JP2019186691A - 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Abstract
Description
図2は、比較例1に係る圧電薄膜共振器の断面拡大図である。図2は、上部電極が共振領域から引き出される領域付近の断面図である。図2に示すように、空隙30の端部と下部電極12との端部が略一致しており、下部電極12の端は空隙30と圧電膜14との間に位置する。圧電膜14の圧縮応力が大きい場合、下部電極12の端部56に応力が集中する。このため、圧電膜14にクラックが生じる、および/または圧電膜14が剥がれてしまう。
そこで、付加膜26を設けていない構造Bの圧電薄膜共振器を作製した。圧電膜14の応力を変え、圧電膜14のクラックおよび/または剥がれ等の破壊の有無を調査した。構造Bの作製条件は以下である。
下部電極12の下層12a:膜厚が98nmのCr膜
下部電極12の上層12b:膜厚が192nmのCr膜
圧電膜14:膜厚が1250nmのAlN膜
挿入膜28:膜厚が150nmの酸化シリコン膜
挿入膜28は、圧電膜14の厚さ方向の中心に設けた。
上部電極16の下層16a:膜厚が232nmのRu膜
上部電極16の上層16b:膜厚が35nmのCr層
周波数調整膜24:膜厚が50nmの酸化シリコン膜
共振領域50の形状:長軸が211μm、短軸が151μmの楕円形状
付加膜26としてAlN膜を設けた構造Aと付加膜26を設けない構造Bについて、下部電極12の端部56(図2参照)に加わる応力を2次元の有限要素法を用い算出した。シミュレーション条件は、実験の条件と同じとした。図3の実験結果より、構造Bでは、圧電膜14の残留応力が−150Mpaのときが圧電膜14の破損の有無の臨界値となる。そこで、下部電極12の端部56に加わる応力は、構造Bにおける残留応力が−150MPaのときの端部56に加わる応力で規格化した。規格化した応力を応力比とし100分率で表した。応力比が100%以上の構造では圧電膜14に破壊が生じ、100%未満では圧電膜14に破壊が生じないと考えられる。
図6(a)は、実施例1の変形例1に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図6(a)に示すように、付加膜26は圧電膜14と上部電極16との間に設けられている。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図6(b)は、実施例1の変形例2に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図6(b)に示すように、下部電極12の引き出し領域において、上部圧電膜14bの端面は共振領域50の輪郭に略一致する。下部圧電膜14aの端面は共振領域50の輪郭より外側に位置する。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図7(a)は、実施例1の変形例3に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図7(a)に示すように、基板10の上面に窪みが形成されている。下部電極12は、基板10上に平坦に形成されている。これにより、空隙30が、基板10の窪みに形成されている。空隙30は共振領域50を含むように形成されている。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。空隙30は、基板10を貫通するように形成されていてもよい。なお、下部電極12の下面に絶縁膜が接して形成されていてもよい。すなわち、空隙30は、基板10と下部電極12に接する絶縁膜との間に形成されていてもよい。絶縁膜としては、例えば窒化アルミニウム膜を用いることができる。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図7(b)は、実施例1の変形例4に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図7(b)に示すように、共振領域50の下部電極12下に音響反射膜31が形成されている。音響反射膜31は、音響インピーダンスの低い膜30aと音響インピーダンスの高い膜30bとが交互に設けられている。膜30aおよび30bの膜厚は例えばそれぞれほぼλ/4(λは弾性波の波長)である。膜30aと膜30bの積層数は任意に設定できる。音響反射膜31は、音響特性の異なる少なくとも2種類の層が間隔をあけて積層されていればよい。また、基板10が音響反射膜31の音響特性の異なる少なくとも2種類の層のうちの1層であってもよい。例えば、音響反射膜31は、基板10中に音響インピーダンスの異なる膜が一層設けられている構成でもよい。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。
12 下部電極
14 圧電膜
14a 下部圧電膜
14b 上部圧電膜
16 上部電極
24 周波数調整膜
26 付加膜
28 挿入膜
30 空隙
31 音響反射膜
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
50 共振領域
Claims (13)
- 基板と、
前記基板上に設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられ、窒化アルミニウムを主成分とし、窒素、アルミニウムおよびアルゴン以外から選択される元素が添加された圧電膜と、
前記圧電膜を挟み前記下部電極と対向する領域である共振領域が形成されるように設けられた上部電極と、
前記共振領域における前記圧電膜上に設けられ、アルゴン濃度が前記圧電膜のアルゴン濃度より低く、窒化アルミニウムを主成分とする付加膜と、
前記基板と前記下部電極との間に設けられ、前記圧電膜内に励振された弾性波を反射する音響反射層と、
を備える圧電薄膜共振器。 - 前記付加膜は、前記窒素、アルミニウムおよびアルゴン以外から選択される元素が実質的に添加されていない請求項1に記載の圧電薄膜共振器。
- 前記窒素、アルミニウムおよびアルゴン以外から選択される元素は、スカンジウムもしくはボロン、または、2族元素もしくは12族元素と4族元素もしくは5族元素とである請求項1または2に記載の圧電薄膜共振器。
- 基板と、
前記基板上に設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられ、残留応力が圧縮応力である圧電膜と、
前記圧電膜を挟み前記下部電極と対向する領域である共振領域が形成されるように設けられた上部電極と、
前記共振領域における前記圧電膜上に設けられ、残留応力が引張応力である付加膜と、
前記基板と前記下部電極との間に設けられ、前記圧電膜内に励振された弾性波を反射する音響反射層と、
を備える圧電薄膜共振器。 - 前記付加膜は前記上部電極上に設けられている請求項1から4のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器。
- 前記付加膜は、前記圧電膜と前記上部電極との間に設けられている請求項1から4のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器。
- 前記上部電極上に設けられた前記付加膜の材料と異なる材料からなる絶縁膜を更に備え、
前記付加膜は、前記上部電極と前記絶縁膜との間に設けられている請求項1から4のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器。 - 前記付加膜は、前記共振領域内のうち少なくとも中央領域における前記圧電膜上に設けられている請求項1から7のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器。
- 前記付加膜のヤング率は、前記下部電極および前記上部電極内の少なくとも1つの層のヤング率より大きい請求項1から8のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器。
- 前記付加膜の膜厚は、前記圧電膜の膜厚の8%以上である請求項1から9のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器。
- 前記音響反射層は空隙であり、
前記上部電極が前記共振領域から引き出される領域における前記下部電極の端は、前記空隙と前記圧電膜との間に位置する請求項1から10のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器。 - 請求項1から11いずれか一項に記載の圧電薄膜共振器を含むフィルタ。
- 請求項12に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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