JP2020004775A - 光検出器 - Google Patents
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Abstract
Description
[第1実施形態]
…(1)
[第2実施形態]
[第3実施形態]
[第4実施形態]
[第5実施形態]
[第6実施形態]
[第7実施形態]
第1の金属電極層3を構成する金属材料としては、Al、Pt、Auのほか、Inを用いることも好適である。また、光検出器1Gでは、絶縁層5と第2の金属電極層6とを合わせた厚さが半導体凸部4の高さよりも大きくなっている。これにより、半導体凸部4は、第2の金属電極層6内に埋没し、半導体凸部4の頂部が第2の金属電極層6によって覆われた状態となっている。
[第8実施形態]
[第9実施形態]
[第10実施形態]
[第11実施形態]
[第12実施形態]
[第13実施形態]
[第14実施形態]
[第15実施形態]
[第16実施形態]
[他の変形例]
Claims (15)
- p型及びn型の一方の導電型を有する半導体層によって構成された半導体ベース部と、
前記半導体ベース部の一方面又は他方面に設けられた第1の金属電極層と、
p型及びn型の他方の導電型を有する半導体層によって構成され、前記半導体ベース部の前記他方面に設けられた半導体凸部と、
前記半導体凸部の周りを囲うように前記半導体ベース部の前記他方面に設けられた絶縁層と、
前記半導体凸部において少なくとも互いに対向する一対の側面に密着するように前記絶縁層上に設けられた第2の金属電極層と、を備え、
前記半導体凸部及び前記第2の金属電極層によって構成されるMIM共振器の接合方向は、前記半導体ベース部と前記半導体凸部との間のpn接合の方向と交差し、
前記第2の金属電極層と前記半導体凸部の側面との密着幅によって規定される前記MIM共振器の共振器長は、半導体層の吸収端波長よりも長い波長を有する入射光によって表面プラズモンが励起され、且つ前記表面プラズモンの共振により形成される電場によってフォノンが励起される長さとなっている光検出器。 - 前記半導体凸部のキャリア濃度は、前記半導体ベース部のキャリア濃度よりも小さくなっている請求項1記載の光検出器。
- 前記MIM共振器の共振器長は、前記表面プラズモンの波長の1/2の整数倍となっており、
前記半導体凸部の頂部は、前記第2の金属電極層から露出している請求項1又は2記載の光検出器。 - 前記MIM共振器の共振器長は、前記表面プラズモンの波長の1/4の奇数倍となっており、
前記半導体凸部の頂部は、前記第2の金属電極層によっておおわれている請求項1又は2記載の光検出器。 - 前記第1の金属電極層には、前記半導体凸部と対応する位置に、前記半導体ベース部の前記一方面を露出させる開口部が設けられている請求項4記載の光検出器。
- 前記開口部から露出する前記半導体ベース部の前記一方面には、透明導電膜又は反射防止膜からなる光学膜が設けられている請求項5記載の光検出器。
- 前記半導体凸部は、前記半導体ベース部の前記他方面における面内方向の一方向に延在し、
前記第2の金属電極層は、前記半導体凸部を挟むように前記一方向に延在している請求項1〜6のいずれか一項記載の光検出器。 - 前記半導体凸部は、平面視において断面正方形状又は断面円形状をなし、
前記第2の金属電極層は、前記半導体凸部の全ての側面に密着するように設けられている請求項1〜6のいずれか一項記載の光検出器。 - 前記半導体凸部は、前記半導体ベース部の他方面に複数設けられ、
前記半導体凸部のそれぞれに対応して設けられた前記第2の金属電極層の少なくとも一部同士が連続している請求項1〜8のいずれか一項記載の光検出器。 - 前記半導体凸部は、前記半導体ベース部の他方面に複数設けられ、
前記半導体凸部のそれぞれに対応して設けられた前記第2の金属電極層同士が互いに離間している請求項1〜8のいずれか一項記載の光検出器。 - 前記第2の金属電極層は、前記絶縁層を介して前記半導体凸部の前記一対の側面に密着している請求項1〜10のいずれか一項記載の光検出器。
- 前記半導体ベース部は、当該半導体ベース部の前記他方面側に位置し、前記第1の金属電極層及び前記半導体凸部に接合する第1のベース部分と、残余の部分を構成する第2のベース部分とを有し、
前記第1のベース部分のキャリア濃度は、前記第2のベース部分のキャリア濃度よりも大きくなっている請求項11記載の光検出器。 - 前記第1のベース部分の厚さは、前記第2のベース部分の厚さよりも小さくなっている請求項12記載の光検出器。
- 前記第1の金属電極層は、前記第2の金属電極層と離間した状態で前記半導体ベース部の前記他方面に設けられている請求項11〜13のいずれか一項記載の光検出器。
- 前記第1の金属電極層は、前記半導体ベース部の前記一方面に設けられていると共に、前記第2のベース部分を貫通して前記第1のベース部分に接合している請求項12又は13記載の光検出器。
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