくなる位置で、且つ一方向と直交する他の方向に対向する２つの側壁からの距離が等しくなる位置に配置されていてもよい。

本開示の第１０態様に係るレンズ加熱装置の加熱部は、一方向の一方側と他方側とに配置され且つ光軸に対して対称に配置された複数のヒータを有していてもよい。

本開示の第１１態様に係るレンズ加熱処理方法は、光軸を囲む側面を有するレンズを収容室の内側に設けられた台座部に光軸方向に沿って載せる工程と、光軸に対して対称に形成された仕切部材を用いて、収容室の内側の空間部を、レンズ及び台座部が配置された内側空間部と、加熱部が配置された外側空間部とに仕切る工程と、レンズを覆った仕切部材を、光軸方向と直交する直交方向に加熱部が加熱することで、側面を加熱する工程と、を有する。

本開示によれば、レンズを加熱した場合にレンズの形状不良の発生を抑制することができるレンズ加熱装置及びレンズ加熱処理方法を提供することができる。

第１実施形態に係るレンズアニール装置の構成図である。 第１実施形態に係るレンズアニール装置内部の各部材の配置状態を示す説明図である。 第１実施形態に係るレンズの縦断面図（図３Ｂの３Ａ−３Ａ線断面図）である。 第１実施形態に係るレンズを光軸方向の光の入射側から見た底面図である。 第１実施形態に係る台座部の縦断面図である。 第１実施形態に係る台座部の平面図である。 第１実施形態に係る台座部にレンズが載せられた状態を示す説明図である。 第１実施形態に係るカバー部材の縦断面図である。 第１実施形態に係るカバー部材の平面図である。 第１実施形態に係るカバー部材の横断面図である。 第１実施形態に係るレンズアニール装置内部の各部材の配置状態を示す説明図である。 第１実施形態に係る台座部にレンズが載せられた状態を示す説明図である。 第１実施形態に係る台座部及びレンズがカバー部材で覆われた状態を示す説明図である。 第１実施形態に係るレンズアニール装置においてレンズが加熱される状態を示す説明図である。 第２実施形態に係るレンズアニール装置の構成図である。 変形例に係る台座部にレンズが載せられた状態を示す説明図である。 第１実施形態に係るレンズアニール装置において底板の厚さと筒体の高さの比率を変えた場合のレンズの外形ランクとカバー部材の不具合の有無を評価した結果を示す表である。

以下、本開示に係るレンズ加熱装置及びレンズ加熱処理方法の一例について説明する。

[第１実施形態]
図１には、第１実施形態のレンズ加熱装置の一例としてのレンズアニール装置１０が示されている。レンズアニール装置１０は、後述するレンズ１２をアニールする装置である。アニールとは、レンズ１２を加熱することで、レンズ１２の残留応力を取り除き、均一な屈折分布を得ることを意味する。

〔レンズ〕
図３Ａに示すレンズ１２は、一例として、遮光膜を設ける前であり且つレンズアニール装置１０（図１参照）においてアニールされる前の状態で示されている。レンズ１２は、一例として、ガラス製のメニスカスレンズとして構成されている。レンズ１２の熱膨張率としての線膨張係数は、９×１０^−６／Ｋである。レンズ１２の熱伝導率は、１Ｗ／ｍ・Ｋである。また、レンズ１２は、一例として、光学中心Ｃを有する円形のレンズとされている。

レンズ１２における光の入射側の面を第１光学面１４と称する。第１光学面１４は、レンズ１２の光軸Ｋが延びる方向（光軸方向であり、以後Ｋ方向と称する）において、光の入射側に突出された光学面の一例である。また、レンズ１２における光の出射側の面を第２光学面１５と称する。レンズ１２において、光学中心Ｃは、光の入射側の第１光学面１４及び光の出射側の第２光学面１５について、それぞれの曲率中心を結ぶ線（光軸Ｋに相当する線）と、レンズ１２の厚み方向の中点を結ぶ線とが交わる点として定義される。さらに、レンズ１２は、光軸Ｋを囲む側面の一例としての外周面１９を有する。

本実施形態では、一例として、第１光学面１４側が、レンズアニール装置１０（図１参照）において位置決めされる被位置決め側として設定されている。また、Ｋ方向と直交する直交方向をＤ方向と称する。Ｄ方向は、レンズ１２の径方向である。さらに、レンズ１２の光軸Ｋ周りの周方向をＲ方向（図３Ｂ参照）と称する。

図３Ｂには、レンズ１２の底面図（第１光学面１４をＫ方向から見た図）が示されている。第１光学面１４は、光学中心ＣからＤ方向の外側に向けて、精密転写範囲ＳＡと、非精密転写範囲ＳＢとに区分される。精密転写範囲ＳＡは、第１光学面１４のうち、設計値に対して許容される誤差内となる面形状（面精度）を有する範囲である。換言すると、精密転写範囲ＳＡは、レンズ１２を形成する型の形状が、レンズ１２に精度良く再現される範囲である。

非精密転写範囲ＳＢは、第１光学面１４のうち、精密転写範囲ＳＡよりもＤ方向の外側に位置する範囲であり、且つ設計値に対して許容される誤差を超えた面形状（面精度）を有する範囲である。第１光学面１４において、非精密転写範囲ＳＢに対応する部位を外周部１６と称する。また、第１光学面１４において、外周部１６を構成する面を曲面１４Ｃと称する。

精密転写範囲ＳＡは、光学中心Ｃを含む有効径範囲ＳＡ１と、光学中心Ｃを含まない非有効径範囲ＳＡ２とに区分される。有効径範囲ＳＡ１は、光束が通過する最大径の範囲である。第１光学面１４において、有効径範囲ＳＡ１に対応する部位を光学部１７と称する。また、第１光学面１４において、光学部１７を構成する面を曲面１４Ａと称する。

非有効径範囲ＳＡ２は、精密転写範囲ＳＡ内において、有効径範囲ＳＡ１よりもＤ方向の外側に位置する範囲である。第１光学面１４において、非有効径範囲ＳＡ２に対応する部位を被位置決め部１８と称する。被位置決め部１８は、後述する上端部３５（図４Ａ参照）に載せられる部位である。また、第１光学面１４において、被位置決め部１８を構成する面を曲面１４Ｂと称する。曲面１４Ｂは、曲面１４Ａと連続している。曲面１４Ｂが曲面１４Ａと連続する状態とは、曲面１４Ｂの曲率と曲面１４Ａの曲率との差が、曲面１４Ｂの曲率と曲面１４Ｃの曲率との差よりも小さくされ、且つ目視で曲率の変化部分が段差として視認されない状態を意味する。まとめると、被位置決め部１８は、レンズ１２の有効径範囲ＳＡ１の外側で且つ有効径範囲ＳＡ１の内側の曲面１４Ａと連続する曲面１４Ｂを有する。

本実施形態では、一例として、曲面１４Ｂの曲率と曲面１４Ｃの曲率との差が大きいために、精密転写範囲ＳＡと非精密転写範囲ＳＢとの境界が小さな段差として視認される。なお、図３Ｂにおいて、有効径範囲ＳＡ１と非有効径範囲ＳＡ２との境界を表す円Ｅ１は、仮想円であり、実際には視認されない。また、図３Ｂにおいて、非有効径範囲ＳＡ２と非精密転写範囲ＳＢとの境界を表す円Ｅ２は、仮想円であり、実際には視認されない。円Ｅ２は、実際には円形の線ではなく、幅を持った円環状の段差として視認される。

Ｋ方向から見た場合の有効径範囲ＳＡ１の平均直径に相当する長さをＬａ（単位ｍｍ）とする。また、Ｋ方向から見た場合の非有効径範囲ＳＡ２の平均外径に相当する長さをＬｂ（単位ｍｍ）とする。さらに、レンズ１２の平均直径に相当する長さをＬｃ（単位ｍｍ）とする。Ｌａ＜Ｌｂ＜Ｌｃとなる。

〔レンズアニール装置〕
次に、レンズアニール装置１０について説明する。

図１に示すレンズアニール装置１０は、一例として、収容室２４を構成する本体部２０と、台座部３０と、加熱部４０と、仕切部材の一例としてのカバー部材５０とを有する。以後の説明では、矢印Ｚで示す方向を装置高さ方向、矢印Ｘで示す方向を装置幅方向とする。装置高さ方向と装置幅方向とは直交する。また、装置高さ方向及び装置幅方向のそれぞれに直交する方向（Ｙで示す）を装置奥行き方向とする。

レンズアニール装置１０を正面視して、装置幅方向、装置奥行き方向、装置高さ方向、をＸ方向、Ｙ方向、Ｚ方向と記載する。Ｘ方向、Ｙ方向、Ｚ方向のそれぞれ一方側と他方側を区別する必要がある場合は、レンズアニール装置１０を正面視（Ｙ方向視）して、上側をＺ側、下側を−Ｚ側、右側をＸ側、左側を−Ｘ側、奥側をＹ側、前側を−Ｙ側と記載する。なお、収容室２４内にレンズ１２が配置された状態では、既述のＫ方向とＺ方向とがほぼ平行に揃えられている。

＜本体部＞
本体部２０は、一例として、収容室２４を構成する筐体２２と、収容室２４を開放及び閉塞する蓋部材２３とを有する。本体部２０の全体は、一例として、中空の直方体状に形成されている。また、本体部２０は、図示しない設置台の上に載せられている。

（筐体）
筐体２２は、底壁２２Ａ、左側壁２２Ｂ、右側壁２２Ｃ、後側壁２２Ｄ及び上壁２２Ｅを有する。底壁２２Ａ及び上壁２２Ｅは、一例として、Ｘ方向を長手方向としＹ方向を短手方向とする矩形の板状に形成されている。また、底壁２２Ａ及び上壁２２Ｅは、同じ大きさとされ、Ｚ方向を厚さ方向として間隔をあけて配置されている。左側壁２２Ｂ、右側壁２２Ｃ及び後側壁２２Ｄは、底壁２２Ａの外周部からＺ方向に直立されており、それぞれ底壁２２Ａと上壁２２ＥとをＺ方向に繋いでいる。底壁２２Ａ、左側壁２２Ｂ、右側壁２２Ｃ、後側壁２２Ｄ及び上壁２２Ｅによって、収容室２４が形成（構成）されている。換言すると、収容室２４の内側には、−Ｙ側に向けて開口された空間部２５が形成されている。

（蓋部材）
蓋部材２３は、筐体２２の−Ｙ側の開口全体を覆う大きさ及び形状を有する。また、蓋部材２３は、左側壁２２Ｂの−Ｙ側端部に、Ｚ方向を軸方向とする図示しない蝶番を用いて設けられている。つまり、蝶番の軸周りに蓋部材２３の右端部を−Ｙ側に回転移動させることで、収容室２４が開放される。また、蓋部材２３の右端部をＹ側に回転移動させることで、収容室２４が閉塞される。蓋部材２３は、収容室２４を囲む４つの側壁の１つを構成している。なお、蓋部材２３を移動させる構造は、観音開き構造、スライド構造などの他の構造であってもよい。

（収容室）
収容室２４のＸ方向の長さをＬ１（単位ｍｍ）とし、Ｙ方向の長さをＬ２（単位ｍｍ）とし、Ｚ方向の長さ（高さ）をＬ３（単位ｍｍ）とする。長さＬ１、Ｌ２、Ｌ３は、一例として、Ｌ３＜Ｌ２＜Ｌ１となっている。収容室２４における底壁２２Ａの上面において、−Ｘ側且つ−Ｙ側の端点を基準点Ａと称する。基準点Ａの座標（Ｘ、Ｙ、Ｚ）は、Ａ（０、０、０）である。また、収容室２４内の中央に位置する点を中央点Ｂと称する。中央点Ｂの座標は、長さＬ１、長さＬ２及び長さＬ３を用いて表すと、Ｂ（（Ｌ１）／２、（Ｌ２）／２、（Ｌ３）／２）となる。

＜台座部＞
台座部３０は、収容室２４の内側で且つ底壁２２Ａ上に設けられている。台座部３０には、レンズ１２が、Ｋ方向を載置方向として載せられる。台座部３０は、一例として、セラミクス製（例えば、ネオアーク（登録商標）：ニチアス株式会社製）とされている。台座部３０の熱膨張率としての線膨張係数は、５．６×１０^−６／Ｋである。台座部３０の熱伝導率は、０．６Ｗ／ｍ・Ｋである。なお、レンズ１２の熱伝導率は、台座部３０の熱伝導率よりも大きい。

図４Ａに示す台座部３０は、接触部の一例としての底板３２と、底板３２からＫ方向に直立された支持部の一例としての筒体３４とを有する。

（底板）
図４Ｂに示す底板３２は、円板状に形成されている。さらに、底板３２は、底壁２２Ａ（図１参照）の上面にＺ方向を厚さ方向として固定されている。具体的には、底板３２の外形は、Ｚ方向から見た場合に、点ＯＡを中心とする円形とされている。また、底板３２の外形の真円度は、一例として、２０μｍ以下とされている。真円度とは、円形形体を二つの同心の幾何学的円で挟んだ場合に、同心二円の間隔が最小となる場合の二円の半径の差によって表される（ＪＩＳ Ｂ ０６２１）。換言すると、底板３２は、光軸Ｋに対して光軸対称に形成されている。

本実施形態において、光軸対称とは、Ｄ方向から部材を見た場合に、光軸Ｋを対称軸とする線対称に形成されていることを意味する。また、線対称な構成とは、光軸Ｋを中心として折り返した場合に一致する構成に限らず、光軸Ｋを中心として折り返した場合に、製造において許容される誤差分のずれが生じる構成も含む。なお、中心ＯＡは、底壁２２Ａ（図１参照）のＸ−Ｙ面内での中心とＺ方向に重なる位置に配置されている。

底板３２をＺ方向から見た場合の直径に相当する長さをＬ４（単位ｍｍ）とする。長さＬ４は、既述の長さＬ１又は長さＬ２（図１参照）よりも短い。また、長さＬ４の大きさは、常温（１５℃以上２５℃以下の温度）において、後述するカバー部材５０の内周面５３（図１参照）と、底板３２の外周面３３とが、Ｄ方向に接触する大きさとされている。底板３２のＺ方向（Ｋ方向）の厚さに相当する長さをＬ５ｍｍ（図４Ａ参照）とする。長さＬ５は、第１長さの一例である。また、一例として、Ｌ５＝６ｍｍとされている。

（筒体）
図４Ａに示す筒体３４は、Ｚ方向（Ｋ方向）を中心軸方向とする円筒体とされている。また、筒体３４は、光軸Ｋに対して光軸対称に形成されている。筒体３４の中心軸は、中心ＯＡ（図４Ｂ参照）を通っている。

Ｚ方向において、底板３２の上面３２Ａから筒体３４の上端面３５ＡまでのＺ方向の高さに相当する長さをＬ６（単位ｍｍ）とする。長さＬ６は、第３長さの一例である。また、長さＬ６は、長さＬ３（図１参照）よりも短い。一例として、Ｌ６＝２０ｍｍとされている。換言すると、既述の長さＬ５は、一例として、長さＬ６の１／３よりも短くされている。なお、筒体３４において、Ｚ方向の上端部３５は、位置決め部の一例である。換言すると、台座部３０には、上端部３５が設けられている。筒体３４は、レンズ１２を位置決めし且つ支持する。

筒体３４のＤ方向の内径（直径）に相当する長さをＬ７（単位ｍｍ）とし、筒体３４のＤ方向の外径（直径）に相当する長さをＬ８（単位ｍｍ）とする。長さＬ８は、長さＬ４（図４Ｂ参照）よりも短い。筒体３４のＤ方向の厚さに相当する長さＬ９は、Ｌ９＝（Ｌ８−Ｌ７）／２となる。

（上端部）
図５に示す上端部３５は、一例として、Ｄ方向の中央部分を構成する上端面３５Ａと、上端面３５Ａに対してＤ方向の内側端に形成された接触面３５Ｂと、上端面３５Ａに対してＤ方向の外側端に形成された外側端面３５Ｃとを有する。上端面３５Ａは、Ｚ方向（Ｋ方向）から見た場合に円環状に形成されている。また、上端面３５Ａは、Ｘ−Ｙ面に沿った平面とされている。外側端面３５Ｃは、曲面状に形成されている。

接触面３５Ｂは、筒体３４の形成後に上端且つ内側端の部分がＲ面取り加工されることで、曲面状に形成されている。接触面３５Ｂの形状（曲率）は、レンズ１２の被位置決め部１８と接触面３５Ｂとが接触された場合に、筒体３４の中心軸と光軸Ｋ（図４Ａ参照）とが一致され、且つＤ方向における筒体３４に対するレンズ１２の位置ずれが規制される形状とされている。つまり、上端部３５は、接触面３５Ｂと被位置決め部１８とがＺ方向に接触されることで、光軸Ｋと、後述するカバー部材５０の中心軸Ｇ（図６参照）とが一致する位置にレンズ１２を位置決めさせる。なお、一致する位置とは、光軸Ｋの全体と中心軸Ｇの全体とが重なる位置だけでなく、光軸Ｋと中心軸Ｇとが、許容される誤差の範囲内でＤ方向にずれた状態となる位置も含んでいる。

Ｄ方向において、光軸Ｋから筒体３４の外周までの長さＬ１１は、既述の長さＬ８（図４Ａ参照）を用いて表すと、Ｌ１１＝（Ｌ８）／２となる。また、レンズ１２が上端部３５に位置決めされた状態で、光軸Ｋから第１光学面１４の外周までの長さＬ１０は、既述の長さＬｃ（図３Ｂ参照）を用いて表すと、Ｌ１０＝（Ｌｃ）／２となる。長さＬ１１は、長さＬ１０よりも長い。

＜加熱部＞
図２に示す加熱部４０は、一例として、操作パネル４２と、複数組のヒータ４４及びリフレクタ４６と、温度センサ４８とを有する。操作パネル４２は、筐体２２に設けられたタッチパネルと電子回路とで構成されている。操作パネル４２では、収容室２４内の加熱目標温度及び加熱時間を含む加熱プログラムの設定、ヒータ４４の加熱動作の開始及び停止が操作される。本実施形態では、収容室２４内の温度が加熱目標温度に到達した後に、ヒータ４４の出力は低下されるが、継続して加熱が行われる。換言すると、加熱目標温度に到達した後は、ヒータ４４は停止されずに、収容室２４内の温度が徐々に低下される構成となっている。

ヒータ４４は、一例として、Ｙ方向に長尺とされた棒状に形成され且つ赤外線を放射するハロゲンヒータで構成されている。リフレクタ４６は、Ｙ方向に長尺とされ且つＸ−Ｚ断面がＣ字状に形成された部材で構成されており、ヒータ４４の赤外線を中央点Ｂ側に向けて反射させる。

複数組のヒータ４４及びリフレクタ４６は、収容室２４内において、左側壁２２Ｂに対する＋Ｘ側と右側壁２２Ｃに対する−Ｘ側とに配置され、且つＺ方向に間隔をあけて配置されている。換言すると、複数のヒータ４４は、Ｙ方向から見た場合に、光軸Ｋに対して対称に配置されている。そして、複数のヒータ４４は、Ｋ方向と直交する直交方向のうちの１つであるＸ方向から、後述するカバー部材５０を加熱する構成とされている。なお、ヒータ４４及びリフレクタ４６は、一例として、後側壁２２Ｄ及び蓋部材２３（図１参照）には設けられていない。

温度センサ４８は、一例として、収容室２４内の中央上部に配置されている。操作パネル４２の電子回路では、温度センサ４８を用いて測定された温度データと設定済の温度との差に応じて、ヒータ４４の出力が制御される。そして、加熱部４０では、収容室２４の内側の気体（空気）が加熱される。

＜カバー部材＞
カバー部材５０は、収容室２４の内側の空間部２５を、レンズ１２及び台座部３０が配置された内側空間部２５Ａと、加熱部４０が配置された外側空間部２５Ｂとに仕切っている。また、カバー部材５０は、金属製の一例として、ＳＵＳ製（ステンレス鋼製）とされている。カバー部材５０の熱膨張率としての線膨張係数は、１７×１０^−６／Ｋである。また、カバー部材５０の線膨張係数は、台座部３０（底板３２）の線膨張係数よりも大きい。カバー部材５０の熱伝導率は、１５Ｗ／ｍ・Ｋである。つまり、カバー部材５０の熱膨張率は、底板３２（台座部３０）の熱膨張率よりも大きい。また、カバー部材５０の熱伝導率は、台座部３０の熱伝導率よりも大きい。

図６に示すカバー部材５０は、円筒状の側壁５２と、側壁５２のＺ側端部を覆う上壁５４とを有する。つまり、カバー部材５０は、中空とされ且つ−Ｚ側に開口されている。さらに、カバー部材５０は、一例として、Ｚ方向（Ｋ方向）及びＤ方向から見た場合に光軸対称に形成されている。光軸対称については、既述の通りであるため、説明を省略する。

（側壁）
図６及び図７Ｂに示す側壁５２は、Ｚ方向を中心軸方向とする円筒体とされている。また、側壁５２は、光軸対称に形成されている。ここで、カバー部材５０の中心軸をＧとする。中心軸Ｇは、Ｚ方向に沿った直線で表され、台座部３０の中心ＯＡ（図４Ｂ参照）を通っている。

側壁５２のＤ方向の内径（直径）に相当する長さをＬ１２（単位ｍｍ）とし、側壁５２のＤ方向の外径（直径）に相当する長さをＬ１３（単位ｍｍ）とする。側壁５２のＤ方向の厚さに相当する長さＬ１４（単位ｍｍ）は、Ｌ１４＝（Ｌ１３−Ｌ１２）／２となる。長さＬ１４は、第２長さの一例である。ここで、既述の長さＬ５（図４Ａ参照）は、長さＬ１４よりも長く、長さＬ６（図４Ａ参照）よりも短い。また、長さＬ１２の大きさは、長さＬ４（図４Ｂ参照）とほぼ同じ大きさとされており、常温において、底板３２（図２参照）の外周面３３と側壁５２の内周面５３とがＤ方向に接触する大きさとされている。

（上壁）
図７Ａに示す上壁５４は、円板状に形成されている。上壁５４をＺ方向から見た場合のＤ方向の外径に相当する長さをＬ１５（単位ｍｍ）とする。長さＬ１５は、側壁５２の長さＬ１３（図７Ｂ参照）と同じとされている。また、上壁５４は、側壁５２の上面にＺ方向を厚さ方向として固定されている。具体的には、上壁５４の外形は、Ｚ方向から見た場合に、点ＯＢを中心とする円形とされている。また、上壁５４の外形の真円度は、一例として、２０μｍ以下とされている。換言すると、上壁５４は、光軸Ｋに対して光軸対称に形成されている。上壁５４の中心ＯＢは、Ｚ方向から見た場合に、底板３２の中心ＯＡ（図４Ｂ参照）と重なっている。

＜各部材の配置＞
図８に示すレンズアニール装置１０において、中心軸Ｇ及び光軸Ｋは、左側壁２２Ｂ及び右側壁２２Ｃからのそれぞれの距離が等しくなる位置に配置されている。具体的には、Ｘ方向において、光軸Ｋと左側壁２２Ｂとの距離Ｌ１６（単位ｍｍ）は、光軸Ｋと右側壁２２Ｃとの距離Ｌ１７（単位ｍｍ）と等しくされ、Ｌ１６＝Ｌ１７＝（Ｌ１）／２とされている。光軸Ｋは、Ｙ方向に対向する蓋部材２３及び後側壁２２Ｄからの距離が等しくなる位置に配置されている。具体的には、Ｙ方向において、光軸Ｋと蓋部材２３との距離Ｌ１８（単位ｍｍ）は、光軸Ｋと後側壁２２Ｄとの距離Ｌ１９（単位ｍｍ）と等しくされ、Ｌ１８＝Ｌ１９＝（Ｌ２）／２とされている。なお、Ｙ方向は、Ｄ方向のうちＸ方向と直交する他の方向の一例である。

図２に示すカバー部材５０は、レンズ１２の光軸Ｋを中心軸として、収容室２４内に配置されている。そして、Ｄ方向におけるレンズ１２の外周面１９からカバー部材５０の内周面５３までの長さＬ２０（単位ｍｍ）は、Ｋ方向における第２光学面１５の上面から上壁５４までの長さＬ２１（単位ｍｍ）よりも短くされている。

〔作用〕
次に、第１実施形態のレンズアニール装置１０及びレンズ加熱処理方法の作用について説明する。なお、以下の説明では、個別の図番の記載を省略する場合がある。

図３Ａに示すレンズ１２は、溶解されたガラスからプリフォームを作り、プリフォームを高温で軟化させ図示しない金型を用いてプレスした後、冷却することで形成される。形成されたレンズ１２の外形データは、一例として、株式会社東京精密の真円度測定機（ロンコム６５Ａ）により測定されることで得られる。外形データは、レンズ１２の真円度データ及び平均直径データを含む。また、レンズ１２のＫ方向の形状データは、一例として、超高精度三次元測定機ＵＡ３Ｐ（パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社製）によって測定されることで得られる。

図９Ａに示すレンズアニール装置１０では、蓋部材２３（図１参照）が開放されている。そして、既述の方法で形成されたレンズ１２が、台座部３０の上端部３５に、Ｚ方向（Ｋ方向）に沿って載せられる。レンズ１２は、上端部３５に載せられ、且つ接触面３５Ｂと被位置決め部１８（図５参照）とが接触されることで、光軸Ｋと中心軸Ｇ（図６参照）とが一致する位置に、位置決めされる。

次に、図９Ｂに示すレンズアニール装置１０では、レンズ１２がカバー部材５０によってＺ側から覆われる。内周面５３のうち−Ｚ側端部は、底板３２の外周面３３と接触される。内周面５３と外周面３３とが接触されることで、レンズ１２に対して、カバー部材５０の位置が決められる。また、レンズアニール装置１０では、カバー部材５０がレンズ１２及び台座部３０に対して位置決めされることで、空間部２５が内側空間部２５Ａと外側空間部２５Ｂとに仕切られる。なお、収容室２４は、蓋部材２３（図１参照）により閉じられる。

次に、図９Ｃに示すレンズアニール装置１０では、複数組のヒータ４４に通電されることで、加熱部４０が加熱を開始する。カバー部材５０は、加熱部４０からの輻射熱によって加熱される。加熱されたカバー部材５０は、光軸対称に形成されているため、カバー部材５０の温度上昇の分布も光軸対称な分布となる。そして、光軸対称に加熱されたカバー部材５０からの輻射熱によって、レンズ１２が光軸対称に加熱される。

以上、説明した通り、レンズアニール装置１０及び本開示のレンズ加熱処理方法では、空間部２５が、カバー部材５０によって、内側空間部２５Ａと外側空間部２５Ｂとに仕切られている。空間部２５が仕切られていることにより、加熱部４０が空間部２５の気体（空気）を加熱して、外側空間部２５Ｂに気体の対流が生じることがあっても、内側空間部２５Ａは対流の影響を受け難くなる。また、加熱部４０の輻射熱によってカバー部材５０が加熱され、カバー部材５０から輻射熱が放射されることで、内側空間部２５Ａが加熱される。カバー部材５０は、光軸対称に形成されているので、カバー部材５０からレンズ１２の各部に対して、均等に輻射熱が与えられる。

レンズ１２では、外周面１９の方が、第１光学面１４及び第２光学面１５よりも外形の変化率（曲率）が小さい。換言すると、側壁５２から外周面１９までの距離の方が、上壁５４から第１光学面１４又は第２光学面１５までの距離に比べて、ばらつきが小さい。ここで、レンズアニール装置１０では、外周面１９から側壁５２までの長さＬ２０が、第２光学面１５から上壁５４までの長さ２１よりも短くされている。つまり、長さＬ２０が長さＬ２１よりも短くされていることで、加熱部４０は、第２光学面１５側よりも距離のばらつきが小さい外周面１９側を主として加熱することになるので、レンズ１２の外周面１９が均等に加熱される。

レンズアニール装置１０では、内側空間部２５Ａが対流の影響を受け難い作用、レンズ１２に対して均等に輻射熱が与えられる作用、及びレンズ１２の外周面１９が均等に加熱される作用によって、レンズ１２が光軸Ｋに対して均等に加熱されることになる。レンズ１２が光軸Ｋに対して均等に加熱されることで、レンズ１２の各部では、膨張状態が均等となり、且つ加熱に伴う内部歪の解消状態が均等となる。レンズ１２の各部で膨張状態が均等となり且つ内部歪が均等に解消されることで、レンズ１２の外形寸法の過大な部位及び過少な部位が少なくなる。つまり、レンズ１２のＲ方向の外径差及びレンズ１２の各部でのＫ方向の肉厚の差が大きくなる（レンズ１２の光軸Ｋに対してレンズ１２の形状が非対称になる）ことが抑制されるので、レンズ１２の形状不良の発生を抑制することができる。

また、レンズアニール装置１０では、上端部３５の接触面３５Ｂと被位置決め部１８とがＺ方向（Ｋ方向）に接触されることで、光軸Ｋとカバー部材５０の中心軸Ｇとが一致する位置に、レンズ１２が位置決めされる。つまり、台座部３０にレンズ１２を載せた場合に、レンズ１２の位置がずれ難くなるので、上端部３５が設けられていない構成に比べて、光軸Ｋと中心軸Ｇとの位置ずれを抑制することができる。

さらに、レンズアニール装置１０では、上端部３５が、被位置決め部１８と接触される。ここで、被位置決め部１８は、非有効径範囲ＳＡ２に対応する部位であり、面精度が高い部位である。被位置決め部１８の面精度が高いことで、上端部３５と被位置決め部１８との接触により、光軸Ｋとカバー部材５０の中心軸Ｇとを一致させ易くなるので、レンズ１２を光軸対称に加熱させることができる。レンズ１２を光軸対称に加熱させることで、レンズ１２の外形寸法の過大な部位及び過少な部位が少なくなるので、レンズ１２の形状不良の発生を抑制することができる。一方、レンズ１２では、被位置決め部１８が有効径範囲ＳＡ１外の部位であるので、上端部３５と接触することで被位置決め部１８が傷付くことがあっても、有効径範囲ＳＡ１内には傷がつかない。つまり、有効径範囲ＳＡ１内の傷の発生を抑制することができる。

加えて、レンズアニール装置１０では、光軸Ｋから筒体３４の外周までの長さＬ１１が、光軸Ｋから第１光学面１４の外周までの長さＬ１０よりも長い。ここで、レンズ１２の位置が僅かにＤ方向にずれることがあっても、レンズ１２が筒体３４によって支持されるので、レンズ１２のＸ−Ｙ面に対する傾きが抑制される。レンズ１２の傾きが抑制されることで、加熱時のレンズ１２の温度分布に偏りが生じ難くなるので、レンズ１２を加熱した場合のレンズ１２の形状不良の発生を抑制することができる。

また、レンズアニール装置１０では、台座部３０が底板３２と筒体３４とを有する。底板３２は、常温においてカバー部材５０と接触されることで、カバー部材５０を位置決めする。つまり、台座部３０は、レンズ１２を支持するだけでなく、カバー部材５０の位置決めも行うので、台座部３０とは別部材を用いてカバー部材５０を位置決めする構成に比べて、簡単な構成でカバー部材５０の位置決めをすることができる。

さらに、レンズアニール装置１０では、底板３２の長さＬ５が、カバー部材５０の長さＬ１４よりも長い。つまり、底板３２の厚さがカバー部材５０の厚さよりも厚いことで、カバー部材５０の温度上昇に比べて底板３２の温度上昇が抑制される。加えて、長さＬ５は、筒体３４の長さＬ６よりも短い。つまり、底板３２が加熱されるような状態となった場合でも、底板３２の厚さに相当する長さが筒体３４の高さに相当する長さよりも短いことで、底板３２から筒体３４への熱の伝達が抑制される。まとめると、底板３２の温度上昇が抑制され且つ底板３２から筒体３４への熱の伝達が抑制されることで、レンズ１２が台座部３０によって加熱され難くなる。換言すると、レンズ１２が加熱された場合に、台座部３０における熱伝導状態が、レンズ１２の加熱状態に影響を与え難くなるので、レンズ１２の形状不良の発生を抑制することができる。

また、レンズアニール装置１０では、カバー部材５０の熱膨張率が、底板３２（台座部３０）の熱膨張率よりも大きい。ここで、常温では、底板３２とカバー部材５０が接触している。しかし、加熱部４０の加熱時間が長くなり、底板３２及びカバー部材５０が温度上昇した場合には、熱膨張率の大きいカバー部材５０の方が、熱膨張率の小さい底板３２よりも変形量が大きくなるので、カバー部材５０が底板３２から離れる場合がある。カバー部材５０が底板３２から離れることで、カバー部材５０から底板３２への熱伝導量が少なくなるので、台座部３０からレンズ１２に伝わる熱量を低減させることができる。

さらに、レンズアニール装置１０では、レンズ１２の熱伝導率が台座部３０の熱伝導率よりも大きくされ、カバー部材５０の熱伝導率が台座部３０の熱伝導率よりも大きくされている。換言すると、台座部３０は、レンズ１２及びカバー部材５０に比べて熱伝導され難くなっており、レンズ１２への熱供給源にはなり難くなっているので、台座部３０からレンズ１２に伝わる熱量を低減させることができる。

また、レンズアニール装置１０では、光軸Ｋ及びカバー部材５０の中心軸Ｇが、左側壁２２Ｂ及び右側壁２２Ｃからの距離が等しくなる位置に配置されている。さらに、光軸Ｋ及び中心軸Ｇは、蓋部材２３及び後側壁２２Ｄからの距離が等しくなる位置に配置されている。換言すると、レンズ１２及びカバー部材５０が、収容室２４内の中央部に配置され且つ均等に（光軸対称に）加熱されることで、レンズ１２の外形寸法の過大な部位及び過少な部位が少なくなるので、レンズ１２の形状不良の発生を抑制することができる。

さらに、レンズアニール装置１０では、複数のヒータ４４がＸ側と−Ｘ側とに配置され、且つ光軸Ｋに対して対称に配置されていることで、レンズ１２の光軸Ｋに対するＸ側の部位と、光軸Ｋに対する−Ｘ側の部位とが、均等に加熱されることになる。レンズ１２が均等に加熱されることで、レンズ１２の外形寸法の過大な部位及び過少な部位が少なくなるので、レンズ１２の形状不良の発生を抑制することができる。

比較例として、レンズ１２が、Ｚ側に向けて山型となる状態で上端部３５の外周縁部と接触され且つ位置決めされた場合には、レンズ１２が収縮した場合に、上端部３５からレンズ１２に作用する反力によって、レンズ１２が欠ける可能性がある。

一方、本実施形態のレンズアニール装置１０では、レンズ１２が−Ｚ側に向けて山型となる状態で、レンズ１２の被位置決め部１８が台座部３０により位置決めされているので、レンズ１２が収縮した場合に、上端部３５からレンズ１２へ反力が作用し難い。つまり、レンズ１２が欠け難くなっている。

＜台座部の評価＞
図１２には、底板３２の長さＬ５（図４Ａ参照）と、筒体３４の長さＬ６（図４Ａ参照）との比（Ｌ５／Ｌ６）を変えた場合における、レンズ１２の外形ランク及びカバー部材５０の不具合の評価結果が示されている。なお、Ｌ５／Ｌ６＝１／６、１／５、１／４、１／３、１／２の５種類の台座部３０を用いた。

外形ランクについては、既述の超高精度三次元測定機ＵＡ３Ｐによって測定されたレンズ１２の形状の測定値と設計値との誤差（形状誤差）について、Ａ、Ｂ、Ｃの３つのランクに分けた。具体的には、形状誤差について、０．５μｍ以内の場合をＡランク、０．５μｍよりも大きく且つ４μｍ以内の場合をＢランク、４μｍよりも大きい場合をＣランクとした。

カバー部材５０の不具合については、底板３２に対してカバー部材５０を接触させ難い（嵌め難い）場合、あるいは、底板３２に対してカバー部材５０がずれ易い場合の２つの場合を不具合有りとした。２つの場合以外の場合は、不具合無しとした。図１２に示す評価結果から、Ｌ５／Ｌ６が１／５以上１／３以下の範囲において、評価ランクがＡとなり、且つカバー部材５０の不具合も無いことが分かった。

[第２実施形態]
次に、第２実施形態に係るレンズ加熱装置及びレンズ加熱処理方法の一例について説明する。なお、第１実施形態と同一の構成については、第１実施形態と同一の符号を付して、構造及び作用の説明を省略する。また、第１実施形態と同様の製造方法については、説明を省略する。

図１０には、第２実施形態のレンズ加熱装置の一例としてのレンズアニール装置６０が示されている。レンズアニール装置６０は、一例として、収容室７４を構成する本体部７０と、３つの台座部３０と、加熱部８０と、３つのカバー部材５０と、２つの断熱部材９２とを有する。

＜本体部＞
本体部７０は、一例として、収容室７４を構成する筐体７２と、収容室７４を開放及び閉塞する蓋部材７３とを有する。本体部７０の全体は、一例として、中空の直方体状に形成されている。また、本体部７０は、図示しない設置台の上に載せられている。

（筐体）
筐体７２は、底壁７２Ａ、左側壁７２Ｂ、右側壁７２Ｃ、後側壁７２Ｄ及び上壁７２Ｅを有する。底壁７２Ａ及び上壁７２Ｅは、一例として、Ｘ方向を長手方向としＹ方向を短手方向とする矩形の板状に形成されている。また、底壁７２Ａ及び上壁７２Ｅは、同じ大きさとされ、Ｚ方向を厚さ方向としてＺ方向に間隔をあけて配置されている。左側壁７２Ｂ、右側壁７２Ｃ及び後側壁７２Ｄは、底壁７２Ａの外周部からＺ方向に直立されており、それぞれ底壁７２Ａと上壁７２ＥとをＺ方向に繋いでいる。底壁７２Ａ、左側壁７２Ｂ、右側壁７２Ｃ、後側壁７２Ｄ及び上壁７２Ｅによって、収容室７４が構成されている。換言すると、収容室７４の内側には、−Ｙ側に向けて開口された空間部７５が形成されている。

（蓋部材）
蓋部材７３は、筐体７２の−Ｙ側の開口全体を覆う大きさ及び形状を有する。また、蓋部材７３は、左側壁７２Ｂの−Ｙ側端部に、Ｚ方向を軸方向とする図示しない蝶番を用いて設けられている。つまり、蝶番の軸周りに蓋部材７３の右端部を−Ｙ側に回転移動させることで、収容室７４が開放される。また、蓋部材７３の右端部をＹ側に回転移動させることで、収容室７４が閉塞される。蓋部材７３は、収容室７４を囲む４つの側壁の１つを構成している。なお、蓋部材７３を移動させる構造は、観音開き構造、スライド構造などの他の構造であってもよい。

（収容室）
収容室７４は、一例として、収容室２４（図１参照）がＺ方向にカバー部材５０の高さの２倍に相当する高さ分だけ拡大された構成とされている。収容室７４のＸ方向及びＹ方向の大きさは、一例として、収容室２４のＸ方向及びＹ方向の大きさと同じとされている。

＜加熱部＞
加熱部８０の基本構成は、加熱部４０（図１参照）と同様であるが、ヒータ４４及びリフレクタ４６の組数が増えている点が、加熱部４０とは異なっている。複数組のヒータ４４及びリフレクタ４６は、収容室７４内において、左側壁７２Ｂに対する＋Ｘ側と、右側壁７２Ｃに対する−Ｘ側とに配置され、且つＺ方向に間隔をあけて配置されている。そして、加熱部８０の複数のヒータ４４は、Ｘ方向から、３つのカバー部材５０に向けて加熱を行う構成とされている。

断熱部材９２は、一例として、Ｚ方向から見た場合に、カバー部材５０の上壁５４と同じ形状及び同じ大きさとされ、Ｚ方向を厚さ方向とする円板状に形成されている。また、断熱部材９２は、一例として、ジルコニアからなる部材で構成されている。断熱部材９２の厚さは、一例として、底板３２の厚さと同程度とされている。

１つの台座部３０と１つのカバー部材５０とを１組として、３組の台座部３０及びカバー部材５０は、２つの断熱部材９２を介して、Ｚ方向に３段に並べられている。具体的には、下段の台座部３０には、下段のカバー部材５０が位置決めされている。下段のカバー部材５０の上壁５４上には、下側の断熱部材９２が固定されている。下側の断熱部材９２には、中段の台座部３０が固定されている。中段の台座部３０には、中段のカバー部材５０が位置決めされている。中段のカバー部材５０の上壁５４上には、上側の断熱部材９２が固定されている。上側の断熱部材９２には、上段の台座部３０が固定されている。上段の台座部３０には、上段のカバー部材５０が位置決めされている。なお、３つの台座部３０には、それぞれレンズ１２が載せられ且つ位置決めされている。各部材の固定方法には、接着剤を用いた固定方法、締結部材を用いた締結方法などがある。

〔作用〕
次に、第２実施形態のレンズアニール装置６０及びレンズ加熱処理方法の作用について説明する。

図１０に示すレンズアニール装置６０では、蓋部材７３が開放されている。そして、既述の方法で形成されたレンズ１２が、下段の台座部３０の上端部３５に、Ｋ方向に沿って載せられる。レンズ１２は、上端部３５に載せられることで位置決めされる。そして、レンズ１２は、下段のカバー部材５０によって覆われる。下段のカバー部材５０は、下段の台座部３０によって位置決めされる。

下段と同様の手順によって、中段の台座部３０、レンズ１２及び中段のカバー部材５０と、上段の台座部３０、レンズ１２及び上段のカバー部材５０とが、断熱部材９２を介して配置される。収容室７４内は、３つのカバー部材５０によって、３つの内側空間部７５Ａと、１つの外側空間部７５Ｂとに仕切られる。

レンズアニール装置６０では、複数組のヒータ４４に通電されることで、加熱部８０が加熱を開始する。３つのカバー部材５０は、加熱部８０からの輻射熱によって加熱される。加熱された３つのカバー部材５０は、光軸対称に形成されているため、３つのカバー部材５０の温度上昇の分布も光軸対称となる。光軸対称に加熱されたそれぞれのカバー部材５０からの輻射熱によって、それぞれのレンズ１２が光軸対称に加熱される。なお、カバー部材５０と台座部３０との間には、断熱部材９２が配置されているので、台座部３０が、加熱されたカバー部材５０によって加熱されるのを抑制することができる。

そして、レンズアニール装置６０では、各内側空間部７５Ａが対流の影響を受け難い作用、各レンズ１２に対して均等に輻射熱が与えられる作用、及び各レンズ１２の外周面１９が均等に加熱される作用によって、各レンズ１２が光軸Ｋに対して均等に加熱される。各レンズ１２が光軸Ｋに対して均等に加熱されることで、各レンズ１２では、膨張状態が均等となり、且つ加熱に伴う内部歪の解消状態が均等となる。各レンズ１２で膨張状態が均等となり且つ内部歪が均等に解消されることで、各レンズ１２の外形寸法の過大な部位及び過少な部位が少なくなる。つまり、各レンズ１２のＲ方向の外径差及びレンズ１２の各部でのＫ方向の肉厚の差が大きくなることが抑制されるので、各レンズ１２の形状不良の発生を抑制することができる。また、レンズアニール装置６０では、複数（一例として３つ）のレンズ１２を同じタイミングで加熱することができる。

なお、本開示は上記の実施形態に限定されない。

＜変形例＞
図１１には、第１実施形態の上端部３５（図５参照）に換えて、上端部９５が設けられた台座部３０及びレンズ１２が示されている。上端部９５は、位置決め部の一例である。

上端部９５は、一例として、Ｄ方向の中央部分を構成する上端面９５Ａと、上端面９５Ａに対してＤ方向の内側端に形成された接触面９５Ｂと、上端面９５Ａに対してＤ方向の外側端に形成された外側端面９５Ｃとを有する。上端面９５Ａは、Ｋ方向から見た場合に円環状に形成されている。また、上端面９５Ａは、Ｘ−Ｙ面に沿った平面とされている。外側端面９５Ｃは、曲面状に形成されている。

接触面９５Ｂは、筒体３４の形成後に上端内周側の部分がＣ面取り加工されることで、平面状に形成されている。接触面９５Ｂの形状（傾斜角度）は、レンズ１２の被位置決め部１８と接触面９５Ｂとが接触された場合に、筒体３４の中心軸と光軸Ｋとが一致され、且つＤ方向における筒体３４に対するレンズ１２の位置ずれが規制される形状とされている。つまり、上端部９５は、接触面９５Ｂと被位置決め部１８とがＺ方向（Ｋ方向）に接触されることで、光軸Ｋと中心軸Ｇ（図６参照）とが一致する位置にレンズ１２を位置決めさせる。

上端部９５を有する台座部３０を用いたレンズアニール装置１０においても、レンズ１２が光軸Ｋに対して均等に加熱されることで、レンズ１２の各部では、膨張状態が均等となり、且つ加熱に伴う内部歪の解消状態が均等となる。レンズ１２の各部で膨張状態が均等となり且つ内部歪が均等に解消されることで、レンズ１２の外形寸法の過大な部位及び過少な部位が少なくなる。つまり、レンズ１２のＲ方向の外径差及びレンズ１２の各部でのＫ方向の肉厚の差が大きくなることが抑制されるので、レンズ１２の形状不良の発生を抑制することができる。

＜他の変形例＞
レンズアニール装置１０は、台座部３０にレンズ１２の位置決めのための上端部３５が設けられておらず、筒体３４の上端面にレンズ１２を載せる構成であってもよい。上端部３５は、筒体３４に形成された構成に限らず、筒体３４とは別体とされ、筒体３４に取付けられた構成であってもよい。また、レンズアニール装置１０は、上端部３５がレンズ１２の外周部１６と接触される構成であってもよい。

さらに、レンズアニール装置１０は、光軸Ｋから筒体３４の外周までの長さＬ１１が、光軸Ｋから第１光学面１４の外周までの長さＬ１０よりも短くてもよい。加えて、レンズアニール装置１０は、台座部３０が底板３２と筒体３４とを有する構成に限らず、筒体３４のみを有する構成であってもよい。底板３２の厚さに相当する長さＬ５は、カバー部材５０の厚さに相当する長さＬ１４よりも短くてもよい。

また、レンズアニール装置１０は、カバー部材５０の熱膨張率が、底板３２（台座部３０）の熱膨張率以下の構成であってもよい。レンズ１２の熱伝導率は、台座部３０の熱伝導率以下であってもよい。カバー部材５０の中心軸Ｇは、左側壁２２Ｂ及び右側壁２２Ｃからの距離が異なる位置、又は、蓋部材２３及び後側壁２２Ｄからの距離が異なる位置に配置されていてもよい。さらに、レンズアニール装置１０は、加熱部４０が光軸Ｋに対して非対称に配置された複数のヒータ４４を有する構成であってもよい。

レンズアニール装置６０は、１つの台座部３０及び１つのカバー部材５０を１組として、台座部３０及びカバー部材５０が３組の構成に限らず、２組又は４組以上の構成であってもよい。また、台座部３０及びカバー部材５０は、Ｚ方向に複数組で並べられた構成に限らず、Ｘ方向（ヒータ４４が対向する方向）に対して直交するＹ方向に複数組で並べられた構成であってもよい。

蓋部材２３、７３は、Ｙ方向に開放及び閉止される構成に限らず、Ｚ方向に開放及び閉止される構成であってもよい。

レンズ加熱装置は、レンズ１２の内部歪を除くためにレンズ１２を加熱する装置に限らず、例えば、レンズ１２に形成された遮光層の内部歪を除くために加熱する装置であってもよい。

レンズ１２は、光軸Ｋに対して対称な構成に限らず、光軸Ｋに対して非対称な形状とされていてもよい。

台座部３０は、筒体３４（中空の部材）に換えて、曲面状の窪みを有する中実の部材で構成されてもよい。また、台座部３０は、セラミクス製に限らず、例えば、レンガ製であってもよい。底板３２は、筒体３４の下端に位置する構成に限らず、筒体３４の下端及び上端を除く部位に位置する構成であってもよい。なお、ガラスの熱伝導率よりも低い熱伝導率を有し、且つＳＵＳの熱膨張係数よりも低い熱膨張係数を有する材料であれば、レンガを含めて、台座部３０の素材として用いることができる。

カバー部材５０は、ＳＵＳ製に限らず、銅製、アルミニウム製などの他の金属製であってもよい。

ヒータ４４は、ハロゲンヒータに限らず、面状発熱体であってもよい。

１０ レンズアニール装置（レンズ加熱装置の一例）、１２ レンズ、１４ 第１光学面（光学面の一例）、１４Ａ 曲面、１４Ｂ 曲面、１４Ｃ 曲面、１５ 第２光学面、１６ 外周部、１７ 光学部、１８ 被位置決め部、１９ 外周面（側面の一例）、２０ 本体部、２２ 筐体、２２Ａ 底壁、２２Ｂ 左側壁、２２Ｃ 右側壁、２２Ｄ 後側壁、２２Ｅ 上壁、２３ 蓋部材、２４ 収容室、２５ 空間部、２５Ａ 内側空間部、２５Ｂ 外側空間部、３０ 台座部、３２ 底板（接触部の一例）、３２Ａ 上面、３３ 外周面、３４ 筒体（支持部の一例）、３４Ａ 上面、３５ 上端部（位置決め部の一例）、３５Ａ 上端面、３５Ｂ 接触面、３５Ｃ 外側端面、４０ 加熱部、４２ 操作パネル、４４ ヒータ、４６ リフレクタ、４８ 温度センサ、５０ カバー部材（仕切部材の一例）、５２ 側壁、５３ 内周面、５４ 上壁、６０ レンズアニール装置（レンズ加熱装置の一例）、７０ 本体部、７２ 筐体、７２Ａ 底壁、７２Ｂ 左側壁、７２Ｃ 右側壁、７２Ｄ 後側壁、７２Ｅ 上壁、７３ 蓋部材、７４ 収容室、８０ 加熱部、９２ 断熱部材、９５ 上端部（位置決め部の一例）、９５Ａ 上端面、９５Ｂ 接触面、９５Ｃ 外側端面、Ａ 基準点、Ｂ 中央点、Ｃ 光学中心、Ｅ１ 円、Ｅ２ 円、Ｇ 中心軸、Ｋ光軸、Ｌ１ 長さ、Ｌ２ 長さ、Ｌ３ 長さ、Ｌ４ 長さ、Ｌ５ 長さ（第１長さの一例）、Ｌ６ 長さ（第３長さの一例）、Ｌ７ 長さ、Ｌ８ 長さ、Ｌ９ 長さ、Ｌ１０ 長さ、Ｌ１１ 長さ、Ｌ１２ 長さ、Ｌ１３ 長さ、Ｌ１４ 長さ（第２長さの一例）、Ｌ１５ 長さ、Ｌ１６ 距離、Ｌ１７ 距離、Ｌ１８ 距離、Ｌ１９ 距離、Ｌ２０ 長さ、Ｌ２１ 長さ、ＯＡ 中心、ＯＢ 中心、ＳＡ 精密転写範囲、ＳＡ１ 有効径範囲、ＳＡ２ 非有効径範囲、ＳＢ 非精密転写範囲

Claims (11)

1. 収容室の内側に設けられレンズが光軸方向を載置方向として載せられた台座部と、
   前記収容室の内側の気体を加熱する加熱部と、
   前記収容室の内側の空間部を前記レンズ及び前記台座部が配置された内側空間部と前記加熱部が配置された外側空間部とに仕切る金属製の仕切部材と、
   を有し、
   前記仕切部材は、中空且つ前記光軸方向から見た場合に光軸対称に形成され、前記レンズの光軸を中心軸として前記収容室内に配置され、
   前記光軸方向と直交する直交方向における前記レンズから前記仕切部材までの長さが、前記光軸方向における前記レンズから前記仕切部材までの長さよりも短くされ、
   前記加熱部が前記直交方向から前記仕切部材を加熱するレンズ加熱装置。
2. 前記台座部には、前記レンズと接触されることで、前記光軸と前記中心軸とが一致する位置に前記レンズを位置決めさせる位置決め部が設けられている請求項１に記載のレンズ加熱装置。
3. 前記位置決め部は、前記レンズの有効径範囲の外側で且つ該有効径範囲の内側の曲面と連続する被位置決め部と接触される請求項２に記載のレンズ加熱装置。
4. 前記レンズは、前記光軸方向に突出された光学面を有し、
   前記レンズの径方向において、前記光軸から前記台座部の外周までの長さは、前記光軸から前記光学面の外周までの長さよりも長い請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のレンズ加熱装置。
5. 前記台座部は、
   前記直交方向から見た場合に光軸対称に形成され、常温において前記仕切部材と前記直交方向に接触する接触部と、
   前記接触部から前記光軸方向に直立され前記レンズを支持する支持部と、
   を有する請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のレンズ加熱装置。
6. 前記光軸方向における前記接触部の厚さに相当する第１長さは、前記直交方向における前記仕切部材の厚さに相当する第２長さよりも長く、且つ前記光軸方向における前記支持部の高さに相当する第３長さよりも短い請求項５に記載のレンズ加熱装置。
7. 前記仕切部材の熱膨張率は、前記接触部の熱膨張率よりも大きい請求項５又は請求項６に記載のレンズ加熱装置。
8. 前記レンズの熱伝導率は、前記台座部の熱伝導率よりも大きくされ、
   前記仕切部材の熱伝導率は、前記台座部の熱伝導率よりも大きい請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のレンズ加熱装置。
9. 前記収容室は、前記中心軸の軸方向から見た場合に四角形状に配置された４つの側壁に囲まれ、
   前記中心軸は、前記直交方向のうち一方向に対向する２つの前記側壁からの距離が等しくなる位置で、且つ該一方向と直交する他の方向に対向する２つの前記側壁からの距離が等しくなる位置に配置されている請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のレンズ加熱装置。
10. 前記加熱部は、前記一方向の一方側と他方側とに配置され且つ前記光軸に対して対称に配置された複数のヒータを有する請求項９に記載のレンズ加熱装置。
11. 光軸を囲む側面を有するレンズを収容室の内側に設けられた台座部に光軸方向に沿って載せる工程と、
    前記光軸に対して対称に形成された仕切部材を用いて、前記収容室の内側の空間部を、前記レンズ及び前記台座部が配置された内側空間部と、加熱部が配置された外側空間部とに仕切る工程と、
    前記レンズを覆った前記仕切部材を、前記光軸方向と直交する直交方向に前記加熱部が加熱することで、前記側面を加熱する工程と、
    を有するレンズ加熱処理方法。