JP2019200995A5

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Info

Publication number: JP2019200995A5
Application number: JP2019108913A
Authority: JP
Filing date: 2019-06-11
Publication date: 2020-11-19

Claims

インクを送達して基板に印刷するシステムであって、
ガスエンクロージャと、
前記ガスエンクロージャ内に配置された基板サポートと、
前記ガスエンクロージャ内に配置されたプリントヘッドアセンブリであって、少なくとも１つのプリントヘッドを備え、前記少なくとも１つのプリントヘッドを前記基板サポートにより支持された基板に対して動かすように、プリントヘッド動作システムに搭載されたプリントヘッドアセンブリと、
前記ガスエンクロージャ内に配置され、前記プリントヘッド動作システムに対し、前記プリントヘッドアセンブリとは別にかつ前記プリントヘッドアセンブリの近くに搭載されたローカルインク送達システムであって、前記プリントヘッドアセンブリに対して動作接続され、
前記少なくとも１つのプリントヘッドと流体結合されたローカルインク分注リザーバと、
少なくとも予め定められたレベルのインクを前記ローカルインク分注リザーバに維持するように、前記ローカルインク分注リザーバと流体結合されたローカルインク補充リザーバと、を備えるローカルインク送達システムと、
前記ガスエンクロージャの外部に配置されたバルクインク送達システムであって、前記ローカルインク補充リザーバに対し、少なくとも予め定められたレベルのインクを前記ローカルインク補充リザーバに維持するように、外部導管の内部に設けられた流体ラインにより流体結合されたバルクインク送達システムと、
を備える、システム。
前記基板サポートは、基板動作システムを備える、
請求項１に記載のシステム。
前記基板動作システムは、Ｙ軸動作システムであり、
前記プリントヘッド動作システムは、Ｘ軸キャリッジアセンブリである、
請求項２に記載のシステム。
前記基板サポートは、浮動式テーブルを備える、
請求項３に記載のシステム。
前記ガスエンクロージャは、当該ガスエンクロージャの内部に、制御下にある処理環境を維持可能である、
請求項１に記載のシステム。
前記ガスエンクロージャは、当該ガスエンクロージャの内部に、不活性ガス環境を維持可能である、
請求項５に記載のシステム。
前記不活性ガスは、窒素、希ガスのうちのいずれかおよびそれらの組み合わせから選択されたものである、
請求項６に記載のシステム。
前記印刷システムは、前記ガスエンクロージャに対して動作結合されたガス精製システムをさらに備える、
請求項１に記載のシステム。
前記ガス精製システムは、前記ガスエンクロージャ内のガスにおける反応種を制限するように構成される、
請求項８に記載のシステム。
前記反応種は、水蒸気、酸素、有機溶剤蒸気およびオゾンから選択されたものである、
請求項９に記載のシステム。
前記少なくとも１つのプリントヘッドは、有機材料を含むインクを印刷して前記基板上に層を形成するように構成される、
請求項１に記載のシステム。
前記有機材料は、ＯＬＥＤスタックの層を形成する材料である、
請求項１１に記載のシステム。
前記有機材料は、ＯＬＥＤ装置のカプセル化層を形成する材料である、
請求項１１に記載のシステム。
前記基板動作システムおよび前記基板サポートは、いずれも基部に搭載された、
請求項３に記載のシステム。
前記ローカルインク分注リザーバおよび前記ローカルインク補充リザーバのそれぞれは、傾斜した底面を有する容器を備える、
請求項１に記載のシステム。