JP2019208348A - アクチュエータ、カメラ装置及び製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】無通電時に可動ユニットが所定方向に傾く可能性を低くすることができるアクチュエータ、カメラ装置及び製造方法を提供する。【解決手段】アクチュエータ２は、駆動対象を保持する回転式の可動ユニット１０と、駆動部３０と、調整機構５とを備える。駆動部３０は、可動ユニット１０を回転可能とするために複数の駆動磁石、及び複数の駆動磁石と一対一に対向する複数の磁気ヨークを有する。調整機構５は、複数の駆動磁石のうち所定の軸を中心として可動ユニット１０を回転させる駆動磁石と、複数の磁気ヨークのうち当該駆動磁石に対向する磁気ヨークとの間の隙間を調整する。【選択図】図２

Description

本開示は、一般にアクチュエータ、カメラ装置及び製造方法に関し、より詳細には駆動対象を回転させるアクチュエータ、カメラ装置及び製造方法に関する。

従来、駆動対象であるカメラを回転させるアクチュエータとしてのカメラ駆動装置がある（例えば、特許文献１）。

特許文献１のカメラ駆動装置は、カメラを搭載する可動ユニットと、可動ユニットをパンニング方向に傾斜させるパンニング駆動部と、可動ユニットをチルティング方向に傾斜させるチルティング駆動部とを有している。

パンニング駆動部は、１対のパンニング駆動磁石と、パンニング駆動コイルが巻かれた１対のパンニング磁気ヨークとを含む。チルティング駆動部は、１対のチルティング駆動磁石と、チルティング駆動コイルが巻かれた１対のチルティング磁気ヨークとを含む。１対のパンニング駆動磁石にそれぞれ対向するように１対のパンニング磁気ヨークが設けられている。１対のチルティング駆動磁石にそれぞれ対向するように１対のチルティング磁気ヨークが設けられている。

特許文献１のカメラ駆動装置は、１対のパンニング磁気ヨークに巻かれたパンニング駆動コイル及び１対のチルティング磁気ヨークに巻かれたチルティング駆動コイルに通電することで、可動ユニットを回転させる。

国際公開第２０１２／００４９５２号

特許文献１のカメラ駆動装置では、例えばパンニング磁気ヨークとパンニング駆動磁石との間に発生する磁気が均一でない場合には、パンニング駆動コイル及びチルティング駆動コイルに対して通電していない場合（無通電時）において、可動ユニットがパンニング方向に傾く。この場合、パンニング駆動コイルに通電して、可動ユニットが傾いた側とは逆側に可動ユニットを回転させたときに可動ユニットの制振性能が低下する。同様に、チルティング磁気ヨークとチルティング駆動磁石との間に発生する磁気が均一でない場合においても、無通電時には可動ユニットがチルティング方向に傾く。その結果、チルティング駆動コイルに通電して、可動ユニットが傾いた側とは逆側に可動ユニットを回転させたときに可動ユニットの制振性能が低下する。

本開示は上記課題に鑑みてなされ、無通電時に可動ユニットが所定方向に傾く可能性を低くすることができるアクチュエータ、カメラ装置及び製造方法を提供することを目的とする。

本開示の一態様に係るアクチュエータは、駆動対象を保持する回転式の可動ユニットと、駆動部と、調整機構とを備える。前記駆動部は、前記可動ユニットを回転可能とするために複数の駆動磁石、及び前記複数の駆動磁石と一対一に対向する複数の磁気ヨークを有する。前記調整機構は、前記複数の駆動磁石のうち所定の軸を中心として前記可動ユニットを回転させる駆動磁石と、前記複数の磁気ヨークのうち当該駆動磁石に対向する磁気ヨークとの間の隙間を調整する。

本開示の一態様に係るカメラ装置は、前記アクチュエータと、前記駆動対象としてカメラモジュールとを備える。

本開示の一態様に係る製造方法は、駆動対象としてカメラモジュールを保持し、回転式の可動ユニットと、前記可動ユニットを回転可能とするために複数の駆動磁石、及び前記複数の駆動磁石と一対一に対向する複数の磁気ヨークを有する駆動部とを備えるカメラ装置の製造方法である。前記製造方法は、予め設定された設定軸に対する前記駆動対象の傾きを検出する検出処理と、前記検出処理が検出した前記駆動対象の傾きを調整する調整機構を設ける調整処理とを含む。

本開示によると、無通電時に可動ユニットが所定方向に傾く可能性を低くすることができる。

図１Ａは、実施形態１のカメラ装置（アクチュエータ）の斜視図である。図１Ｂは、同上のカメラ装置の平面図である。 図２Ａは、同上のカメラ装置のＸ１−Ｘ１（Ｘ２−Ｘ２）断面図である。図２Ｂ、図２Ｃは、図２Ａにおける要部拡大図である。 図３は、同上のカメラ装置の分解斜視図である。 図４は、同上のカメラ装置が備える可動ユニットの分解斜視図である。 図５は、同上のカメラ装置の断面図である。 図６は、同上のカメラ装置においてカメラモジュールが傾いているときの状態を示す図である。 図７は、実施形態２のカメラ装置に対するカメラモジュールの傾きを調整する方法を説明する図である。 図８Ａは、実施形態３のカメラ装置に対するカメラモジュールの傾きを調整する方法を説明する図である。図８Ｂは、同上のカメラ装置が撮像する土台マーカを説明する図である。図８Ｃは、同上のカメラ装置の製造時に、カメラモジュールが傾いている状態である場合にカメラモジュールが土台マーカを撮像した撮像画像を説明する図である。図８Ｄは、同上のカメラ装置の製造時に、カメラモジュールが中立状態である場合にカメラモジュールが土台マーカを撮像した撮像画像を説明する図である。

以下に説明する各実施形態及び変形例は、本開示の一例に過ぎず、本開示は、各実施形態及び変形例に限定されない。これらの実施形態及び変形例以外であっても、本開示に係る技術的思想を逸脱しない範囲であれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。

（実施形態１）
以下、本実施形態に係るカメラ装置１について、図１Ａ〜図６を用いて説明する。

（１）構成
カメラ装置１は、例えば天井等に取り付けられるカメラであり、図１Ａに示すように、アクチュエータ２とカメラモジュール３とを備える。

カメラモジュール３は、撮像素子と、撮像素子の撮像面に被写体像を結像させるレンズと、レンズを保持するレンズ鏡筒とを含み、撮像素子の撮像面に形成された映像を電気信号に変換する。カメラモジュール３は、撮像素子が生成した電気信号を外部に設けられた画像処理回路に出力する。

アクチュエータ２は、図１Ａ〜図２Ａ、図３に示すように、アッパーリング４、可動ユニット１０、固定ユニット２０、駆動部３０、第１プリント基板９０及び第２プリント基板９１を備える。なお、図２Ａ及び図５では、第１プリント基板９０及び第２プリント基板９１は省略している。

可動ユニット１０は、カメラホルダ４０と、可動ベース部４１と、ボトムプレート６４０とを有している（図３参照）。また、固定ユニット２０は、可動ユニット１０との間に隙間を設けて可動ユニット１０を嵌め合せる。可動ユニット１０は、固定ユニット２０に対して、カメラモジュール３のレンズの光軸１ａを中心に回転（ローリング）する。また、可動ユニット１０は、固定ユニット２０に対して、軸１ｂ及び軸１ｃのそれぞれを中心に回転する。ここで、軸１ｂ、軸１ｃは、可動ユニット１０が回転していない状態において可動ユニット１０を固定ユニット２０に嵌め合せる嵌合方向に直交している。さらに、軸１ｂ、軸１ｃは、互いに直交している。なお、可動ユニット１０の詳細な構成については後述する。カメラモジュール３は、カメラホルダ４０に取り付けられている。可動ベース部４１の構成については、後述する。可動ユニット１０が回転することでカメラモジュール３を回転させることができる。なお、本実施形態では、光軸１ａが軸１ｂ及び軸１ｃの双方と直交している場合に、可動ユニット１０（カメラモジュール３）は中立状態であると定義する。また、軸１ｂを中心として可動ユニット１０（カメラモジュール３）が回転する方向をチルティング方向と、軸１ｃを中心として可動ユニット１０（カメラモジュール３）が回転する方向をパンニング方向と、それぞれ定義する。さらに、光軸１ａを中心として可動ユニット１０（カメラモジュール３）が回転（ローリング）する方向をロール方向と定義する。

固定ユニット２０は、連結部５０と本体部５１とを含んでいる（図３参照）。

連結部５０は、中央部位から４つの連結棒が延びて設けられている。４つの連結棒のそれぞれは、互いに隣り合う連結棒と略直交している。連結部５０は、本体部５１との間にボトムプレート６４０を挟み込み、本体部５１にねじ止めされる。具体的には、４つの連結棒の先端部が本体部５１にねじ止めされる。

固定ユニット２０は、可動ユニット１０を電磁駆動で回転可能とするために、一対の第１コイルユニット５２と、一対の第２コイルユニット５３とを有している（図３参照）。一対の第１コイルユニット５２は、軸１ｂを中心として可動ユニット１０を回転させ、一対の第２コイルユニット５３は、軸１ｃを中心として可動ユニット１０を回転させる。

各第１コイルユニット５２は、磁性材料で形成された第１磁気ヨーク７１０と、駆動コイル７２０，７３０と、磁気ヨークホルダ７４０，７５０とを有している（図３参照）。各第１磁気ヨーク７１０は、回転の中心点を中心とする円弧形状である。軸１ｂを巻方向として後述する一対の第１駆動磁石６２０がロール方向に回転駆動するように各第１磁気ヨーク７１０に導線が巻き付けられて駆動コイル７３０が形成されている。各第１磁気ヨーク７１０に駆動コイル７３０が設けられた後、各第１磁気ヨーク７１０の両側に磁気ヨークホルダ７４０、７５０を、ねじで固定する。その後、可動ユニット１０が中立状態である場合の光軸１ａを巻方向として一対の第１駆動磁石６２０がチルティング方向に回転駆動するように各第１磁気ヨーク７１０に導線が巻き付けられて駆動コイル７２０が形成されている。そして、各第１コイルユニット５２を、カメラモジュール３側から見て軸１ｃに沿って対向するように、ねじでアッパーリング４と本体部５１とに固定する（図１Ａ、図３参照）。

各第２コイルユニット５３は、磁性材料で形成された第２磁気ヨーク７１１と、駆動コイル７２１，７３１と、磁気ヨークホルダ７４１，７５１とを有している（図３参照）。各第２磁気ヨーク７１１は、回転の中心点を中心とする円弧形状である。軸１ｃを巻方向として後述する第２駆動磁石６２１がロール方向に回転駆動するように各第２磁気ヨーク７１１に導線が巻き付けられて駆動コイル７３１が形成されている。各第２磁気ヨーク７１１に駆動コイル７３１が設けられた後、各第２磁気ヨーク７１１の両側に磁気ヨークホルダ７４１、７５１を、ねじで固定する。その後、可動ユニット１０が中立状態である場合の光軸１ａを巻方向として一対の第２駆動磁石６２１がパンニング方向に回転駆動するように各第２磁気ヨーク７１１に導線が巻き付けられて駆動コイル７２１が形成されている。そして、各第２コイルユニット５３を、カメラモジュール３側から見て軸１ｂに沿って対向するように、ねじでアッパーリング４と本体部５１とに固定する（図２Ａ、図３参照）。ここで、磁気ヨークホルダ７４０，７５０の対、及び磁気ヨークホルダ７４１，７５１の対が本開示の第１部材に相当し、本体部５１が本開示の第２部材に相当する。

カメラホルダ４０に取り付けられたカメラモジュール３は、可動ユニット１０に固定される。アッパーリング４は、本体部５１との間に可動ユニット１０に固定されたカメラモジュール３を挟み込み、ねじで本体部５１に固定される（図１Ａ、図３参照）。

第１プリント基板９０は、カメラモジュール３のチルティング方向及びパンニング方向における回転位置を検出するための複数の磁気センサ９２（ここでは４個）を有している（図３参照）。ここで、磁気センサ９２は、例えばホール素子である。第１プリント基板９０は、さらに駆動コイル７２０，７２１，７３０，７３１に流す電流を制御するための回路等が搭載されている。

第２プリント基板９１には、カメラモジュール３のチルティング方向及びパンニング方向における加速度を検出するための固定ユニット用センサチップ９３、及びマイクロコントローラ９４等が搭載されている（図３参照）。マイクロコントローラ９４は、プロセッサ及びメモリを有する。固定ユニット用センサチップ９３は、第１固定ユニット用センサと、第２固定ユニット用センサと、第３固定ユニット用センサとを有している。第１固定ユニット用センサは、カメラモジュール３のチルティング方向において可動ユニット１０に加わる加速度を検出する。第２固定ユニット用センサは、パンニング方向において可動ユニット１０に加わる加速度を検出する。第３固定ユニット用センサは、ロール方向において可動ユニット１０に加わる加速度を検出する。なお、第１固定ユニット用センサ、第２固定ユニット用センサ及び第３固定ユニット用センサは、加速度とともに、角速度を検出してもよい。

次に、カメラホルダ４０及び可動ベース部４１の詳細な構成について説明する。

カメラホルダ４０は、可動ユニット用センサチップ４０１を有している（図１Ａ参照）。可動ユニット用センサチップ４０１は、第１可動ユニット用センサと、第２可動ユニット用センサと、第３可動ユニット用センサとを有している。第１可動ユニット用センサは、カメラモジュール３のチルティング方向において可動ユニット１０に加わる加速度を検出する。第２可動ユニット用センサは、パンニング方向において可動ユニット１０に加わる加速度を検出する。第３可動ユニット用センサは、ロール方向において可動ユニット１０に加わる加速度を検出する。なお、第１可動ユニット用センサ、第２可動ユニット用センサ及び第３可動ユニット用センサは、加速度とともに、角速度を検出してもよい。

可動ベース部４１は、遊嵌空間を有し、カメラモジュール３を保持する。可動ベース部４１は、本体部６０１と、第１遊嵌部材６０２と、一対の第１磁気バックヨーク６１０と、一対の第２磁気バックヨーク６１１と、一対の第１駆動磁石６２０と、一対の第２駆動磁石６２１とを有している（図４参照）。

本体部６０１は、円板部分と、円板部分の外周部からカメラモジュール３とは反対側に突出する４つの固定部（アーム）とを有している。４つの固定部のうち２つの固定部は、軸１ｂにおいて対向し、他の２つの固定部は、軸１ｃにおいて対向している。４つの固定部は、略Ｌ字の形状である。以下、当該固定部をＬ字固定部という。４つのＬ字固定部は、一対の第１コイルユニット５２及び一対の第２コイルユニット５３と１対１に対向している。

第１遊嵌部材６０２は、テーパー形状の凹部を有している。第１遊嵌部材６０２は、テーパー形状の凹部の内周面を第１遊嵌面として有している。第１遊嵌部材６０２は、第１遊嵌面が遊嵌空間に露出するように本体部６０１の円板部分にねじで固定される。

一対の第１磁気バックヨーク６１０は、４つのＬ字固定部のうち一対の第１コイルユニット５２と対向する２つのＬ字固定部に、一対一に設けられている。一対の第１磁気バックヨーク６１０は、一対の第１コイルユニット５２と対向する２つのＬ字固定部にねじで固定される。一対の第２磁気バックヨーク６１１は、４つのＬ字固定部のうち一対の第２コイルユニット５３と対向する２つのＬ字固定部に、一対一に設けられている。一対の第２磁気バックヨーク６１１は、一対の第２コイルユニット５３と対向する２つのＬ字固定部にねじで固定される。

一対の第１駆動磁石６２０は、一対の第１磁気バックヨーク６１０に一対一に設けられ、一対の第２駆動磁石６２１は、一対の第２磁気バックヨーク６１１に一対一に設けられている。これにより、一対の第１駆動磁石６２０は、一対の第１コイルユニット５２と対向し、一対の第２駆動磁石６２１は、一対の第２コイルユニット５３と対向している。

ボトムプレート６４０は、非磁性であり、例えば真鍮で形成されている。ボトムプレート６４０は、本体部６０１とで固定ユニット２０の連結部５０を挟み込むように設けられている。ボトムプレート６４０は、ねじで本体部６０１に固定される。ボトムプレート６４０は、カウンタウエイトとして機能する。ボトムプレート６４０をカウンタウエイトとして機能させることで、回転の中心点と、可動ユニット１０の重心とを一致させることができる。そのため、可動ユニット１０の全体に外力が加わった場合、可動ユニット１０が軸１ｂを中心に回転するモーメント及び軸１ｃを中心に回転するモーメントは小さくなる。これにより、小さな駆動力で可動ユニット１０（カメラモジュール３）を中立状態に維持したり、軸１ｂ及び軸１ｃを中心に回転させたりすることができる。よって、カメラ装置１の消費電力が低減される。特に、可動ユニット１０を中立状態に維持するために必要な駆動電流をほとんどゼロにすることも可能である。

ボトムプレート６４０は、位置検出磁石６５０と、磁石カバー６５１とを有している。位置検出磁石６５０は、ボトムプレート６４０において、カメラモジュール３とは反対側の面の中央部位に設けられた凹部内に設けられている。磁石カバー６５１は、非磁性体であり、位置検出磁石６５０がボトムプレート６４０の凹部から脱落を防止するために設けられている。つまり、位置検出磁石６５０は、ボトムプレート６４０の凹部の底面と磁石カバー６５１との間に挟み込まれている。

また、ボトムプレート６４０のカメラモジュール３側の面には、曲面形状の凹部６４１が設けられている。

第１プリント基板９０に設けられた４つの磁気センサ９２は、可動ユニット１０が回転すると、可動ユニット１０の回転に応じて位置検出磁石６５０の位置が変化することで、４つの磁気センサ９２に作用する磁力が変化する。４つの磁気センサ９２は、位置検出磁石６５０の回転により作用する磁力変化を検出し、軸１ｂ、軸１ｃに対する２次元の回転角度を算出する。４つの磁気センサ９２は、軸１ｂ、１ｃを含む平面に平行に第１プリント基板９０に配置される。このとき、４つの磁気センサ９２のうち２つの磁気センサ９２は、可動ユニット１０のチルティング方向における回転位置を検出するために、軸１ｃ上に配置される。残り２つの磁気センサ９２は、可動ユニット１０のパンニング方向における回転位置を検出するために、軸１ｂ上に配置される。

連結部５０は、連結部５０の中央部分に球状の第２遊嵌部材５０１を有している（図３、図４参照）。第２遊嵌部材５０１は、凸状球面を有する第２遊嵌面を含んでいる。球状の第２遊嵌部材５０１は、連結部５０の中央部分（凹部）に接着剤で固定されている。

連結部５０と第１遊嵌部材６０２とが結合する。具体的には、第１遊嵌部材６０２の第１遊嵌面は、第２遊嵌部材５０１の第２遊嵌面と僅かな隙間を介して嵌め合せるように点または線接触する。これにより、連結部５０は、可動ユニット１０が回転可能となるように可動ユニット１０をピボット支持することができる。ここで、球状の第２遊嵌部材５０１の中心が、回転の中心点となる。

連結部５０は、第２遊嵌部材５０１が設けられた反対側に、曲面形状の凸部５０２が設けられている。連結部５０の凸部５０２は、ボトムプレート６４０の凹部６４１に嵌め込まれている。上述したように、ボトムプレート６４０は、本体部６０１に固定される。そのため、本体部６０１が回転すると、その回転に伴ってボトムプレート６４０も回転させる必要がある。そこで、連結部５０の曲面形状の凸部５０２をボトムプレート６４０の曲面形状の凹部６４１に嵌め込むことで、連結部５０に対してボトムプレート６４０が回転可能となる。したがって、本体部６０１が回転すると、その回転に伴ってボトムプレート６４０も回転させることができる。

本実施形態では、上述した一対の第１コイルユニット５２、一対の第２コイルユニット５３、一対の第１駆動磁石６２０及び一対の第２駆動磁石６２１が、駆動部３０を構成している。また、駆動部３０は、チルティング方向に可動ユニット１０を回転させる第１駆動部、パンニング方向に可動ユニット１０を回転させる第２駆動部及びロール方向に可動ユニット１０を回転させる第３駆動部を含んでいる。

第１駆動部は、一対の第１コイルユニット５２における一対の第１磁気ヨーク７１０及び一対の駆動コイル７２０と、一対の第１駆動磁石６２０とを含んでいる。第２駆動部は、一対の第２コイルユニット５３における一対の第２磁気ヨーク７１１及び一対の駆動コイル７２１と、一対の第２駆動磁石６２１とを含んでいる。第３駆動部は、一対の第１駆動磁石６２０と、一対の第２駆動磁石６２１と、一対の第１磁気ヨーク７１０と、一対の第２磁気ヨーク７１１と、一対の駆動コイル７３０と、一対の駆動コイル７３１とを含んでいる。

本実施形態のカメラ装置１は、一対の駆動コイル７２０と一対の駆動コイル７２１に同時に通電することで、可動ユニット１０を２次元的に回転（チルティング、パンニング）させることができる。また、カメラ装置１は、一対の駆動コイル７３０と一対の駆動コイル７３１に同時に通電することで、光軸１ａを回転軸として可動ユニット１０を回転（ローリング）させることもできる。

ところで、第１磁気ヨーク７１０と第１駆動磁石６２０とにおいて、互いに対向するヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間、具体的には回転の中心点を中心とする円弧に沿った方向の隙間は、無通電時に可動ユニット１０が中立状態となるために均一であることが好ましい（図５参照）。同様に、第２磁気ヨーク７１１と第２駆動磁石６２１とにおいて、互いに対向するヨーク面７１６と磁石面６２６との隙間、具体的には回転の中心点を中心とする円弧に沿った方向の隙間は、無通電時に可動ユニット１０が中立状態となるために均一であることが好ましい（図５参照）。なお、本実施形態において、無通電とは、第１コイルユニット５２及び第２コイルユニット５３に電流が流れていない状態のことをいう。

しかしながら、第１磁気ヨーク７１０（第２磁気ヨーク７１１）の取り付け時、つまり磁気ヨークホルダ７４０，７５０（７４１，７５１）の本体部５１への取り付け時に、ヨーク面７１５（７１６）と磁石面６２５（６２６）との隙間が均一にならない場合がある。または、第１駆動磁石６２０の第１磁気バックヨーク６１０への取り付け時にヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間が均一にならない場合がある。さらには、第２駆動磁石６２１の第２磁気バックヨーク６１１への取り付け時にヨーク面７１６と磁石面６２６との隙間が均一にならない場合がある。

例えば、ヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間が均一でない場合には、磁石面６２５において第１磁気ヨーク７１０を吸引する力が均一とはならない。そのため、ヨーク面７１５と磁石面６２５との間で互いの距離が近い部位が強く引き合い、その結果、カメラモジュールがチルティング方向に沿って回転する。例えば、カメラモジュール３が床面を撮像するようにカメラ装置１を天井に設けた場合、カメラモジュール３（可動ユニット１０）は、天井からの鉛直方向Ｇに対してチルティング方向に傾く（図６参照）。

そこで、本実施形態のカメラ装置１（アクチュエータ２）は、ヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間、及びヨーク面７１６と磁石面６２６との隙間のうち少なくとも一方の隙間が均一でない場合において、無通電時に可動ユニット１０が中立状態となるように調整機構５を備えている。つまり、調整機構５は、無通電時において、カメラモジュール３が撮像する向きが所定方向（例えば軸１ｂ，１ｃの双方に直交する方向）と一致するように、ヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間、及びヨーク面７１６と磁石面６２６との隙間のうち少なくとも一方の隙間を調整する。ここで、カメラモジュール３が撮像する向きとは、撮像方向に向う光軸１ａの向きである。調整機構５は、少なくとも１つの調整部を含む。ここで、調整部は、例えば非磁性体である平板形状のスペーサを含む。

ヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間が均一でない場合には、調整機構５に含まれる調整部５ａが、固定ユニット２０の本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７４０とねじ止めされる部位５１５と、磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間に設けられる（図２Ｂ参照）。さらに、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と、本体部５１にねじ止めされる磁気ヨークホルダ７５０の端部である部位７５５（図３参照）との間にも、同様に、調整部５ａが設けられる。

ヨーク面７１６と磁石面６２６との隙間が均一でない場合には、調整機構５に含まれる調整部５ｂが、固定ユニット２０の本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７４１とねじ止めされる部位５１６と、磁気ヨークホルダ７４１の部位７４６との間に設けられる（図２Ｃ参照）。さらに、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５１とねじ止めされる部位と、本体部５１にねじ止めされる磁気ヨークホルダ７５１の端部である部位７５６（図３参照）との間にも、同様に、調整部５ｂが設けられる。なお、図３では、調整機構５は省略している。

ここで、調整機構５は、カメラ装置１の製造時（出荷前）に設けられる。

（２）調整方法（製造方法）
次に、カメラ装置１の製造方法、具体的には調整機構５を設けて隙間を調整する調整方法について説明する。なお、ここでは、カメラ装置１は、カメラモジュール３が床面を撮像するようにカメラ装置１を天井に設けて使用されることを想定している。

調整機構５が設けられる前のカメラ装置１のカメラモジュール３のレンズが下方を向くように配置する。カメラ装置１の固定ユニット用センサチップ９３、可動ユニット用センサチップ４０１及びマイクロコントローラ９４に対して電源の供給を行う。つまり、第１コイルユニット５２、第２コイルユニット５３には電流は流れない。

このとき、固定ユニット用センサチップ９３は、第１固定ユニット用センサと、第２固定ユニット用センサとの検知結果をマイクロコントローラ９４に出力する。具体的には、固定ユニット用センサチップ９３は、第１固定ユニット用センサと、第２固定ユニット用センサとのそれぞれの加速度から得られる鉛直方向Ｇを基準とする固定ユニット２０のチルティング方向における傾き角度、及び固定ユニット２０のパンニング方向における傾き角度を、マイクロコントローラ９４に出力する。例えば、チルティング方向に対する固定ユニット２０の傾きが方向Ｇ１である場合、つまり鉛直方向と一致する場合、第１固定ユニット用センサは、チルティング方向における固定ユニット２０の傾き角度として０度を検出する。なお、ここでは、チルティング方向における固定ユニット２０の傾き角度、及びパンニング方向における固定ユニット２０の傾き角度は、双方とも０度である。

次に、調整方法（製造方法）では、予め設定された設定軸（例えば、鉛直方向Ｇ）に対するカメラモジュール３の傾きを検出する検出処理を行う。可動ユニット用センサチップ４０１が、第１可動ユニット用センサと、第２可動ユニット用センサとを用いてチルティング方向及びパンニング方向のそれぞれに対するカメラモジュール３の傾きを検出する。可動ユニット用センサチップ４０１は、第１可動ユニット用センサと、第２可動ユニット用センサとの検知結果をマイクロコントローラ９４に出力する。つまり、可動ユニット用センサチップ４０１は、第１可動ユニット用センサと、第２可動ユニット用センサとのそれぞれから得られる鉛直方向Ｇを基準とするカメラモジュール３のチルティング方向における傾き角度、及びパンニング方向における傾き角度を、マイクロコントローラ９４に出力する。例えば、カメラモジュール３が鉛直方向Ｇに対して方向Ｇ２に傾いている場合、第１可動ユニット用センサは、チルティング方向におけるカメラモジュール３の傾き角度θを検出する（図６参照）。

次に、調整方法（製造方法）では、検出処理が検出したカメラモジュール３の傾きを調整する調整機構を設ける調整処理を行う。マイクロコントローラ９４は、チルティング方向における傾き角度に応じて調整部５ａとして磁気ヨークホルダ７４０，７５０と本体部５１との間に設けるべきスペーサの厚みを記憶している。さらに、マイクロコントローラ９４は、パンニング方向における傾き角度に応じて調整部５ｂとして磁気ヨークホルダ７４１，７５１と本体部５１との間に設けるべきスペーサの厚みを記憶している。マイクロコントローラ９４は、第１可動ユニット用センサが検出したチルティング方向における傾き角度θに応じたスペーサ（調整部５ａ）の厚みの情報を、外部の表示装置（図示せず）に表示させる。作業員は、表示装置に表示された厚みのスペーサ（調整部５ａ）を、本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間に設ける。同様に、作業員は、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と、磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５との間にも、表示装置に表示された厚みのスペーサ（調整部５ａ）を設ける。なお、本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間に設けられるスペーサの厚みと、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と、磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５との間に設けられるスペーサの厚みは、調整具合に応じて、選択することができ、例えば、同じ厚みであっても、異なる厚みであってもよい。

鉛直方向Ｇを基準とするカメラモジュール３のチルティング方向における傾き角度が、固定ユニット２０のチルティング方向における傾き角度と、一致するまで、上記処理（検出処理、調整処理）を繰り返す。つまり、調整処理では、無通電時におけるカメラモジュール３の撮像向きが所定方向として鉛直方向Ｇと一致するように、カメラモジュール３を調整する。

また、第２可動ユニット用センサがパンニング方向における傾き角度を検出した場合も同様に、マイクロコントローラ９４は、検出した角度に応じたスペーサ（調整部５ｂ）の厚みの情報を、外部の表示装置に表示させる。作業員は、表示装置に表示された厚みのスペーサ（調整部５ｂ）を、本体部５１の部位５１６と磁気ヨークホルダ７４１の部位７４６との間に設ける。同様に、作業員は、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５１とねじ止めされる部位と、磁気ヨークホルダ７５１の部位７５６との間にも、表示装置に表示された厚みのスペーサ（調整部５ｂ）を設ける。なお、本体部５１の部位５１６と磁気ヨークホルダ７４１の部位７４６との間に設けられるスペーサの厚みと、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５１とねじ止めされる部位と、磁気ヨークホルダ７５１の部位７５６との間に設けられるスペーサの厚みは、調整具合に応じて、選択することができ、例えば、同じ厚みであっても、異なる厚みであってもよい。

鉛直方向Ｇを基準とするカメラモジュール３のパンニング方向における傾き角度が、固定ユニット２０のパンニング方向における傾き角度と、それぞれ一致するまで、上記作業を繰り返す。

チルティング方向における傾きを調整するスペーサ（調整部５ａ）の厚みと、パンニング方向における傾きを調整するスペーサ（調整部５ｂ）の厚みも、可動ユニット１０（カメラモジュール３）の傾き具合に応じて適宜選択される。具体的には、スペーサ（調整部５ａ）とスペーサ（調整部５ｂ）は、同じ厚みである場合もあれば、異なる厚みである場合もある。

なお、表示装置に表示された厚みのスペーサの選択、取り付けを、ピッキングシステム、組み立てロボット等を用いて自動化してもよい。

（３）利点
上述したように、第１磁気ヨーク７１０と第１駆動磁石６２０とにおいて、互いに対向するヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間、具体的には回転の中心点を中心とする円弧に沿った方向の隙間は均一であることが好ましい（図５参照）。同様に、第２磁気ヨーク７１１と第２駆動磁石６２１とにおいて、互いに対向するヨーク面７１６と磁石面６２６との隙間、具体的には回転の中心点を中心とする円弧に沿った方向の隙間は均一であることが好ましい（図５参照）。

しかしながら、これらの隙間が均一とはならない場合がある。そのような場合、カメラモジュール３が床面を撮像するようにカメラ装置１を天井に設けたとき、カメラモジュール３は、無通電時において天井からの鉛直方向Ｇに対して例えばチルティング方向に傾く。カメラモジュール３が無通電時において天井からの鉛直方向Ｇに対して、チルティング方向に傾くと、通電時において、カメラモジュール３が傾いた側とは逆側（チルティング方向に沿った逆側）におけるカメラモジュール３の制振性能が低下する。

カメラモジュール３が無通電時において天井からの鉛直方向Ｇに対してパンニング方向に傾いた場合も、通電時において、カメラモジュール３が傾いた側とは逆側（パンニング方向に沿った逆側）におけるカメラモジュール３の制振性能が低下する。

そのため、無通電時にカメラモジュールを中立状態とするために、本実施形態では、カメラ装置１（アクチュエータ２）は、調整機構５を備えている。調整機構５を備えることで、通電時において、カメラモジュール３の制振性能が低下する可能性を低くすることができる。

つまり、本開示に係るアクチュエータ２は、無通電時に可動ユニット１０が所定方向に傾く可能性を低くすることができるので、制振性能が大きく劣化する角度方向が存在せず、どの方向に傾いても均一な制振性能を実現することができる。

なお、実施形態１では、カメラ装置１を天井に設けてカメラモジュール３が床面を撮像する構成としたがこの構成に限定されない。例えば、カメラモジュール３が天井から床面への方向に直交する方向を撮像するように、天井と床面と間に設けられた壁にカメラ装置１を設けてもよい。この場合の調整方法は、第１固定ユニット用センサの結果と第１可動ユニット用センサの結果とが、第２固定ユニット用センサの結果と第２可動ユニット用センサの結果とが、それぞれ一致するように、調整機構５を設ける。これにより、実施形態１と同様の効果を得る。

また、上述した調整方法では、可動ユニット用センサチップ４０１及び固定ユニット用センサチップ９３チップを用いている。そのため、上記調整方法を用いて、カメラモジュール３がアクチュエータ２に備えられていない状態で可動ユニット１０の傾きを調整してもよい。この場合、可動ユニット１０の傾きを調整した後に、カメラモジュール３が取り付けられる。

（４）変形例
（４−１）変形例１
実施形態１で説明した調整方法では、第１固定ユニット用センサの結果と第１可動ユニット用センサの結果とが、第２固定ユニット用センサの結果と第２可動ユニット用センサの結果とが、それぞれ一致するように調整機構５を設ける構成とした。しかしながら、この構成に限定されない。

磁気センサ９２の結果を用いて、調整機構５を設ける調整方法を採用してもよい。

例えば、第１磁気ヨーク７１０と第１駆動磁石６２０とにおいて、互いに対向するヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間、具体的には回転の中心点を中心とする円弧に沿った方向の隙間は均一でないとする。

このとき、カメラモジュール３が床面を撮像するようにカメラ装置１を天井に設けたとき、カメラモジュール３は、無通電時において天井からの鉛直方向Ｇに対して例えばチルティング方向に傾く。この場合、調整方法（製造方法）における検出処理では、磁気センサ９２の結果により、本体部５１に対して可動ユニット１０（カメラモジュール３）がチルティング方向に傾いていることが検出される。

調整方法（製造方法）における調整処理では、マイクロコントローラ９４は、磁気センサ９２が検出したチルティング方向における傾き角度θに応じたスペーサ（調整部５ａ）の厚みの情報を、外部の表示装置（図示せず）に表示させる。作業員は、傾き度合（傾き角度）に応じたスペーサ（調整部５ａ）を本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間に設ける。同様に、作業員は、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と、磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５との間にも、傾き度合に応じたスペーサ（調整部５ａ）を設ける。

本体部５１に対して可動ユニット１０（カメラモジュール３）がチルティング方向に傾いていないことが磁気センサ９２によって検出されるまで、上記処理（検出処理、調整処理）を繰り返す。つまり、調整処理では、調整機構５は、無通電時におけるカメラモジュール３の撮像向きが所定方向として軸１ｂ，１ｃの双方と直交する方向と一致するように、カメラモジュール３を調整する。

なお、本変形例の調整方法では、磁気センサ９２を用いている。そのため、本変形例を用いて、カメラモジュール３がアクチュエータ２に備えられていない状態で可動ユニット１０の傾きを調整してもよい。この場合、可動ユニット１０の傾きを調整した後に、カメラモジュール３が取り付けられる。

（４−２）変形例２
実施形態１では、チルティング方向及びパンニング方向のそれぞれにおけるカメラモジュール３の傾きを調整する方法を述べた。本変形例では、ロール方向におけるカメラモジュール３の傾きを調整する方法を述べる。なお、ここでは、ヨーク面７１５と磁石面６２５、及びヨーク面７１６と磁石面６２６とのそれぞれにおいて回転の中心点を中心とする円弧に沿った方向を長辺方向とし、長辺方向に直交する方向を短辺方向という。

ヨーク面７１５と磁石面６２５、及びヨーク面７１６と磁石面６２６とのそれぞれにおいても、短辺方向に沿った隙間が均一であることが好ましい。

ヨーク面７１５と磁石面６２５とにおいて短辺方向に沿った隙間が均一でない場合には、磁石面６２５において短辺方向に沿った第１磁気ヨーク７１０を吸引する力が均一とはならない。そのため、カメラモジュール３は、無通電時であってもロール方向に対して回転する。つまり、カメラモジュール３は、無通電時である場合においても基準位置からロール方法に対してある角度分だけ回転している。

ヨーク面７１５と磁石面６２５とにおける短辺方向の隙間が均一でない場合には、固定ユニット２０の本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間、及び本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５との間の少なくとも一方に、調整部が設けられる。このとき、磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５と固定ユニット２０の本体部５１の部位５１５との間に設けられる調整部の調整量（厚み）と、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５との間に設けられる調整部の調整量とが異なる。特に、無通電時にカメラモジュール３がロール方向に回転し、かつチルティング方向において回転している場合には、本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間に設けられる調整部の調整量と、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５との間に設けられる調整部の調整量とが異なる。

同様に、ヨーク面７１６と磁石面６２６とにおいて短辺方向に沿って隙間が均一でない場合には、固定ユニット２０の本体部５１の部位５１６と磁気ヨークホルダ７４１の部位７４６との間、及び本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５１とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５１の部位７５６との間のうち少なくとも一方に、調整部が設けられる。この場合においても、本体部５１の部位５１６と磁気ヨークホルダ７４１の部位７４６との間に設けられる調整部の調整量（厚み）と、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５１とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５１の部位７５６との間に設けられる調整部の調整量とが異なる。特に、無通電時にカメラモジュール３がロール方向に回転し、かつパンニング方向において回転している場合には、本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間に設けられる調整部の調整量と、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５１とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５１の部位７５６との間に設けられる調整部の調整量とが異なる。

（４−３）変形例３
実施形態１では、平板状のスペーサを調整部５ａ，５ｂとして説明したが、本変形例では、アジャスタを調整部とする。

この場合、アジャスタは、ばねを有している。調整部としてのアジャスタは、本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間、及び本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５との間に設けられる。さらに、調整部としてのアジャスタは、本体部５１の部位５１６と磁気ヨークホルダ７４１の部位７４６との間、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５１とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５１の部位７５６との間に設けられる。

例えば、ヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間が均一でない場合には、本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５とにおけるねじ止めの締め付けを緩める。さらに、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５とにおけるねじ止めの締め付けを緩める。これにより、各アジャスタのばねの復元力が発生し、本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間、及び本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５との間に、隙間がそれぞれ生じる。本変形例のアジャスタは、ばねの復元力によって生じる本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間の隙間、及び本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５との間の隙間を調整することで、ヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間を調整することができる。

ヨーク面７１６と磁石面６２６との隙間が均一でない場合には、本体部５１の部位５１６と磁気ヨークホルダ７４１の部位７４６とにおけるねじ止めの締め付けを緩める。さらに、本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５１とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５１の部位７５６とにおけるねじ止めの締め付けを緩める。これにより、各アジャスタのばねの復元力が発生し、本体部５１の部位５１６と磁気ヨークホルダ７４１の部位７４６との間、及び本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５１とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５１の部位７５６との間に、隙間がそれぞれ生じる。ばねの復元力によって生じる本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間の隙間、及び本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５０の部位７５６との間の隙間を調整することで、ヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間が調整される。

ところで、磁気ヨークホルダと本体部との間でねじ止めした場合、磁気ヨークホルダと本体部との間での挟み込む力は大きい。そのため、ばねを有するアジャスタを調整部（調整機構５）として用いる場合よりも、スペーサを用いた場合の方が調整機構５としての強度は高い。そのため、調整部（調整機構５）としてスペーサを用いることが好ましい。しかしながら、調整部（調整機構５）としてアジャスタを用いることも本開示の範疇である。

（４−４）変形例４
実施形態１では、ヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間が均一でない場合には、調整部５ａが、本体部５１の部位５１５と磁気ヨークホルダ７４０の部位７４５との間、及び本体部５１のうち磁気ヨークホルダ７５０とねじ止めされる部位と磁気ヨークホルダ７５０の部位７５５との間にも、設けられる構成とした。しかしながら、この構成に限定されない。調整部５ａは、アッパーリング４と磁気ヨークホルダ７４０との間、及びアッパーリング４と磁気ヨークホルダ７５０との間に設けられてもよい。

または、磁気ヨークホルダ７４０，７５０と本体部５１との間、及び磁気ヨークホルダ７４０，７５０とアッパーリング４との間の双方に、調整部５ａを設けてもよい。

同様に、ヨーク面７１６と磁石面６２６との隙間が均一でない場合には、調整部５ｂは、アッパーリング４と磁気ヨークホルダ７４１との間、及びアッパーリング４と磁気ヨークホルダ７５１との間に設けられてもよい。または、磁気ヨークホルダ７４１，７５１と本体部５１との間、及び磁気ヨークホルダ７４１，７５１とアッパーリング４との間の双方に、調整部５ａを設けてもよい。

また、ヨーク面７１５と磁石面６２５とにおいて短辺方向に沿った隙間が均一でない場合においても、磁気ヨークホルダ７４０，７５０と本体部５１との間に設けてもよい。または、磁気ヨークホルダ７４０，７５０と本体部５１との間及び磁気ヨークホルダ７４０，７５０とアッパーリング４との間の双方に、調整部５ａを設けてもよい。同様に、ヨーク面７１６と磁石面６２６とにおいて短辺方向に沿った隙間が均一でない場合においても、磁気ヨークホルダ７４１，７５１と本体部５１との間に設けてもよい。または、磁気ヨークホルダ７４１，７５１と本体部５１との間及び磁気ヨークホルダ７４１，７５１とアッパーリング４との間の双方に、調整部５ａを設けてもよい。

また、実施形態１では、磁気ヨークホルダ７４０，７５０（７４１，７５１）と本体部５１との間に調整部５ａ（５ｂ）を設ける構成としたが、この構成に限定されない。調整部を、第１駆動磁石６２０と第１磁気バックヨーク６１０との間、及び第２駆動磁石６２１と第２磁気バックヨーク６１１との間に、それぞれ設けて、ヨーク面７１５と磁石面６２５との隙間、及びヨーク面７１６と磁石面６２６との隙間を調整してもよい。

（実施形態２）
実施形態１ではカメラ装置１が備える固定ユニット用センサチップ９３と可動ユニット用センサチップ４０１とを用いてカメラモジュール３の傾きを調整した。本実施形態では、他のカメラ装置を用いて、カメラモジュール３の傾きを調整する。

以下、本実施形態のカメラ装置１の調整方法について、実施形態１と異なる点を中心に説明する。なお、実施形態１と同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。

本実施形態では、カメラ装置１とは異なるカメラ装置８００を用いて、カメラ装置１のカメラモジュール３の傾きを調整する（図７参照）。

本実施形態では、カメラモジュール３を撮像するように、カメラ装置８００を設置する。このとき、カメラ装置８００の光軸１ｅと、カメラモジュール３が中立状態である場合のカメラ装置１の設計上の光軸１ｄとが一致するように、カメラ装置８００は設置される。具体的には、カメラ装置８００の撮像領域の中心にカメラモジュール３が中立状態である場合のカメラ装置１の設計上の光軸１ｄが位置するように、カメラ装置８００は設置される。

検出処理において、カメラ装置８００は、カメラ装置１のカメラモジュール３を撮像し、撮像した画像を用いてカメラ装置１の設計上の光軸１ｄ（カメラ装置８００の光軸１ｅ）に対してチルティング方向におけるカメラモジュール３の光軸１ａの傾き、及びパンニング方向におけるカメラモジュール３の光軸１ａの傾きを求める。

調整処理において、カメラ装置８００は、検出処理が求めたチルティング方向におけるカメラモジュール３の光軸１ａの傾き（傾き角度）に応じた調整部５ａの厚みの情報（第１調整量）、及びチルティング方向におけるカメラモジュール３の光軸１ａの傾き（傾き角度）に応じた調整部５ｂの厚みの情報（第２調整量）を表示する。作業員は、表示装置に表示された第１調整量に応じたスペーサ（調整部５ａ）を、磁気ヨークホルダ７４０と本体部５１との間、及び磁気ヨークホルダ７５０と本体部５１との間に設ける。さらに、作業員は、表示装置に表示された第２調整量に応じたスペーサ（調整部５ｂ）を、磁気ヨークホルダ７４１と本体部５１との間、及び磁気ヨークホルダ７５１と本体部５１との間に設ける。

その後、再度、カメラ装置８００は、カメラモジュール３を撮像する。カメラモジュール３の光軸１ａが、カメラ装置８００の光軸１ｅ、つまりカメラ装置１の設計上の光軸１ｄと一致するまで、上記処理（検出処理、調整処理）を繰り返す。言い換えると、カメラモジュール３のレンズの中心が、カメラ装置８００が撮像した画像の中心に位置するように、上記処理を繰り返す。つまり、調整処理は、無通電時におけるカメラモジュール３の撮像向きが所定方向としてカメラ装置１の設計上の光軸１ｄの方向と一致するように、カメラモジュール３を調整する。

（実施形態３）
本実施形態では、カメラモジュール３が撮像した画像を用いて、カメラモジュール３の傾きを調整する。

以下、本実施形態のカメラ装置１の調整方法について、実施形態１と異なる点を中心に説明する。なお、実施形態１と同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。

本実施形態のカメラ装置１は、カメラモジュール３に対して電源の供給を行う。つまり、第１コイルユニット５２、第２コイルユニット５３には電流は流れない。本実施形態のカメラ装置１は、カメラモジュール３の傾き調整に用いる土台マーカ８５０を撮像する（図８Ａ参照）。カメラモジュール３は、撮像した画像に、互いに直交する破線を重畳した撮像画像を画像処理回路を介して表示部（図示しない）に表示させる。なお、破線の交点がカメラモジュール３の光軸１ａと交わっている。

土台マーカ８５０は、互いに直交する２つの直線８５１，８５２を有している（図８Ｂ参照）。直線８５１と直線８５２との交点８５３がカメラモジュール３が中立状態である場合のカメラ装置１の設計上の光軸１ｄと交わるように、土台マーカ８５０及びカメラ装置１は設置される（図８Ａ参照）。

検出処理では、土台マーカ８５０及びカメラ装置１がそれぞれ配置されると、カメラ装置１のカメラモジュール３は、土台マーカ８５０を撮像する。図８Ｃは、図８Ａに示すカメラモジュール３の傾き状態において、カメラモジュール３が土台マーカ８５０を撮像した撮像画像８６０を示す。撮像画像８６０は、図８Ｃに示すように、破線８６１，８６２、及び土台マーカ８５０に記された直線８５１，８５２を含む。

図８Ａでは、カメラ装置１から土台マーカ８５０を見た場合においてカメラモジュール３は、土台マーカ８５０の交点８５３に対して右下方向に傾いている。言い換えると、土台マーカ―８５０の交点８５３は、カメラモジュール３の光軸１ａの左上方向に位置している。そのため、直線８５１，８５２の交点８５３は、破線８６１，８６２の交点８６３よりも左上方向にずれている。

ここで、撮像画像８６０の上下方向をチルティング方向を平面上に射影した方向とし、左右方向をパンニング方向を平面上に射影した方向とする。

調整処理では、作業員は、直線８５１，８５２の交点８５３と破線８６１，８６２の交点８６３との上下方向のずれ量に応じたスペーサ（調整部５ａ）を、磁気ヨークホルダ７４０と本体部５１との間、及び磁気ヨークホルダ７５０と本体部５１との間に設ける。さらに、作業員は、直線８５１，８５２の交点８５３と破線８６１，８６２の交点８６３との左右方向のずれ量に応じたスペーサ（調整部５ｂ）を、磁気ヨークホルダ７４１と本体部５１との間、及び磁気ヨークホルダ７５１と本体部５１との間に設ける。

その後、再度、カメラ装置１は、土台マーカ８５０を撮像する。カメラモジュール３の光軸１ａ、つまり破線８６１，８６２の交点８６３が、土台マーカ８５０の直線８５１，８５２の交点８５３と一致する撮像画像８７０（図８Ｄ参照）が得られるまで、上記処理（検出処理、調整処理）を繰り返す。つまり、調整処理は、無通電時におけるカメラモジュール３の撮像向きが所定方向としてカメラ装置１の設計上の光軸１ｄの方向と一致するように、カメラモジュール３を調整している。

なお、調整処理において、カメラモジュール３は、撮像画像に加えて、直線８５１，８５２の交点８５３と破線８６１，８６２の交点８６３との上下方向のずれ量に応じた調整部５ａの厚みの情報、及び交点８５３と交点８６３との左右方向のずれ量に応じた調整部５ｂの厚みの情報を、表示部に表示させてもよい。

なお、実施形態３では、直線８５１，８５２の交点８５３と破線８６１，８６２の交点８６３との上下方向及び左右方向のずれを目視して、調整を行う構成としたが、この構成に限定されない。例えば、カメラモジュール３又は撮像画像を表示する表示部を備える装置（表示装置）が、撮像画像を用いて自動で直線８５１，８５２の交点８５３と、光軸１ａが土台マーカ８５０と交わる点とにおける上下方向及び左右方向のずれ量を自動で取得する機能を有してもよい。この場合、破線８６１，８６２の表示は不要になる。当該機能を有するカメラモジュール３又は表示装置は、下方向のずれ量に応じた調整部５ａの厚みの情報、及び左右方向のずれ量に応じた調整部５ｂの厚みの情報を表示する。

（変形例）
以下に、変形例について列記する。なお、以下に説明する変形例は、上記各実施形態と適宜組み合わせて適用可能である。

各実施形態では、アクチュエータ２（カメラ装置１）は、一対の第１磁気ヨーク７１０、一対の第２磁気ヨーク７１１、２つの第１磁気ヨーク７１０にそれぞれ対向する２つ第１駆動磁石６２０、及び２つの第２磁気ヨーク７１１にそれぞれ対向する２つ第２駆動磁石６２１を有する構成とした。つまり、アクチュエータ２（カメラ装置１）は、４つの磁気ヨークと、４つの駆動磁石を有する構成としたが、この構成に限定されない。アクチュエータ２（カメラ装置１）は、２つ以上の磁気ヨークと、当該２つ以上の磁気ヨークにそれぞれ対向する２つ以上の駆動磁石を有する構成としてもよい。この場合、２つ以上の磁気ヨークは、回転の中心点を中心とした円周上に等間隔に配置される。

例えば、アクチュエータ２（カメラ装置１）は、３つの磁気ヨークと、当該３つの磁気ヨークにそれぞれ対向する３つの駆動磁石を有する構成としてもよい。このとき、３つの磁気ヨークは、回転の中心点を中心とした円周上に１２０度ごとに配置される。３つの磁気ヨークの各々に巻かれたコイルに流れる電流を制御して、カメラモジュール３（可動ユニット１０）をチルティング方向及びパンニング方向に回転させてもよい。つまり、３つの磁気ヨークの各々に巻かれたコイルに流れる電流を制御して、カメラモジュール３（可動ユニット１０）を、上述した軸１ｂ及び軸１ｃの各々を中心に回転させてもよい。

アクチュエータ２（カメラ装置１）は、３つの磁気ヨークと、３つの駆動磁石を有している場合のチルティング方向に対するカメラモジュール３の傾き及びパンニング方向に対するカメラモジュール３の傾きの調整方法について、説明する。この場合、カメラ装置１のマイクロコントローラ９４は、チルティング方向に対するカメラモジュール３の傾き角度とパンニング方向に対するカメラモジュール３の傾き角度との組と、調整部として各磁気ヨークに対して設けるべきスペーサの厚みの情報とを記憶している。マイクロコントローラ９４は、カメラモジュール３の傾きの検出結果に応じた厚みの情報を表示部（図示せず）に表示する。作業員は、表示装置に表示された磁気ヨークごとの厚みのスペーサを、対応する磁気ヨークの磁気ヨークホルダと本体部５１との間に設ける。

また、カメラモジュール３に対する回転の軸は、軸１ｂ、軸１ｃに限定されない。２つ以上の磁気ヨーク（２つ以上の駆動磁石）の対向方向に応じて決定される軸であってもよい。例えば、３つの磁気ヨーク（３つの駆動磁石）がカメラ装置１に設けられる場合、１つの磁気ヨークに巻かれたコイルに電流を流すことで回転が生じる際の回転軸を軸１ｂに相当する軸としてもよい。残り２つの磁気ヨーク（残り２つの駆動磁石）のうち１つの磁気ヨークに巻かれたコイルに電流を流すことで回転が生じる際の回転軸を軸１ｃに相当する軸としてもよい。

各実施形態では、ヨーク面７１５（７１６）と磁石面６２５（６２６）との隙間が均一とならない場合として、第１磁気ヨーク７１０（第２磁気ヨーク７１１）の取り付け時、又は第１駆動磁石６２０（第２駆動磁石６２１）の取り付け時を想定したが、この想定に限定されない。第１駆動磁石６２０の磁石面６２５の磁気が均一でない場合においても、上記調整機構５を設けることは有効である。なぜなら、磁石面６２５の磁気が均一でない場合には、磁石面６２５において第１磁気ヨーク７１０を吸引する力が均一とはならないからである。そのため、磁石面６２５のうち磁気が比較的強い部位において、第１磁気ヨーク７１０とより強く引き合うので、その結果、カメラモジュール３がチルティング方向に沿って回転する。そこで、上述した調整機構５（調整部５ａ）を設けることで、無通電時であってもカメラモジュール３を中立状態とすることができる。また、第２駆動磁石６２１の磁石面６２６の磁気が均一でない場合においても、磁石面６２６において第２磁気ヨーク７１１を吸引する力が均一とはならない。そのため、カメラモジュール３がパンニング方向に沿って回転する。そこで、調整機構５（調整部５ｂ）を設けることで、無通電時であってもカメラモジュール３を中立状態とすることができる。

各実施形態のアクチュエータ２は、カメラ装置１に適用した構成としたが、この構成に限定されない。アクチュエータ２は、レーザポインタ、照明器具、プロジェクタ等に適用してもよい。

（まとめ）
以上説明したように、第１の態様のアクチュエータ（２）は、駆動対象を保持する回転式の可動ユニット（１０）と、駆動部（３０）と、調整機構（５）とを備える。駆動部（３０）は、可動ユニット（１０）を回転可能とするために複数の駆動磁石（第１駆動磁石６２０、第２駆動磁石６２１）、及び複数の駆動磁石と一対一に対向する複数の磁気ヨーク（第１磁気ヨーク７１０、第２磁気ヨーク７１１）を有する。調整機構（５）は、複数の駆動磁石のうち所定の軸（例えば、軸１ｂ）を中心として可動ユニット（１０）を回転させる駆動磁石（例えば、第１駆動磁石６２０）と、複数の磁気ヨークのうち当該駆動磁石に対向する磁気ヨーク（例えば、第１磁気ヨーク７１０）との間の隙間を調整する。

この構成によると、調整機構（５）を設けて、駆動磁石と磁気ヨークとの間の隙間を調整することで、可動ユニット（１０）の傾き（駆動対象の傾き）を調整することができる。その結果、無通電時に可動ユニット（１０）が所定方向に傾く、つまり無通電時に可動ユニット（１０）が保持する駆動対象が所定方向に傾く可能性を低くすることができる。

第２の態様のアクチュエータ（２）では、第１の態様において、可動ユニット（１０）は、さらに、所定の軸としての第１軸とは異なる第２軸（例えば、軸１ｃ）を中心として回転可能である。調整機構（５）は、さらに、複数の駆動磁石のうち第２軸を中心として可動ユニット（１０）を回転させる駆動磁石（例えば、第２駆動磁石６２１）と、複数の磁気ヨークのうち第２軸を中心として可動ユニット（１０）を回転させる駆動磁石に対向する磁気ヨーク（例えば、第２磁気ヨーク７１１）との間の隙間を調整する。

この構成によると、無通電時に可動ユニット（１０）が第２軸を中心として回転する方向に傾く、つまり無通電時に可動ユニット（１０）が保持する駆動対象が第２軸を中心として回転する方向に傾く可能性を低くすることができる。

第３の態様のアクチュエータ（２）では、第２の態様において、第１軸と第２軸とは直交している。この構成によると、第１軸と第２軸とが直交していることで、それぞれの軸に対する傾きの誤差が等分されるため、傾きの調整が比較的容易に行うことができる。

第４の態様のアクチュエータ（２）では、第２の態様において、第１軸と第２軸とは、複数の駆動磁石の対向方向に応じてそれぞれ決定される軸である。

この構成によると、複数の駆動磁石の対向方向に応じた軸に対するカメラモジュール（３）の傾きを調整することができる。

第５の態様のアクチュエータ（２）では、第２〜第４のいずれかの態様において、可動ユニット（１０）は、さらに、可動ユニット（１０）が中立状態である場合には第１軸と第２軸との双方に対して直交する第３軸（例えば、光軸１ａ）を中心として回転可能である。調整機構（５）は、さらに、複数の駆動磁石のうち第３軸を中心として可動ユニット（１０）を回転させる駆動磁石と、複数の磁気ヨークのうち第３軸を中心として可動ユニット（１０）を回転させる駆動磁石に対向する磁気ヨークとの間の隙間を調整する。

この構成によると、無通電時に可動ユニットが第３軸を中心として回転する方向に傾くこと可能性を低くすることができる。

第６の態様のアクチュエータ（２）では、第１〜第５のいずれかの態様において、調整機構（５）は、複数の磁気ヨークのうち調整対象となる磁気ヨークを固定するための第１部材（例えば、磁気ヨークホルダ７４０，７５０）と第２部材（本体部５１）との間に挟まれるスペーサである。この構成によると、調整機構（５）としてスペーサを用いた調整が可能となる。

第７の態様のアクチュエータ（２）では、第１〜第５のいずれかの態様において、調整機構（５）は、複数の磁気ヨークのうち調整対象となる磁気ヨークを固定するための第１部材（例えば、磁気ヨークホルダ７４０，７５０）と第２部材（本体部５１）との間に設けられたアジャスタである。この構成によると、調整機構（５）としてアジャスタを用いた調整が可能となる。

第８の態様のアクチュエータ（２）では、第６又は第７の態様において、複数の磁気ヨークの各々は、第１部材に設けられている。調整機構（５）は、調整対象となる磁気ヨークを設けた第１部材において対称となる２つの部位（例えば、部位７４５，７５５又は部位６４６，７５６）と第２部材とのそれぞれの間の隙間を調整している。２つの部位のうち一方の部位（例えば、部位７４５又は部位７４６）における調整機構（５）における調整量と、他方の部位（例えば、部位７５５又は部位７５６）における調整機構（５）における調整量とは異なる。

この構成によると、各部位の調整量を異ならせることで、より精度の高い調整が可能となる。

第９の態様のカメラ装置（１）は、第１〜第８のいずれかの態様のアクチュエータ（２）と、駆動対象としてカメラモジュール（３）とを備える。

この構成によると、無通電時にカメラモジュール（３）が所定方向に傾くこと可能性を低くすることができる。

第１０の態様の製造方法は、カメラ装置（１）の製造方法である。カメラ装置（１）は、駆動対象としてカメラモジュール（３）を保持し、回転式の可動ユニット（１０）と、駆動部（３０）とを備える。駆動部（３０）は、可動ユニット（１０）を回転可能とするために複数の駆動磁石（第１駆動磁石６２０、第２駆動磁石６２１）、及び複数の駆動磁石と一対一に対向する複数の磁気ヨーク（第１磁気ヨーク７１０、第２磁気ヨーク７１１）を有する。製造方法は、予め設定された設定軸（例えば、鉛直方向Ｇ）に対する駆動対象の傾きを検出する検出処理と、検出処理が検出した駆動対象の傾きを調整する調整機構（５）を設ける調整処理とを含む。

この製造方法によると、調整処理を行うことで駆動磁石と磁気ヨークとの間の隙間を調整するので、その結果、可動ユニット（１０）の傾き（駆動対象の傾き）を調整することができる。これにより、無通電時に可動ユニット（１０）が所定方向に傾く、つまり無通電時に可動ユニット（１０）が保持する駆動対象が所定方向に傾く可能性を低くすることができる。

第１１の態様の製造方法では、第１０の態様において、調整処理は、駆動対象の向きが所定方向と一致するように、駆動対象の傾きを調整する。この製造方法によると、所定方向に対する傾きが生じる可能性を低くすることができる。

第１２の態様の製造方法では、第１０又は第１１の態様において、可動ユニット（１０）は、第１軸（例えば、軸１ｂ）及び第２軸（例えば、軸１ｃ）のそれぞれを中心として回転可能である。検出処理は、第１軸を中心とした第１回転方向における駆動対象の傾き、及び第２軸を中心とした第２回転方向における駆動対象の傾きを検出する。調整処理は、第１回転方向における駆動対象の傾き、及び第２回転方向における駆動対象の傾きのそれぞれを調整する。

この製造方法によると、第１軸及び第２軸のそれぞれの軸に応じた傾きを調整することができる。

１ カメラ装置
２ アクチュエータ
３ カメラモジュール
５ 調整機構
１０ 可動ユニット
３０ 駆動部
５１ 本体部（第２部材）
６２０ 第１駆動磁石（駆動磁石）
６２１ 第２駆動磁石（駆動磁石）
７１０ 第１磁気ヨーク（磁気ヨーク）
７１１ 第２磁気ヨーク（磁気ヨーク）
７４０，７４１，７５０，７５１ 磁気ヨークホルダ（第１部材）
７４５，７４６ 部位（第１部位）
７５５，７５６ 部位（第１部位）
１ａ 光軸（第３軸）
１ｂ 軸（所定の軸、第１軸）
１ｃ 軸（第２軸）

Claims (12)

1. 駆動対象を保持する回転式の可動ユニットと、
   前記可動ユニットを回転可能とするために複数の駆動磁石、及び前記複数の駆動磁石と一対一に対向する複数の磁気ヨークを有する駆動部と、
   前記複数の駆動磁石のうち所定の軸を中心として前記可動ユニットを回転させる駆動磁石と、前記複数の磁気ヨークのうち当該駆動磁石に対向する磁気ヨークとの間の隙間を調整する調整機構とを備える
   ことを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記可動ユニットは、さらに、前記所定の軸としての第１軸とは異なる第２軸を中心として回転可能であり、
   前記調整機構は、さらに、前記複数の駆動磁石のうち前記第２軸を中心として前記可動ユニットを回転させる駆動磁石と、前記複数の磁気ヨークのうち前記第２軸を中心として前記可動ユニットを回転させる前記駆動磁石に対向する磁気ヨークとの間の隙間を調整する
   ことを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
3. 前記第１軸と前記第２軸とは直交している
   ことを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
4. 前記第１軸と前記第２軸とは、前記複数の駆動磁石の対向方向に応じてそれぞれ決定される軸である
   ことを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータ。
5. 前記可動ユニットは、さらに、前記可動ユニットが中立状態である場合には前記第１軸と前記第２軸との双方に対して直交する第３軸を中心として回転可能であり、
   前記調整機構は、さらに、前記複数の駆動磁石のうち前記第３軸を中心として前記可動ユニットを回転させる駆動磁石と、前記複数の磁気ヨークのうち前記第３軸を中心として前記可動ユニットを回転させる前記駆動磁石に対向する磁気ヨークとの間の隙間を調整する
   ことを特徴とする請求項２〜４のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
6. 前記調整機構は、
   前記複数の磁気ヨークのうち調整対象となる磁気ヨークを固定するための第１部材と第２部材との間に挟まれるスペーサである
   ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
7. 前記調整機構は、
   前記複数の磁気ヨークのうち調整対象となる磁気ヨークを固定するための第１部材と第２部材との間に設けられたアジャスタである
   ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のアクチュエータ。
8. 前記複数の磁気ヨークの各々は、前記第１部材に設けられており、
   前記調整機構は、
   前記調整対象となる磁気ヨークを設けた前記第１部材において対称となる２つの部位と第２部材とのそれぞれの間の前記隙間を調整しており、
   前記２つの部位のうち一方の部位における前記調整機構における調整量と、他方の部位における前記調整機構における前記調整量とは異なる
   ことを特徴とする請求項６又は７に記載のアクチュエータ。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載のアクチュエータと、
   前記駆動対象としてカメラモジュールとを備える
   ことを特徴とするカメラ装置。
10. 駆動対象としてカメラモジュールを保持し、回転式の可動ユニットと、前記可動ユニットを回転可能とするために複数の駆動磁石、及び前記複数の駆動磁石と一対一に対向する複数の磁気ヨークを有する駆動部とを備えるカメラ装置の製造方法であって、
    予め設定された設定軸に対する前記駆動対象の傾きを検出する検出処理と、
    前記検出処理が検出した前記駆動対象の傾きを調整する調整機構を設ける調整処理とを含む
    ことを特徴とする製造方法。
11. 前記調整処理は、前記駆動対象の向きが所定方向と一致するように、前記駆動対象の傾きを調整する
    ことを特徴とする請求項１０に記載の製造方法。
12. 前記可動ユニットは、第１軸及び第２軸のそれぞれを中心として回転可能であり、
    前記検出処理は、前記第１軸を中心とした第１回転方向における前記駆動対象の傾き、及び前記第２軸を中心とした第２回転方向における前記駆動対象の傾きを検出し、
    前記調整処理は、第１回転方向における前記駆動対象の傾き、及び第２回転方向における前記駆動対象の傾きのそれぞれを調整する
    ことを特徴とする請求項１０又は１１に記載の製造方法。

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