JP2019197846A5

JP2019197846A5 - 処理液吐出装置、処理液吐出方法、基板処理装置、および開閉弁調整方法

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Publication date: 2021-02-12
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Description

上記の課題を解決するために、第１の態様に係る処理液吐出装置は、透明な先端側部分を有するノズルから処理液を吐出する処理液吐出装置であって、前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁の閉鎖速度を判定する判定部と、前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、を備え、前記判定部は、前記撮像部が前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の両方の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。

第１４の態様に係る処理液吐出方法は、透明な先端側部分を有するノズルから処理液を吐出する処理液吐出方法であって、前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁の閉鎖速度を判定する判定工程と、前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを撮像する撮像工程と、を備え、前記判定工程は、前記撮像工程において前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とが撮像された原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の両方の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。

第１５の態様に係る処理液吐出方法は、第１４の態様に係る処理液吐出方法であって、前記判定工程は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量を算出する特徴量算出工程と、前記第１画像の前記特徴量と前記第２画像の前記特徴量に所定の判定規則を適用することによって前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定するルールベース判定工程と、を備える。

第１６の態様に係る処理液吐出方法は、第１５の態様に係る処理液吐出方法であって、前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている。

第１７の態様に係る処理液吐出方法は、第１５または第１６の態様に係る処理液吐出方法であって、前記判定規則は、前記ノズル先端部の流路が液密状態で無ければ前記開閉弁の閉鎖速度が速すぎると判定し、前記ノズル先端部の流路が液密状態であって、かつ、前記吐出経路に前記処理液が存在していれば、前記開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると判定する規則である。

第１８の態様に係る処理液吐出方法は、第１４の態様に係る処理液吐出方法であって、前記判定工程は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する分類器によって前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する工程であり、前記分類器は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像のサンプル画像を用いて予め機械学習によって生成されている。

第１９の態様に係る処理液吐出方法は、第１８の態様に係る処理液吐出方法であって、前記分類器は、前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定し、前記分類器は、前記第１画像と、前記第２画像とのそれぞれのサンプル画像を用いて、予め機械学習によって生成されている。

第２０の態様に係る処理液吐出方法は、第１９の態様に係る処理液吐出方法であって、前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている。

第２１の態様に係る処理液吐出方法は、第１４から第２０の何れか１つの態様に係る処理液吐出方法であって、前記撮像工程は、前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したとき以後に、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを時間的に順次に撮像する工程であり、前記処理液吐出方法は、前記撮像工程において前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した時系列画像に基づいて、前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の派生画像を生成する画像生成工程をさらに備え、前記判定工程は、前記画像生成工程において生成した前記派生画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する工程である。

第２２の態様に係る処理液吐出方法は、第１４から第２１の何れか１つの態様に係る処理液吐出方法であって、前記処理液吐出方法は処理液吐出装置を用いて行われ、前記処理液吐出装置は、処理液供給源と前記ノズルとを接続し、前記処理液供給源が供給する処理液を前記ノズルに導く配管と、前記開閉弁に開閉動作を行わせる駆動機構と、を備え、前記開閉弁は前記配管の経路途中に設けられ、当該処理液吐出方法は、前記判定工程において判定された前記開閉弁の閉鎖速度の区分に基づいて、当該閉鎖速度が適切な速度になるように前記駆動機構の動作を調整する閉鎖速度調整工程、をさらに備える。

第２３の態様に係る処理液吐出方法は、第２２の態様に係る処理液吐出方法であって、前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、前記駆動機構は、前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、前記気体供給配管に設けられ、前記気体供給配管内の前記気体の流路を開閉する電磁弁と、前記気体供給配管に設けられ、開度に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流量を制御するモーター駆動式のニードルバルブとを備え、前記閉鎖速度調整工程は、前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーター駆動式のニードルバルブの開度を調整する工程である。

第２４の態様に係る処理液吐出方法は、第２２の態様に係る処理液吐出方法であって、前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、前記駆動機構は、前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、前記気体供給配管に設けられ、電圧に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流路の開閉及び流量を制御する電空レギュレータと、を備え、前記閉鎖速度調整工程は、前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記電空レギュレータの開度を調整する工程である。

第２５の態様に係る処理液吐出方法は、第２２の態様に係る処理液吐出方法であって、前記開閉弁は、前記配管の経路途中に設けられた弁本体と、前記弁本体を開閉するモーターとを含み、当該モーターの回転数に応じた速度で開閉動作を行うモーター弁であり、前記駆動機構は、前記モーターを備え、前記閉鎖速度調整工程は、前記モーター弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーターの動作を調整する工程である。

第２６の態様に係る処理液吐出方法は、第２３の態様に係る処理液吐出方法であって、前記エア弁の開閉を検出する開閉検出工程と、前記エア弁を閉状態とする動作を前記電磁弁が行ってから、前記エア弁が実際に閉じるまでの遅れ時間を前記開閉検出工程において検出された前記エア弁の開度に基づいて測定し、前記エア弁が所定のタイミングで閉じるように、当該測定の結果に基づいて前記電磁弁が前記エア弁を閉状態とする動作を行うタイミングを調整するタイミング調整工程と、をさらに備える。

第２７の態様に係る基板処理装置は、透明な先端側部分を有し、基板に処理液を吐出するノズルと、前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁と、前記開閉弁に開閉動作を行わせる駆動機構と、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、前記駆動機構を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記撮像部が撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量に応じて前記開閉弁の閉鎖速度を調整するよう前記駆動機構の動作を制御する。
第２８の態様に係る開閉弁調整方法は、透明な先端側部分を有し、基板に処理液を吐出するノズルと、前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁と、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、前記撮像部が撮像した原画像から所定の特徴量を算出する特徴量算出部と、を備えた基板処理装置に対する開閉弁調整方法であって、前記特徴量算出部は、前記撮像部が撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量を算出し、前記開閉弁は、前記特徴量に応じて閉鎖速度が調整される。

第１４の態様に係る発明によれば、処理液吐出方法の判定工程は、ノズルの先端部の流路と処理液の吐出経路とが撮像された原画像のうち、ノズルの先端部の流路および処理液の吐出経路の画像に基づいて、開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する。当該流路は、開閉弁の閉鎖速度が速すぎると処理液が殆ど存在しなくなり、当該吐出経路は、開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると、処理液の液滴が存在する。従って、判定工程において、開閉弁の閉鎖速度と、検出される処理液の存在態様との関係が異なる２つの領域に対応する画像に基づいて開閉弁の閉鎖速度が属する区分を判定し得る。従って、開閉弁の閉鎖速度の区分の判定精度を改善できる。

１００基板処理装置
２００処理部
３００閉鎖速度判定装置
１基板処理ユニット（処理液吐出装置）
２５１ノズル
１２判定部
７２開閉弁
６５カメラ（撮像部）
Ｇ０画像（原画像）

Claims

透明な先端側部分を有するノズルから処理液を吐出する処理液吐出装置であって、
前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁の閉鎖速度を判定する判定部と、
前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、
を備え、
前記判定部は、
前記撮像部が前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の両方の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する、処理液吐出装置。
請求項１に記載の処理液吐出装置であって、
前記判定部は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量を算出する特徴量算出部と、
前記第１画像の前記特徴量と前記第２画像の前記特徴量に所定の判定規則を適用することによって前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定するルールベース判定部と、
を備える、処理液吐出装置。
請求項２に記載の処理液吐出装置であって、
前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている、処理液吐出装置。
請求項２または請求項３に記載の処理液吐出装置であって、
前記判定規則は、
前記ノズルの先端部の流路が液密状態で無ければ前記開閉弁の閉鎖速度が速すぎると判定し、前記ノズルの先端部の流路が液密状態であって、かつ、前記吐出経路に前記処理液が存在していれば、前記開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると判定する規則である、処理液吐出装置。
請求項１に記載の処理液吐出装置であって、
前記判定部は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する分類器を備えるとともに、前記分類器によって前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定し、
前記分類器は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像のサンプル画像を用いて予め機械学習によって生成されている、処理液吐出装置。
請求項５に記載の処理液吐出装置であって、
前記分類器は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定し、
前記分類器は、
前記第１画像と、前記第２画像とのそれぞれのサンプル画像を用いて、予め機械学習によって生成されている、処理液吐出装置。
請求項６に記載の処理液吐出装置であって、
前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている、処理液吐出装置。
請求項１から請求項７の何れか１つの請求項に記載の処理液吐出装置であって、
前記撮像部は、
前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したとき以後に、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを時間的に順次に撮像し、
前記処理液吐出装置は、
前記撮像部が前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した時系列画像に基づいて、前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の派生画像を生成する画像生成部をさらに備え、
前記判定部は、前記画像生成部が生成した前記派生画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する、処理液吐出装置。
請求項１から請求項８の何れか１つの請求項に記載の処理液吐出装置であって、
処理液供給源と前記ノズルとを接続し、前記処理液供給源が供給する処理液を前記ノズルに導く配管と、
前記開閉弁に開閉動作を行わせる駆動機構と、
をさらに備え、
前記開閉弁は前記配管の経路途中に設けられ、
当該処理液吐出装置は、
前記判定部が判定した前記開閉弁の閉鎖速度の区分に基づいて、当該閉鎖速度が適切な速度になるように前記駆動機構の動作を調整する閉鎖速度調整部、
をさらに備える、処理液吐出装置。
請求項９に記載の処理液吐出装置であって、
前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、
前記駆動機構は、
前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、
前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、
前記気体供給配管に設けられ、前記気体供給配管内の前記気体の流路を開閉する電磁弁と、
前記気体供給配管に設けられ、開度に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流量を制御するモーター駆動式のニードルバルブとを備え、
前記閉鎖速度調整部は、
前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーター駆動式のニードルバルブの開度を調整する、処理液吐出装置。
請求項９に記載の処理液吐出装置であって、
前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、
前記駆動機構は、
前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、
前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、
前記気体供給配管に設けられ、電圧に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流路の開閉及び流量を制御する電空レギュレータと、
を備え、
前記閉鎖速度調整部は、
前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記電空レギュレータの開度を調整する、処理液吐出装置。
請求項９に記載の処理液吐出装置であって、
前記開閉弁は、前記配管の経路途中に設けられた弁本体と、前記弁本体を開閉するモーターとを含み、当該モーターの回転数に応じた速度で開閉動作を行うモーター弁であり、
前記駆動機構は、前記モーターを備え、
前記閉鎖速度調整部は、
前記モーター弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーターの動作を調整する、処理液吐出装置。
請求項１０に記載の処理液吐出装置であって、
前記エア弁の開閉を検出する開閉センサーと、
前記エア弁を閉状態とする動作を前記電磁弁が行ってから、前記エア弁が実際に閉じるまでの遅れ時間を前記開閉センサーの出力に基づいて測定し、前記エア弁が所定のタイミングで閉じるように、当該測定の結果に基づいて前記電磁弁が前記エア弁を閉状態とする動作を行うタイミングを調整するタイミング調整部と、
をさらに備える、処理液吐出装置。
透明な先端側部分を有するノズルから処理液を吐出する処理液吐出方法であって、
前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁の閉鎖速度を判定する判定工程と、
前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したときに、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを撮像する撮像工程と、
を備え、
前記判定工程は、
前記撮像工程において前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とが撮像された原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の両方の画像に基づいて所定の判定処理を行うことにより、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する、処理液吐出方法。
請求項１４に記載の処理液吐出方法であって、
前記判定工程は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量を算出する特徴量算出工程と、
前記第１画像の前記特徴量と前記第２画像の前記特徴量に所定の判定規則を適用することによって前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定するルールベース判定工程と、
を備える、処理液吐出方法。
請求項１５に記載の処理液吐出方法であって、
前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている、処理液吐出方法。
請求項１５または請求項１６に記載の処理液吐出方法であって、
前記判定規則は、
前記ノズル先端部の流路が液密状態で無ければ前記開閉弁の閉鎖速度が速すぎると判定し、前記ノズル先端部の流路が液密状態であって、かつ、前記吐出経路に前記処理液が存在していれば、前記開閉弁の閉鎖速度が遅すぎると判定する規則である、処理液吐出方法。
請求項１４に記載の処理液吐出方法であって、
前記判定工程は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像に基づいて、前記開閉弁の閉鎖速度が適切であるか、適切な速度よりも遅いか速いかという前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する分類器によって前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する工程であり、
前記分類器は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の画像のサンプル画像を用いて予め機械学習によって生成されている、処理液吐出方法。
請求項１８に記載の処理液吐出方法であって、
前記分類器は、
前記原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の前記区分を判定し、
前記分類器は、
前記第１画像と、前記第２画像とのそれぞれのサンプル画像を用いて、予め機械学習によって生成されている、処理液吐出方法。
請求項１９に記載の処理液吐出方法であって、
前記処理液の吐出方向の下流側における前記第１画像領域の端部は、前記ノズルの先端から前記処理液の吐出方向の上流側に離れている、処理液吐出方法。
請求項１４から請求項２０の何れか１つの請求項に記載の処理液吐出方法であって、
前記撮像工程は、
前記開閉弁が前記処理液供給流路を閉鎖して前記ノズルからの処理液の吐出が停止したとき以後に、前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを時間的に順次に撮像する工程であり、
前記処理液吐出方法は、
前記撮像工程において前記ノズルの先端部の流路と前記吐出経路とを撮像した時系列画像に基づいて、前記ノズルの先端部の流路および前記吐出経路の派生画像を生成する画像生成工程をさらに備え、
前記判定工程は、前記画像生成工程において生成した前記派生画像に基づいて前記開閉弁の閉鎖速度の区分を判定する工程である、処理液吐出方法。
請求項１４から請求項２１の何れか１つの請求項に記載の処理液吐出方法であって、
前記処理液吐出方法は処理液吐出装置を用いて行われ、前記処理液吐出装置は、
処理液供給源と前記ノズルとを接続し、前記処理液供給源が供給する処理液を前記ノズルに導く配管と、
前記開閉弁に開閉動作を行わせる駆動機構と、
を備え、
前記開閉弁は前記配管の経路途中に設けられ、
当該処理液吐出方法は、
前記判定工程において判定された前記開閉弁の閉鎖速度の区分に基づいて、当該閉鎖速度が適切な速度になるように前記駆動機構の動作を調整する閉鎖速度調整工程、
をさらに備える、処理液吐出方法。
請求項２２に記載の処理液吐出方法であって、
前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、
前記駆動機構は、
前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、
前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、
前記気体供給配管に設けられ、前記気体供給配管内の前記気体の流路を開閉する電磁弁と、
前記気体供給配管に設けられ、開度に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流量を制御するモーター駆動式のニードルバルブとを備え、
前記閉鎖速度調整工程は、
前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーター駆動式のニードルバルブの開度を調整する工程である、処理液吐出方法。
請求項２２に記載の処理液吐出方法であって、
前記開閉弁は、所定の気体を供給されて、当該気体の供給流量に応じた閉鎖速度で閉鎖動作を行うエア弁であり、
前記駆動機構は、
前記エア弁に前記気体を供給する気体供給源と、
前記気体供給源と前記エア弁とを接続する気体供給配管と、
前記気体供給配管に設けられ、電圧に応じて前記気体供給配管内を流れる前記気体の流路の開閉及び流量を制御する電空レギュレータと、
を備え、
前記閉鎖速度調整工程は、
前記エア弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記電空レギュレータの開度を調整する工程である、処理液吐出方法。
請求項２２に記載の処理液吐出方法であって、
前記開閉弁は、前記配管の経路途中に設けられた弁本体と、前記弁本体を開閉するモーターとを含み、当該モーターの回転数に応じた速度で開閉動作を行うモーター弁であり、
前記駆動機構は、前記モーターを備え、
前記閉鎖速度調整工程は、
前記モーター弁の閉鎖速度が適切な速度になるように前記モーターの動作を調整する工程である、処理液吐出方法。
請求項２３に記載の処理液吐出方法であって、
前記エア弁の開閉を検出する開閉検出工程と、
前記エア弁を閉状態とする動作を前記電磁弁が行ってから、前記エア弁が実際に閉じるまでの遅れ時間を前記開閉検出工程において検出された前記エア弁の開度に基づいて測定し、前記エア弁が所定のタイミングで閉じるように、当該測定の結果に基づいて前記電磁弁が前記エア弁を閉状態とする動作を行うタイミングを調整するタイミング調整工程と、
をさらに備える、処理液吐出方法。
透明な先端側部分を有し、基板に処理液を吐出するノズルと、
前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁と、
前記開閉弁に開閉動作を行わせる駆動機構と、
前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、
前記駆動機構を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記撮像部が撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量に応じて前記開閉弁の閉鎖速度を調整するよう前記駆動機構の動作を制御する、基板処理装置。
透明な先端側部分を有し、基板に処理液を吐出するノズルと、
前記ノズルに処理液を供給する処理液供給流路を開閉する開閉弁と、
前記ノズルの先端部の流路と、当該ノズルの先端から処理液の吐出方向に沿って前方に延在する前記処理液の吐出経路とを前記吐出方向とは異なる方向から撮像する撮像部と、
前記撮像部が撮像した原画像から所定の特徴量を算出する特徴量算出部と、を備えた基板処理装置に対する開閉弁調整方法であって、
前記特徴量算出部は、前記撮像部が撮像した原画像のうち前記ノズルの先端部の流路に対応する第１画像領域の第１画像と、前記吐出経路に対応する第２画像領域の第２画像とのそれぞれの画像について、前記第１画像と前記第２画像とのそれぞれにおける前記処理液の像の面積に応じた所定の特徴量を算出し、
前記開閉弁は、前記特徴量に応じて閉鎖速度が調整される、開閉弁調整方法。