JP6494543B2 - 多重反射セル - Google Patents
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Description
この技術においては、レーザー光が光反応にどれだけ用いられたかを示す「光利用率」を高めることにより、投入エネルギーに対する成果を示す「エネルギー収率」が向上する。
「光利用率」を高める代表的な方法として、レーザー光と反応対象ガスが接する経路の長光路化が挙げられる。
そして、長光路化の方法としては、単純に反応が行われる容器の長さをレーザー光の照射方向に沿って直線上に延長することが挙げられるが、この場合、容器の大きさや、設置スペース等の観点から限度がある。
そのため、複数枚の凹面ミラーを向い合せに設置し、当該凹面ミラー間にレーザー光を複数回反射させて長光路化を達成する方法が一般的に用いられている。このように凹面ミラーを配置してレーザー光を複数回反射させる構造は、一般に、多重反射セルと呼ばれる。
そして、例えば多重反射セルによりガス中の微量成分を分析する場合においては、ガス中に照射されたレーザー光の光反応後における出射光強度を検出することによりガス濃度を測定するため、凹面ミラー表面においては常に設計通りのスポットパターンを維持し、安定した出射光強度を得ることが求められる。
そのためには、向い合せに設置した凹面ミラーの位置(ミラー間距離)や向き(あおり方向及び首振り方向)、レーザー光の入射角度を厳密に調整することが必要となる。しかしながら、多重反射セルを所定温度に加熱又は冷却して光反応又は分光分析するような場合においては、容器等の温度変化によりミラー間距離や凹面ミラーの向きが一定に維持されず、又、凹面ミラーへのレーザー光の入射角がずれて容器内壁にレーザー光が当たって乱反射してしまうこと等により、設計通りのスポットパターンが得られない。
したがって、多重反射セルにおいては、向い合せに配置した凹面ミラーのミラー間距離を一定に保つ技術と、凹面ミラーの向きを一定に維持する技術が肝要である。
しかしながら、特許文献1に開示された多重反射セルには、レーザー光の照射時にミラーの向きを調整する機構がなく、ミラーの向きを調整することができないという課題があった。さらに、ミラー間の距離が延長されるにつれ、多重反射セル自体の重量をインバーロッドで支えきれず、鉛直方向にズレや傾きが生じて精密な光路の調整が困難となる課題があった。
しかしながら、特許文献2に開示された技術においては、所定温度に加熱又は冷却した際に架台と可動ステージとの鉛直方向における伸縮の差によるズレや傾きが長光路化に大きな問題であることに加え、凹面鏡のあおりを調整する調整ネジによる容器内への熱の侵入や気密性が大きな問題であった。
さらに、有底筒状容器13及び23とベローズ31の外周面にはコイル管51が設けられている。
凹面ミラー11及び21は、凹状反射面を有し、入射したレーザー光を該凹状反射面において複数回反射させるため、凹面ミラー11と凹面ミラー21が向かい合わせに対向して設けられている。
有底筒状容器13及び23は、一方に底部を有し他方に開口部を有すると共に、有底筒状容器13及び23の開口部同士が対向した状態で配置されたものであり、図2においては、筒状部材13a及び23aの一端側に底蓋部材13b及び23bがフランジにより着脱可能に取り付けられた構造である。
一方、有底筒状容器23には観察窓67が設置され、凹面ミラー21におけるレーザー光のスポットパターンを観察し、カメラ69により撮影することができる。
ミラー固定部材15及び25は、凹面ミラー11及び21の背面側を保持し、有底筒状容器13及び23に凹面ミラー11及び21をそれぞれ固定するものであり、図2において、ミラー固定部材15及び25は筒状部材13a及び23aの底蓋部材13b及び23b側の端部に固定されている。
ベローズ31は、有底筒状容器13の開口部と有底筒状容器23の開口部とを気密に連結し、凹面ミラー11及び13のミラー間方向に伸縮可能な伸縮連結部材からなるものであり、図2において、ベローズ31は筒状部材13a及び23aの開口部に設けられたフランジにより接続されている。
固定架台17及び27は、設置面1に固定され、有底筒状容器13及び23の底部(図2における底蓋部材13b及び23b)側の外周面をそれぞれ支持固定するものである。
固定架台17及び27により有底筒状容器13及び23が設置面1に対して固定されることにより、加熱又は冷却された有底筒状容器13及び23がミラー間方向に熱膨張又は熱収縮しても、凹面ミラー11及び21の設置面1に対する位置が固定され、ミラー間距離は一定に保たれる。よって、固定架台17及び27それぞれの真上に凹面ミラー11及び21の各反射面が位置するように配置されることが望ましい。
なお、固定架台17及び27が固定される設置面1は、床面等であっても良い。
可動架台19及び29は、設置面1に配置され、有底筒状容器13及び23が凹面ミラー11及び21のミラー間方向に伸縮可能となるように、有底筒状容器13及び23の開口部の外周面を支持するものである。
また、可動架台19及び29は、固定架台17及び27と設置面1からの高さが同じ形状で、有底筒状容器13及び23の外周面の周方向に下半周を接触させて支持することが好ましい。
なお、温度が1℃上昇(低下)したときの部材の長さ変化量を熱膨張(熱収縮)という。
コイル管51は、有底筒状容器13及び23とベローズ31の外周面に当接するように設けられたものであり、コイル管51の内部に冷媒や温水等を流すことにより有底筒状容器13及び23とベローズ31の内部を加熱又は冷却し、所定の温度に保つものである。
さらに、冷媒として混合フロンガスをコイル管51の内部に流し、多重反射セル100の内部の温度を-30℃に保つものとしたが、コイル管51に流す流体の種類と温度は任意に選択することができる。
まず、多重反射セル100の外部に、レーザー光源61とカメラ69を設置する。本実施の形態では、レーザー光源61にはHe-Neレーザーを用いた。
そして、レーザー光源61から出射したレーザー光をレーザー透過窓63と通して多重反射セル100の内部に導入する。
最後に、レーザー光源61からレーザー光を出射し、レーザー透過窓63を通してレーザー光を有底筒状容器13に導入することで光反応を行うことができる。
11 凹面ミラー
13 有底筒状容器
13a 筒状部材
13b 底蓋部材
15 ミラー固定部材
17 固定架台
19 可動架台
21 凹面ミラー
23 有底筒状容器
23a 筒状部材
23b 底蓋部材
25 ミラー固定部材
27 固定架台
29 可動架台
31 ベローズ
41 ガス導入管
43 ガス導出管
51 コイル管
61 レーザー光源
63 レーザー透過窓
65 ガイドミラー
67 観察窓
69 カメラ
Claims (3)
- レーザー光を複数回反射するために対向して設けられた複数の凹面ミラーを有し、所定温度に加熱又は冷却して光反応若しくは分光分析に用いる多重反射セルであって、
一方に底部を有し他方に開口部を有するとともに、該開口部が対向した状態で配置された一対の有底筒状容器と、
該各有底筒状容器内に前記凹面ミラーを固定するミラー固定部材と、
前記一対の有底筒状容器の開口部同士を気密に連結し、前記凹面ミラーの光軸方向に伸縮可能な伸縮連結部材と、
設置面に固定され、前記各有底筒状容器の外周面を支持固定する固定架台と、
前記設置面に配置され、前記各有底筒状容器が前記凹面ミラーの光軸方向に伸縮可能に外周面を支持する可動架台とを備え、
前記固定架台及び前記可動架台は、熱膨張が等しいことを特徴とする多重反射セル。 - 前記固定架台及び前記可動架台を形成する部材は、同じ材質であることを特徴とする請求項1記載の多重反射セル。
- 前記固定架台及び前記可動架台は、前記筒状容器の外周面の周方向に半周以上接触して支持することを特徴とする請求項1又は2記載の多重反射セル。
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