JP2019529932A - 電気的測定回路、ガス検出器及びガス濃度を測定する方法 - Google Patents
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Abstract
Description
−電気機械的な共振器;
−この共振器から応答信号を受け取るために前記共振器の検出端子に接続されている入力、及び前記共振器に励振力を加えるために前記共振器の励振端子に接続されている出力を有している電気的フィードバック部であり、それによって、前記共振器及び当該電気的フィードバック部が、共振周波数で動作する発振器の少なくとも一部を形成している、電気的フィードバック部;
−前記共振周波数を測定するために前記共振器に接続されている周波数測定装置;並びに
−前記電気的フィードバック部の前記出力に接続されている入力、及び外部装置に変調信号を送るように適合されている変調出力を有しており、かつ前記電気的フィードバック部の前記出力にある励振信号に依存する、測定部を備えている。
−電気機械的な基準共振器;並びに
−前記基準共振器から応答信号を受け取るために前記基準共振器の検出端子に接続されている入力、及び前記基準共振器に別の励振力を加えるために前記基準共振器の励振端子に接続されている出力を有している、別の電気的フィードバック部であり、それによって、前記基準共振器及び当該別の電気的フィードバック部が、基準周波数(fref)と呼ばれる別の共振周波数で動作する基準発振器(10ref)を、前記測定部(4)に接続されている前記発振器(10)と独立して形成している別の電気的フィードバック部を、さらに備えている。
−以上に示されている改良点を有し得る、本発明の第1の態様にしたがう電気的測定回路;並びに
−前記外部装置を構成している変調可能なレーザであり、前記測定部の前記変調出力が、前記変調可能なレーザの変調入力に接続されており、ここで、前記変調可能なレーザの波長に対応する吸収線を有しているであろう、かつ前記変調可能なレーザから生じる放射ビームを受け取るであろうガスは、音響波を生成し、当該音響波は共振器に対してさらなる励振力を生成するように、変調可能なレーザは配向されている、変調可能なレーザ
を備えている。
/1/前記変調可能なレーザの波長が前記ガスの吸収線と一致し、かつ本発明の第1の態様にしたがうガス検出器を、選択するステップ;
/2/前記変調可能なレーザから生じる前記放射ビームが、一定量の前記ガスを収容できる区域を通過するように、前記ガス検出器を配置するステップ;
/3/前記外部装置によって前記共振器に加えられる前記さらなる励振力が、前記電気的フィードバック部によって加えられる前記励振力に対して直角位相になるように、前記測定部の前記調整可能な移相器を調整するステップ;
/4/前記さらなる励振力から生じる前記発振器の前記共振周波数の、オフセット量を測定するステップ;及び
/5/前記共振周波数の、測定された前記オフセット量から、前記ガス濃度の値を推定するステップを含んでいる。
Cgas=[3・Q・Nx・Vx/(4・β・fr)]・Δf
を用いることによって、ステップ/5/において、共振周波数のオフセット量から推定され得る。
−前記ガス検出器の動作中に前記発振器の周波数をリアルタイムに測定するサブステップ;及び
−前記測定部の前記調整可能な移相器を、前記発振器の、測定されているときのこの周波数が最大であるように、設定するサブステップを含み得る。
に等しい移相を生成するように設定され得る。
Φtotal=φel+Φpa+Φac
(ここで、φelは、変調信号を生成するために、測定部4によって励振信号に適用される位相遅延である)である。
φel=
を生成するように設定される。
Claims (12)
- 電気機械的な共振器(1);
前記共振器から応答信号を受け取るために前記共振器の検出端子(1b)に接続されている入力(2a)、及び前記共振器に励振力(Fx)を加えるために前記共振器の励振端子(1a)に接続されている出力(2b)を有している電気的フィードバック部(2)であり、それによって、前記共振器及び当該電気的フィードバック部が、共振周波数(fr)で動作する発振器(10)の少なくとも一部を形成している、電気的フィードバック部(2);
前記共振周波数(fr)を測定するために前記発振器(10)に接続されている周波数測定装置(3);並びに
前記電気的フィードバック部(2)の前記出力(2b)に接続されている入力(4a)、及び外部装置(5)に変調信号を送るように適合されている変調出力(4b)を有しており、かつ前記電気的フィードバック部(2)の前記出力(2b)にある励振信号に依存する、測定部(4)を備えており、
それによって、前記外部装置(5)が、さらなる励振力(Fpa)を、前記電気的フィードバック部(2)によって加えられる励振力(Fx)の他に、前記共振器(1)に加えるように適合されているとき、その結果として、前記周波数測定装置(3)によって測定されておりかつ前記さらなる励振力から生じている、前記共振周波数(fr)のオフセット量が、前記外部装置(5)のパラメータの測定値と同等である、電気的測定回路であって、
前記測定部(4)は、前記測定部の入力(4a)と前記変調出力(4b)との間に配置されている調整可能な移相器(41)を備えており、それによって、前記さらなる励振力が電気的フィードバック部によって加えられる励振力(Fx)に対して直角位相であるように、前記外部装置(5)によって前記共振器(1)に加えられる前記さらなる励振力(Fpa)の移相を整調可能であることを特徴とする電気的測定回路。 - 前記共振器(1)は振動石英素子タイプ(例えば石英音叉タイプ)又は振動シリコン素子タイプ(例えばシリコン音叉タイプ)である、請求項1に記載の電気的測定回路。
- 前記電気的フィードバック部(2)は、直列に連結されている増幅器(21)及び移相器(22)を備えている、又は位相同期ループアセンブリを備えている、請求項1又は2に記載の電気的測定回路。
- 前記測定部(4)は、前記調整可能な移相器(41)によって調整可能な前記移相の他に、piのさらなる移相を、可逆的に適用するように適合されており、それによって、前記外部装置(5)の前記パラメータの前記測定値を構成する前記共振周波数(fr)のオフセット量は、piに等しい前記さらなる移相のあり及びなしのそれぞれのとき、前記共振周波数(fr)について測定される2値の間の差の半分に等しい、請求項1から3のいずれか1項に記載の電気的測定回路。
- 電気機械的な基準共振器;並びに
前記基準共振器から応答信号を受け取るために前記基準共振器の検出端子に接続されている入力、及び前記基準共振器に別の励振力を加えるために前記基準共振器の励振端子に接続されている出力を有している、別の電気的フィードバック部であり、それによって、前記基準共振器及び当該別の電気的フィードバック部が、基準周波数(fref)と呼ばれる別の共振周波数で動作する基準発振器(10ref)を、前記測定部(4)に接続されている前記発振器(10)と独立して形成している別の電気的フィードバック部を、さらに備えており;
前記電気的測定回路は、前記測定部(4)に接続されている前記発振器(10)の前記共振周波数(fr)から切り離して、前記基準周波数(fref)を測定するように、さらに適合されており、それによって、前記外部装置(5)の前記パラメータの前記測定値を構成する共振周波数(fr)のオフセット量は、前記測定部に接続されている前記発振器について測定される前記共振周波数(fr)と基準周波数との間の差に一致する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の電気的測定回路。 - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の電気的測定回路;並びに
前記外部装置(5)を構成している変調可能なレーザであり、前記測定部(4)の前記変調出力(4b)が、前記変調可能なレーザの変調入力に接続されており、ここで、前記変調可能なレーザの波長に対応する吸収線を有しているであろう、かつ前記変調可能なレーザから生じる放射ビーム(FX)を受け取るであろうガスは、音響波を生成し、当該音響波は共振器(1)に対してさらなる励振力(Fpa)を生成するように、変調可能なレーザは配向されている、変調可能なレーザ
を備えており、それによって、前記共振周波数(fr)のオフセット量によって測定される前記パラメータは、前記変調可能なレーザの前記波長において吸収線を有しているガスの濃度である、ガス検出器。 - 前記変調可能なレーザは、この変調可能なレーザから生じる放射ビーム(FX)にとっての波長又は放射出力において変調可能である、請求項6に記載のガス検出器。
- 前記共振器(1)は音叉を備えており、前記変調可能なレーザから生じる前記放射ビーム(FX)は、前記音叉の2つの歯に対して直角をなし、かつ前記音叉の対称面において前記音叉の2つの歯の間を通過するか、又は前記音叉の2つの歯のうち他方の歯と反対にある一方の歯の一側面上を通過するように配向されている、請求項6又は7に記載のガス検出器。
- ガスの濃度の測定のための方法であって、
/1/前記変調可能なレーザの波長が前記ガスの吸収線と一致し、かつ請求項6〜8のいずれか1項にしたがうガス検出器を、選択するステップ;
/2/前記変調可能なレーザから生じる前記放射ビーム(FX)が、一定量の前記ガスを収容できる区域を通過するように、前記ガス検出器を配置するステップ;
/3/前記外部装置(5)によって前記共振器(1)に加えられる前記さらなる励振力(Fpa)が、前記電気的フィードバック部(2)によって加えられる前記励振力(Fx)に対して直角位相になるように、前記測定部(4)の前記調整可能な移相器(41)を調整するステップ;
/4/前記さらなる励振力(Fpa)から生じる前記発振器(10)の前記共振周波数(fr)の、オフセット量を測定するステップ;及び
/5/前記共振周波数(fr)の、測定された前記オフセット量から、前記ガス濃度の値を推定するステップ
を含んでいる、方法。 - 前記ガス濃度の前記値は、式:
Cgas=[3・Q・Nx・Vx/(4・β・fr)]・Δfr
(ここで、Q及びfrはそれぞれ、前記電気機械的な共振器(1)の品質係数及び振動共振周波数であり、Nxは、前記電気機械的な共振器の圧電換算係数であり、Vxは、前記電気機械的な共振器の励振電圧振幅であり、βは、前記ガスの前記濃度に無関係な定数である)
を用いて、ステップ/5/において前記共振周波数(fr)のオフセット量から推定される、請求項9に記載の方法。 - ステップ/3/は、
前記ガス検出器の動作中に前記発振器(10)の周波数をリアルタイムに測定するサブステップ;及び
前記測定部(4)の前記調整可能な移相器(41)を、前記発振器の、測定されているときの前記周波数が最大であるように、設定するサブステップ
を含んでいる、請求項9又は10に記載の方法。 - 前記共振器が音叉を備えており、前記調整可能な移相器(41)は、ステップ/3/において、
(ここで、
(ここで、Ozは、複数の歯の基部に1つの起点を有している前記音叉の前記複数の歯の長手方向と平行な軸であり、Hは、前記音叉の前記複数の歯の前記基部と前記変調可能なレーザから生じる放射ビーム(FX)の中心との間の、軸Ozと平行な、測定された第1距離であり、Lは、前記放射ビームの前記中心と前記音叉との間にある、Oz軸と直角をなして測定された第2距離であり、eは、前記音叉の前記複数の歯の、第2距離Lと平行に測定された厚さであり、cは、前記ガス中の音の伝播速度であり、frは、前記電気機械的な共振器の前記振動共振周波数であり、τV−Tは、前記ガスの緩和時間であり、J0及びY0はそれぞれ、第1種一次ベッセル関数及び第2種一次ベッセル関数である))
に等しい移相を生成するように設定される、請求項9〜11のいずれか1項に記載の方法。
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