JP2019507500A - 化学研磨のためのシステム、装置、及び方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図9
Description
[0001]本出願は、2016年2月8日出願の「SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS FOR CHEMICAL POLISHING」(整理番号第23560/L号)と題する米国特許仮出願番号第62/292,850号から優先権を主張し、あらゆる目的のためにその全体が参照により本明細書に組み込まれている。
Claims (15)
- 複数の流体開口を有するパッド、
複数の流体チャネルのネットワークであって、それぞれのチャネルが、少なくとも1つの流体開口と流体連通している、ネットワーク、
複数の入口であって、それぞれの入口が、異なる流体チャネルに連結されている、複数の入口、及び
入口に連結されていない前記流体チャネルのうちの1つに連結された出口
を備えている流体ネットワークプラテンアセンブリ。 - 前記複数の流体チャネルの前記ネットワークが、複数のプラテンから形成され、それぞれのプラテンが、整列したチャネルのアレイを有する、請求項1に記載の流体ネットワークプラテンアセンブリ。
- 前記複数の流体開口が、処理される基板より大きな直径を有する円形パターンで配置されている、請求項1に記載の流体ネットワークプラテンアセンブリ。
- 前記複数の入口が、第1の化学物質チャネルのための第1の入口、第2の化学物質チャネルのための第2の入口、及びリンスチャネルのための第3の入口を含む、請求項1に記載の流体ネットワークプラテンアセンブリ。
- 前記出口が、流体ポンプに連結され、ドレインとして機能するように作動する、請求項1に記載の流体ネットワークプラテンアセンブリ。
- 前記流体ネットワークプラテンアセンブリを軌道アクチュエータに連結するための装着ディスクをさらに含む、請求項1に記載の流体ネットワークプラテンアセンブリ。
- 前記複数の流体チャネルのうちの少なくとも幾つかが、取り外し可能な管状インサートを含む、請求項1に記載の流体ネットワークプラテンアセンブリ。
- 基板を研磨するための化学研磨システムであって、
研磨ヘッド、
軌道アクチュエータ、及び
前記軌道アクチュエータに連結され、前記研磨ヘッドの下方に配置された流体ネットワークプラテンアセンブリであって、前記流体ネットワークプラテンアセンブリが、複数の流体開口を有するパッドと、複数の流体チャネルのネットワークであって、それぞれのチャネルが、少なくとも1つの流体開口と流体連通している、ネットワークと、複数の入口であって、それぞれの入口が、異なる流体チャネルに連結されている複数の入口と、入口に連結されていない前記流体チャネルのうちの1つに連結された出口とを含む、流体ネットワークプラテンアセンブリ
を備えている化学研磨システム。 - 前記複数の流体チャネルの前記ネットワークが、複数のプラテンから形成され、それぞれのプラテンが、整列したチャネルのアレイを有する、請求項8に記載の化学研磨システム。
- 前記複数の流体開口が、処理される基板より大きな直径を有する円形パターンで配置されている、請求項8に記載の化学研磨システム。
- 前記複数の入口が、第1の化学物質チャネルのための第1の入口、第2の化学物質チャネルのための第2の入口、及びリンスチャネルのための第3の入口を含む、請求項8に記載の化学研磨システム。
- 前記出口が、流体ポンプに連結され、ドレインとして機能するように作動する、請求項8に記載の化学研磨システム。
- 前記流体ネットワークプラテンアセンブリを軌道アクチュエータに連結するための装着ディスクをさらに含む、請求項8に記載の化学研磨システム。
- 前記複数の流体チャネルのうちの少なくとも幾つかが、取り外し可能な管状インサートを含む、請求項8に記載の化学研磨システム。
- 基板を研磨する方法であって、
複数の流体チャネルのネットワークを有する流体ネットワークプラテンアセンブリを含む化学研磨システムを設けることであって、それぞれのチャネルが、前記流体ネットワークプラテンアセンブリに連結されたパッドにおける少なくとも1つの流体開口と流体連通している、化学研磨システムを設けることと、
前記流体ネットワークプラテンアセンブリの近位で基板を回転させることと、
前記流体ネットワークプラテンアセンブリを軌道運動させることであって、前記流体ネットワークプラテンアセンブリの中心が、前記基板の中心からオフセットされる、前記流体ネットワークプラテンアセンブリを軌道運動させることと、
所定の時間量にわたって、前記流体ネットワークプラテンアセンブリを介して、前記基板を第1の化学溶液の薄膜に曝露することと、
前記流体ネットワークプラテンアセンブリを介して、脱イオン水の第1の薄膜を使用して、前記基板をリンスすることと、
所定の時間量にわたって、前記流体ネットワークプラテンアセンブリを介して、前記基板を第2の化学溶液の薄膜に曝露することと、
前記流体ネットワークプラテンアセンブリを介して、脱イオン水の第2の薄膜を使用して、前記基板をリンスすることと、
前記曝露及び前記リンスをエンドポイントに達するまで反復することと
を含む方法。
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