JP2019220667A - Particle removing tip and index type particle removing device using the same - Google Patents

Particle removing tip and index type particle removing device using the same Download PDF

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Abstract

To provide a particle removing tip and an index type particle removing device comprising the same.SOLUTION: An index type particle removing device comprises: a tray transfer unit that transfers an element tray in which a plurality of elements are arranged to an operation position; a tray safe arrival stage in which a tip tray is mounted; an adhesion liquid supply unit for applying an adhesion liquid; and a plurality of safe arrival holes. The index type particle removing device includes an index member rotating around a center shaft as a reference, a flip unit that causes a particle removing tip to be picked-up and rotated for achieving a safe arrival at a safe arrival hole of the index member, an index driving unit that causes the index member to be rotated so that the adhesion liquid of the particle removing tip is hardened, an adhesion gel removing member in which an adhesion gel obtained by hardening the adhesion liquid is removed, and a swing arm unit that makes the particle removing tip whose adhesion gel is removed to achieve the safe arrival in the safe arrival hole of the index member.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、パーティクル除去ティップ及びそれを用いたインデックス型パーティクル除去装置に関する。   The present invention relates to a particle removing tip and an index type particle removing device using the same.

集積回路、メモリセルなどの半導体デバイスは、一連のウェハにパターニング、エッチングなどの半導体製造工程が施工されて製作される。一方、カメラモジュールに装着される素子は、金属基板上に製作される。このようなウェハや基板から半導体デバイスや素子を製造する工程の中でウェハのデバイスや基板の素子にパーティクルが付着した場合、デバイスや素子に不良が発生する。   2. Description of the Related Art Semiconductor devices such as integrated circuits and memory cells are manufactured by performing semiconductor manufacturing processes such as patterning and etching on a series of wafers. On the other hand, an element mounted on the camera module is manufactured on a metal substrate. In the process of manufacturing a semiconductor device or element from such a wafer or substrate, when particles adhere to the device of the wafer or the element of the substrate, a defect occurs in the device or element.

特許文献１には、接着剤が下面に塗布されたプレスジグと、そのプレスジグを上下に動かす移送ユニットを含み、プレスジグは移送ユニットに連結されるメインボディと、そのメインボディに着脱可能に結合され、下面に接着剤が塗布された加圧ブロックから構成された半導体チップのパーティクル除去装置が開示されている。特許文献１の発明は、移送ユニットの作動によりプレスジグが上下に動きながらプレスジグの下面に塗布された接着剤がウェハのチップに付着したパーティクルを除去する。しかし、特許文献１記載の発明には、プレスジグの下面に塗布された接着剤によってパーティクルを除去する仕組みなので、広い同一面積上に位置するチップのパーティクルを除去することは容易であるが、チップの平面が均一でない場合、チップに付着したパーティクルを除去することは容易ではないという欠点があり、また、プレスジグの下面に塗布された接着剤にパーティクルが十分に付着すると、その加圧ブロックを切断されたボディから分離して、接着剤が塗布された新しい加圧ブロックを切断されたボディに装着して使用するため、部品の損失が発生する。   Patent Literature 1 includes a press jig having an adhesive applied to a lower surface thereof and a transfer unit for moving the press jig up and down. The press jig is detachably coupled to a main body connected to the transfer unit and the main body, There is disclosed an apparatus for removing particles from a semiconductor chip, which comprises a pressure block having an adhesive applied to a lower surface. In the invention of Patent Literature 1, the adhesive applied to the lower surface of the press jig removes particles attached to the chips of the wafer while the press jig moves up and down by the operation of the transfer unit. However, in the invention described in Patent Document 1, the particles are removed by the adhesive applied to the lower surface of the press jig. Therefore, it is easy to remove the particles of the chip located on the same large area. If the flat surface is not uniform, it is not easy to remove the particles attached to the chip, and if the particles sufficiently adhere to the adhesive applied to the lower surface of the press jig, the pressure block will be cut. The new pressure block to which the adhesive has been applied is attached to the cut body to be used after being separated from the cut body, resulting in loss of parts.

大韓民国登録特許公報第１０−１２７００２６号Republic of Korea Registered Patent Publication No. 10-1270026

本発明は上記の欠点を改善するためになされたものであってその目的とするところは、素子（チップ）に付着したパーティクルを効率的に除去するだけでなく、部品の損失を最小限にするパーティクル除去ティップ及びそれを用いたインデックス型パーティクル除去装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的とするところは、構成が簡単で作業効率を向上させるパーティクル除去ティップ及びそれを用いたインデックス型パーティクル除去装置を提供することにある。 The present invention has been made in order to improve the above-mentioned disadvantages, and an object of the present invention is to not only efficiently remove particles adhering to an element (chip) but also to minimize loss of components. An object of the present invention is to provide a particle removing tip and an index type particle removing device using the same.
It is another object of the present invention to provide a particle removing tip having a simple configuration and improving work efficiency, and an index type particle removing apparatus using the same.

上記の目的を達成するためになされた本発明のインデックス型パーティクル除去装置は、多数の素子が配列された素子トレイを作業位置に移送するトレイ移送ユニット、多数のパーティクル除去ティップが配列されたティップトレイが置かれるトレイ安着台、粘着液を塗布する粘着液供給ユニット、架上の円状に一定の間隔をおいて多数の安着ホールが具備され、中心軸を基準に回転するインデックス部材、トレイ安着台に置かれたティップトレイのパーティクル除去ティップをピックアップして回転させ、粘着液供給ユニットからパーティクル除去ティップに粘着液が塗布された後、回転させてインデックス部材の安着ホールに安着させるフリップユニット、インデックス部材の安着ホールに安着されたパーティクル除去ティップをピックアップ位置に移動させながら、パーティクル除去ティップの粘着液が硬化されるようにインデックス部材を回転させるインデックス駆動ユニット、パーティクル除去ティップの粘着液が硬化された粘着ゲルが除去される粘着ゲル除去部材、インデックス部材のパーティクル除去ティップをピックアップ位置でピックアップして移動し、パーティクル除去ティップの粘着ゲルで作業位置に位置する素子トレイの素子に付着したパーティクルを除去し、パーティクル除去ティップのパーティクルを除去した粘着ゲルを、粘着ゲル除去ユニットで除去し、粘着ゲルが除去されたパーティクル除去ティップをインデックス部材の安着ホールに安着させるスイングアームユニット、を含むことを特徴とする。   In order to achieve the above object, an index type particle removing apparatus according to the present invention includes a tray transfer unit that transfers an element tray on which a number of elements are arranged to a work position, and a tip tray on which a number of particle removal tips are arranged. A tray mounting table on which is placed, an adhesive liquid supply unit for applying the adhesive liquid, an index member which is provided with a large number of mounting holes at regular intervals in a circular shape on a frame, and rotates around a central axis, and a tray Pick up and rotate the particle removal tip of the tip tray placed on the mounting table, apply the adhesive liquid to the particle removal tip from the adhesive liquid supply unit, and rotate it to settle in the seating hole of the index member Pick a particle removal tip seated in the seat of the flip unit or index member An index drive unit that rotates the index member so that the adhesive liquid of the particle removing tip is cured while moving to the tip position, an adhesive gel removing member from which the adhesive gel in which the adhesive liquid of the particle removing tip is cured is removed, The particle removal tip of the index member is picked up at the pickup position and moved, and the adhesive gel of the particle removal tip is used to remove the particles adhered to the elements of the element tray located at the working position with the adhesive gel of the particle removal tip. Is removed by an adhesive gel removing unit, and a particle removing tip from which the adhesive gel is removed is seated in a seating hole of the index member.

また、上記の目的を達成するためになされた本発明のパーティクル除去ティップは、ティップ本体、ティップ本体の一方の端部に結合されて粘着液がドッティングされる溶液接触キャップ、を含み、ティップ本体は、設定された長さと断面積を有する胴体部と、胴体部の一方の側面に延長形成され、胴体の断面積よりも小さい断面積を有する丸棒状の丸棒部と、胴体部の他方の側面に延長形成される段差結合部とを含み、溶液接触キャップは、設定された長さを有する丸棒状の胴筒部と、胴筒部の一方の端に円錐状に延長形成され、円錐の先部分が切断されて端面を有する形状のティップ部と、胴筒部の他方の端面に設定された深さで形成され、段差結合部が挿入される結合ホールとを含み、ティップ本体はステンレス材質を含み、溶液接触キャップはシリコン材質を含むことを特徴とする。   Further, a particle removing tip of the present invention made to achieve the above-mentioned object includes a tip body, a solution contact cap coupled to one end of the tip body, and an adhesive liquid is attached thereto, and a tip body. A body part having a set length and a cross-sectional area, a round bar part formed to extend on one side of the body part and having a cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the body, and the other of the body part A step connecting portion extending to the side surface, the solution contact cap is formed in a round bar-shaped barrel portion having a set length, and is formed in a conical shape at one end of the barrel portion; The tip portion includes a tip portion having a shape having an end surface that is cut off, and a coupling hole formed at a depth set at the other end surface of the barrel portion and into which a step coupling portion is inserted. Including, solution contact Cap is characterized in that it comprises a silicon material.

本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を示す平面図である。It is a top view showing one example of an index type particle removal device concerning the present invention. 本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例に適用されるティップトレイを示す平面図である。It is a top view showing the tip tray applied to one embodiment of the index type particle removal device concerning the present invention. 本発明に係るパーティクル除去ティップの一実施例を示す正面図である。It is a front view showing one example of a particle removal tip concerning the present invention. 本発明に係るパーティクル除去ティップの一実施例がティップトレイに安着された状態を示す正面図である。It is a front view showing the state where one example of a particle removal tip concerning the present invention was settled on a tip tray. 本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を構成する粘着ゲル供給ユニット及びフリップユニットの一部を示す正面図である。FIG. 3 is a front view showing a part of an adhesive gel supply unit and a flip unit which constitute one embodiment of the index type particle removing apparatus according to the present invention. 本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を構成するインデックス部材を示す平面図である。It is a top view which shows the index member which comprises one Example of the index type particle removal apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を構成するスイングアームユニットを示す正面図である。It is a front view showing a swing arm unit which constitutes one example of an index type particle removal device concerning the present invention.

以下、本発明に係るパーティクル除去ティップ及びそれを用いたインデックス型パーティクル除去装置の実施例を添付図面を基に説明する。
図１は、本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を示す平面図である。
図１に示したとおり、本発明に係るパーティクル除去ティップを用いたインデックス型パーティクル除去装置は、トレイ移送ユニット１００、トレイ安着台２００、粘着液供給ユニット３００、インデックス部材４００、フリップユニット５００、インデックス駆動ユニット６００、粘着ゲル除去部材７００、スイングアームユニット８００を含む。 Hereinafter, an embodiment of a particle removing tip and an index type particle removing apparatus using the same according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a plan view showing one embodiment of an index type particle removing apparatus according to the present invention.
As shown in FIG. 1, the index type particle removing apparatus using the particle removing tip according to the present invention includes a tray transfer unit 100, a tray mounting table 200, an adhesive liquid supply unit 300, an index member 400, a flip unit 500, an index. A driving unit 600, an adhesive gel removing member 700, and a swing arm unit 800 are included.

トレイ移送ユニット１００は、多数の素子が配列された素子トレイ１０を作業位置Ｐに移送させる。素子トレイ１０の一例として、素子トレイ１０は、厚さが均一な四角形板状で上面に正方行列で多数のポケット１１が形成され、素子トレイ１０のポケット１１に素子が配置される。トレイ移送ユニット１００の一例として、トレイ移送ユニット１００は、ガイドレール１１０と、そのガイドレール１１０に沿って水平方向に動く垂直ガイド部材１２０と、その垂直ガイド部材１２０を動かす第１駆動ユニット１３０と、垂直ガイド部材１２０に沿って垂直方向（ガイドレールの垂直方向）に動き、素子トレイ１０を吸着するトレイ吸着ユニット１４０を含む。垂直ガイド部材１２０がガイドレール１１０に沿って水平方向に動き、その垂直ガイド部材１２０に沿ってトレイ吸着ユニット１４０が垂直方向に動きながら、トレイ吸着ユニット１４０は、Ｘ、Ｙ軸方向に動く。トレイ移送ユニット１００の一方に、トレイ移送ユニット１００に素子トレイ１０を供給するトレイ供給ユニット１５０が備えられる。   The tray transfer unit 100 transfers an element tray 10 on which a number of elements are arranged to a work position P. As an example of the element tray 10, the element tray 10 has a rectangular plate shape with a uniform thickness, and has a large number of pockets 11 formed in a square matrix on an upper surface, and elements are arranged in the pockets 11 of the element tray 10. As an example of the tray transfer unit 100, the tray transfer unit 100 includes a guide rail 110, a vertical guide member 120 that moves in a horizontal direction along the guide rail 110, a first drive unit 130 that moves the vertical guide member 120, It includes a tray suction unit 140 that moves in the vertical direction (vertical direction of the guide rail) along the vertical guide member 120 and suctions the element tray 10. The vertical guide member 120 moves in the horizontal direction along the guide rail 110, and the tray suction unit 140 moves in the X and Y axis directions while the tray suction unit 140 moves in the vertical direction along the vertical guide member 120. One of the tray transfer units 100 is provided with a tray supply unit 150 for supplying the element tray 10 to the tray transfer unit 100.

トレイ移送ユニット１００とトレイ供給ユニット１５０は、それぞれ２つであることが好ましい。２つのトレイ移送ユニット１００は、互いに間隔を置いて並んで位置することがよい。トレイ移送ユニット１００とトレイ供給ユニット１５０が２つある場合、交互に作業位置Ｐに素子トレイ１０を位置させるようになって作業効率を高めることができる。
作業位置Ｐの一方の側に、作業位置Ｐに位置するトレイ移送ユニット１００の素子トレイ１０を回収するトレイ回収ユニット９００が備えられる。
トレイ安着台２００は、多数のパーティクル除去ティップＴが配列されたティップトレイ２０が置かれる。ティップトレイ２０の一例として、図２に示したとおり、ティップトレイ２０は、厚さが均一な四角形板状に上面に正方行列で多数のポケット２１が形成される。 It is preferable that the number of the tray transfer units 100 and the number of the tray supply units 150 are two each. The two tray transfer units 100 may be located side by side with an interval therebetween. When there are two tray transfer units 100 and two tray supply units 150, the element trays 10 are alternately located at the work position P, so that work efficiency can be improved.
On one side of the work position P, a tray collection unit 900 for collecting the element tray 10 of the tray transfer unit 100 located at the work position P is provided.
The tray mounting table 200 has a tip tray 20 on which a number of particle removal tips T are arranged. As an example of the tip tray 20, as shown in FIG. 2, the tip tray 20 has a large number of pockets 21 formed in a square matrix on the upper surface in a square plate shape having a uniform thickness.

パーティクル除去ティップの一例として、図３に示したとおり、パーティクル除去ティップＴは、ティップ本体３０と、そのティップ本体３０の一方の端部に結合されて粘着液がドッティングされる溶液接触キャップ４０を含む。ティップ本体３０は、設定された長さと断面積を有する胴体部３１と、その胴体部３１の一方の側面に延長形成され、胴体部３１の断面積よりも小さい断面積を有する丸棒状の丸棒部３２と、胴体部３１の他方の側面に延長形成される段差結合部３３とを含む。 胴体部３１は、断面が円形の丸棒状で形成されることが好ましい。丸棒部３２の端部は、面取りされることが好ましい。段差結合部３３は、丸棒部３２の外径よりも小さい外径を有する丸棒状の両側にディカットされたカット溝３４が備えられる。   As an example of the particle removing tip, as shown in FIG. 3, the particle removing tip T includes a tip body 30 and a solution contact cap 40 that is coupled to one end of the tip body 30 and to which the adhesive liquid is to be attached. Including. The tip body 30 includes a body portion 31 having a set length and a cross-sectional area, and a round bar having a cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the body portion 31 and formed to extend on one side surface of the body portion 31. And a step connecting portion 33 extending from the other side surface of the body portion 31. It is preferable that the body 31 is formed in a round rod shape having a circular cross section. The end of the round bar 32 is preferably chamfered. The step connecting portion 33 is provided with cut grooves 34 which are cut out on both sides in a round bar shape having an outer diameter smaller than the outer diameter of the round bar portion 32.

溶液接触キャップ４０は、設定された長さを有する丸棒状の胴筒部４１と、その胴筒部４１の一方の端に円錐状に延長形成され、円錐の先部分が切断された端面４２を有する形状のティップ部４３と、胴筒部４１の内部には設定された深さで形成され、段差結合部３３が挿入される結合ホール４４とを有する。胴筒部４１の外径は、ティップ本体３０の胴体部３１の外径よりも小さい。溶液接触キャップ４０のティップ部の端面４２に粘着液がドッティングされる。
ティップ本体３０はステンレス材質を含み、溶液接触キャップ４０はシリコン材質を含むことが好ましい。 The solution contact cap 40 has a round bar-shaped barrel portion 41 having a set length, and a conical extension formed at one end of the barrel portion 41, and an end surface 42 from which the tip of the cone is cut. It has a tip portion 43 having a shape and a coupling hole 44 formed at a predetermined depth inside the barrel portion 41 and into which the step coupling portion 33 is inserted. The outer diameter of the barrel 41 is smaller than the outer diameter of the body 31 of the tip body 30. The adhesive liquid is put on the end surface 42 of the tip portion of the solution contact cap 40.
The tip body 30 preferably includes a stainless material, and the solution contact cap 40 preferably includes a silicon material.

溶液接触キャップ４０の胴筒部４１の外径は、ティップトレイ２０のポケット２１の内径よりも小さく、ティップ本体３０の胴体部３１の外径は、ティップトレイ２０のポケット内径より大きい。ティップトレイ２０のポケット２１にパーティクル除去ティップＴが配置される。図４に示したとおり、パーティクル除去ティップＴがティップトレイ２０のポケット２１に配置される時、溶液接触キャップ４０がポケット２１に挿入されて溶液接触キャップ４０が下方に向かってティップ本体３０が上方に向くように配置される。   The outer diameter of the barrel 41 of the solution contact cap 40 is smaller than the inner diameter of the pocket 21 of the tip tray 20, and the outer diameter of the body 31 of the tip body 30 is larger than the inner diameter of the pocket of the tip tray 20. A particle removal tip T is arranged in a pocket 21 of the tip tray 20. As shown in FIG. 4, when the particle removing tip T is placed in the pocket 21 of the tip tray 20, the solution contact cap 40 is inserted into the pocket 21, and the solution contact cap 40 moves downward and the tip body 30 moves upward. It is arranged to face.

粘着液供給ユニット３００は、パーティクル除去ティップＴに粘着液を塗布する。粘着液供給ユニット３００の一例として、図５に示したとおり、粘着液供給ユニット３００は、ヘッドユニット３１０と、そのヘッドユニット３１０に装着され、内部に粘着液が満たされたシリンジ３２０と、そのシリンジ３２０の端部に備えられて粘着液が塗布されるノズル３３０を含む。ヘッドユニット３１０は、トレイ安着台２００の上側に位置することができる。   The adhesive liquid supply unit 300 applies the adhesive liquid to the particle removal tip T. As an example of the adhesive liquid supply unit 300, as shown in FIG. 5, the adhesive liquid supply unit 300 includes a head unit 310, a syringe 320 mounted on the head unit 310 and filled with an adhesive liquid, and the syringe 320. A nozzle 330 is provided at an end of the nozzle 320 and is coated with an adhesive liquid. The head unit 310 can be located above the tray mounting base 200.

インデックス部材４００は、架上の円状に一定の間隔をおいて多数の安着ホールＨが設けられ、中心軸を基準に回転する。インデックス部材４００は、トレイ安着台２００の横に位置することが好ましい。インデックス部材４００の一例として、図５に示したとおり、インデックス部材４００は、均一な厚さを有する円板部４１０と、その円板部４１０の枠側に備えられる多数の安着ホールＨと、円板部４１０の一面の中央部分付近に備えられる連結部４２０を含む。安着ホールＨは、円板部４１０を貫通するように形成され、安着ホールＨの内径は、パーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０の胴筒部４１の外径よりも大きく、ティップ本体３０の胴体部３１の外径よりも小さい。   The index member 400 is provided with a large number of seating holes H at predetermined intervals in a circular shape on a frame, and rotates around a central axis. The index member 400 is preferably located beside the tray mounting base 200. As an example of the index member 400, as shown in FIG. 5, the index member 400 includes a disk portion 410 having a uniform thickness, and a number of seating holes H provided on the frame side of the disk portion 410. The connecting part 420 is provided near the center of one surface of the disk part 410. The seating hole H is formed so as to penetrate the disk portion 410, and the inner diameter of the seating hole H is larger than the outer diameter of the barrel portion 41 of the solution contact cap 40 of the particle removing tip T, and Is smaller than the outer diameter of the torso portion 31.

フリップユニット５００は、トレイ安着台２００に置かれたティップトレイ２０のパーティクル除去ティップＴをピックアップして回転させ、粘着液供給ユニット３００からパーティクル除去ティップＴに粘着液が塗布された後、回転させてインデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。フリップユニット５００は、粘着液供給ユニット３００のシリンジ３２０とティップトレイ２０との間に動きが可能なように位置することが好ましい。
フリップユニット５００は、パーティクル除去ティップＴをピックアップし、１８０度回転させてパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップの端面４２に粘着液がドッティングされ、続いてパーティクル除去ティップＴを１８０度回転させて、インデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。 The flip unit 500 picks up and rotates the particle removal tip T of the tip tray 20 placed on the tray mounting base 200, and rotates after the adhesive liquid is applied to the particle removal tip T from the adhesive liquid supply unit 300. To be seated in the seating hole H of the index member 400. The flip unit 500 is preferably located so as to be movable between the syringe 320 of the adhesive liquid supply unit 300 and the tip tray 20.
The flip unit 500 picks up the particle removal tip T, rotates it 180 degrees, and the adhesive liquid is put on the end surface 42 of the solution contact cap of the particle removal tip T, and then rotates the particle removal tip T 180 degrees, It is seated in the seating hole H of the index member 400.

フリップユニット５００の一例として、図５に示したとおり、フリップユニット５００は、水平方向と垂直方向に動くフリップヘッド５１０と、そのフリップヘッド５１０の一側に回転可能に結合され、端部に吸着部５２１が備えられたフリップバー５２０と、そのフリップバー５２０を回転させるバー回転ユニット５３０を備える。フリップバーの吸着部５２１が下に位置するようにフリップバー５２０が垂直方向に位置する状態で、フリップヘッド５１０がフリップバー５２０をティップトレイ２０の上側に移動させ、続いてフリップバー５２０を下降させて吸着部５２１がティップトレイ２０に配列されたパーティクル除去ティップＴのティップ本体３０の丸棒部３２を吸着し、続いてバー回転ユニット５３０がフリップバー５２０を１８０度回転させることによってパーティクル除去ティップＴを１８０度回転させてパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０を上側に位置させる。   As an example of the flip unit 500, as shown in FIG. 5, the flip unit 500 includes a flip head 510 that moves in a horizontal direction and a vertical direction, and is rotatably coupled to one side of the flip head 510. A flip bar 520 provided with 521 and a bar rotation unit 530 for rotating the flip bar 520 are provided. With the flip bar 520 positioned vertically so that the suction portion 521 of the flip bar is positioned below, the flip head 510 moves the flip bar 520 to the upper side of the tip tray 20, and then lowers the flip bar 520. Then, the suction unit 521 suctions the round bar portion 32 of the tip body 30 of the particle removal tip T arranged on the tip tray 20, and then the bar rotation unit 530 rotates the flip bar 520 by 180 degrees to thereby remove the particle removal tip T. Is rotated 180 degrees to position the solution contact cap 40 of the particle removal tip T on the upper side.

続いてパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０のティップ部の端面４２に粘着液供給ユニット３００のシリンジ３２０から粘着液がドッティングされ、バー回転ユニット５３０がフリップバー５２０を１８０度回転させることによってパーティクル除去ティップＴを１８０度回転させてパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０にドッティングされた粘着液を下側に位置させ、続いてフリップヘッド５１０が動いて粘着液がドッティングされたパーティクル除去ティップＴをインデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。   Subsequently, the adhesive liquid is attached from the syringe 320 of the adhesive liquid supply unit 300 to the end surface 42 of the tip portion of the solution contact cap 40 of the particle removal tip T, and the bar rotation unit 530 rotates the flip bar 520 by 180 degrees to thereby remove the particles. By rotating the removal tip T by 180 degrees, the adhesive liquid that has been put on the solution contact cap 40 of the particle removal tip T is positioned on the lower side, and then the flip head 510 moves to move the particle removal tip on which the adhesive liquid has been placed. T is seated in the seating hole H of the index member 400.

図６は、本発明に係るインデックス型パーティクル除去装置の一実施例を構成するインデックス部材を示す平面図である。図６に示したとおり、インデックス駆動ユニット６００は、インデックス部材４００の下面中心部に連結され、インデックス部材４００を回転させる。インデックス駆動ユニット６００が、インデックス部材４００を回転させることによって、インデックス部材４００の安着ホールＨに安着されたパーティクル除去ティップＴをピックアップ位置に移動させ、そのパーティクル除去ティップＴがピックアップの位置に移動する間、パーティクル除去ティップＴの粘着液が硬化される。   FIG. 6 is a plan view showing an index member constituting an embodiment of the index type particle removing apparatus according to the present invention. As shown in FIG. 6, the index driving unit 600 is connected to the center of the lower surface of the index member 400 and rotates the index member 400. The index drive unit 600 rotates the index member 400 to move the particle removal tip T seated in the seating hole H of the index member 400 to the pickup position, and the particle removal tip T moves to the pickup position. Meanwhile, the adhesive liquid of the particle removal tip T is cured.

粘着ゲル除去部材７００は、パーティクル除去ティップＴの粘着液が硬化された粘着ゲルを除去する。粘着ゲル除去部材７００は、インデックス部材４００の横に位置することが好ましい。粘着ゲル除去部材７００の一例として、粘着ゲル除去部材７００は、上面が平面のブロックと、そのブロックの上面に備えられた粘着層を含む。粘着層は、粘着層が形成されたテープがブロックの上面に備えられてもよく、また、接着層が、ブロックの上面に層をなして形成されてもよい。   The adhesive gel removing member 700 removes the adhesive gel in which the adhesive liquid of the particle removal tip T is hardened. The adhesive gel removing member 700 is preferably located beside the index member 400. As an example of the adhesive gel removing member 700, the adhesive gel removing member 700 includes a block having a flat upper surface, and an adhesive layer provided on the upper surface of the block. The adhesive layer may be provided with a tape on which the adhesive layer is formed on the upper surface of the block, or the adhesive layer may be formed as a layer on the upper surface of the block.

スイングアームユニット８００は、インデックス部材４００のピックアップ位置に位置するパーティクル除去ティップＴをピックアップして移動し、パーティクル除去ティップＴの粘着ゲルでトレイ移送ユニット１００に置かれた素子トレイ１０の素子に付着したパーティクルを除去し、パーティクル除去ティップＴのパーティクルを除去した粘着ゲルを、粘着ゲル除去部材７００で除去し、粘着ゲルが除去されたパーティクル除去ティップＴをインデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。スイングアームユニット８００は、トレイ移送ユニット１００を横切る支持フレームＦが具備され、その支持フレームＦに設置されることが好ましい。支持フレームＦは、互いに間隔を置いて位置する２つの垂直部材と、その垂直部材の上端を相互に連結する連結部材を含む。   The swing arm unit 800 picks up and moves the particle removal tip T located at the pickup position of the index member 400 and adheres to the element of the element tray 10 placed on the tray transfer unit 100 with the adhesive gel of the particle removal tip T. The adhesive gel from which the particles have been removed and the particles of the particle removing tip T have been removed is removed by the adhesive gel removing member 700, and the particle removing tip T from which the adhesive gel has been removed is seated in the seating hole H of the index member 400. . The swing arm unit 800 includes a support frame F that traverses the tray transfer unit 100, and is preferably installed on the support frame F. The support frame F includes two vertical members that are spaced apart from each other, and a connecting member that connects the upper ends of the vertical members to each other.

スイングアームユニット８００の一例として、図７に示したとおり、スイングアームユニット８００は、上下に動く本体８１０と、その本体８１０に水平方向に回転可能に結合されるスイングアーム８２０と、そのスイングアーム８２０を水平方向に往復回転させるスイングアーム駆動ユニット８３０と、スイングアーム８２０の端部に備えられ、吸着力を作用させるティップ吸着ユニット８４０とを有する。スイングアーム駆動ユニット８３０の作動によりスイングアーム８２０の一方の端を基準軸にしてスイングアーム８２０が回転（角回転）しながらスイングアーム８２０の他方の端部に備えられたティップ吸着ユニット８４０によりインデックス部材４００に位置するパーティクル除去ティップＴを吸着したり、ティップ吸着ユニット８４０に吸着されたパーティクル除去ティップＴをインデックス部材４００に安着させる。   As an example of the swing arm unit 800, as shown in FIG. 7, the swing arm unit 800 includes a main body 810 that moves up and down, a swing arm 820 that is rotatably coupled to the main body 810 in a horizontal direction, and the swing arm 820. A swing arm drive unit 830 that reciprocally rotates the arm in the horizontal direction, and a tip suction unit 840 provided at an end of the swing arm 820 to apply a suction force. While the swing arm 820 is rotated (angularly rotated) with one end of the swing arm 820 as a reference axis by the operation of the swing arm drive unit 830, the index member is provided by the tip suction unit 840 provided at the other end of the swing arm 820. The particle removing tip T located at 400 is adsorbed, or the particle removing tip T adsorbed by the tip adsorbing unit 840 is settled on the index member 400.

以下、本発明に係るパーティクル除去ティップ及びそれを用いたインデックス型パーティクル除去装置の作用と効果を説明する。
まず、トレイ安着台２００にパーティクル除去ティップＴが配列されたティップトレイ２０が置かれ、素子が配列された素子トレイ１０がトレイ移送ユニット１００のトレイ吸着ユニット１４０に吸着された状態で、素子トレイ１０の素子を検査してパーティクルが付着した素子の情報が入力される。そして、トレイ移送ユニット１００のトレイ吸着ユニット１４０が作業位置Ｐに移送され、素子トレイ１０が作業位置Ｐに位置することになる。 Hereinafter, the operation and effect of the particle removal tip according to the present invention and the index type particle removal apparatus using the same will be described.
First, the tip tray 20 on which the particle removal tips T are arranged is placed on the tray mounting base 200, and the element tray 10 on which the elements are arranged is sucked by the tray suction unit 140 of the tray transfer unit 100. Inspection of the ten elements is performed, and information on the elements to which particles are attached is input. Then, the tray suction unit 140 of the tray transfer unit 100 is transferred to the work position P, and the element tray 10 is located at the work position P.

このような状態で、フリップユニット５００のフリップバー５２０がティップトレイ２０に置かれたパーティクル除去ティップＴをピックアップして回転させる。粘着液供給ユニット３００のシリンジ３２０に満たされた粘着液をパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０に塗布し、続いてフリップユニット５００のフリップバー５２０が回転して移動し、粘着液がドッティングされたパーティクル除去ティップＴをインデックス部材４００の安着ホールＨに挿入させる。このとき、パーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０が下に位置する状態でパーティクル除去ティップＴが安着ホールＨに挿入されて安着される。   In such a state, the flip bar 520 of the flip unit 500 picks up and rotates the particle removal tip T placed on the tip tray 20. The adhesive liquid filled in the syringe 320 of the adhesive liquid supply unit 300 is applied to the solution contact cap 40 of the particle removing tip T, and subsequently, the flip bar 520 of the flip unit 500 rotates and moves, and the adhesive liquid is doted. The particle removal tip T is inserted into the seating hole H of the index member 400. At this time, the particle removing tip T is inserted and settled in the seating hole H with the solution contact cap 40 of the particle removing tip T positioned below.

パーティクル除去ティップＴがインデックス部材４００の安着ホールＨに安着されると、インデックス駆動ユニット６００が、インデックス部材４００を設定された角度で回転させる。これと同時に、フリップユニット５００が移動してティップトレイ２０に配列された他のパーティクル除去ティップＴをピックアップして上記の動作で粘着液供給ユニット３００から粘着液を塗布されてインデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。インデックス部材４００の安着ホールＨに粘着液がドッティングされたパーティクル除去ティップＴが安着されると、インデックス駆動ユニット６００が、インデックス部材４００を設定された角度で回転させる。このような動作が繰り返され、ティップトレイ２０に配列されたパーティクル除去ティップＴに粘着液をドッティングしてインデックス部材４００の安着ホールＨに安着させる。   When the particle removing tip T is seated in the seating hole H of the index member 400, the index driving unit 600 rotates the index member 400 at a set angle. At the same time, the flip unit 500 moves to pick up another particle removal tip T arranged on the tip tray 20, and the adhesive liquid is applied from the adhesive liquid supply unit 300 by the above operation, and the index member 400 is settled. Settle in Hall H. When the particle removing tip T in which the adhesive liquid has been set in the fixing hole H of the index member 400 is settled, the index driving unit 600 rotates the index member 400 at a set angle. Such an operation is repeated, and the adhesive liquid is put on the particle removing tips T arranged on the tip tray 20 to be seated in the seating holes H of the index member 400.

インデックス部材４００が設定された角度で角回転することを繰り返しながら、安着ホールＨに安着されたパーティクル除去ティップＴがピックアップ位置に位置すると、そのピックアップ位置に移動する間、パーティクル除去ティップＴにドッティングされた粘着液が半硬化される。スイングアームユニット８００のスイングアーム８２０がピックアップ位置に位置するパーティクル除去ティップＴをピックアップして回転し、トレイ安着台２００のティップトレイ２０に配列された素子のうちパーティクルが付着した素子に位置し、その素子に付着したパーティクルを粘着ゲルに付けて素子のパーティクルを除去する。続いて、スイングアーム８２０が回転してパーティクル除去ティップＴを粘着ゲル除去部材７００に位置させ、そのパーティクル除去ティップＴのパーティクルが付着した粘着ゲルを粘着ゲル除去部材７００により除去する。このとき、パーティクル除去ティップＴの粘着ゲルを粘着ゲル除去部材７００に粘着させることにより、パーティクルが付着した粘着ゲルをパーティクル除去ティップＴから分離して除去する。   When the particle removing tip T seated in the seating hole H is positioned at the pickup position while repeating the angular rotation of the index member 400 at the set angle, the particle removing tip T is moved while moving to the pickup position. The applied adhesive liquid is semi-cured. The swing arm 820 of the swing arm unit 800 picks up and rotates the particle removal tip T located at the pick-up position, and is located at the element to which particles are attached among the elements arranged on the tip tray 20 of the tray mounting base 200, The particles attached to the element are attached to an adhesive gel to remove the particles of the element. Subsequently, the swing arm 820 rotates to position the particle removing tip T on the adhesive gel removing member 700, and the adhesive gel to which the particles of the particle removing tip T adhere is removed by the adhesive gel removing member 700. At this time, the adhesive gel of the particle removing tip T is adhered to the adhesive gel removing member 700, so that the adhesive gel to which the particles are attached is separated and removed from the particle removing tip T.

続いて、スイングアーム８２０が回転し、ビジョンを介してパーティクル除去ティップＴに粘着ゲルの残留の有無を確認し、インデックス部材４００の安着ホールＨに挿入して安着させる。そして、インデックス部材４００が設定された角度で回転してピックアップ位置に他のパーティクル除去ティップＴが位置するようになり、スイングアーム８２０が、そのピックアップの位置に位置する他のパーティクル除去ティップＴをピックアップして上記のような動作で素子トレイ１０に配列された素子のうちパーティクルが付着した素子のパーティクルを除去する。   Subsequently, the swing arm 820 is rotated to check whether or not the adhesive gel remains on the particle removing tip T through the vision, and is inserted into the seating hole H of the index member 400 to be seated. Then, the index member 400 is rotated at the set angle so that another particle removing tip T is located at the pickup position, and the swing arm 820 picks up the other particle removing tip T located at the position of the pickup. Then, the particles of the elements to which the particles are attached among the elements arranged in the element tray 10 are removed by the above operation.

このような動作が繰り返され、スイングアームユニット８００のスイングアーム８２０が、インデックス部材４００のピックアップ位置に安着されたパーティクル除去ティップＴをピックアップして素子トレイ１０に配列された素子のパーティクルを除去する。一方、インデックス部材４００に安着された、粘着ゲルが除去されたパーティクル除去ティップＴは、フリップユニット５００がピックアップしてトレイ安着台２００に安着されたティップトレイ２０の安着ホールＨに安着させ、このときパーティクル除去ティップＴの溶液接触キャップ４０が下に位置するように安着させる。   Such operations are repeated, and the swing arm 820 of the swing arm unit 800 picks up the particle removal tip T settled at the pickup position of the index member 400 to remove the particles of the elements arranged in the element tray 10. . On the other hand, the particle removal tip T settled on the index member 400 and from which the adhesive gel has been removed is set in the seating hole H of the tip tray 20 picked up by the flip unit 500 and settled on the tray mounting base 200. At this time, it is settled so that the solution contact cap 40 of the particle removal tip T is positioned below.

本発明のパーティクル除去ティップＴは、ステンレス材質を含むティップ本体３０と、そのティップ本体３０の一方の端部に結合されるシリコン材質の溶液接触キャップ４０を含むので、粘着液が溶液接触キャップ４０によく付着していながら、その粘着液が半硬化した状態で、溶液接触キャップ４０から除去時に溶液接触キャップ４０に半硬化された粘着ゲルが残留しないようにきれいに除去される。これにより、パーティクル除去ティップＴに粘着液を付着させて硬化させパーティクルを除去した後、そのパーティクル除去ティップＴに粘着液を再び付着させて繰り返し使用することが可能になる。   Since the particle removing tip T of the present invention includes the tip body 30 including a stainless steel material and the silicon material solution contact cap 40 coupled to one end of the tip body 30, the adhesive liquid is applied to the solution contact cap 40. In a state where the adhesive liquid is semi-cured while being adhered well, the semi-cured adhesive gel is removed from the solution contact cap 40 so as not to remain when the adhesive liquid is removed from the solution contact cap 40. This makes it possible to adhere the adhesive liquid to the particle removal tip T, cure the adhesive liquid, remove the particles, and then attach the adhesive liquid again to the particle removal tip T for repeated use.

このように、本発明は、パーティクル除去ティップＴに粘着液を付着させ、その粘着液を硬化（乾燥）させてゲル化し、パーティクル除去ティップＴに付着した粘着ゲルを素子に接触させて素子に付着したパーティクルを除去し、パーティクルが付着した粘着ゲルをパーティクル除去ティップＴから除去した後、そのパーティクル除去ティップＴに粘着液を付着させて硬化させ、そのパーティクル除去ティップＴの粘着ゲルで素子に付着されるパーティクルを除去することを繰り返しながら素子にそれぞれ付着されたパーティクルを除去する。これにより、素子に付着したパーティクルを迅速かつ正確に除去し、素子に付着したパーティクルを除去する作業が効率的に行われる。また、パーティクル除去ティップＴに付着した粘着ゲルだけを除去するので、また、本発明のパーティクル除去ティップＴに粘着液がよく付き、その粘着液が硬化した後、ゲル状態で粘着性を維持しながら、パーティクル除去ティップＴからきれいによく除去されるので、パーティクル除去ティップＴを継続的に使用が可能になって部品の損失を最小限に抑えることができる。   As described above, according to the present invention, the adhesive liquid is attached to the particle removing tip T, the adhesive liquid is cured (dried) to gel, and the adhesive gel attached to the particle removing tip T is brought into contact with the element to adhere to the element. After removing the adhered particles and removing the adhesive gel to which the particles have adhered from the particle removal tip T, an adhesive liquid is applied to the particle removal tip T and cured, and the adhesive gel of the particle removal tip T is attached to the element. The particles attached to the element are removed while repeating the removal of particles. Thus, the operation of quickly and accurately removing the particles attached to the element and removing the particles attached to the element is efficiently performed. Further, since only the adhesive gel adhered to the particle removing tip T is removed, the adhesive liquid is often attached to the particle removing tip T of the present invention. Since the particle removal tip T is cleanly and well removed, the particle removal tip T can be continuously used, and the loss of components can be minimized.

また、本発明は、トレイ移送ユニット１００、トレイ安着台２００、粘着液供給ユニット３００、インデックス部材４００、フリップユニット５００、インデックス駆動ユニット６００、粘着ゲル除去部材７００、スイングアームユニット８００を含むことになるので構成が簡単であり、インデックス部材４００を設定された角度で繰り返し角回転させながら安着位置でインデックス部材４００の安着ホールＨに粘着液がドッティングされたパーティクル除去ティップＴを継続的に安着させてインデックス部材４００の安着ホールＨにそれぞれ安着されたパーティクル除去ティップＴをピックアップ位置で順次ピックアップするので、インデックス部材４００が回転する間、パーティクル除去ティップＴにドッティングされた粘着液が硬化して作業効率を高めることができる。   Further, the present invention includes the tray transfer unit 100, the tray mounting base 200, the adhesive liquid supply unit 300, the index member 400, the flip unit 500, the index drive unit 600, the adhesive gel removing member 700, and the swing arm unit 800. Therefore, the configuration is simple, and the particle removing tip T in which the adhesive liquid is put in the seating hole H of the index member 400 at the seating position at the seating position while the index member 400 is repeatedly rotated at the set angle is continuously used. Since the particle removal tips T which are settled and settled in the respective mounting holes H of the index member 400 are sequentially picked up at the pickup position, the adhesive liquid that has been set on the particle removal tip T while the index member 400 is rotating. Is cured It is possible to enhance the work efficiency.

１０：素子トレイ
１１：（素子トレイの）ポケット
２０：ティップトレイ
２１：（ティップトレイの）ポケット
３０：ティップ本体
３１：胴体部
３２：丸棒部
３３：段差結合部
３４：カット溝
４０：溶液接触キャップ
４１：胴筒部
４２：端面
４３：ティップ部
４４：結合ホール
１００：トレイ移送ユニット
１１０：ガイドレール
１２０：垂直ガイド部材
１３０：第１駆動ユニット
１４０：トレイ吸着ユニット
１５０：トレイ供給ユニット
２００：トレイ安着台
３００：粘着液供給ユニット
３１０：ヘッドユニット
３２０：シリンジ
３３０：ノズル
４００：インデックス部材
４１０：円板部
４２０：連結部
５００：フリップユニット
５１０：フリップヘッド
５２０：フリップバー
５２１：吸着部
５３０：バー回転ユニット
６００：インデックス駆動ユニット
７００：粘着ゲル除去部材
８００：スイングアームユニット
８１０：（スイングアームユニットの）本体
８２０：スイングアーム
８３０：スイングアーム駆動ユニット
８４０：ティップ吸着ユニット
９００：トレイ回収ユニット
Ｆ：支持フレーム
Ｈ：安着ホール
Ｐ：作業位置
Ｔ：パーティクル除去ティップ 10: element tray 11: pocket (of element tray) 20: tip tray
21: Pocket (of tip tray) 30: Tip body 31: Body part 32: Round bar part 33: Step connection part 34: Cut groove 40: Solution contact cap 41: Body cylinder part 42: End face 43: Tip part 44: Connection Hall 100: tray transfer unit 110: guide rail 120: vertical guide member 130: first drive unit
140: Tray suction unit 150: Tray supply unit 200: Tray seating table 300: Adhesive liquid supply unit 310: Head unit 320: Syringe 330: Nozzle 400: Index member 410: Disk part 420: Connecting part 500: Flip unit 510 : Flip head 520: Flip bar 521: Suction unit 530: Bar rotation unit 600: Index drive unit 700: Adhesive gel removing member 800: Swing arm unit 810: Main body (of swing arm unit) 820: Swing arm 830: Swing arm drive Unit 840: Tip suction unit 900: Tray collection unit F: Support frame H: Seating hole P: Working position T: Particle removal tip

Claims (6)

多数の素子が配列された素子トレイを作業位置に移送するトレイ移送ユニット、
多数のパーティクル除去ティップが配列されたティップトレイが置かれるトレイ安着台、
粘着液を塗布する粘着液供給ユニット、
架上の円状に一定の間隔をおいて多数の安着ホールが具備され、中心軸を基準に回転するインデックス部材、
前記トレイ安着台に置かれたティップトレイのパーティクル除去ティップをピックアップして回転させ、前記粘着液供給ユニットからパーティクル除去ティップに粘着液が塗布された後、回転させて前記インデックス部材の安着ホールに安着させるフリップユニット、
前記インデックス部材の安着ホールに安着されたパーティクル除去ティップをピックアップ位置に移動させながら、前記パーティクル除去ティップの粘着液が硬化されるようにインデックス部材を回転させるインデックス駆動ユニット、
前記パーティクル除去ティップの粘着液が硬化された粘着ゲルが除去される粘着ゲル除去部材、
前記インデックス部材のパーティクル除去ティップをピックアップ位置でピックアップして移動し、パーティクル除去ティップの粘着ゲルで作業位置に位置する素子トレイの素子に付着したパーティクルを除去し、パーティクル除去ティップのパーティクルを除去した粘着ゲルを、前記粘着ゲル除去ユニットで除去し、粘着ゲルが除去されたパーティクル除去ティップを前記インデックス部材の安着ホールに安着させるスイングアームユニット、を含むことを特徴とするインデックス型パーティクル除去装置。 A tray transfer unit for transferring an element tray in which a number of elements are arranged to a work position,
A tray mount on which a tip tray on which a number of particle removal tips are arranged is placed,
Adhesive liquid supply unit for applying adhesive liquid,
An index member that is provided with a large number of seating holes at regular intervals in a circular shape on a frame and rotates around a central axis,
The particle removal tip of the tip tray placed on the tray mounting table is picked up and rotated, and after the adhesive liquid is applied to the particle removal tip from the adhesive liquid supply unit, the particle removal tip is rotated and rotated to set up the fixing hole of the index member. Flip unit,
An index drive unit that rotates the index member so that the adhesive liquid of the particle removal tip is cured while moving the particle removal tip seated in the seat hole of the index member to the pickup position;
An adhesive gel removing member from which the adhesive gel in which the adhesive liquid of the particle removal tip has been cured is removed,
The particle removing tip of the index member is picked up at the pickup position and moved, the particles attached to the element of the element tray located at the working position are removed with the adhesive gel of the particle removing tip, and the particles of the particle removing tip are removed. An index-type particle removing apparatus, comprising: a swing arm unit that removes gel by the adhesive gel removing unit and seats a particle removal tip from which the adhesive gel has been removed in a seating hole of the index member. 前記作業位置の一方の側に、作業位置に位置するトレイ移送ユニットの素子トレイを回収するトレイ回収ユニットが備えられることを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。   The index type particle removing apparatus according to claim 1, further comprising a tray collection unit configured to collect an element tray of a tray transfer unit located at the work position on one side of the work position. 前記フリップユニットは、前記パーティクル除去ティップをピックアップし、１８０度回転させてパーティクル除去ティップの一方の端に粘着液がドッティングされ、続いて前記パーティクル除去ティップを１８０度回転させて、前記インデックス部材の安着ホールに安着させることを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。   The flip unit picks up the particle removal tip, rotates the particle removal tip by 180 degrees, and attaches the adhesive liquid to one end of the particle removal tip, and then rotates the particle removal tip by 180 degrees to rotate the particle removal tip. The index-type particle removing device according to claim 1, wherein the particle is settled in a seating hole. 前記粘着ゲル除去部材は、上面が平面のブロックと、前記ブロックの上面に備えられた粘着層を含むことを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。   The index-type particle removing apparatus according to claim 1, wherein the adhesive gel removing member includes a block having a flat upper surface and an adhesive layer provided on an upper surface of the block. 前記スイングアームユニットは、上下に動く本体と、前記本体に水平方向に回転可能に結合されるスイングアームと、前記スイングアームを水平方向に往復回転させるスイングアーム駆動ユニットと、前記スイングアームの一方の端部に備えられ、前記パーティクル除去ティップを吸着するティップ吸着ユニットとを含むことを特徴とする請求項１に記載のインデックス型パーティクル除去装置。   The swing arm unit includes a main body that moves up and down, a swing arm that is rotatably coupled to the main body in a horizontal direction, a swing arm drive unit that reciprocates the swing arm in a horizontal direction, and one of the swing arms. The index-type particle removing apparatus according to claim 1, further comprising: a tip suction unit provided at an end portion for suctioning the particle removal tip. ティップ本体、
前記ティップ本体の一方の端部に結合されて粘着液がドッティングされる溶液接触キャップ、を含み、
前記ティップ本体は
設定された長さと断面積を有する胴体部と、前記胴体部の一方の側面に延長形成され、前記胴体部の断面積よりも小さい断面積を有する丸棒状の丸棒部と、前記胴体部の他方の側面に延長形成される段差結合部とを含み、
前記溶液接触キャップは、設定された長さを有する丸棒状の胴筒部と、前記胴筒部の一方の端に円錐状に延長形成され、円錐の先部分が切断されて端面を有する形状のティップ部と、前記胴筒部の他方の端面に設定された深さで形成され、前記段差結合部が挿入される結合ホールとを含み、
前記ティップ本体はステンレス材質を含み、前記溶液接触キャップはシリコン材質を含むことを特徴とするパーティクル除去ティップ。
Tip body,
A solution contact cap that is attached to one end of the tip body and to which an adhesive liquid is to be attached,
The tip body has a body portion having a set length and a cross-sectional area, and a round bar portion extending from one side surface of the body portion and having a cross-sectional area smaller than the cross-sectional area of the body portion, A step coupling portion extending from the other side surface of the body portion,
The solution contact cap has a round bar-shaped barrel portion having a set length, and is formed in a conical shape at one end of the barrel portion, and the tip of the cone is cut to have an end surface. A tip portion and a coupling hole formed at a depth set on the other end surface of the barrel portion, and including the step coupling portion,
2. The particle removing tip according to claim 1, wherein the tip body includes a stainless material, and the solution contact cap includes a silicon material.
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