JP2019505036A - 流体制御システム - Google Patents
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Abstract
Description
設定点が60、20および20%である上の例において、第1の弁が1000sccmのフル・スケールを有し、第2の弁が600sccmのフル・スケールを有し、第3の弁が500sccmのフル・スケールを有すると仮定すると、この式を使用した調整された設定点は、第1の弁では60%×1000/1000=60%、第2の弁では20%×1000/600=33.3%、第3の弁では20%×1000/500=40%となる。
異なるガス種のガスをそれぞれが供給する複数のガス源と、
ガス流量を制御する少なくとも2つの調整可能制御弁であり、異なるガス種のガスをそれぞれが供給する複数のガス源のうちのそれぞれのガス源からの流路内に配されるようにそれぞれが適合された少なくとも2つの調整可能制御弁と、
調整可能制御弁の下流の流路であり、この流路を通して、複数のガス源からのガスが結合されてガス混合物にされ、プロセス室に送達される流路と、
流路内に配された濃度センサであり、ガス混合物中の少なくとも1つのガス種の濃度を決定する濃度センサと、
ガス混合物中のそれぞれのガス種の決定された濃度に従って少なくとも1つのガス種の流量を制御するように調整可能弁を調整するコントローラと
を備える、ガス送達システム。
異なるガス種のガスをそれぞれが供給する複数のガス源と、
ガス流量を制御する少なくとも2つの調整可能制御弁であり、異なるガス種のガスをそれぞれが供給する複数のガス源のうちのそれぞれのガス源からの流路内に配されるようにそれぞれが適合された少なくとも2つの調整可能制御弁と、
前記調整可能制御弁の下流の流路であり、この流路を通して、前記複数のガス源からのガスが結合されてガス混合物にされ、プロセス室に送達される流路と、
流路内に配された濃度センサであり、ガス混合物中の少なくとも1つのガス種の濃度を決定する濃度センサと、
ガス混合物中のそれぞれのガス種の決定された濃度に従って少なくとも1つのガス種の流量を制御するように調整可能弁を調整するコントローラと
を備え、
濃度センサからの出力が、第1のフィードバック・ループに対する制御パラメータとして使用され、この第1のフィードバック・ループが、ガス混合物中のガス種のうちの少なくとも1つのガス種の濃度を変化させるように、2つの調整可能弁のうちの少なくとも1つの調整可能弁を個別に調整することができる、
ガス送達システム。
ガス混合物中の第1のガス種の濃度を決定する濃度センサと、
ガス混合物中の第1のガス種のガスの濃度を制御するために調整可能弁を通過する第1のガス種のガスの流量を濃度センサの出力に従って制御するように調整可能弁を調整するコントローラと
を備える、ガス混合物コントローラ。
異なるガス種のガスをそれぞれが供給する複数のガス源を提供すること、
前記複数のガス源からのガスが結合されてガス混合物にされ、プロセス室に送達されるように、前記複数のガス源からのガスを流路に沿って流すこと、
流路内に配された濃度センサであり、ガス混合物中のそれぞれのガス種の濃度を決定する濃度センサを提供すること、
ガス混合物中の少なくとも1つのガス種の濃度を前記センサを使用して決定すること、および
ガス混合物中のそれぞれのガス種の決定された濃度に従ってそれぞれの異なるガス種の流量を制御するように、流路内の調整可能制御弁を調整すること
を含む、方法。
Claims (51)
- プロセス室用のガス送達システムであって、
異なるガス種のガスをそれぞれが供給する複数のガス源と、
ガス流量を制御する少なくとも2つの調整可能制御弁であり、異なるガス種のガスをそれぞれが供給する複数のガス源のうちのそれぞれのガス源からの流路内に配されるようにそれぞれが適合された少なくとも2つの調整可能制御弁と、
前記調整可能制御弁の下流の流路であり、この流路を通して、前記複数のガス源からのガスが結合されてガス混合物にされ、プロセス室に送達される流路と、
前記流路内に配された濃度センサであり、前記ガス混合物中の少なくとも1つのガス種の濃度を決定する濃度センサと、
前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の決定された濃度に従って少なくとも1つのガス種の流量を制御するように前記調整可能弁を調整するコントローラと
を備える、ガス送達システム。 - 流量センサまたは圧力センサをさらに備え、前記コントローラがさらに、前記プロセス室に送達される前記ガス混合物の圧力を制御するように前記少なくとも2つの調整可能弁を調整する、請求項1に記載のガス送達システム。
- プロセス室用のガス送達システムであって、
異なるガス種のガスをそれぞれが供給する複数のガス源と、
ガス流量を制御する少なくとも2つの調整可能制御弁であり、異なるガス種のガスをそれぞれが供給する複数のガス源のうちのそれぞれのガス源からの流路内に配されるようにそれぞれが適合された少なくとも2つの調整可能制御弁と、
前記調整可能制御弁の下流の流路であり、この流路を通して、前記複数のガス源からのガスが結合されてガス混合物にされ、プロセス室に送達される流路と、
前記流路内に配された濃度センサであり、前記ガス混合物中の少なくとも1つのガス種の濃度を決定する濃度センサと、
前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の決定された濃度に従って少なくとも1つのガス種の流量を制御するように前記調整可能弁を調整するコントローラと
を備え、
前記濃度センサからの出力が、第1のフィードバック・ループに対する制御パラメータとして使用され、前記第1のフィードバック・ループが、前記ガス混合物中の前記ガス種のうちの少なくとも1つのガス種の濃度を変化させるように、前記2つの調整可能弁のうちの少なくとも1つの調整可能弁を個別に調整することができる、
ガス送達システム。 - 流量センサおよび/または圧力センサをさらに備え、前記流量センサおよび/または前記圧力センサからの出力が、第2のフィードバック・ループに対する制御パラメータとして使用され、前記第2のフィードバック・ループが、前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の濃度を変化させることなく、前記プロセス室に送達される前記ガス混合物の圧力を増大または低減させるように、前記少なくとも2つの調整可能弁を一様に調整する、請求項3に記載のガス送達システム。
- 前記第1のフィードバック・ループに対する前記制御パラメータが、前記ガス混合物の測定された流量または成分ガスの測定された流量を含まない、請求項3に記載のガス送達システム。
- 前記第1のフィードバック・ループに対する前記制御パラメータが、測定されたガス圧を含まない、請求項3に記載のガス送達システム。
- ガス混合物中の第1のガス種の濃度を決定する濃度センサと、
前記ガス混合物中の第1のガス種のガスの濃度を制御するために調整可能弁を通過する第1のガス種の前記ガスの流量を前記濃度センサの出力に従って制御するように前記調整可能弁を調整するコントローラと
を備える、ガス混合物コントローラ。 - 前記プロセス室内の前記ガス混合物の圧力を決定するマノメータをさらに備える、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記コントローラがさらに、前記プロセス室内の前記ガス混合物の圧力に従って前記調整可能弁を調整する、請求項8。
- 前記コントローラがさらに、前記プロセス室内の前記ガス混合物の圧力に従って前記調整可能弁を調整し、この調整が、前記ガス混合物の総流量を増大または低減させるように全ての調整可能弁を一様に調整することによってなされる、請求項8。
- 前記濃度センサが、超音波センサおよび/または光学センサを含む、請求項1から10のいずれか一項。
- 前記濃度センサが、フーリエ変換赤外分光法および/または近赤外分光法を使用した光学センサを含む、請求項1から11のいずれか一項。
- 前記濃度センサが質量分析計を含む、請求項1から12のいずれか一項。
- 少なくとも1つのガス種または流体種が、危険なガスまたは流体を含む、請求項1から13のいずれか一項。
- 少なくとも1つのガス種または流体種が、有毒のガスもしくは流体、腐食性のガスもしくは流体、または可燃性のガスもしくは流体を含む、請求項1から14のいずれか一項。
- 前記プロセス室が半導体製造のために使用される、請求項1から15のいずれか一項。
- 前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の濃度が、質量流量センサまたは圧力センサを使用することなく制御される、請求項1から16のいずれか一項。
- 前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の濃度が、質量流量コントローラを使用することなく制御される、請求項1から17のいずれか一項。
- 前記ガス源からのガスの流量を制御するために使用されるフィードバック制御ループに対する制御パラメータとして、前記ガス混合物の任意の成分ガスの測定された流量が使用されない、請求項1から18のいずれか一項。
- 前記ガス源からのガスの流量を制御するために使用されるフィードバック制御ループに対する制御パラメータとして、測定された流量が使用されない、請求項1から19のいずれか一項。
- 前記ガス源からのガスの流量を制御するために使用されるフィードバック制御ループに対する制御パラメータとして、測定された質量流量が使用されない、請求項1から20のいずれか一項。
- 前記ガス源からのガスの流量を制御するための制御変量として、測定されたガス濃度が使用される、請求項1から21のいずれか一項。
- 前記調整可能弁の制御が、前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の濃度に基づくフィードバック制御ループの部分である、請求項1から22のいずれか一項。
- 前記ガス源からのガスの流量を制御するための制御変量として、測定されたガス濃度が使用される、請求項1から23のいずれか一項。
- 前記調整可能弁の制御が、前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の濃度に基づくフィードバック制御ループの部分である、請求項1から24のいずれか一項。
- 前記フィードバック制御ループの中で使用される唯一のセンサ出力が、前記ガス混合物中の成分ガスの濃度を測定する1つまたは複数の濃度センサからの出力である、請求項1から25のいずれか一項。
- 前記調整可能弁を調整するために使用される唯一のセンサ出力が、前記ガス混合物中の成分ガスの濃度を測定する濃度センサからの出力、および前記プロセス室内のガス圧を測定する圧力センサからの出力である、請求項1から26のいずれか一項。
- 前記ガス混合物中のそれぞれのガスの百分率を制御するための制御変量として、ガス混合物中のそれぞれのガスの測定されたガス濃度が使用される、請求項1から27のいずれか一項。
- 前記濃度センサの上流のバイパス管路をさらに備え、前記バイパス管路が、上流の流路内の一部または全てのガスが排出されて前記濃度センサを通らないようすることを可能にする、請求項1から28のいずれか一項。
- 前記第1のフィードバック・ループに対する前記制御パラメータが、前記ガス混合物の測定された流量または成分ガスの測定された流量を含まない、請求項3から4の一項に記載のガス送達システム。
- 前記第1のフィードバック・ループに対する前記制御パラメータが、測定されたガス圧を含まない、請求項3から4の一項に記載のガス送達システム。
- 前記濃度センサが、超音波センサおよび/または光学センサを含む、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記濃度センサが、フーリエ変換赤外分光法および/または近赤外分光法を使用した光学センサを含む、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記濃度センサが質量分析計を含む、請求項1から7のいずれか一項。
- 少なくとも1つのガス種または流体種が、危険なガスまたは流体を含む、請求項1から7のいずれか一項。
- 少なくとも1つのガス種または流体種が、有毒のガスもしくは流体、腐食性のガスもしくは流体、または可燃性のガスもしくは流体を含む、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記プロセス室が半導体製造のために使用される、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の濃度が、質量流量センサまたは圧力センサを使用することなく制御される、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の濃度が、質量流量コントローラを使用することなく制御される、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記ガス源からのガスの流量を制御するために使用されるフィードバック制御ループに対する制御パラメータとして、前記ガス混合物の任意の成分ガスの測定された流量が使用されない、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記ガス源からのガスの流量を制御するために使用されるフィードバック制御ループに対する制御パラメータとして、測定された流量が使用されない、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記ガス源からのガスの流量を制御するために使用されるフィードバック制御ループに対する制御パラメータとして、測定された質量流量が使用されない、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記ガス源からのガスの流量を制御するための制御変量として、測定されたガス濃度が使用される、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記調整可能弁の制御が、前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の濃度に基づくフィードバック制御ループの部分である、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記フィードバック制御ループの中で使用される唯一のセンサ出力が、前記ガス混合物中の成分ガスの濃度を測定する1つまたは複数の濃度センサからの出力である、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記調整可能弁を調整するために使用される唯一のセンサ出力が、前記ガス混合物中の成分ガスの濃度を測定する濃度センサからの出力、および前記プロセス室内のガス圧を測定する圧力センサからの出力だけである、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記ガス混合物中のそれぞれのガスの百分率を制御するための制御変量として、ガス混合物中のそれぞれのガスの測定されたガス濃度が使用される、請求項1から7のいずれか一項。
- 前記濃度センサの上流のバイパス管路をさらに備え、前記バイパス管路が、上流の流路内の一部または全てのガスが排出されて前記濃度センサを通らないようすることを可能にする、請求項1から7のいずれか一項。
- ガス混合物中の1種または数種のガスの濃度を制御する方法であって、
異なるガス種のガスをそれぞれが供給する複数のガス源を提供すること、
前記複数のガス源からのガスが結合されてガス混合物にされ、プロセス室に送達されるように、前記複数のガス源からの前記ガスを流路に沿って流すこと、
前記流路内に配された濃度センサであり、前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の濃度を決定する濃度センサを提供すること、
前記ガス混合物中の少なくとも1つのガス種の濃度を前記センサを使用して決定すること、および
前記ガス混合物中のそれぞれのガス種の決定された濃度に従ってそれぞれの異なるガス種の流量を制御するように、前記流路内の調整可能制御弁を調整すること
を含む、方法。 - 前記複数のガス源からのガスが結合されてガス混合物にされ、プロセス室に送達されるように、前記複数のガス源からの前記ガスを流路に沿って流すことが、計算された設定点を使用して、システム動作中に使用される流量よりも実質的に大きな流量で前記ガス混合物を前記プロセス室に送達することを含む、請求項49に記載の方法。
- 前記複数のガス源からのガスが結合されてガス混合物にされ、プロセス室に送達されるように、前記複数のガス源からの前記ガスを流路に沿って流すことが、計算された設定点を使用して、所望の成分ガス濃度と整合したそれぞれの調整可能弁の最大流量の50%超、例えば60%超、75%超、90%超または99%超の流量で、前記ガス混合物を前記プロセス室に送達することを含む、請求項49に記載の方法。
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