JP2019529936A - 検査システムのための軸上照明及び拡散照明 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2016年10月7日に出願の米国仮特許出願第62/405,549号の優先権を主張する2017年10月6日に出願の米国特許出願第15/727,215号の利益を主張し、そのそれぞれの全体が言及によって本明細書に援用される。
本発明の実施形態は一般に検査システムに関する。特に、本発明の実施形態は検査システム用照明に関する。
Claims (20)
- カメラと、
頂点と前記頂点からオフセットされているビューポートとを含む反射ドーム、及び出力される光が前記反射ドームに入るように前記反射ドーム周りに配置された複数の光源を有する筐体とを含み、
前記カメラは、前記ビューポートを通って前記反射ドームを出る光を捕捉するように取り付けられる、検査システム。 - 前記ビューポートを通って前記反射ドームを出て前記カメラに受け入れられる前記光は、拡散するとともに、前記カメラの方向に対して軸上の光を再現する光を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記反射ドームは、上側と、高反射凹状面を備えた底側とを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の光源の各光源は、裏側と、前記光源によって生成された照明が放出される表側とを含み、前記高反射凹状面と前記複数の光源の前記表側とは下方方向に向くように前記筐体に配置される、請求項3に記載のシステム。
- 前記反射ドームの前記底側に重なるとともに、前記反射ドーム内へと前記複数の光源から下方方向に直接的に放出された実質的な光の量を反射する高反射面と、中心空隙とを含む、反射体リングをさらに含み、前記反射体リングによって前記反射ドーム内へ反射された光は、前記高反射凹状面から反射して前記中心空隙を通って、反射される部品に反射するとともに、前記中心空隙を通って前記反射ドーム内に反射して戻る、請求項4に記載のシステム。
- 前記反射体リングは、前記反射体リング周りに円状に配置されるとともに、前記反射ドームの前記高反射凹状面が向いている前記下方方向と反対の上方方向に向く複数の高反射凹状表面をそれぞれ含む複数のスカラップ部を含む、請求項5に記載のシステム。
- 前記複数のスカラップ部は、それぞれ、1:1の関係で前記複数の光源の下に配置される、請求項6に記載のシステム。
- 前記反射ドームを囲むヒートシンクリングをさらに含み、前記複数の光源の前記裏側は、前記ヒートシンクリングに当接して、前記複数の光源によって生成された熱エネルギーを前記ヒートシンクリングに伝達する、請求項4に記載のシステム。
- 前記カメラは、カメラ取付構造によって支持され、前記筐体は、前記カメラ取付構造と前記筐体との両方に接続された2つの金属管のみによって機械的に支持される、請求項8に記載のシステム。
- 冷却流体の流体回路が前記2つの金属管のそれぞれと前記筐体とに通っている、請求項9に記載のシステム。
- 前記複数の光源は、前記反射ドーム周囲に配されるリングを形成する、請求項1に記載のシステム。
- 前記反射ドームの前記頂点は反射金属から形成されており、透明ではない、請求項1に記載のシステム。
- 前記ビューポートは、前記反射ドームの前記高反射凹状面に沿って細長いプロファイルを有する孔を含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記筐体は、前記反射ドームの少なくとも一部の周りに延出するとともに、前記複数の光源によって生成された熱を取り除くように構成された、冷却流体回路をさらに含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記複数の光源は発光ダイオードである、請求項1に記載のシステム。
- 頂点と前記頂点からオフセットされているビューポートとを含む反射ドームと、
出力される光が前記反射ドームに入るように、前記反射ドーム周りに配置された複数の光源とを含む、検査システム用照明筐体。 - 前記照明筐体は、前記複数の光源からの光が前記ビューポートを通って前記反射ドームを出るものであり、拡散するとともに、カメラの方向に対して軸上の光を再現するように構成される、請求項16に記載の照明筐体。
- 前記反射ドームは、上側と、高反射凹状面を備えた底側とを含む、請求項16に記載の照明筐体。
- 前記複数の光源の各光源は、裏側と、前記光源によって生成された照明が放出される表側とを含み、前記高反射凹状面と前記複数の光源の前記表側とは下方方向に向くように前記筐体に配置される、請求項18に記載の照明筐体。
- 前記反射ドームの前記底側に重なるとともに、前記反射ドーム内へと前記複数の光源から下方方向に直接的に放出された実質的な光の量を反射する高反射面と、中心空隙とを含む、反射体リングをさらに含み、前記反射体リングによって前記反射ドーム内へ反射された光は、前記高反射凹状面から反射して前記中心空隙を通って、反射される部品に反射するとともに、前記中心空隙を通って前記反射ドーム内に反射して戻る、請求項19に記載の照明筐体。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201662405549P | 2016-10-07 | 2016-10-07 | |
US62/405,549 | 2016-10-07 | ||
US15/727,215 | 2017-10-06 | ||
US15/727,215 US11442020B2 (en) | 2016-10-07 | 2017-10-06 | On-axis and diffuse illumination for inspection systems |
PCT/US2017/055647 WO2018068009A1 (en) | 2016-10-07 | 2017-10-06 | On-axis and diffuse illumination for inspection systems |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019529936A true JP2019529936A (ja) | 2019-10-17 |
JP2019529936A5 JP2019529936A5 (ja) | 2020-11-12 |
JP7050771B2 JP7050771B2 (ja) | 2022-04-08 |
Family
ID=61828742
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019518377A Active JP7050771B2 (ja) | 2016-10-07 | 2017-10-06 | 検査システムのための軸上照明及び拡散照明 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11442020B2 (ja) |
JP (1) | JP7050771B2 (ja) |
CN (1) | CN109891215A (ja) |
WO (1) | WO2018068009A1 (ja) |
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-
2017
- 2017-10-06 JP JP2019518377A patent/JP7050771B2/ja active Active
- 2017-10-06 US US15/727,215 patent/US11442020B2/en active Active
- 2017-10-06 CN CN201780061811.4A patent/CN109891215A/zh active Pending
- 2017-10-06 WO PCT/US2017/055647 patent/WO2018068009A1/en active Application Filing
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20180100808A1 (en) | 2018-04-12 |
US11442020B2 (en) | 2022-09-13 |
CN109891215A (zh) | 2019-06-14 |
JP7050771B2 (ja) | 2022-04-08 |
WO2018068009A1 (en) | 2018-04-12 |
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