JP2019212728A - フレキシブル基板、圧電素子ユニット及び触覚呈示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】プッシュ操作及び触覚の呈示に起因して接続部分に作用する応力を緩和することができるフレキシブル基板、圧電素子ユニット及び触覚呈示装置を提供する。【解決手段】フレキシブル基板3は、圧電素子5の上部電極52と下部電極50が露出する開口30と、開口30の縁から上部電極52までの配線に必要な最短長さL1より長く、上部電極52と電気的に接続する上部配線4aが設けられた上部電極配線部31と、開口30の縁から下部電極50までの配線に必要な最短長さL2より長く、下部電極50と電気的に接続する下部配線4bが設けられた下部電極配線部32と、を備えて概略構成されている。触覚呈示装置1は、このフレキシブル基板3と、操作面120になされたプッシュ操作に伴う荷重を検出すると共に操作面120に振動による触覚を呈示する圧電素子5と、を有する圧電素子ユニット2を備えている。【選択図】図1
Description
本発明は、フレキシブル基板、圧電素子ユニット及び触覚呈示装置に関する。
従来の技術として、天面側シャーシと底面側シャーシとからなり、内部空間を有するシャーシと、天面側シャーシに固定されており、操作面を有するタッチパネルと、内部空間に配置されているアクチュエータと、アクチュエータとタッチパネルとの間に配置されている振動伝達部材と、を備えた触覚提示装置が知られている(例えば、特許文献1参照。)。
この天面側シャーシは、タッチパネルの操作面が外部へ露出するように形成されている天面側開口部を有する天面部と、天面部の周縁部に形成されている側面部とを備えている。アクチュエータは、圧電素子であり、側面部に固定されている。
このような従来の触覚提示装置の中には、例えば、フレキシブル基板に設けられた配線が接続されて一体となったものがある。この触覚提示装置は、例えば、タッチパネルに対するプッシュ操作や振動による触覚の呈示によって圧電素子が変形し、フレキシブル基板の変形が限定的であるため、主に配線に応力が生じて剥がれや接触不良などの不具合が発生する可能性がある。
従って本発明の目的は、プッシュ操作及び触覚の呈示に起因して接続部分に作用する応力を緩和することができるフレキシブル基板、圧電素子ユニット及び触覚呈示装置を提供することにある。
本発明の一態様は、圧電素子の上部電極と下部電極が露出する開口と、開口の縁から上部電極までの配線に必要な最短長さより長く、上部電極と電気的に接続する上部配線が設けられた上部電極配線部と、開口の縁から下部電極までの配線に必要な最短長さより長く、下部電極と電気的に接続する下部配線が設けられた下部電極配線部と、を備えたフレキシブル基板を提供する。
本発明によれば、プッシュ操作及び触覚の呈示に起因して接続部分に作用する応力を緩和することができる。
(実施の形態の要約)
実施の形態に係るフレキシブル基板は、圧電素子の上部電極と下部電極が露出する開口と、開口の縁から上部電極までの配線に必要な最短長さより長く、上部電極と電気的に接続する上部配線が設けられた上部電極配線部と、開口の縁から下部電極までの配線に必要な最短長さより長く、下部電極と電気的に接続する下部配線が設けられた下部電極配線部と、を備えて概略構成されている。
実施の形態に係るフレキシブル基板は、圧電素子の上部電極と下部電極が露出する開口と、開口の縁から上部電極までの配線に必要な最短長さより長く、上部電極と電気的に接続する上部配線が設けられた上部電極配線部と、開口の縁から下部電極までの配線に必要な最短長さより長く、下部電極と電気的に接続する下部配線が設けられた下部電極配線部と、を備えて概略構成されている。
このフレキシブル基板は、上部電極配線部と下部電極配線部が開口の縁からの配線に必要な最短長さより長いので、この構成を採用しない場合と比べて、上部電極配線部と下部電極配線部がプッシュ操作や振動による触覚の呈示の際の変形に追従し易く、プッシュ操作及び触覚の呈示に起因して接続部分に作用する応力を緩和することができる。
[実施の形態]
(触覚呈示装置1の概要)
図1(a)は、実施の形態に係る触覚呈示装置の圧電素子ユニットの一部の一例を示す概略図であり、図1(b)は、図1(a)のI(b)-I(b)線で切断した一部の断面を矢印方向から見た断面図の一例である。図2(a)は、実施の形態に係る触覚呈示装置のブロック図の一例であり、図2(b)は、変形例に係る圧電素子ユニットの一部の一例を示す概略図であり、図2(c)は、他の変形例に係る複数の圧電素子が設けられた場合の圧電素子ユニットの一部の一例を示す概略図である。なお、以下に記載する実施の形態に係る各図において、図形間の比率は、実際の比率とは異なる場合がある。また図2(a)では、主な信号や情報の流れを矢印で示している。
(触覚呈示装置1の概要)
図1(a)は、実施の形態に係る触覚呈示装置の圧電素子ユニットの一部の一例を示す概略図であり、図1(b)は、図1(a)のI(b)-I(b)線で切断した一部の断面を矢印方向から見た断面図の一例である。図2(a)は、実施の形態に係る触覚呈示装置のブロック図の一例であり、図2(b)は、変形例に係る圧電素子ユニットの一部の一例を示す概略図であり、図2(c)は、他の変形例に係る複数の圧電素子が設けられた場合の圧電素子ユニットの一部の一例を示す概略図である。なお、以下に記載する実施の形態に係る各図において、図形間の比率は、実際の比率とは異なる場合がある。また図2(a)では、主な信号や情報の流れを矢印で示している。
触覚呈示装置1は、例えば、図1(a)及び図1(b)に示すように、フレキシブル基板3と、圧電素子5と、を備えている。触覚呈示装置1は、プッシュ操作に伴って操作面120に付加された荷重を検出すると共にプッシュ操作を受け付けたことを示す触覚を呈示するように構成されている。なお荷重は、パネル12を押下げる方向の荷重であるものとする。
このフレキシブル基板3は、例えば、図1(a)及び図1(b)に示すように、圧電素子5の上部電極52と下部電極50が露出する開口30と、開口30の縁から上部電極52までの配線に必要な最短長さ(L1)より長く、上部電極52と電気的に接続する上部配線4aが設けられた上部電極配線部31と、開口30の縁から下部電極50までの配線に必要な最短長さ(L2)より長く、下部電極50と電気的に接続する下部配線4bが設けられた下部電極配線部32と、を備えて概略構成されている。
触覚呈示装置1は、このフレキシブル基板3と、操作面120になされたプッシュ操作に伴う荷重を検出すると共に操作面120に振動による触覚を呈示する圧電素子5と、を有する圧電素子ユニット2を備えている。
図1(a)では、必要な最短長さL1と必要な最短長さL2の一例を図示している。必要な最短長さL1は、一例として、上部電極52の中心から上部電極52の縁までの中心から開口30の縁までの長さとしているがこれに限定されない。また必要な最短長さL2は、一例として、上部電極52の縁から下部電極50の縁までの中心から開口30の縁までの長さとしているがこれに限定されない。
また触覚呈示装置1は、例えば、図1(b)に示すように、圧電素子5が配置されるベース10と、操作がなされる操作面120を有するパネル12と、パネル12になされたプッシュ操作を圧電素子5に伝達する押子14と、を備えている。そして触覚呈示装置1は、例えば、図2(a)に示すように、圧電素子5と電気的に接続された制御部6を備えている。
ベース10は、例えば、樹脂材料を用いて形成され、凹部100が設けられている。圧電素子5は、この凹部100上に配置されている。この凹部100は、圧電素子5が変形し易いように設けられている。
パネル12は、例えば、樹脂材料を用いて板形状に形成されている。このパネル12の表面が操作面120となっている。
押子14は、例えば、樹脂材料を用いて形成されている。この押子14は、パネル12に付加された荷重を圧電素子5に伝達すると共に圧電素子5の振動をパネル12に伝達するよう構成されている。押子14は、例えば、図1(b)に示すように、先端が半球形状を有して圧電素子ユニット2を介して圧電素子5に接触している。なお押子14は、パネル12の一部として形成されても良い。
(圧電素子ユニット2の構成)
・フレキシブル基板3の構成
フレキシブル基板3は、例えば、絶縁性を有するベースフィルムと、導電性を有する金属箔と、を貼り合わせた基材に配線などを形成した柔軟性のある基板である。このベースフィルムは、一例として、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミドなどの樹脂材料を用いて形成される。また、導電性を有する金属箔は、一例として、銅箔である。
・フレキシブル基板3の構成
フレキシブル基板3は、例えば、絶縁性を有するベースフィルムと、導電性を有する金属箔と、を貼り合わせた基材に配線などを形成した柔軟性のある基板である。このベースフィルムは、一例として、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミドなどの樹脂材料を用いて形成される。また、導電性を有する金属箔は、一例として、銅箔である。
フレキシブル基板3は、例えば、図1(a)に示すように、圧電素子5が露出する開口30が形成され、その開口30内に上部電極配線部31及び下部電極配線部32が形成されている。
上部電極配線部31は、例えば、図1(a)に示すように、開口30の縁から伸びる第1の根元部310と、圧電素子5に応じて第1の根元部310から伸びる第1の伸長部311と、第1の伸長部311から上部電極52に向かって伸びる第1の接続部312と、を備えている。この上部電極配線部31は、圧電素子5の上部電極52と電気的に接続される上部配線4aが形成されている。
下部電極配線部32は、例えば、図1(a)に示すように、開口30の縁から伸びる第2の根元部320と、圧電素子5に応じて第2の根元部320から伸びる第2の伸長部321と、第2の伸長部321から下部電極50に向かって伸びる第2の接続部322と、を備えている。この下部電極配線部32は、圧電素子5の下部電極50と電気的に接続される下部配線4bが形成されている。
上部配線4a及び下部配線4bは、例えば、上述の導電性を有する金属箔を加工してフレキシブル基板3に形成された配線である。
第1の根元部310及び第2の根元部320は、例えば、図1(a)に示すように、開口30の対向する縁に設けられている。なお第1の根元部310及び第2の根元部320は、例えば、図1(a)の紙面上部から隣接して配置されても良く、十分な余長がとれる位置であれば良い。
第1の接続部312及び第2の接続部322は、例えば、図1(a)に示すように、開口30の中心を通る直線に沿って第1の伸長部311及び第2の伸長部321から伸びている。また第1の伸長部311及び第2の伸長部321は、例えば、図1(a)に示すように、圧電素子5の外形に沿う形状を有している。
第1の接続部312及び第2の接続部322は、その先端に円形の第1の先端部313及び第2の先端部323が設けられている。この第1の先端部313及び第2の先端部323は、例えば、上部電極52及び下部電極50と、銀ペーストなどの導電性ペーストや導電性接着剤、はんだなどによって電気的に接続されている。なお図1(b)では、導電性ペーストなどの図示を省略している。
第1の根元部310及び第2の根元部320は、開口30の縁から垂直に下部電極50や上部電極52に向かって伸びている。また第1の伸長部311及び第2の伸長部321は、圧電素子5の外形が円形であるので、円弧形状となっている。そして第1の接続部312は、第1の根元部310との角度が90°となるように第1の伸長部311から曲がって伸びている。また第2の接続部322は、第2の根元部320との角度が90°となるように第2の伸長部321から曲がって伸びている。
第1の伸長部311と第1の接続部312、及び第2の伸長部321と第2の接続部322は、例えば、円を四等分にした扇の二つの辺に沿った形状を有している。
この上部電極配線部31及び下部電極配線部32の全長は、例えば、図1(a)に示すように、開口30から上部電極52までの最短長さL1、及び下部電極50までの最短長さL2と比べて、数倍も長い。
ここで上部電極配線部31及び下部電極配線部32が上部電極52及び下部電極50と接続に必要な最短長さで接続された場合、プッシュ操作や振動による触覚の呈示に伴う圧電素子5の凸状や凹状の変形によって第1の先端部313及び第2の先端部323に引っ張り応力が生じる。この応力により、第1の先端部313及び第2の先端部323は、上部電極52及び下部電極50から剥がれたり、接触不良などの不具合が発生したりする可能性がある。
またフレキシブル基板3がベース10に対して移動しないように固定された場合、圧電素子5の変形によって、主に上部電極配線部31及び下部電極配線部32に応力が集中する。
さらに変形例として図2(c)に示すように、複数の圧電素子5が配置され、フレキシブル基板3がベース10に固定される場合、ベース10に対するフレキシブル基板3の移動量がさらに小さいので、より上部電極配線部31及び下部電極配線部32に応力が集中する。
しかし本実施の形態のフレキシブル基板3は、上部電極配線部31及び下部電極配線部32が最短長さL1及び最短長さL2と比べて、主に第1の伸長部311及び第2の伸長部321分、余長を設けているので、圧電素子5が変形しても上部電極配線部31及び下部電極配線部32の変形が小さく、応力が第1の先端部313及び第2の先端部323に作用し難い。従って触覚呈示装置1は、プッシュ操作や触覚の呈示によって圧電素子5が変形しても剥がれや接触不良などの不具合が発生し難い。
また他の変形例として触覚呈示装置1は、例えば、図2(c)に示すように、複数の圧電素子5を有する場合、ベース10にフレキシブル基板3が固定されていても、上部電極配線部31及び下部電極配線部32に余長があるので、上述の不具合が生じ難い。
なお第1の伸長部311及び第2の伸長部321は、例えば、図1(a)に示す伸長部よりも長くても良いし、短くても良い。つまり上部電極配線部31及び下部電極配線部32は、第1の伸長部311及び第2の伸長部321が設けられることにより、最短で繋いだ場合よりも余長が生じるので、不具合が生じ難くなる。
・圧電素子5の構成
圧電素子5は、例えば、図1(a)及び図1(b)に示すように、円板形状を有する下部電極50と、下部電極50よりも半径が小さい円柱形状を有する圧電体51と、圧電体51の上部に設けられた上部電極52と、を備えたユニモルフ型の圧電素子である。
圧電素子5は、例えば、図1(a)及び図1(b)に示すように、円板形状を有する下部電極50と、下部電極50よりも半径が小さい円柱形状を有する圧電体51と、圧電体51の上部に設けられた上部電極52と、を備えたユニモルフ型の圧電素子である。
なお変形例として圧電素子は、例えば、2枚の圧電体を下部電極50の両面に設けたバイモルフ型圧電素子であっても良い。この場合、押子と接触する圧電体によって荷重を検出し、裏側の圧電体のみ、又は双方の圧電体が振動するように構成される。
圧電体51の材料としては、例えば、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)、メタニオブ酸鉛、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)などが用いられる。圧電体51は、例えば、これらの材料を用いて形成された膜を積層して形成された積層型の圧電体である。なお圧電体51は、圧電定数がd33となるように厚み方向に分極し、厚み方向の変形に対して出力が大きくなるように構成されている。
下部電極50は、例えば、導電性を有するリン青銅やステンレスなどによって形成されている。
圧電素子5は、操作面120に荷重が付加されると、パネル12、押子14、圧電素子ユニット2及び上部電極52を介して圧電体51に荷重が付加されて変形する。圧電体51は、この変形に応じた電圧を、上部配線4a及び下部配線4bを介して出力する。また圧電体51は、上部配線4a及び下部配線4bを介して電圧が印加されるとこの電圧に応じて変形する。
圧電素子5は、例えば、図2(a)に示すように、荷重に応じて出力した電圧を荷重情報S1として制御部6に出力し、制御部6から出力された駆動信号S2に基づく電圧に応じて変形して振動するように構成されている。操作者は、このパネル12の振動によるフィードバックによってプッシュ操作が受け付けられたことを認識することができる。
ここで変形例としての触覚呈示装置1は、例えば、図2(b)に示すように、矩形の圧電素子5と、この圧電素子5に応じた開口30などを有するフレキシブル基板3と、を有する圧電素子ユニット2を備えて概略構成されている。この変形例の触覚呈示装置1は、上部電極配線部31及び下部電極配線部32が矩形の圧電素子5の外形に応じて折返形状を有している。
(制御部6の構成)
制御部6は、例えば、記憶されたプログラムに従って、取得したデータに演算、加工などを行うCPU(Central Processing Unit)、半導体メモリであるRAM(Random Access Memory)及びROM(Read Only Memory)などから構成されるマイクロコンピュータである。このROMには、例えば、制御部6が動作するためのプログラムと、荷重しきい値60と、が格納されている。RAMは、例えば、一時的に演算結果などを格納する記憶領域として用いられる。また制御部6は、その内部にクロック信号を生成する手段を有し、このクロック信号に基づいて動作を行う。
制御部6は、例えば、記憶されたプログラムに従って、取得したデータに演算、加工などを行うCPU(Central Processing Unit)、半導体メモリであるRAM(Random Access Memory)及びROM(Read Only Memory)などから構成されるマイクロコンピュータである。このROMには、例えば、制御部6が動作するためのプログラムと、荷重しきい値60と、が格納されている。RAMは、例えば、一時的に演算結果などを格納する記憶領域として用いられる。また制御部6は、その内部にクロック信号を生成する手段を有し、このクロック信号に基づいて動作を行う。
荷重しきい値60は、圧電素子5によって検出された荷重に対するしきい値である。制御部6は、検出された荷重が荷重しきい値60以上となると、パネル12に対してプッシュ操作が行われたと判定する。
制御部6は、プッシュ操作が判定されると接続されている電子機器に操作情報S3を出力する。この操作情報S3は、プッシュ操作がなされたことを示す情報である。接続された電子機器は、例えば、車両に搭載された空調装置、ナビゲーション装置、音楽及び映像再生装置などである。触覚呈示装置1は、例えば、車両のステアリングスイッチや電子機器の操作スイッチなどとして用いられる。
(動作)
制御部6は、圧電素子5から取得した荷重情報S1から得られた荷重と荷重しきい値60とを比較する。制御部6は、荷重が荷重しきい値60以上となると、プッシュ操作が行われたことを示す操作情報S3を接続された電子機器に出力すると共に、プッシュ操作が受け付けられたことを示す触覚の呈示を行うため駆動信号S2を生成して予め定められた期間、出力する。
制御部6は、圧電素子5から取得した荷重情報S1から得られた荷重と荷重しきい値60とを比較する。制御部6は、荷重が荷重しきい値60以上となると、プッシュ操作が行われたことを示す操作情報S3を接続された電子機器に出力すると共に、プッシュ操作が受け付けられたことを示す触覚の呈示を行うため駆動信号S2を生成して予め定められた期間、出力する。
(実施の形態の効果)
本実施の形態に係る触覚呈示装置1は、プッシュ操作及び触覚の呈示に起因して接続部分に作用する応力を緩和することができる。この触覚呈示装置1は、フレキシブル基板3の上部電極配線部31と下部電極配線部32が余長を有しているので、接続に必要な最短長さで圧電素子と接続する場合と比べて、上部電極配線部31と下部電極配線部32がプッシュ操作や触覚の呈示の際の圧電素子5の変形に追従し易く、プッシュ操作及び触覚の呈示に起因して接続部分に作用する応力を緩和することができる。
本実施の形態に係る触覚呈示装置1は、プッシュ操作及び触覚の呈示に起因して接続部分に作用する応力を緩和することができる。この触覚呈示装置1は、フレキシブル基板3の上部電極配線部31と下部電極配線部32が余長を有しているので、接続に必要な最短長さで圧電素子と接続する場合と比べて、上部電極配線部31と下部電極配線部32がプッシュ操作や触覚の呈示の際の圧電素子5の変形に追従し易く、プッシュ操作及び触覚の呈示に起因して接続部分に作用する応力を緩和することができる。
圧電素子5は、圧電体51がセラミックである場合、引張荷重が生じる凹状の変形よりも圧縮荷重が生じる凸状の変形で使用される方が強度上有利である。しかし触覚呈示装置1は、例えば、余長を設けずにフレキシブル基板3をベース10に固定して圧電素子5を凸状の変形で使用する場合、応力が接続部分に集中して不具合が生じる可能性がある。一方本実施の形態の触覚呈示装置1は、上部電極配線部31と下部電極配線部32が余長を有しているので、この構成を採用しない場合と比べて、圧電素子5の凸状の変形に対しても追従して接続部分に作用する応力を緩和することができ、強度上有利な状態で圧電素子5を使用することができる。
触覚呈示装置1は、上部電極配線部31と下部電極配線部32が余長を有しているので、ピンなどでフレキシブル基板3をベース10に固定してベース10に対してフレキシブル基板3が移動しないようにされた場合であってもプッシュ操作及び触覚の呈示に起因する剥がれなどの不具合の発生を効果的に抑制することができる。また触覚呈示装置1は、変形例のように、複数の圧電素子5を備え、フレキシブル基板3がベース10に固定された場合であってもプッシュ操作及び触覚の呈示に起因する剥がれなどの不具合の発生を効果的に抑制することができる。
以上、本発明のいくつかの実施の形態及び変形例を説明したが、これらの実施の形態及び変形例は、一例に過ぎず、特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。これら新規な実施の形態及び変形例は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。また、これら実施の形態及び変形例の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない。さらに、これら実施の形態及び変形例は、発明の範囲及び要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1…触覚呈示装置、2…圧電素子ユニット、3…フレキシブル基板、4a…上部配線、4b…下部配線、5…圧電素子、6…制御部、10…ベース、12…パネル、14…押子、30…開口、31…上部電極配線部、32…下部電極配線部、50…下部電極、51…圧電体、52…上部電極、60…荷重しきい値、100…凹部、120…操作面、310…第1の根元部、311…第1の伸長部、312…第1の接続部、313…第1の先端部、320…第2の根元部、321…第2の伸長部、322…第2の接続部、323…第2の先端部
Claims (5)
- 圧電素子の上部電極と下部電極が露出する開口と、
前記開口の縁から前記上部電極までの配線に必要な最短長さより長く、前記上部電極と電気的に接続する上部配線が設けられた上部電極配線部と、
前記開口の縁から前記下部電極までの配線に必要な最短長さより長く、前記下部電極と電気的に接続する下部配線が設けられた下部電極配線部と、
を備えたフレキシブル基板。 - 前記上部電極配線部及び前記下部電極配線部は、
前記開口の縁から伸びる第1の根元部及び第2の根元部と、
前記圧電素子に応じて前記第1の根元部及び前記第2の根元部から伸びる第1の伸長部及び第2の伸長部と、
前記第1の伸長部及び前記第2の伸長部から前記上部電極及び前記下部電極に向かって伸びる第1の接続部及び第2の接続部と、
を有する、
請求項1に記載のフレキシブル基板。 - 前記第1の伸長部及び前記第2の伸長部は、前記圧電素子の外形に沿う形状を有する、
請求項2に記載のフレキシブル基板。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載のフレキシブル基板と、
操作面になされたプッシュ操作に伴う荷重を検出すると共に前記操作面に振動による触覚を呈示する圧電素子と、
を備えた圧電素子ユニット。 - 請求項4に記載の圧電素子ユニットを備えた触覚呈示装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018106781A JP2019212728A (ja) | 2018-06-04 | 2018-06-04 | フレキシブル基板、圧電素子ユニット及び触覚呈示装置 |
PCT/JP2019/021105 WO2019235301A1 (ja) | 2018-06-04 | 2019-05-28 | フレキシブル基板、圧電素子ユニット及び触覚呈示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018106781A JP2019212728A (ja) | 2018-06-04 | 2018-06-04 | フレキシブル基板、圧電素子ユニット及び触覚呈示装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2019212728A true JP2019212728A (ja) | 2019-12-12 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018106781A Pending JP2019212728A (ja) | 2018-06-04 | 2018-06-04 | フレキシブル基板、圧電素子ユニット及び触覚呈示装置 |
Country Status (2)
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WO (1) | WO2019235301A1 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4554337B2 (ja) * | 2003-11-20 | 2010-09-29 | パナソニック株式会社 | 圧電素子、および複合圧電素子、ならびにそれらを用いたフィルタ、共用器、通信機器 |
JP2007142372A (ja) * | 2005-10-17 | 2007-06-07 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 微小電気機械式装置及び半導体装置、並びにそれらの作製方法 |
JP5842013B2 (ja) * | 2012-01-13 | 2016-01-13 | 京セラ株式会社 | 電子機器及び電子機器の制御方法 |
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2018
- 2018-06-04 JP JP2018106781A patent/JP2019212728A/ja active Pending
-
2019
- 2019-05-28 WO PCT/JP2019/021105 patent/WO2019235301A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019235301A1 (ja) | 2019-12-12 |
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