JP2019522180A - 予備サーベイを用いる改善された分析 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の条件の組を用いて、試料表面上の関心領域(region of interest)から分析データを収集する第1のサーベイを実施することと、
第1の条件の組とは異なる第2の条件の組を用いて、試料表面上の関心領域の選択された部分から付加的な分析データを収集する第2のサーベイを実施することと、を含み、
第1のサーベイからの分析情報データを用いて、第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる部分を選択し、それらが用いられる順序を決定する。
この装置は、試料表面上の関心領域から収集されたデータを記録及び処理するように構成され、
この装置は、
第1の条件の組を用いて試料表面上の関心領域から分析データを収集する第1のサーベイと、
第1の条件の組とは異なる第2の条件の組を用いて、試料表面上の関心領域の選択される部分から付加的な分析データを収集する第2のサーベイと、
を含む分析を実施するように構成され、
第1のサーベイからの分析情報データを用いて、第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる部分を選択し、それらが用いられる順序を決定する。
以下に本発明の実施態様を記載する。
(実施態様1)顕微鏡における試料の分析のための方法であって、
第1の条件の組を用いて、前記試料の表面上の関心領域から分析データを収集する第1のサーベイを実施することと、
前記第1の条件の組とは異なる第2の条件の組を用いて、前記試料の表面上の前記関心領域の選択された部分から付加的な分析データを収集する第2のサーベイを実施することと、を含み、
前記第1のサーベイからの前記分析データを用いて、前記第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる前記部分を選択し、それら部分が用いられる順序を決定する、方法。
(実施態様2)前記第1のサーベイからの前記分析情報データを用いて、前記第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる前記関心領域内の位置、及び前記選択された部分についての順序を決定する、実施態様1に記載の方法。
(実施態様3)前記第1の条件の組及び前記第1のサーベイ中に収集されるデータは、前記試料上のエリアを前記第2の条件の組の場合よりも迅速にカバーするように選択される、実施態様1又は2に記載の方法。
(実施態様4)前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組の条件は、倍率、画像分解能、画像滞留時間、グレー・レベル閾値、エネルギー分散型X線分光設定、及びサーベイ終了条件のいずれかを含む、実施態様1〜3のいずれかに記載の方法。
(実施態様5)前記第1の条件の組の倍率は、前記第2の条件の組の倍率より低い、実施態様4に記載の方法。
(実施態様6)前記第1の条件の組の画像分解能は、前記第2の条件の組の画像分解能より低い、実施態様4又は5に記載の方法。
(実施態様7)前記第1のサーベイは、前記分析データを収集するための前記顕微鏡の第1の検出器に対して前記試料を移動させて、複数のサブ領域の各々が、所定の滞留時間、前記第1の検出器の視野内に連続的に入るようにすることにより、前記関心領域から前記分析データを収集することを含む、実施態様1〜6のいずれかに記載の方法。
(実施態様8)前記第2のサーベイは、前記付加的な分析データを収集するための前記顕微鏡の第2の検出器に対して前記試料を移動させて、前記選択された部分の各々が、所定の滞留時間、前記第2の検出器の視野内に連続的に入るようにすることにより、前記選択された部分の各々から前記付加的なデータを収集することを含む、実施態様1〜7のいずれかに記載の方法。
(実施態様9)前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組は、前記第1のサーベイにおけるサブ領域の数が、前記第2のサーベイにおける前記選択された部分の数より大きくなるように選択される、実施態様7及び8に記載の方法。
(実施態様10)前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組は、前記第2のサーベイ中に収集される前記付加的な分析データの確度が、前記第1のサーベイ中に収集される前記分析データの確度を上回るように選択される、実施態様7及び8、又は実施態様9に記載の方法。
(実施態様11)前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組は、前記第2のサーベイにおける所定の滞留時間が、前記第1のサーベイにおける滞留時間より長くなるように選択される、実施態様7及び8、又は実施態様9、又は実施態様10に記載の方法。
(実施態様12)前記滞留時間は、所定の分解能又は信号対ノイズ比で前記付加的な分析データを収集するのに十分に長いものである、実施態様8〜11のいずれかに記載の方法。
(実施態様13)前記第1の検出器は前記第2の検出器である、実施態様8〜12のいずれかに記載の方法。
(実施態様14)前記第2のサーベイにおける前記付加的な分析データの収集は、エネルギー分散型X線分光データを収集することを含む、実施態様1〜13のいずれかに記載の方法。
(実施態様15)前記第1のサーベイからの前記分析データを用いることは、前記分析データから前記試料上の関心特徴を同定することを含む、実施態様1〜14のいずれかに記載の方法。
(実施態様16)前記第1のサーベイからの前記分析データを用いることは、前記選択された部分が前記関心特徴の所定の画分を含むように、前記第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる前記部分を選択することをさらに含む、実施態様15に記載の方法。
(実施態様17)前記関心特徴は、前記試料の表面上に存在する粒子又は他の分離領域である、実施態様15又は16に記載の方法。
(実施態様18)前記第1のサーベイからの前記分析データを用いることは、前記選択された部分の各々から前記付加的な分析データを収集する最適な順序を生成することを含む、実施態様1〜17に記載の方法。
(実施態様19)前記最適な順序は、前記関心特徴のより小さい割合を含む部分から前記付加的な分析データを収集する前に、前記関心特徴のより大きい割合を含む部分から前記付加的な分析データを収集するように生成される、実施態様15に従属するときの実施態様18に記載の方法。
(実施態様20)前記選択された部分の合計面積は、前記関心領域の面積を下回り、
前記第2のサーベイは、前記選択された部分のみから前記付加的な分析データを収集することを含む、実施態様1〜19に記載の方法。
(実施態様21)前記第1のサーベイ及び前記第2のサーベイの各々は、粒子ビームを前記試料に指向させ、その結果、前記データを収集するために前記試料から放出されるX線又は電子を検出することを含む、実施態様1〜20のいずれかに記載の方法。
(実施態様22)前記粒子ビームは、電子ビーム又はイオンビームである、実施態様21に記載の方法。
(実施態様23)前記第1のサーベイ及び前記第2のサーベイの各々においてデータを収集することは、前記試料を表す光学的画像データを収集することを含む、実施態様1〜22のいずれかに記載の方法。
(実施態様24)前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組は、前記第1のサーベイが、前記第2のサーベイで取得される光学画像よりも、低い倍率及び小さい視野を有する光学画像を取得することを含むように選択される、実施態様23に記載の方法。
(実施態様25)前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組は、前記第1のサーベイが、前記第2のサーベイで取得される光学画像よりも迅速に光学画像を取得することを含むように選択される、実施態様23又は24に記載の方法。
(実施態様26)前記第1のサーベイからの前記分析データを用いることは、前記分析データから前記試料上の関心特徴を同定することを含み、
前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組の各々は、各々のサーベイが終了する終了条件を含み、前記第2の条件の組の終了条件は、付加的な分析データが前記関心特徴の所定の画分から収集されたときに、前記第2のサーベイを終了するように決定される、実施態様1〜25のいずれかに記載の方法。
(実施態様27)前記第1の条件の組の終了条件は、全関心領域から分析データが収集された後に、前記第1のサーベイが終了するというものであり、前記第1の条件の組における滞留時間、倍率及び分解能は、前記第2の条件の組と同じである、実施態様26に記載の方法。
(実施態様28)前記第1のサーベイ及び前記第2のサーベイの各々が自動化されており、前記方法は、前記第1のサーベイの後及び前記第2のサーベイの前に実施される決定ステップをさらに含み、前記決定ステップの結果が、前記第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる前記部分の選択、及び、それら部分が用いられる順序の決定に用いられる、実施態様1〜27のいずれかに記載の方法。
(実施態様29)前記決定ステップは自動化されている、実施態様28に記載の方法。
(実施態様30)前記決定ステップは、ユーザにより行われる動作を含む、実施態様28に記載の方法。
(実施態様31)前記方法は、顕微鏡における試料の自動分析のためのものである、実施態様1〜29のいずれかに記載の方法。
(実施態様32)顕微鏡における試料の分析のための装置であって、前記装置は、
ステージ位置決めのためのプログラム可能な制御装置を含み、
前記装置は、前記試料の表面上の関心領域から収集されたデータを記録及び処理するように構成されており、
前記装置は、
第1の条件の組を用いて前記試料の表面上の関心領域から分析データを収集する第1のサーベイと、
前記第1の条件の組とは異なる第2の条件の組を用いて、前記試料の表面上の関心領域の選択された部分から付加的な分析データを収集する第2のサーベイと、
を含む分析を実施するように構成され、
前記第1のサーベイからの前記分析データを用いて、前記第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる前記部分が選択され、それら部分が用いられる順序が決定される、装置。
(実施態様33)前記第1の条件の組及び前記第1のサーベイ中に収集されるデータは、前記試料上のエリアを前記第2の条件の組の場合よりも迅速にカバーするように選択される、実施態様32に記載の装置。
(実施態様34)前記装置は、前記分析データを収集するための第1の検出器を含む顕微鏡を含む、実施態様32又は33に記載の装置。
(実施態様35)前記装置は、前記付加的な分析データを収集するための第2の検出器を含む顕微鏡を含む、実施態様32〜34のいずれかに記載の装置。
(実施態様36)前記装置は、前記試料上に粒子ビームを指向させるためのデバイスと、粒子ビームの位置決めのためのプログラム可能な制御装置とを含む、実施態様32〜35のいずれかに記載の装置。
(実施態様37)前記第1及び第2の検出器の一方又は両方は、前記データを収集するために、前記粒子ビームを前記試料に指向させた結果として生じる、前記試料から放出されるX線又は電子を検出するように構成される、実施態様34〜36に記載の装置。
(実施態様38)前記第1及び第2の検出器の一方又は両方は、前記試料を表す光学画像データを収集するように構成された光学イメージセンサを含む、実施態様34〜36、又は実施態様37に記載の装置。
(実施態様39)前記試料の表面上の関心領域を表すデータは、電子信号データ及び/又はX線信号データを含む、実施態様32〜38のいずれかに記載の装置。
(実施態様40)前記第2のサーベイの間、決定された前記順序で付加的な分析データを収集するために検出器の視野内に前記試料の表面上の関心領域の前記選択された部分を位置決めするように構成された、前記試料を支持するための移動可能なステージを含む、実施態様32〜39のいずれかに記載の装置。
Claims (40)
- 顕微鏡における試料の分析のための方法であって、
第1の条件の組を用いて、前記試料の表面上の関心領域から分析データを収集する第1のサーベイを実施することと、
前記第1の条件の組とは異なる第2の条件の組を用いて、前記試料の表面上の前記関心領域の選択された部分から付加的な分析データを収集する第2のサーベイを実施することと、を含み、
前記第1のサーベイからの前記分析データを用いて、前記第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる前記部分を選択し、それら部分が用いられる順序を決定する、方法。 - 前記第1のサーベイからの前記分析情報データを用いて、前記第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる前記関心領域内の位置、及び前記選択された部分についての順序を決定する、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の条件の組及び前記第1のサーベイ中に収集されるデータは、前記試料上のエリアを前記第2の条件の組の場合よりも迅速にカバーするように選択される、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組の条件は、倍率、画像分解能、画像滞留時間、グレー・レベル閾値、エネルギー分散型X線分光設定、及びサーベイ終了条件のいずれかを含む、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
- 前記第1の条件の組の倍率は、前記第2の条件の組の倍率より低い、請求項4に記載の方法。
- 前記第1の条件の組の画像分解能は、前記第2の条件の組の画像分解能より低い、請求項4又は5に記載の方法。
- 前記第1のサーベイは、前記分析データを収集するための前記顕微鏡の第1の検出器に対して前記試料を移動させて、複数のサブ領域の各々が、所定の滞留時間、前記第1の検出器の視野内に連続的に入るようにすることにより、前記関心領域から前記分析データを収集することを含む、請求項1〜6のいずれかに記載の方法。
- 前記第2のサーベイは、前記付加的な分析データを収集するための前記顕微鏡の第2の検出器に対して前記試料を移動させて、前記選択された部分の各々が、所定の滞留時間、前記第2の検出器の視野内に連続的に入るようにすることにより、前記選択された部分の各々から前記付加的なデータを収集することを含む、請求項1〜7のいずれかに記載の方法。
- 前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組は、前記第1のサーベイにおけるサブ領域の数が、前記第2のサーベイにおける前記選択された部分の数より大きくなるように選択される、請求項7及び8に記載の方法。
- 前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組は、前記第2のサーベイ中に収集される前記付加的な分析データの確度が、前記第1のサーベイ中に収集される前記分析データの確度を上回るように選択される、請求項7及び8、又は請求項9に記載の方法。
- 前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組は、前記第2のサーベイにおける所定の滞留時間が、前記第1のサーベイにおける滞留時間より長くなるように選択される、請求項7及び8、又は請求項9、又は請求項10に記載の方法。
- 前記滞留時間は、所定の分解能又は信号対ノイズ比で前記付加的な分析データを収集するのに十分に長いものである、請求項8〜11のいずれかに記載の方法。
- 前記第1の検出器は前記第2の検出器である、請求項8〜12のいずれかに記載の方法。
- 前記第2のサーベイにおける前記付加的な分析データの収集は、エネルギー分散型X線分光データを収集することを含む、請求項1〜13のいずれかに記載の方法。
- 前記第1のサーベイからの前記分析データを用いることは、前記分析データから前記試料上の関心特徴を同定することを含む、請求項1〜14のいずれかに記載の方法。
- 前記第1のサーベイからの前記分析データを用いることは、前記選択された部分が前記関心特徴の所定の画分を含むように、前記第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる前記部分を選択することをさらに含む、請求項15に記載の方法。
- 前記関心特徴は、前記試料の表面上に存在する粒子又は他の分離領域である、請求項15又は16に記載の方法。
- 前記第1のサーベイからの前記分析データを用いることは、前記選択された部分の各々から前記付加的な分析データを収集する最適な順序を生成することを含む、請求項1〜17に記載の方法。
- 前記最適な順序は、前記関心特徴のより小さい割合を含む部分から前記付加的な分析データを収集する前に、前記関心特徴のより大きい割合を含む部分から前記付加的な分析データを収集するように生成される、請求項15に従属するときの請求項18に記載の方法。
- 前記選択された部分の合計面積は、前記関心領域の面積を下回り、
前記第2のサーベイは、前記選択された部分のみから前記付加的な分析データを収集することを含む、請求項1〜19に記載の方法。 - 前記第1のサーベイ及び前記第2のサーベイの各々は、粒子ビームを前記試料に指向させ、その結果、前記データを収集するために前記試料から放出されるX線又は電子を検出することを含む、請求項1〜20のいずれかに記載の方法。
- 前記粒子ビームは、電子ビーム又はイオンビームである、請求項21に記載の方法。
- 前記第1のサーベイ及び前記第2のサーベイの各々においてデータを収集することは、前記試料を表す光学的画像データを収集することを含む、請求項1〜22のいずれかに記載の方法。
- 前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組は、前記第1のサーベイが、前記第2のサーベイで取得される光学画像よりも、低い倍率及び小さい視野を有する光学画像を取得することを含むように選択される、請求項23に記載の方法。
- 前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組は、前記第1のサーベイが、前記第2のサーベイで取得される光学画像よりも迅速に光学画像を取得することを含むように選択される、請求項23又は24に記載の方法。
- 前記第1のサーベイからの前記分析データを用いることは、前記分析データから前記試料上の関心特徴を同定することを含み、
前記第1の条件の組及び前記第2の条件の組の各々は、各々のサーベイが終了する終了条件を含み、前記第2の条件の組の終了条件は、付加的な分析データが前記関心特徴の所定の画分から収集されたときに、前記第2のサーベイを終了するように決定される、請求項1〜25のいずれかに記載の方法。 - 前記第1の条件の組の終了条件は、全関心領域から分析データが収集された後に、前記第1のサーベイが終了するというものであり、前記第1の条件の組における滞留時間、倍率及び分解能は、前記第2の条件の組と同じである、請求項26に記載の方法。
- 前記第1のサーベイ及び前記第2のサーベイの各々が自動化されており、前記方法は、前記第1のサーベイの後及び前記第2のサーベイの前に実施される決定ステップをさらに含み、前記決定ステップの結果が、前記第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる前記部分の選択、及び、それら部分が用いられる順序の決定に用いられる、請求項1〜27のいずれかに記載の方法。
- 前記決定ステップは自動化されている、請求項28に記載の方法。
- 前記決定ステップは、ユーザにより行われる動作を含む、請求項28に記載の方法。
- 前記方法は、顕微鏡における試料の自動分析のためのものである、請求項1〜29のいずれかに記載の方法。
- 顕微鏡における試料の分析のための装置であって、前記装置は、
ステージ位置決めのためのプログラム可能な制御装置を含み、
前記装置は、前記試料の表面上の関心領域から収集されたデータを記録及び処理するように構成されており、
前記装置は、
第1の条件の組を用いて前記試料の表面上の関心領域から分析データを収集する第1のサーベイと、
前記第1の条件の組とは異なる第2の条件の組を用いて、前記試料の表面上の関心領域の選択された部分から付加的な分析データを収集する第2のサーベイと、
を含む分析を実施するように構成され、
前記第1のサーベイからの前記分析データを用いて、前記第2のサーベイにおけるデータ収集に用いられる前記部分が選択され、それら部分が用いられる順序が決定される、装置。 - 前記第1の条件の組及び前記第1のサーベイ中に収集されるデータは、前記試料上のエリアを前記第2の条件の組の場合よりも迅速にカバーするように選択される、請求項32に記載の装置。
- 前記装置は、前記分析データを収集するための第1の検出器を含む顕微鏡を含む、請求項32又は33に記載の装置。
- 前記装置は、前記付加的な分析データを収集するための第2の検出器を含む顕微鏡を含む、請求項32〜34のいずれかに記載の装置。
- 前記装置は、前記試料上に粒子ビームを指向させるためのデバイスと、粒子ビームの位置決めのためのプログラム可能な制御装置とを含む、請求項32〜35のいずれかに記載の装置。
- 前記第1及び第2の検出器の一方又は両方は、前記データを収集するために、前記粒子ビームを前記試料に指向させた結果として生じる、前記試料から放出されるX線又は電子を検出するように構成される、請求項34〜36に記載の装置。
- 前記第1及び第2の検出器の一方又は両方は、前記試料を表す光学画像データを収集するように構成された光学イメージセンサを含む、請求項34〜36、又は請求項37に記載の装置。
- 前記試料の表面上の関心領域を表すデータは、電子信号データ及び/又はX線信号データを含む、請求項32〜38のいずれかに記載の装置。
- 前記第2のサーベイの間、決定された前記順序で付加的な分析データを収集するために検出器の視野内に前記試料の表面上の関心領域の前記選択された部分を位置決めするように構成された、前記試料を支持するための移動可能なステージを含む、請求項32〜39のいずれかに記載の装置。
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