JP2019219366A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の検査用外部端子が配列される周辺長を短くして、小型化を実現することができる半導体装置を提供する。【解決手段】半導体装置1は、第1外部端子13又は14(110A)と、配線110Bと、第2外部端子15又は16(110C)とを備える。第1外部端子13又は14は、基板10主面部に形成された回路11の周辺に配置され、回路11の被検査部12を検査する検査用外部端子として使用される。配線110Bは、第1外部端子13又は14から回路11側へ延設され、第1外部端子13又は14と被検査部12とを電気的に接続する。第2外部端子15又は16は、配線110Bと電気的に接続され、かつ、被検査部12を検査する検査用外部端子として使用される。第2外部端子15又は16は、配線110Bと重なり合い第1外部端子13又は14よりも回路11側に配置される。【選択図】図2
Description
本発明は、半導体装置に関し、特に回路の検査用外部端子を備えた半導体装置に適用して有効な技術に関する。
特許文献1には、プローブ検査用外部端子を備えた半導体装置が開示されている。半導体装置では、電源、出力段回路等の比較的大きな電流が流れる配線において微小抵抗値を測定するプローブ検査に、4端子抵抗測定法(ケルビン測定法)が使用されている。4端子抵抗測定法では、検査用外部端子と検査用プローブとの接触抵抗や配線抵抗による測定電圧降下の影響を排除することができ、正確な抵抗値を測定することができる。
4端子抵抗測定法が採用されると、検査用外部端子として、フォース用外部端子及びセンス用外部端子が必要とされる。これらのフォース用外部端子及びセンス用外部端子は、半導体装置の半導体基板の周辺に沿って、複数の信号用外部端子と共に配列されている。
4端子抵抗測定法が採用されると、検査用外部端子として、フォース用外部端子及びセンス用外部端子が必要とされる。これらのフォース用外部端子及びセンス用外部端子は、半導体装置の半導体基板の周辺に沿って、複数の信号用外部端子と共に配列されている。
ところで、上記の通り、半導体装置では、検査用外部端子が信号用外部端子と共に半導体基板の周辺に沿って配列されているので、半導体基板の周辺長が長くなる。このため、所謂、チップサイズが増大し、半導体装置の小型化を実現するために、改善の余地があった。
本発明は、上記事実を考慮し、基板の検査用外部端子が配列される周辺長を短くして、小型化を実現することができる半導体装置を提供する。
本発明の第1実施態様に係る半導体装置は、基板主面部に形成された回路の周囲に配置され、回路の被検査部を検査する検査用外部端子として使用される第1外部端子と、第1外部端子から回路側へ延設され、第1外部端子と被検査部とが電気的に接続される配線と、配線に重なり合い第1外部端子よりも回路側に配置され、配線と電気的に接続され、かつ、被検査部を検査する検査用外部端子として使用される第2外部端子と、を備えている。
第1実施態様に係る半導体装置は、第1外部端子と、配線と、第2外部端子とを備える。第1外部端子は、基板主面部に形成された回路の周辺に配置され、回路の被検査部を検査する検査用外部端子として使用される。配線は、第1外部端子から回路側へ延設され、第1外部端子と被検査部とを電気的に接続する。第2外部端子は、配線と電気的に接続され、かつ、被検査部を検査する検査用外部端子として使用される。
ここで、第2外部端子は、配線と重なり合い第1外部端子よりも回路側に配置される。このため、第2外部端子は、回路の周辺に配置される第1外部端子の配列位置よりも内側となる回路側に配置されるので、基板主面部において、第2外部端子の配置分に相当する、回路の周辺長を短くすることができる。加えて、第2外部端子は配線と重なり合って配置されているので、第2外部端子の配置位置を移動させても基板主面部における占有面積の増加を抑制することができる。
本発明の第2実施態様に係る半導体装置では、第1実施態様に係る半導体装置において、第1外部端子、配線及び第2外部端子は、同一の配線層において一体に形成され、第1外部端子の表面は、配線層上に形成された保護膜の膜厚方向へ貫通する第1開口内において露出され、第2外部端子の表面は、保護膜の膜厚方向へ貫通する第2開口内において露出されている。
第2実施態様に係る半導体装置では、第1外部端子、配線及び第2外部端子が同一の配線層において一体に形成される。そして、第1外部端子の表面は、配線層上に形成された保護膜の膜厚方向へ貫通する第1開口内において露出され、第2外部端子の表面は、保護膜の膜厚方向へ貫通する第2開口内において露出される。
このため、同一の配線層において第1外部端子、配線及び第2外部端子が一体に形成され、しかも保護膜に第1開口及び第2開口を形成するだけで、第1外部端子及び第2外部端子を簡易に構成することができる。
このため、同一の配線層において第1外部端子、配線及び第2外部端子が一体に形成され、しかも保護膜に第1開口及び第2開口を形成するだけで、第1外部端子及び第2外部端子を簡易に構成することができる。
本発明の第3実施態様に係る半導体装置では、第1実施態様又は第2実施態様に係る半導体装置において、第2外部端子下の基板主面部に素子が配設されていない。
第3実施態様に係る半導体装置によれば、第2外部端子下の基板主面部に素子が配設されない。仮に、プローブ検査において、検査用プローブが第2外部端子に接触しても、又はボンディングワイヤが第2外部端子にボンディングされても、衝撃が加わる素子が配設されていないので、素子に損傷、破壊を与えることがない。
本発明の第4実施態様に係る半導体装置では、第1実施態様〜第3実施態様のいずれか1つに係る半導体装置において、第1外部端子又は第2外部端子は、4端子抵抗測定法におけるフォース用外部端子として使用され、第2外部端子又は第1外部端子は、4端子抵抗測定法におけるセンス用外部端子として使用される。
第4実施態様に係る半導体装置によれば、第1外部端子又は第2外部端子はフォース用外部端子として使用され、第2外部端子又は第1外部端子はセンス用外部端子として使用される。このため、4端子抵抗測定法を実施することができるので、仮に回路の被検査部として抵抗を検査対象とする場合、この抵抗の微小抵抗値を高い精度により検査することができる。
本発明によれば、基板の検査用外部端子が配列される周辺長を短くして、小型化を実現することができる半導体装置を提供することができる。
以下、図1〜図3を用いて、本発明の一実施の形態に係る半導体装置及びプローブ検査装置について説明する。
(半導体装置及びプローブ検査装置のシステム構成)
図1に示されるように、本実施の形態に係る半導体装置1では、この半導体装置1の製造プロセスの最終段工程において、プローブ検査装置2を用いてプローブ検査が実施されている。ここで、プローブ検査は、ダイシング工程前の半導体ウェーハ状態において、この半導体ウェーハに製造された複数の半導体装置1の1つ毎に、又は複数の半導体装置1毎に実施されている。また、半導体ウェーハのダイシング工程後のプローブ検査は、半導体ウェーハから平面視において矩形状のチップ状態に形成された半導体装置1に実施されている。
図1に示されるように、本実施の形態に係る半導体装置1では、この半導体装置1の製造プロセスの最終段工程において、プローブ検査装置2を用いてプローブ検査が実施されている。ここで、プローブ検査は、ダイシング工程前の半導体ウェーハ状態において、この半導体ウェーハに製造された複数の半導体装置1の1つ毎に、又は複数の半導体装置1毎に実施されている。また、半導体ウェーハのダイシング工程後のプローブ検査は、半導体ウェーハから平面視において矩形状のチップ状態に形成された半導体装置1に実施されている。
図1には、チップ状態に形成された半導体装置1が概略図として示されている。半導体装置1は平面視において矩形状の基板10を主体に形成され、基板10の中央部分の主面部には図示省略の複数の半導体素子を組み合わせた回路11が形成されている。プローブ検査では回路11の被検査部12が検査され、ここでは被検査部12は抵抗とされ、この微小抵抗値が測定される。
ここで、抵抗とは、抵抗素子の抵抗だけでなく、トランジスタ、具体的には絶縁ゲート型電界効果トランジスタのソース−ドレイン間の抵抗、半導体素子間を接続する配線の抵抗等を含む意味において使用されている。
ここで、抵抗とは、抵抗素子の抵抗だけでなく、トランジスタ、具体的には絶縁ゲート型電界効果トランジスタのソース−ドレイン間の抵抗、半導体素子間を接続する配線の抵抗等を含む意味において使用されている。
プローブ検査には4端子抵抗測定法が使用されている。このため、半導体装置1の基板10には、第1外部端子13、第1外部端子14、第2外部端子15及び第2外部端子16の合計4つの検査用外部端子が配設されている。第1外部端子13、第1外部端子14は、それぞれフォース(Force)用外部端子として使用されている。第2外部端子15、第2外部端子16は、それぞれセンス(Sense)用外部端子として使用されている。
被検査部12の一端部は、第1外部端子13、第2外部端子15のそれぞれに電気的に並列に接続されている。被検査部12の他端部は、第1外部端子14、第2外部端子16のそれぞれに電気的に並列に接続されている。
一方、プローブ検査を実施するプローブ検査装置2は、電源20と、電流計21と、電圧計22とを含んで構成されている。
電源20の正極は電流計21に接続され、プローブ検査において、この電流計21は第1外部端子13に接続される構成とされている。第1外部端子13との接続には、特に符号を付けないが、検査用プローブが使用されている。なお、直接、ボンディングワイヤをボンディングして、第1外部端子13とプローブ検査装置2とが接続されてもよい。
電源20の負極は、プローブ検査において、第1外部端子14に接続される構成とされている。第1外部端子14との接続には、同様に、検査用プローブ又はボンディングワイヤが使用されている。
電圧計22は、プローブ検査において、第2外部端子15、第2外部端子16のそれぞれに接続される構成とされている。この第2外部端子15、第2外部端子16のそれぞれとの接続には、同様に、検査用プローブ又はボンディングワイヤが使用されている。
電源20の正極は電流計21に接続され、プローブ検査において、この電流計21は第1外部端子13に接続される構成とされている。第1外部端子13との接続には、特に符号を付けないが、検査用プローブが使用されている。なお、直接、ボンディングワイヤをボンディングして、第1外部端子13とプローブ検査装置2とが接続されてもよい。
電源20の負極は、プローブ検査において、第1外部端子14に接続される構成とされている。第1外部端子14との接続には、同様に、検査用プローブ又はボンディングワイヤが使用されている。
電圧計22は、プローブ検査において、第2外部端子15、第2外部端子16のそれぞれに接続される構成とされている。この第2外部端子15、第2外部端子16のそれぞれとの接続には、同様に、検査用プローブ又はボンディングワイヤが使用されている。
このように構成されるプローブ検査装置2では、検査用プローブ又はボンディングワイヤを使用して第1外部端子13、第1外部端子14、第2外部端子15及び第2外部端子16に接触又は接続して、回路11の被検査部12の微小抵抗値が検査される。
(半導体装置1の構成)
図1に示されるプローブ検査装置2を用いてプローブ検査が実施される半導体装置1の具体的な構成は、以下の通りである。
すなわち、まず図2に示されるように、半導体装置1は基板10を備えている。基板10には例えばシリコン単結晶基板が使用され、基板1は例えば第1導電型としてのp型に設定されている。また、基板10は、p型ウエル領域と、第1導電型とは反対導電型となる第2導電型のn型ウエル領域とを備えていてもよく、特に基板10の構造は限定されるものではない。
図1に示されるプローブ検査装置2を用いてプローブ検査が実施される半導体装置1の具体的な構成は、以下の通りである。
すなわち、まず図2に示されるように、半導体装置1は基板10を備えている。基板10には例えばシリコン単結晶基板が使用され、基板1は例えば第1導電型としてのp型に設定されている。また、基板10は、p型ウエル領域と、第1導電型とは反対導電型となる第2導電型のn型ウエル領域とを備えていてもよく、特に基板10の構造は限定されるものではない。
基板10上には、素子分離絶縁層101が形成されている。そして、この素子分離絶縁層101上には、第1層目の第1層間絶縁層105、第1層目の配線層に形成された配線107、第2層目の第2層間絶縁層108、第2層目の配線層に形成された配線110、最終保護層111のそれぞれが順次積層されている。
素子分離絶縁層101は、回路11を構築する半導体素子の周囲を取り囲み、半導体素子間を電気的に分離する構成とされている。素子分離絶縁層101として、基板10の主面を選択に酸化して形成されたシリコン酸化膜が使用されている。
素子分離絶縁層101は、回路11を構築する半導体素子の周囲を取り囲み、半導体素子間を電気的に分離する構成とされている。素子分離絶縁層101として、基板10の主面を選択に酸化して形成されたシリコン酸化膜が使用されている。
図2には、回路11を構築する半導体素子として、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(Insulated Gate Field Effect Transistor。以下、単に「トランジスタ」という。)Tが示されている。トランジスタTは、素子分離絶縁層101により周囲を囲まれた領域内において、基板10の主面部に配設されている。トランジスタTは、チャネル形成領域として使用される基板10と、ゲート絶縁膜102と、ゲート電極103と、一対の主電極104とを含んで構成されている。
ゲート絶縁膜102は、基板10上に形成され、例えばシリコン酸化膜の単層、又はシリコン酸化膜とシリコン窒化膜との複合膜により形成されている。
ゲート電極103は、ゲート絶縁膜102上に形成され、例えば抵抗値を小さくする不純物が導入されたシリコン多結晶膜の単層、又はシリコン多結晶膜上に高融点金属若しくは高融点金属シリサイド膜を積層した複合膜により形成されている。
一対の主電極104は、ゲート電極103のゲート幅方向の両側において基板10の主面部に形成されたn型半導体領域により形成され、ソース領域及びドレイン領域として使用されている。つまり、ここで、トランジスタTはnチャネル導電型に設定されている。
なお、回路11を構築する半導体素子は、上記トランジスタTに限定されるものではない。例えば、半導体素子は、上記トランジスタTと逆導電型となるpチャネル導電型トランジスタ、抵抗素子、容量素子及びバイポーラトランジスタのいずれかであってもよい。
ゲート絶縁膜102は、基板10上に形成され、例えばシリコン酸化膜の単層、又はシリコン酸化膜とシリコン窒化膜との複合膜により形成されている。
ゲート電極103は、ゲート絶縁膜102上に形成され、例えば抵抗値を小さくする不純物が導入されたシリコン多結晶膜の単層、又はシリコン多結晶膜上に高融点金属若しくは高融点金属シリサイド膜を積層した複合膜により形成されている。
一対の主電極104は、ゲート電極103のゲート幅方向の両側において基板10の主面部に形成されたn型半導体領域により形成され、ソース領域及びドレイン領域として使用されている。つまり、ここで、トランジスタTはnチャネル導電型に設定されている。
なお、回路11を構築する半導体素子は、上記トランジスタTに限定されるものではない。例えば、半導体素子は、上記トランジスタTと逆導電型となるpチャネル導電型トランジスタ、抵抗素子、容量素子及びバイポーラトランジスタのいずれかであってもよい。
第1層間絶縁層105は、トランジスタT等の半導体素子上であって、素子分離絶縁層101上に積層されている。第1層間絶縁層105は、例えばシリコン酸化膜若しくはシリコン窒化膜の単層、又は双方を組み合わせた複合膜により形成されている。第1層間絶縁層105は、半導体素子と配線107とを電気的に分離する構成とされている。
配線107は第1層間絶縁層105上に形成されている。ここでは、配線107は、第1層間絶縁層105に膜厚方向へ貫通して形成された接続孔106を通して、トランジスタTの主電極104に接続されている。配線107として、例えば、銅(Cu)、シリコン(Si)等の不純物が添加されたアルミニウム合金膜が使用されている。
配線107は第1層間絶縁層105上に形成されている。ここでは、配線107は、第1層間絶縁層105に膜厚方向へ貫通して形成された接続孔106を通して、トランジスタTの主電極104に接続されている。配線107として、例えば、銅(Cu)、シリコン(Si)等の不純物が添加されたアルミニウム合金膜が使用されている。
第2層間絶縁層108は、配線107上であって、第1層間絶縁層105上に積層されている。第2層間絶縁層108は、配線107と配線110とを電気的に分離する構成とされている。第2層間絶縁層108は、例えば第1層間絶縁層105と同一材料により形成されている。
配線110は第2層間絶縁層108上に形成されている。配線110は、第2層間絶縁層108に形成された図示省略の接続孔を通して配線107に接続される構成とされている。
図2及び図3に示されるように、配線110は、回路11の周辺であって、基板10の周辺から回路11側へ延設されている。配線110の基板10の周辺側の一部は配線110Aとされ、この配線110Aは、平面視において矩形状に形成され、フォース用外部端子としての第1外部端子13又は第1外部端子14を構成している。第1外部端子13又は第1外部端子14は、例えば1辺を100μm〜200μmとする正方形状に形成されている。
図2及び図3に示されるように、配線110は、回路11の周辺であって、基板10の周辺から回路11側へ延設されている。配線110の基板10の周辺側の一部は配線110Aとされ、この配線110Aは、平面視において矩形状に形成され、フォース用外部端子としての第1外部端子13又は第1外部端子14を構成している。第1外部端子13又は第1外部端子14は、例えば1辺を100μm〜200μmとする正方形状に形成されている。
基板10の周辺には、第1外部端子13又は第1外部端子14の配列位置に一致させて、基板10の周辺に沿って複数の信号用外部端子110Sが配列されている。この信号用外部端子110Sは、第2層目の配線層に形成され、第1外部端子13、第1外部端子14のそれぞれと同一配線層に形成されている。第1外部端子13又は第1外部端子14と信号用外部端子110Sとの離間スペースは、ワイヤボンディングのルールに基づいて設定され、例えば100μm〜200μmに設定されている。
第1外部端子13又は第1外部端子14の表面は、配線110上を覆う保護膜111に膜厚方向へ貫通して形成された第1開口(第1ボンディング開口)112内から露出されている。保護膜111は、例えば第1層間絶縁層105と同様の材料により形成されている。
第1外部端子13又は第1外部端子14の表面は、配線110上を覆う保護膜111に膜厚方向へ貫通して形成された第1開口(第1ボンディング開口)112内から露出されている。保護膜111は、例えば第1層間絶縁層105と同様の材料により形成されている。
配線110Aから回路11側へ延在される配線110の他の一部は、第1外部端子13又は第1外部端子14と回路11とを接続する配線110Bとされる。そして、配線110Bに重なり合い、第1外部端子13又は第1外部端子14よりも回路11側には、配線110Bに電気的に接続されたセンス用外部端子としての第2外部端子15又は第2外部端子16が配設されている。
表現を代えれば、第2外部端子15又は第2外部端子16は、配線110Bの一部、つまり配線110の一部を配線110Cとして利用して形成されている。第2外部端子15又は第2外部端子16は、第1外部端子13又は第1外部端子14と回路11との間に配設され、第1外部端子13又は第1外部端子14の配列位置よりも基板10主面部の内側とされている。第2外部端子15又は第2外部端子16の表面は、保護膜111に形成された第2開口(第2ボンディング開口)113内から露出されている。第2外部端子15又は第2外部端子16は、第1外部端子13又は第1外部端子14と同様に、平面視において矩形状に形成され、かつ、同一サイズにより形成されている。つまり、第2外部端子15又は第2外部端子16が配設された配線110Bの配線幅は、第1外部端子13又は第1外部端子14の1辺の寸法と同等以上の寸法に設定されている。
そして、第2外部端子15又は第2外部端子16が配設された領域において、基板10主面部には、トランジスタT等の半導体素子が配設されていない。
表現を代えれば、第2外部端子15又は第2外部端子16は、配線110Bの一部、つまり配線110の一部を配線110Cとして利用して形成されている。第2外部端子15又は第2外部端子16は、第1外部端子13又は第1外部端子14と回路11との間に配設され、第1外部端子13又は第1外部端子14の配列位置よりも基板10主面部の内側とされている。第2外部端子15又は第2外部端子16の表面は、保護膜111に形成された第2開口(第2ボンディング開口)113内から露出されている。第2外部端子15又は第2外部端子16は、第1外部端子13又は第1外部端子14と同様に、平面視において矩形状に形成され、かつ、同一サイズにより形成されている。つまり、第2外部端子15又は第2外部端子16が配設された配線110Bの配線幅は、第1外部端子13又は第1外部端子14の1辺の寸法と同等以上の寸法に設定されている。
そして、第2外部端子15又は第2外部端子16が配設された領域において、基板10主面部には、トランジスタT等の半導体素子が配設されていない。
また、第1外部端子13、第1外部端子14、第2外部端子15及び第2外部端子16としての配線110A及び配線110Cは配線110Bと一体に形成されている。そして、配線110は、例えば配線107と同一材料により形成されている。
(本実施の形態の作用及び効果)
本実施の形態に係る半導体装置1は、図1〜図3に示されるように、第1外部端子13又は14(110A)と、配線110Bと、第2外部端子15又は16(110C)とを備える。第1外部端子13又は14は、図2及び図3に示されるように、基板10主面部に形成された回路11の周辺に配置され、回路11の被検査部12(図1参照)を検査する検査用外部端子として使用される。配線110Bは、第1外部端子13又は14から回路11側へ延設され、第1外部端子13又は14と被検査部12とを電気的に接続する。第2外部端子15又は16は、配線110Bと電気的に接続され、かつ、被検査部12を検査する検査用外部端子として使用される。
本実施の形態に係る半導体装置1は、図1〜図3に示されるように、第1外部端子13又は14(110A)と、配線110Bと、第2外部端子15又は16(110C)とを備える。第1外部端子13又は14は、図2及び図3に示されるように、基板10主面部に形成された回路11の周辺に配置され、回路11の被検査部12(図1参照)を検査する検査用外部端子として使用される。配線110Bは、第1外部端子13又は14から回路11側へ延設され、第1外部端子13又は14と被検査部12とを電気的に接続する。第2外部端子15又は16は、配線110Bと電気的に接続され、かつ、被検査部12を検査する検査用外部端子として使用される。
ここで、第2外部端子15又は16は、配線110Bと重なり合い第1外部端子13又は14よりも回路11側に配置される。このため、第2外部端子15又は16は、回路11の周辺に配置される第1外部端子13又は14の配列位置よりも内側となる回路11側に配置されるので、基板10主面部において、第2外部端子15又は16の配置分に相当する、回路11の周辺長(半導体装置1の周辺長又は基板10の周辺長)を短くすることができる。
加えて、第2外部端子15又は16は配線110Bと重なり合って配置されているので、第2外部端子15又は16の配置位置を回路11の周辺から移動させても基板10主面部における占有面積の増加を抑制することができる。
加えて、第2外部端子15又は16は配線110Bと重なり合って配置されているので、第2外部端子15又は16の配置位置を回路11の周辺から移動させても基板10主面部における占有面積の増加を抑制することができる。
また、本実施の形態に係る半導体装置1では、図2に示されるように、第1外部端子13又は14(110A)、配線110B及び第2外部端子15又は16(110C)が同一の配線層において配線110として一体に形成される。そして、第1外部端子13又は14の表面は、第2層目の配線層上に形成された保護膜111の膜厚方向へ貫通する第1開口112内において露出され、第2外部端子15又は16の表面は、保護膜111の膜厚方向へ貫通する第2開口113内において露出される。
このため、同一の配線層において第1外部端子13又は14、配線110B及び第2外部端子15又は16が一体に形成され、しかも保護膜111に第1開口112及び第2開口113を形成するだけで、第1外部端子13又は14及び第2外部端子15又は16を簡易に構成することができる。
表現を代えれば、半導体装置1の製造プロセスにおいて、配線110のパターンニングマスクの形状、保護膜111のパターンニングマスクの形状を変更するだけで、製造工程数を増加することなく、第1外部端子13、14、第2外部端子15及び16を形成することができる。
このため、同一の配線層において第1外部端子13又は14、配線110B及び第2外部端子15又は16が一体に形成され、しかも保護膜111に第1開口112及び第2開口113を形成するだけで、第1外部端子13又は14及び第2外部端子15又は16を簡易に構成することができる。
表現を代えれば、半導体装置1の製造プロセスにおいて、配線110のパターンニングマスクの形状、保護膜111のパターンニングマスクの形状を変更するだけで、製造工程数を増加することなく、第1外部端子13、14、第2外部端子15及び16を形成することができる。
さらに、本実施の形態に係る半導体装置1では、図2に示されるように、第2外部端子15又は16下の基板10主面部には半導体素子が配設されない。仮に、プローブ検査において、検査用プローブが第2外部端子15又は16に接触しても、又はボンディングワイヤが第2外部端子15又は16にボンディングされても、衝撃が加わる半導体素子が配設されていないので、半導体素子に損傷、破壊を与えることがない。
また、本実施の形態に係る半導体装置1では、図2及び図3に示されるように、第1外部端子13又は14はフォース用外部端子として使用され、第2外部端子15又は16はセンス用外部端子として使用される。このため、4端子抵抗測定法を実施することができるので、回路11の被検査部12としての抵抗の微小抵抗値を高い精度により検査することができる。
このように本実施の形態によれば、基板10の信号用外部端子110Sが配列される周辺長が検査用外部端子を配列に加えても短くすることができるので、小型化を実現することができる半導体装置1を提供することができる。
[上記実施の形態の補足説明]
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、例えば下記の通り変形可能である。
本発明は、基板又は回路の周辺にセンス用外部端子としての第2外部端子を配置し、第2外部端子よりも回路側にフォース用外部端子としての第1外部端子を配置してもよい。
また、本発明は、単層配線層構造や3層以上の多層配線層構造を採用する半導体装置に適用してもよい。この場合、検査用外部端子並びに信号用外部端子は、最終配線層に配設されている。
また、本発明は、ダイシング工程後の半導体装置のプローブ検査に限定されるものではなく、ダイシング工程前のウェーハ状態における半導体装置のプローブ検査に適用してもよい。
さらに、本発明は、ダイシング工程を必要としない、ウェーハスケールの半導体装置のプローブ検査に適用してもよい。
本発明は、上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において、例えば下記の通り変形可能である。
本発明は、基板又は回路の周辺にセンス用外部端子としての第2外部端子を配置し、第2外部端子よりも回路側にフォース用外部端子としての第1外部端子を配置してもよい。
また、本発明は、単層配線層構造や3層以上の多層配線層構造を採用する半導体装置に適用してもよい。この場合、検査用外部端子並びに信号用外部端子は、最終配線層に配設されている。
また、本発明は、ダイシング工程後の半導体装置のプローブ検査に限定されるものではなく、ダイシング工程前のウェーハ状態における半導体装置のプローブ検査に適用してもよい。
さらに、本発明は、ダイシング工程を必要としない、ウェーハスケールの半導体装置のプローブ検査に適用してもよい。
1…半導体装置、10…基板、11…回路、12…被検査部、13、14…第1外部端子(フォース用外部端子)、15、16…第2外部端子(センス用外部端子)、107、110、110A、110B、110C…配線、111…保護膜、112…第1開口、113…第2開口、2…プローブ検査装置、20…電源、21…電流計、22…電圧計、T…トランジスタ。
Claims (4)
- 基板主面部に形成された回路の周囲に配置され、前記回路の被検査部を検査する検査用外部端子として使用される第1外部端子と、
当該第1外部端子から前記回路側へ延設され、前記第1外部端子と前記被検査部とが電気的に接続される配線と、
当該配線に重なり合い前記第1外部端子よりも前記回路側に配置され、前記配線と電気的に接続され、かつ、前記被検査部を検査する検査用外部端子として使用される第2外部端子と、
を備えた半導体装置。 - 前記第1外部端子、前記配線及び前記第2外部端子は、同一の配線層において一体に形成され、
前記第1外部端子の表面は、前記配線層上に形成された保護膜の膜厚方向へ貫通する第1開口内において露出され、
前記第2外部端子の表面は、前記保護膜の膜厚方向へ貫通する第2開口内において露出されている
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記第2外部端子下の前記基板主面部に素子が配設されていない
請求項1又は請求項2に記載の半導体装置。 - 前記第1外部端子又は前記第2外部端子は、4端子抵抗測定法におけるフォース用外部端子として使用され、
前記第2外部端子又は前記第1外部端子は、前記4端子抵抗測定法におけるセンス用外部端子として使用される
請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018119348A JP2019219366A (ja) | 2018-06-22 | 2018-06-22 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Family Applications (1)
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JP2018119348A Pending JP2019219366A (ja) | 2018-06-22 | 2018-06-22 | 半導体装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2019219366A (ja) |
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2018
- 2018-06-22 JP JP2018119348A patent/JP2019219366A/ja active Pending
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