JP2019198938A5 - - Google Patents

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研磨ヘッド１の基準高さは、研磨パッド３の研磨面３ａに対する研磨ヘッド１の全体の相対的な高さである。研磨ヘッド１の基準高さは、ウェーハに加えられる研磨荷重に影響する。したがって、ウェーハを研磨するときは、研磨ヘッド１の基準高さは常に同じである必要がある。しかしながら、ウェーハの研磨および研磨パッド３のドレッシングに伴って研磨パッド３は徐々に摩耗し、結果として研磨ヘッド１の基準高さが変化してしまう。そこで、研磨パッド３の摩耗にかかわらず研磨ヘッド１の基準高さが一定に保たれるように、研磨パッド３の減耗量に従って研磨ヘッド１の基準高さが調節される。
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