JP2019214490A - シリコンロッドの破砕方法及び装置並びにシリコン塊の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 ポリシリコンロッド
3 液体
5 ポリシリコン塊
10 水槽
20 回転支持機構
21a〜21f 回転シャフト
22 無端シート
22a 無端シートの一方のループ端部
22b 無端シートの他方のループ端部
23 駆動源
25 ローラ
30 高電圧パルス放電装置
31 高電圧パルス発振器
32 電極
40 移動機構
41 支持台
42 ガイドレール
43 走行機構
50 回収容器
Claims (20)
- シリコンロッドを回転させつつ前記シリコンロッドに対する高電圧パルス放電の印加位置を前記シリコンロッドの長手方向に沿って相対的に移動させることにより、前記シリコンロッドを破砕することを特徴とするシリコンロッドの破砕方法。
- ループ状の無端シート上に前記シリコンロッドを載置し、前記無端シートを回転させることにより、前記シリコンロッドを回転させる、請求項1に記載のシリコンロッドの破砕方法。
- 前記無端シートの一方のループ端部の高さ位置を前記シリコンロッドの中心よりも低くし、
前記シリコンロッドの前記高電圧パルス放電の印加位置が前記一方のループ端部に向かうように前記シリコンロッドを回転させる、請求項2に記載のシリコンロッドの破砕方法。 - 一対の平行ローラ上に前記シリコンロッドを載置し、前記平行ローラを回転させることにより、前記シリコンロッドを回転させる、請求項1に記載のシリコンロッドの破砕方法。
- 前記シリコンロッドの外周面近傍に少なくとも2本の電極を配置し、前記電極を前記シリコンロッドに対して相対的に移動させることにより、前記電極による前記高電圧パルス放電の印加位置を前記シリコンロッドの長手方向に沿って移動させる、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のシリコンロッドの破砕方法。
- 前記シリコンロッドを液体と共に容器内に収容して前記シリコンインゴットを液中に設置し、
前記容器及び前記電極の少なくとも一方を前記シリコンロッドの長手方向に沿って相対的に移動させることにより、前記電極による前記高電圧パルス放電の印加位置を前記シリコンロッドの長手方向に沿って移動させる、請求項5に記載のシリコンロッドの破砕方法。 - 前記容器の外側に設けられた駆動源を用いて前記無端シートを駆動する、請求項6に記載のシリコンロッドの破砕方法。
- 前記シリコンロッドの下方に複数の回収容器を前記シリコンロッドの長手方向に沿って並べて設置し、前記シリコンロッドを破砕して得られたシリコン塊を前記回収容器内に落下させる、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のシリコンロッドの破砕方法。
- 前記回収容器は樹脂からなり、多数の穴またはメッシュ構造を有する、請求項8に記載のシリコンロッドの破砕方法。
- シリコンロッドを収容する容器と、
前記容器内で前記シリコンロッドを回転可能に支持する回転支持機構と、
前記シリコンロッドに前記高電圧パルス放電を印加する高電圧パルス放電装置と、
前記シリコンロッドの長手方向に沿って高電圧パルス放電の印加位置を相対的に移動させる移動機構とを備え、
前記シリコンロッドを回転させつつ前記シリコンロッドの長手方向に沿って高電圧パルス放電の印加位置を移動させることにより、前記シリコンロッドを破砕することを特徴とするシリコンロッド破砕装置。 - 前記回転支持機構は、ループ状の無端シートを含み、前記無端シート上に前記シリコンロッドが載置された状態で前記無端シートを回転させることにより、前記シリコンロッドを回転させる、請求項10に記載のシリコンロッド破砕装置。
- 前記回転支持機構は、
前記無端シートの一方のループ端部を支持する第1の回転シャフトと、
前記無端シートの他方のループ端部を支持する第2の回転シャフトをさらに含み、
前記無端シートの一方のループ端部の高さ位置が前記シリコンロッドの中心よりも低くなるように、前記第1の回転シャフトを前記容器内に配置し、
前記無端シートの他方のループ端部の高さ位置が前記シリコンロッドの中心よりも高くなるように、前記第2の回転シャフトを前記融液の液面よりも上方に配置し、
前記シリコンロッドの前記高電圧パルス放電の印加位置が前記他方のループ端部に向かうように前記シリコンロッドを回転させる、請求項11に記載のシリコンロッド破砕装置。 - 前記回転支持機構は、前記容器に設けられた一対の平行ローラを含み、前記一対の平行ローラ上に前記シリコンロッドが載置された状態で前記平行ローラを回転させることにより、前記シリコンロッドを回転させる、請求項10に記載のシリコンロッド破砕装置。
- 前記高電圧パルス放電装置は、前記シリコンロッドの外周面近傍に配置された少なくとも2本の電極を有し、
前記移動機構は、前記容器を前記シリコンロッドの長手方向に移動させることにより、前記電極の位置を前記シリコンロッドの長手方向に沿って相対的に移動させる、請求項10乃至13のいずれか一項に記載のシリコンロッド破砕装置。 - 前記シリコンロッドを回転させるための駆動源が前記容器の外側に設けられている、請求項14に記載のシリコンロッドの破砕装置。
- 前記シリコンロッドの下方であって前記シリコンロッドの長手方向に沿って並べて設置された複数の回収容器をさらに備え、前記シリコンロッドを破砕して得られたシリコン塊を前記回収容器内に落下させて回収する、請求項10乃至15のいずれか一項に記載のシリコンロッド破砕装置。
- 前記回収容器は樹脂からなり、多数の穴またはメッシュ構造を有する、請求項16に記載のシリコンロッド破砕装置。
- シリコンロッドを製造する工程と、
請求項1乃至9のいずれか一項に記載の破砕方法により前記シリコンロッドを破砕する工程とを備えることを特徴とするシリコン塊の製造方法。 - 前記シリコンロッドを破砕する工程は、前記シリコンロッドを破砕して得られたシリコン塊を回収容器内に落下させて回収する工程を含む、請求項18に記載のシリコン塊の製造方法。
- 前記回収容器に収容された状態のまま前記シリコン塊をフッ酸又はフッ硝酸により洗浄する工程とをさらに備える、請求項19に記載のシリコン塊の製造方法。
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