JP2019188322A - 安全キャビネットとファンフィルタユニットの防振機構 - Google Patents
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Abstract
Description
安全キャビネットとしては特許文献1、2のような技術が知られている。
実施例1は、作業対象物である顕微鏡50を、安全キャビネットの作業ステージ105から、浮かす実施例である。実施例1では、エアーを使って浮かす構成について説明する。
エアーは、高圧が必要のため、顕微鏡50を使用する時に、高圧タンクから清浄空気を導入し噴出させてもよい。
動作停止時は、電流は徐々に減衰させる。急激に浮上力を消失し、顕微鏡50に衝撃が加わるのを回避するためである。
図14は、安全キャビネット100の外部にある支持アーム200に、振動発生源であるFFUを、ワイヤー30で吊り下げた実施例である。図14では、筐体101と離間した支持アーム200を設け、支持アーム200から、ワイヤー30などを介して吊り下げている。
Claims (12)
- 作業を行う作業ステージと、
作業者が作業をする作業空間と、
前記作業空間の前面に配置した前面板と、
前記作業空間と接続する作業開口と、
前記作業開口から空気を吸い込み、前記作業空間の空気を、空気清浄手段を介して安全キャビネット外へ排気する排気手段と、
防振機構とを有することを特徴とする安全キャビネット。 - 請求項1に記載の安全キャビネットにおいて、
前記防振機構は、前記作業空間に配置する作業対象物を、前記作業ステージから浮かせる機構であることを特徴とする安全キャビネット。 - 請求項2に記載の安全キャビネットにおいて、
前記防振機構は、エアー噴出口から、前記作業空間に配置する作業対象物に向かって噴出し、前記作業対象物を、前記作業ステージから浮かせる機構であることを特徴とする安全キャビネット。 - 請求項2に記載の安全キャビネットにおいて、
前記防振機構は、前記作業対象物を支持する台と前記作業ステージとに配置した磁石であり、
磁力により前記作業対象物を、前記作業ステージから浮かせる機構であることを特徴とする安全キャビネット。 - 請求項1に記載の安全キャビネットにおいて、
前記作業ステージは、分離されており、作業対象物が積載された前記作業ステージと、他の前記作業ステージとの間には、接続部材が配置され、前記作業ステージの間を接続したことを特徴とする安全キャビネット。 - 請求項1に記載の安全キャビネットにおいて、
前記防振機構は、振動発生源を、防振する機構であることを特徴とする安全キャビネット。 - 請求項6に記載の安全キャビネットにおいて、
前記作業空間に、清浄な空気を送風する吹き出し手段を有し、
前記防振機構は、前記振動発生源である前記吹き出し手段を、筐体から吊り下げる機構であることを特徴とする安全キャビネット。 - 請求項6に記載の安全キャビネットにおいて、
前記防振機構は、前記振動発生源である前記排気手段を、筐体から吊り下げる機構であることを特徴とする安全キャビネット。 - 請求項6に記載の安全キャビネットにおいて、
外部に、支持手段を有し、
前記防振機構は、前記振動発生源を、前記支持手段から吊り下げる機構であることを特徴とする安全キャビネット。 - 請求項9に記載の安全キャビネットにおいて、
外部に、前記安全キャビネットを支持する第2の支持手段を有し、
前記支持手段は、前記第2の支持手段に固定されていることを特徴とする安全キャビネット。 - 請求項6に記載の安全キャビネットにおいて、
前記防振機構は、前記振動発生源を、前記安全キャビネットを収容する設備の天井から吊り下げる機構であることを特徴とする安全キャビネット。 - 空気を外部装置に送風する回転部と筐体とを有したファンフィルタユニットにおける防振機構であって、前記回転部からの振動を、前記筐体から前記外部装置に、伝達することを抑制する機構を有することを特徴とするファンフィルタユニットの防振機構。
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