JP2019195024A - Efem及びefemへの乾燥空気の導入方法 - Google Patents
Efem及びefemへの乾燥空気の導入方法 Download PDFInfo
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Abstract
Description
乾燥空気を導入する乾燥空気導入口を備える第1室と、
前記第1室の下方に接続しており、外部への開放ドアを備える第2室と、
前記第1室と前記第2室との間で循環気流を形成する気流形成部と、
前記第2室から前記第2室の気体を排出する気体排出部と、を有しており、
前記第1室及び前記第2室には、前記循環気流の形成時に下降気流が生じる下降気流部と、前記循環気流の形成時に上昇気流が生じる上昇気流部と、があり、
前記下降気流部にはフィルタが設けられており、
前記気体排出部は前記上昇気流部に設けられており、前記上昇気流部における前記気体排出部より上方には、前記フィルタよりも通気抵抗が高い通気抵抗部が、設けられている。
乾燥空気導入口から第1室に乾燥空気を導入する導入ステップと、
前記第1室および前記第1室の下方に接続する第2室において、下降気流が形成される下降気流部に設けられるフィルタにおける前記乾燥空気の通気量が、上昇気流が生じる上昇気流部に設けられる通気抵抗部における前記乾燥空気の通気量より多い状態である非循環状態として、前記上昇気流部における前記通気抵抗部の下方で前記第2室に接続する気体排出部から、前記第2室の気体を排出する排出ステップと、を有する。
図1は、本発明の一実施形態に係るEFEM50の概略図であり、EFEM50(イーフェム、Equipment Front End Module)は、半導体工場において、ウエハを搬送するウエハ搬送容器であるフープ(不図示)と、ウエハに対して処理を行う処理室(不図示)との間で、ウエハを受け渡すために用いられる装置である。
52…ガス導入口
53…乾燥空気導入口
54、254…第1室
54a…第1進行領域
54b…第1戻り領域
58…第1連通部
60…気流形成部
61…送風ファン
62…フィルタ
70、270…第2連通部
74…通気状態変更部
75…バルブ
64、264…第2室
64a…第2進行領域
64b…第2戻り領域
65…湿度計
66…酸素濃度計
67…下部連通部
68…気体排出部
69…中間壁
80…開放ドア
82…人
90、92…矢印
177…熱源
Claims (7)
- 乾燥空気を導入する乾燥空気導入口を備える第1室と、
前記第1室の下方に接続しており、外部への開放ドアを備える第2室と、
前記第1室と前記第2室との間で循環気流を形成する気流形成部と、
前記第2室から前記第2室の気体を排出する気体排出部と、を有しており、
前記第1室及び前記第2室には、前記循環気流の形成時に下降気流が生じる下降気流部と、前記循環気流の形成時に上昇気流が生じる上昇気流部と、があり、
前記下降気流部にはフィルタが設けられており、
前記気体排出部は前記上昇気流部に設けられており、前記上昇気流部における前記気体排出部より上方には、前記フィルタよりも通気抵抗が高い通気抵抗部が、設けられていることを特徴とするEFEM。 - 前記通気抵抗部は、前記フィルタよりも通気抵抗の高い第2フィルタを有することを特徴とする請求項1に記載のEFEM。
- 前記上昇気流部に配置されており、前記上昇気流部における上昇気流の強さを変化させることにより前記通気抵抗部の通気状態を変更可能である第2気流形成部を有することを特徴とする請求項2に記載のEFEM。
- 前記通気抵抗部は、前記通気抵抗部を介して前記第2室から前記第1室へ気体が移動可能な状態と、前記通気抵抗部を介して前記第2室から前記第1室へ気体が移動できない状態とで、前記通気抵抗部の通気状態を切り換え可能なバルブを有することを特徴とする請求項1に記載のEFEM。
- 乾燥空気導入口から第1室に乾燥空気を導入する導入ステップと、
前記第1室および前記第1室の下方に接続する第2室において、下降気流が形成される下降気流部に設けられるフィルタにおける前記乾燥空気の通気量が、上昇気流が生じる上昇気流部に設けられる通気抵抗部における前記乾燥空気の通気量より多い状態である非循環状態として、前記上昇気流部における前記通気抵抗部の下方で前記第2室に接続する気体排出部から、前記第2室の気体を排出する排出ステップと、
を有するEFEMへの乾燥空気の導入方法。 - 前記第1室と前記第2室との間で循環気流を形成する気流形成部の駆動を停止する停止ステップを、さらに有する請求項5に記載のEFEMへの乾燥空気の導入方法。
- 前記排出ステップでは、前記上昇気流部に配置されており上昇気流の強さを変化させる第2気流形成部の駆動を停止して、前記通気抵抗部の通気量を抑制し、前記非循環状態を形成する請求項5又は請求項6に記載のEFEMへの乾燥空気の導入方法。
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Citations (5)
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