本発明は、少なくともウェハ搬送容器からウェハをローディングおよび/またはアンローディングするように構成されるローディングおよび/またはアンローディングステーションのローディングおよび/またはアンローディング位置にウェハ搬送容器を位置決めするための位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置から展開する。
位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置は、ウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとの間の連結プロセスにおいて、ウェハ搬送容器を非接触式に位置決めするように構成される位置決め機構を含むことが提案される。結果として、ウェハ搬送容器からのウェハのためのローディングおよび/またはアンローディングステーションにおいて、ウェハ搬送容器を位置決めすることに関して有利な特性を達成することが可能である。特に、固定されたボディ間、特にウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとの間の、特に粒子の生成をもたらす外部摩擦を特に回避できることにより、連結プロセス中の粒子の生成を本位置決め機構によって低減および/または回避することが有利に可能である。粒子の回避は、クリーンルーム条件下で特に有利である。特に、ウェハ製造工場内でのウェハ製造および/またはウェハ処理は、クリーンルーム条件下で典型的に行われる。なぜなら、ウェハの最小粒子さえも損傷を引き起こし得るからである。加えて、粒子は、真空シールの平常の機能を損なう可能性があり、また例えば真空シール要素間に沈降することにより、真空シールの気密性の低減を特にもたらす可能性がある。粒子の生成を回避することによる真空シールの周囲領域内の粒子数の対応する低減は、したがって、特に真空シールが頻繁に開閉される場所でも真空シールの高い気密レベルを有利に可能にし得る。さらに、非接触式の位置決めの結果として表面の接触を回避することにより、材料の摩耗を低減することが可能であり、その結果、長い動作寿命を達成することが有利に可能であり、特に高いレベルの位置決め精度が動作寿命にわたり持続される。接触式位置決め機構の接触式案内要素は、例えば、経時的に摩滅する可能性があり、その結果、位置決め中に遊隙が増大し得る。そのような影響は、非接触式の位置決めによって有利に回避することができる。加えて、特に例えば静的な摩擦の結果としておよび/または接触表面の少なくとも1つ内の不規則性の結果として、加速がぎこちないものになる可能性があり、これにより、ウェハ搬送容器内に支持されたウェハが滑り得る接触式の位置決めとは対照的に、特に均一でかつ/またはぎこちなさのない位置決めが非接触式位置決め機構によって有利な方式で可能になり得る。結果的に、滑りによって引き起こされるウェハの損傷を有利に回避することが可能になる。
「位置決め装置」、特に「ウェハ搬送容器位置決め装置」は、特に、ウェハ搬送容器が、ローディングおよび/もしくはアンローディング位置に接近しつつあるとき、かつ/またはローディングおよび/もしくはアンローディング位置に置かれつつあるときに提供された空間的位置合わせを取るような方式において、特に連結プロセスでウェハ搬送容器の特に少なくとも2次元、好ましくは3次元の移動に影響を及ぼし、好ましくはそれを操縦および/または制御することを目的として構成される。位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置は、特に、ローディングおよび/もしくはアンローディング位置に関する理想的な位置合わせからの、かつ/またはローディングおよび/もしくはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器の理想的な位置からのウェハ搬送容器の位置合わせのずれができるだけ小さくなるように、ウェハ搬送容器がローディングおよび/またはアンローディング位置に接近するときにウェハ搬送容器の少なくとも1つの予備位置決めを実行することを目的として構成され得る。「ずれができるだけ小さい」という表現は、特に、ウェハ搬送容器が2°以下、好ましくは1°以下、有利には0.6°以下、好ましい方式では0.3°以下、および特に好ましくは0.1°以下だけ理想のローディングおよび/またはアンローディング位置に対して回転され、および/またはウェハ搬送容器が3mm以下、好ましくは2mm以下、有利には1mm以下、特に好ましくは0.6mm以下、好ましい方式では0.3mm以下、および特に好ましい方式では0.1mm以下だけ理想のローディングおよび/またはアンローディング位置に対して任意の方向にオフセットされるものとして理解されるべきである。「位置決め」とは、特に、理想的なローディングおよび/またはアンローディング位置に対する回転的および/または並進的な位置決めとして理解されるべきである。理想的な位置合わせおよび/または理想的な位置決めの場合、連結するように構成されるウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとの接触領域は、完全に重なる。位置決めは、好ましくは、特に粗い位置決め後に実行される予備位置決めとして理解され、粗い位置決めは、例えば、ウェハ製造工場のウェハ搬送容器位置決めシステムによる送達によって達成される。加えて、位置決め、特に予備位置決めは、最終位置決め前に実行される。最終位置決めは、例えば、位置決めおよび/または案内ピンによって達成可能であり、位置決めおよび/または案内ピンは、好ましくは、ローディングおよび/またはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとの間の確実なロック式の閉鎖をもたらすように構成される。ウェハ搬送容器は、特に最終位置決め後、理想的なローディングおよび/またはアンローディング位置に配置される。「構成される」という用語は、特に、特別にプログラムされ、設計され、かつ/または装備されるものとして理解されるべきである。特別な機能に対して構成される物体は、特に、少なくとも1つの適用および/または動作状態において前記特別な機能を満たしかつ/または実行する物体として理解されるべきである。
「ウェハ搬送容器」は、特に閉鎖可能な内側を有する搬送容器として理解されるべきであり、内側は、ウェハを受け入れるように構成される。ウェハ搬送容器は、特に、少なくとも200mm、好ましくは少なくとも300mm、および好ましい方式では少なくとも450mmの直径を有するウェハを少なくとも搬送するように構成される。ウェハ搬送容器は、特に、少なくとも1つのウェハ、好ましくは少なくとも3つのウェハ、有利には少なくとも5つのウェハ、特に有利には少なくとも10個のウェハ、好ましい方式では少なくとも25個のウェハ、および特に好ましい方式では100個以下のウェハを少なくとも搬送するように構成される。これの代わりにまたはこれに加えて、ウェハ搬送容器は、ウェハと異なって実現された少なくとも1つの物体、例えば露光マスクを受け入れるように構成される。ウェハ搬送容器は、特に持ち運び可能であるように実現される。ウェハ搬送容器は、特に真空気密式に閉鎖可能であるように実現される。ウェハ搬送容器は、特に、その内部に真空雰囲気を提供および/または維持することを目的として構成される真空ウェハ搬送容器として好ましくは実現される。ウェハ搬送容器は、特に真空雰囲気中でウェハを保管するように構成される。「真空雰囲気」は、特に、その圧力が300hPa未満、好ましくは1hPa未満、好ましい方式では10−3hPa未満、および特に好ましい方式では10−6hPa未満である雰囲気として理解されるべきである。ウェハ搬送容器は、特に真空雰囲気中で高いレベルの気密性を含み、特に、ウェハ搬送容器の漏れ率は、10−4mbar*l/s未満、好ましくは10−5mbar*l/s未満、有利には10−6mbar*l/s未満、特に有利には10−7mbar*l/s未満、好ましい方式では10−8mbar*l/s未満、および特に好ましい方式では10−9mbar*l/s未満である。これの代わりに、ウェハ搬送容器は、標準大気中および/または特別にコンパイルされた雰囲気、例えば窒素雰囲気中でウェハを保管および/または維持するように構成可能である。ウェハ搬送容器は、特に、好ましくは外部磁場によって反発および/または引き付けられる特に反磁性、常磁性または強磁性の材料から少なくとも部分的に実現される外殻部を含む。
「ローディングおよび/またはアンローディング位置」は、少なくとも1つのウェハをウェハ搬送容器からローディングおよび/もしくはアンローディングステーションにリローディングするように構成されるか、または少なくとも1つのウェハをローディングおよび/もしくはアンローディングステーションからウェハ搬送容器にリローディングするように構成されるローディングおよび/またはアンローディングステーションに対するウェハ搬送容器の位置として理解されるべきである。ローディングおよび/またはアンローディング位置において、ウェハ搬送容器、特にウェハ搬送容器の内側は、ローディングおよび/またはアンローディングステーション、特にローディングおよび/またはアンローディングステーションの内側に好ましくは真空気密式に接続可能である。特に、ローディングおよび/またはアンローディング位置において、ウェハ搬送容器開封要素は、ウェハ搬送容器のベース本体から解放可能であり、特に少なくとも部分的にローディングおよび/またはアンローディングステーションの内側の中に降下可能である。特に、ローディングおよび/またはアンローディング位置にあるウェハ搬送容器は、例えば、真空クランプ装置による真空クランプによってローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面に確実に固定可能である。特に、ウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとは、特に、ウェハ搬送容器がローディングおよび/またはアンローディング位置においてローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面に固定された連結状態において、共通の小さい環境を実現することを目的として構成される。「小さい環境」は、特に周囲大気から隔絶された雰囲気、例えば真空を備えた包囲空間として理解されるべきである。「連結プロセス」は、この関連において、特にウェハ搬送容器をローディングおよび/もしくはアンローディングステーションに近づけかつ/またはウェハ搬送容器をローディングおよび/もしくはアンローディングステーションから取り除き、それに続いてウェハ搬送容器をローディングおよび/またはアンローディング位置においてローディングおよび/またはアンローディングステーションに固定するプロセスとして理解されるべきである。「ウェハ」は、特に電子部品の基板として理解されるべきである。ローディングおよび/またはアンローディングステーションは、特に、ウェハの少なくとも1つの処理および/または製造ステップを実行するように特に構成されるウェハ処理モジュールに対し、ウェハをウェハ搬送容器から前進させることを目的として、かつ/または処理済みウェハをウェハ処理モジュールから、例えばさらなるウェハ処理モジュールへのさらなる搬送のためにウェハ搬送容器に導くようにさらに構成される。
「位置決め機構」は、特に、ウェハ搬送容器の場所および/または位置を調整する役割を果たす力および/または加速を生成、制御および/または調節することを目的として構成される。ウェハ搬送容器を「非接触式に位置決めする」位置決め機構は、特に、少なくとも部分的に非接触式に実行される、ウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとの間に作用する位置決め機構の位置決め力の力の伝達として理解されるべきであり、特にウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとに相互接触点がない。特に、非接触式の位置決めは、ロープおよび/もしくはケーブルから、またはロープおよび/もしくはケーブルによって生成される力および/または加速から独立し、ウェハ製造工場内のウェハ搬送容器の物流向けに特に構成されるウェハ搬送容器搬送システムの位置決めから独立し、かつ/あるいはウェハ搬送容器ならびに/またはローディングおよび/もしくはアンローディングステーションの案内要素および/または確実ロック要素、例えば案内ピンなどから独立している。非接触式の位置決めは、例えば、磁力、静電力および/または流動流体、特にガスの衝撃力によって実行することができる。
位置決め機構による位置決めは、特に、連結方向に対して少なくとも実質的に垂直方向に位置する平面内で実行される。「連結方向」は、特に、主移動方向として理解され、この方向に沿って連結プロセス中にウェハ搬送容器が移動する。連結方向は、特に、ウェハ搬送容器開封要素の主拡張平面に対して少なくとも実質的に垂直に延びる。連結方向は、好ましくは、重力の方向に対して少なくとも実質的に平行に実現される。構造ユニットの「主拡張平面」は、特に、構造ユニットをかろうじて完全に取り囲む最小の仮想立方体の最大の側表面に対して平行な平面であって、特に立方体の中心点を通って広がる平面として理解されるべきである。「実質的に平行」は、特に、特に1つの平面内における基準方向に対する方向の整列としてここでは理解されるべきであり、この方向は、基準方向に対して特に8°未満、有利には5°未満、および特に有利には2°未満のずれを含む。「実質的に垂直」という表現は、特に基準方向に対する方向の整列をここで定義し、方向および基準方向は、特に1つの平面内で見るときに90°の角度を囲み、その角度は、特に、8°未満、有利には5°未満、および特に有利には2°未満の最大のずれを含む。これの代わりにまたはこれに加えて、位置決め機構による位置決めは、連結方向に平行に延びる方向において実行可能である。
位置決め機構は、ローディングおよび/またはアンローディング位置にウェハ搬送容器を近接して位置決めするように構成されることがさらに提案される。ローディングおよび/またはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器の正確な位置決め、特に予備位置決めが結果として有利に可能になり得る。さらに、既に設定された位置決め、特に予備位置決めは、ウェハ搬送容器をローディングおよび/またはアンローディングステーションに近接して位置決めする結果として、ローディングおよび/またはアンローディング位置への後続のさらなる接近の場合に再調整されることを有利に防止され得る。結果的に、位置決めの高いレベルの効果を有利に達成可能である。位置決め前に、特に近接領域の外側で迅速な粗い位置決めが実行される。「近接位置決め」は、特にローディングおよび/またはアンローディングステーションのローディングおよび/またはアンローディング位置に近接するウェハ搬送容器の位置決めを意味する。位置決め機構は、特にローディングおよび/またはアンローディングステーションに近接して配置される。位置決め機構は、特に、好ましくはローディングおよび/もしくはアンローディングステーションに近接して作用し、かつ/またはローディングおよび/もしくはアンローディングステーションに近接してその最大効果を発展させる力を生成することを目的として構成される。物体への「近接」は、特に空間における地点の領域として理解されるべきであり、空間における各地点は、物体、特にローディングおよび/またはアンローディング位置において接触式にウェハ搬送容器と接触することを目的として好ましくは構成されるローディングおよび/またはアンローディングステーションの接触表面から1m以下、好ましくは20cm以下、有利には10cm以下、特に有利には5cm以下、好ましい方式では2cm以下、および特に好ましい方式では0.5cm以下だけ移動される。ウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとは、特に直近の領域において相互の接触がない。直近の領域は、特に、ウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとが相互に互いに接触する接触領域と異なって実現される。
さらに、位置決め機構は、特に、連結方向に対して垂直な平面における理想的なローディングおよび/またはアンローディング位置からのずれが3mm以下、好ましくは2.5mm以下、有利には2mm以下、好ましい方式では1.5mm以下、および特に好ましい方式では1mm以下であるようにウェハ搬送容器を位置決めするように構成されることが提案される。結果として、ローディングおよび/またはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器の特に正確な位置決めを達成することが有利に可能である。特に、結果として、位置決め機構による予備位置決めの、位置決めピンを含む最終位置決め機構との非常に正確な一致を達成することが可能であり、その結果、特に最終位置決め機構によって生成される摩擦の結果としての粒子の生成を低く抑えることが有利に可能である。クリーンルーム適合性および/または位置決め機構の真空適合性に関する特に有利な特性を結果としてもたらすことができる。位置決め機構は、特に力を生成することを目的として構成され、その力の効果および/またはその力の勾配は、特に位置決め装置の制御および/または調節ユニットによってミリメートル範囲内で調整可能である。「制御および/または調節ユニット」は、特に、少なくとも位置決め機構、特に位置決め機構の少なくとも1つの位置決め要素を制御および/または調節することを目的として好ましくは構成される電子ユニットとして理解されるべきである。制御ユニットは、好ましくは、コンピューティングユニットと、特にコンピューティングユニットに加えて、コンピューティングユニットによって実行されるように構成される制御および/または調節プログラムをその中に格納する記憶ユニットとを含む。「理想的なローディングおよび/またはアンローディング位置」は、特に、ウェハ搬送容器、特にウェハ搬送容器開封要素の接触領域と、ローディングおよび/またはアンローディングステーションの開封要素の接触領域とが、特にウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとの間の接続の最大気密性が達成されるような方式で理想的に重なるウェハ搬送容器の位置として理解される。特に、ウェハ搬送容器開封要素の接触領域により、かつローディングおよび/またはアンローディングステーションの開封要素の接触領域により実現される特に連結方向において見た場合の全重なり領域は、理想的な重なりが存在する場所で最小化される。「理想的な最終位置からのずれ」は、特に、位置決め機構に追従する最終位置決め機構によって設定される最終位置決めからの、位置決め機構によって設定された位置決めの特に空間的および/または回転的なずれとして理解されるべきである。
さらに、位置決め装置は、特に少なくともローディングおよび/またはアンローディング位置に対して平行な平面内において、位置決め機構によってウェハ搬送容器の位置決めを制御および/または調節するように構成される制御および/または調節ユニットを含むことが提案される。位置決め装置によって達成可能な位置決めの高いレベルの精度が結果として有利に可能になり得る。加えて、位置決めを初期位置決めまたは粗い位置決めに対して柔軟に適合させることが有利に可能である。加えて、位置決めを、異なる、特に異なって形成されたウェハ搬送容器に対して柔軟に適合させることが有利に可能である。特に、制御および/または調節ユニットは、少なくとも位置決め機構の磁場を制御するように構成される。特に、制御および/または調節ユニットは、少なくとも位置決め機構の静電場を制御することを目的として構成される。特に、制御および/または調節ユニットは、少なくとも位置決め機構の流動流体の流れ場を制御することを目的として構成される。特に、制御および/または調節ユニットは、磁場、静電場および/または流れ場の強度、位置合わせ、場所および/または位置を制御および/または調節することを少なくとも目的として提供される。
位置決め機構は、少なくとも1つの特に非接触式に伝達可能な位置決め用力場を生成することを目的として構成される少なくとも1つの位置決め要素を含むことがさらに提案される。結果として、ウェハ搬送容器からのウェハのためのローディングおよび/またはアンローディングステーションにおいて、ウェハ搬送容器を位置決めすることに関して有利な特性を達成することが可能である。特に、中実ボディ間、特にウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとの間の、特に粒子の生成をもたらす外部摩擦を特に回避できることにより、連結プロセス中の粒子の生成を低減および/または回避することが位置決め機構によって有利に可能である。位置決め要素は、特に、磁場、電場、特に静電場および/または流れ場を生成することを目的として構成される。位置決め要素は、特に、少なくとも1つの磁気コイル、少なくとも1つの電気的にチャージ可能な、好ましくは電気的に絶縁可能なコンダクタ表面および/または少なくとも1つの流体用ノズルを含む。位置決め要素は、特に、ローディングおよび/もしくはアンローディングステーション、特にローディングおよび/もしくはアンローディングステーションの開封要素ならびに/またはウェハ搬送容器と少なくとも部分的に一体化されて実現される。位置決め用力場は、特に、磁場、電場、静電場および/または流体、特に気体の流れ場として実現される。1つの個別の位置決め要素および/または複数の位置決め要素の複数の同様のタイプおよび/または異なるタイプの位置決め用力場が重なることが考えられる。特に位置決め要素の少なくとも1つの位置決め用力場を制御可能および/または調節可能な方式で実現することが考えられる。位置決め要素の少なくとも1つの位置決め用力場を静的な方式で実現することがさらに考えられる。「一体的に」は、特に、例えば溶接プロセス、接着プロセス、射出プロセスおよび/または当業者が合理的であると考える別のプロセスの結果として少なくとも実体同士の結合において接続されたと理解されるべきであり、かつ/あるいは例えば鋳造からの製造の結果としておよび/または単一部品もしくは多部品射出成形法を用いた有利には単一ブランクからの製造の結果としてなど、有利に一部品で形成されたと理解されるべきである。
位置決め機構は、少なくとも1つのさらなる位置決め用力場、好ましくは少なくとも2つのさらなる、好ましい方式では少なくとも3つのさらなる、および特に好ましい方式では4つ以上のさらなる特に非接触式に伝達可能な位置決め用力場を生成することを目的として構成される少なくとも1つのさらなる位置決め要素、好ましくは少なくとも2つのさらなる、好ましい方式では少なくとも3つのさらなる、および特に好ましい方式では4つ以上のさらなる位置決め要素を含むことがさらに提案される。結果として、特に正確な位置決めが有利に可能である。特に、結果として、位置決めの制御および/または調節の特に高いレベルの精度を達成することが可能である。結果として、特に制御精度の向上のために、異なるおよび/または同様のタイプの力場を重ねることが有利に可能である。特に、さらなる位置決め要素は、位置決め要素に対応する位置決め要素として実現可能である。例えば、ローディングおよび/またはアンローディングステーションに配置される位置決め要素は、永久磁石として実現されかつウェハ搬送容器に配置された対応する位置決め要素の静的な磁場と相互作用することを目的として構成される磁気コイルによって制御可能および/または調節可能な磁場を発生させることが考えられる。
位置決め機構、特に位置決め要素が、特にウェハ搬送容器に対して反発するように作用する少なくとも1つの反発力を位置決めのために生成することを目的として構成される場合、位置決め機構および位置決め要素によって位置決めされる物体および/またはさらなる物体間の、例えば引き付け力を誘導しすぎることによる意図しない粒子生成接触の危険性は、有利に回避され、その結果、位置決め機構によって生成される粒子の数を低く抑えることが有利に可能である。「反発力」は、特に、反発力を発生する位置決め要素から離れる方を指向して整列された方向にウェハ搬送容器を変位および/または押すことを目的として構成される力として理解されるべきである。
少なくとも1つの位置決め要素は、磁場として実現される少なくとも1つの位置決め用力場を生成することを少なくとも目的として構成されることがさらに提案される。結果として、効果的な非接触式の力の伝達を達成することが可能であり、その結果、特に粒子の生成を低減および/または回避可能である。さらに、特に1つの磁場および/または磁場の組み合わせが簡単にかつ/または正確に制御可能および/または調節可能であり、磁場の組み合わせは、特に小さい空間において特に変えることができる。
少なくとも1つの特に対応する位置決め要素が少なくとも部分的に永久磁石として実現される場合、位置決め用力場を無電流式に生成することが有利に可能である。永久磁石として実現された位置決め要素は、制御可能な位置決め要素によって生成されかつ永久磁石として実現された位置決め要素の位置決め用力場と重なる位置決め用力場の変化に対する反応を有利に強化し、その結果、位置決め動作を作動するために必要な出力は、有利に小さく維持することができる。永久磁石として実現される位置決め要素は、特にウェハ搬送容器上に配置される。
少なくとも1つの位置決め要素がウェハ搬送容器と少なくとも部分的に一体的に実現される場合、簡単な設計の位置決め機構が有利に可能にされる。特に、ウェハ搬送容器と一体的に実現された位置決め要素は、永久磁石ならびに/または反磁性、常磁性および/もしくは強磁性要素として実現される。位置決め要素は、特に反磁性、常磁性および/または強磁性材料から少なくとも部分的に実現される。特に、ウェハ搬送容器と一体的に実現される位置決め要素は、ウェハ搬送容器開封要素および/またはウェハ搬送容器のベース本体と一体的に実現される。ウェハ搬送容器は、好ましくは、複数の位置決め要素を含み、好ましくは、その少なくとも一部は、ウェハ搬送容器と少なくとも部分的に一体的に実現される。ウェハ搬送容器の外殻部は、特に対応する位置決め要素を実現することがさらに考えられる。
少なくとも1つの位置決め要素は、ローディングおよび/またはアンローディングステーションに捕捉された方式で接続されることがさらに提案される。結果として、ローディングおよび/またはアンローディングステーション、特にローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面に対する位置決めが有利に可能にされる。「捕捉された方式で接続される」という用語は、特に、位置決め要素とローディングおよび/またはアンローディングステーションとが、いかなる提供された動作状態でも一緒に接続されるものとして理解されるべきである。有利な方式では、位置決め要素とローディングおよび/またはアンローディングステーションとは、工具によってのみ、破壊の結果としてのみ、および/または機能の損失によってのみ互いに分離可能である。位置決め要素は、ローディングおよび/またはアンローディングステーションの非可動式構成要素に捕捉された方式で好ましくは接続される。これの代わりに、位置決め要素は、ローディングおよび/またはアンローディングステーションの移動可能に支持される構成要素、例えばローディングおよび/またはアンローディングステーションの開封要素に捕捉された方式で接続することもできる。
位置決め要素がローディングおよび/またはアンローディングステーションに対して移動可能であるように支持される場合、位置決め用力場の特に幅広い多様性が有利に可能にされ得、その結果として特にウェハ搬送容器の特に正確な位置決めが可能にされ得る。位置決め要素は、特に、例えば連結プロセスおよび/または切離しプロセス中、ローディングおよび/もしくはアンローディング位置の方向またはローディングおよび/もしくはアンローディングユニットの開封要素の表面の方向におけるウェハ搬送容器の鉛直移動に追従することを少なくとも部分的に目的として構成されることが考えられる。「移動可能であるように支持される」という語句は、特に、少なくとも並進式に支持され、少なくとも回動可能に支持され、かつ/または少なくとも回転式に支持されることを意味する。位置決め要素は、少なくともローディングおよび/もしくはアンローディングステーションの表面ならびに/またはローディングおよび/もしくはアンローディングステーションの開封要素に対して移動可能であるように好ましくは支持される。特に、位置決め要素は、少なくとも1つ、好ましくは少なくとも2つの軸、好ましくはローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面に対して垂直または水平に整列された少なくとも1つの軸の周囲で回動可能であるように取り付けられる。特に、位置決め要素は、少なくとも1つ、好ましくは少なくとも2つ、好ましい方式では少なくとも3つ、および特に好ましい方式では少なくとも4つの空間的方向に並進式に移動可能であるように支持され、空間的方向は、ローディングおよび/もしくはアンローディングステーションの表面に平行に延びる少なくとも1つ、好ましい方式では少なくとも2つの方向、ローディングおよび/もしくはアンローディングステーションの表面に対して垂直に延びる少なくとも1つの方向、ならびに/またはローディングおよび/もしくはアンローディングステーションの表面から垂直方向に離れる方を指向する仮想シリンダのシリンダマントルに沿って円周方向に延びる少なくとも1つの方向を含む。
少なくとも1つ、特に1つのさらなる位置決め要素は、電場、特に静電場として実現される少なくとも1つの位置決め用力場を生成することを目的として構成されることがさらに提案される。結果として、効果的な非接触式の力の伝達を達成することが有利に可能であり、その結果として特に粒子の生成を低減および/または回避することが可能である。
少なくとも1つの特に追加的なさらなる位置決め要素は、流動ガスの流れ場として実現される少なくとも1つの位置決め用力場を生成することを目的として構成されることがさらに提案される。結果として、効果的な非接触式の力の伝達を達成することが有利に可能であり、その結果として特に粒子の生成を低減および/または回避することが可能である。
位置決め機構は、少なくとも部分的に方向付けられるガス流を生成するための少なくとも1つのノズルを含み、ガス流、特にノズルによって生成される流れ場の平均全体ガス流は、位置決め装置の連結方向に少なくとも実質的に平行に整列されることがさらに提案される。結果として、ウェハ搬送容器を連結方向に案内することが有利に可能である。ノズルは、特にローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面に配置される。ノズルは、特にローディングおよび/またはアンローディングステーションの開封要素の周囲に円周方向に配置される。ノズルは、ローディングおよび/またはアンローディングステーションの開封要素の周囲にエアカーテンを生成することを目的として好ましくは提供される。ローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面に対して垂直なガス流のそのような整列の結果として、粒子をローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面から離した状態に有利に維持することができる。ノズルは、特に吸引機能のために構成される。これの代わりに、ノズルは、吹出し機能のために構成することもできる。
位置決め要素の少なくとも1つの特にさらなるガス流、特に流れ場の平均全体ガス流が位置決め装置の連結方向に対して少なくとも実質的に垂直に整列される場合、ウェハ搬送容器の非接触式の位置決めは、ローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面に対して平行な平面内で有利に可能にされ得る。特に、位置決め要素は、特に、流動ガス、特に流動空気のための出口開口および/または入口開口を提供することを目的として構成される少なくとも1つのノズルを含む。ノズルは、特に移動可能であるように実現される。特に、ノズルから現れるガス流の方向は、制御および/または調節ユニットによって調整可能である。位置決め要素のノズルは、特に吹出し機能のために構成される。吹出し機能の場合、ガス流は、ウェハ搬送容器を、特に位置決め要素、特にノズルから離れる方を指向する方向に押す。これの代わりに、ノズルは、吸引機能のためにも提供され得る。吸引機能の場合、ガス流は、ウェハ搬送容器を、特に位置決め要素、特にノズルの方を指向する方向に引く。
位置決め装置は、連結プロセス中、ウェハ搬送容器の特に3次元の位置点検、特にリアルタイム位置点検および/または好ましくは制御される実際の位置の位置調節のための点検ユニットを含むことがさらに提案される。結果として、特に位置決めプロセスを能動的に制御および/または調節することにより、高いレベルの位置決めの精度を達成することが有利に可能である。さらに、特にウェハ搬送容器を開封する前に、実行されたウェハ搬送容器の位置決めの点検を可能にすることにより、結果として動作信頼性を高めることが同じく有利に可能である。特に、点検ユニットは、ウェハ搬送容器の現在の位置を検出することを目的として構成され、および適用可能な場合、特に位置決め要素の位置決め用力場を変えることにより、かつ/または位置決め要素の空間的位置および/もしくは空間的向きを変えることにより、位置修正のために少なくとも1つの位置決め要素を作動させることを目的として構成される。「3次元の位置点検」は、特に、ローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面に平行な平面内のウェハ搬送容器の空間的位置の少なくとも1つの位置点検および/またはウェハ搬送容器の回転位置の位置点検として理解されるべきである。「リアルタイム位置点検」は、特に、点検ユニットによって検出されたウェハ搬送容器の空間的および/または回転的実際位置が制御および/または調節ユニットによって直接的に読み出され、それから特に空間的および/または回転的に要求されるウェハ搬送容器の位置が制御および/または調節ユニットによって決定され、およびそれから特にウェハ搬送容器の実際の位置の位置修正のための少なくとも1つの制御および/または調節コマンドが制御および/または調節ユニットによって少なくとも1つの位置決め要素に出力される、少なくとも1つの位置点検として理解されるべきである。「位置調節」は、特に、点検ユニットによって認識されるウェハ搬送容器の実際の位置が、少なくとも1つの位置決め用力場を制御および/または調節することによってウェハ搬送容器の所定の要求される位置に近づくように移動されるプロセスとして理解されるべきである。特に、ウェハ搬送容器がローディングおよび/またはアンローディングステーションと連結されている状態において、ウェハ搬送容器の要求される位置は、理想的なローディングおよび/もしくはアンローディング位置、ならびに/またはウェハ搬送容器とローディングおよび/もしくはアンローディングステーションとが特に連結方向に沿って理想的な方式で重なる位置を実現する。
点検ユニットは、少なくとも1つのセンサユニットを含み、センサユニットは、位置決め機構、特に位置決め要素と少なくとも部分的に一体的に実現されることがさらに提案される。結果として、特に1つの個別の構成要素に複数のタスクを割り当てることができることにより、複雑さを低減することが可能である。「少なくとも部分的に一体的に」実現される2つのユニットは、特に、2つのユニットの構成要素部分、特に機能的に重要な構成要素部分である少なくとも1つ、特に少なくとも2つ、有利には少なくとも3つの共通の要素を含むユニットとして理解されるべきである。センサユニットは、特に少なくとも1つのセンサ要素を含む。センサ要素は、特に、位置決め装置、ウェハ搬送容器ならびに/またはローディングおよび/もしくはアンローディングステーションのパラメータを感知することを少なくとも目的として構成される。位置決め装置のパラメータは、特に、ウェハ搬送容器の回転位置および/もしくは移動、ウェハ搬送容器の空間位置および/もしくは移動、ならびに/またはウェハ搬送容器とセンサ要素との間の距離および/もしくは距離修正を含み得る。センサ要素は、ローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面に対するウェハ搬送容器の空間位置および/または移動を感知することを少なくとも目的として好ましくは構成される。特に、センサ要素は、磁場として実現される位置決め用力場を生成することを目的として好ましくは構成される少なくとも1つの磁気コイルとして実現される。特に、センサ要素は、好ましくは、位置決め用力場の生成と同時に、特に磁気コイルの伝導経路において、特に位置決め用力場を重ねることにより、磁場によって誘導される向流の測定によって位置決め装置のパラメータを感知することを目的として構成される。これの代わりにまたはこれに加えて、センサユニットは、位置決め機構、特に位置決め要素と個別に実現される少なくとも1つのセンサ要素を含むことができる。特に、センサユニットは、光学センサとして実現される少なくとも1つのセンサ要素、例えばカメラおよび/または光バリヤを含むことができる。
位置決め装置が最終位置決め機構を含み、位置決め機構が最終位置決め機構と少なくとも部分的に個別に実現される場合、ウェハ搬送容器からのウェハのためのローディングおよび/またはアンローディングステーションにおいて、ウェハ搬送容器を位置決めすることに関して有利な特性を達成することが可能である。特に、特に中実ボディ間、特にウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとの間の、特に粒子の生成をもたらす外部摩擦を位置決め、特に予備位置決め中に位置決め機構によって回避できることにより、好ましくは最終位置決め機構に制限できることにより、位置決め機構による連結プロセス中の粒子の生成を低減することが有利に可能である。特に最終位置決めに達するまでの正確な位置決めの結果として、最終位置決め中の摩擦は、有利な方式で最小限に抑えることができる。最終位置決め機構は、特に、案内ユニットの案内レール中で案内ユニットの案内要素を案内することにより、理想的なローディングおよび/またはアンローディング位置におけるウェハ搬送容器の最終的な位置決めを決定することを特に目的として構成される案内ユニットを含む。案内ユニットは、複数の案内要素および案内レールを好ましくは含む。特に、案内ユニットおよび/または案内レールは、ウェハ搬送容器開封要素の表面、特にウェハ搬送容器の外側に配置され、ローディングおよび/またはアンローディングステーションの表面、特にローディングおよび/もしくはアンローディングステーションならびに/またはローディングおよび/もしくはアンローディングステーションの開封要素の外側に配置される。さらに、位置決め装置は、位置決め機構および/または最終位置決め機構から少なくとも部分的に分離されて実現された粗い位置決め機構を含む。特に、粗い位置決め機構は、ロープおよび/またはケーブルによってウェハ搬送容器を特に保持し、ローディングおよび/またはアンローディングステーションに対して粗く位置決めするウェハ製造工場のウェハ搬送容器搬送システムによる位置決めを含む。
さらに提案されるのは、ウェハ搬送容器からウェハをローディングおよび/またはアンローディングするためのローディングおよび/またはアンローディングシステムであって、ウェハ搬送容器を有し、ローディングおよび/またはアンローディングステーションを有し、かつ位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置を有するローディングおよび/またはアンローディングシステムである。本発明によるローディングおよび/またはアンローディングシステムの結果として、ウェハ搬送容器からのウェハのためのローディングおよび/またはアンローディングステーションにおいて、ウェハ搬送容器を位置決めすることに関して有利な特性を達成することが可能である。特に、ウェハ搬送容器がローディングおよび/またはアンローディングステーションに位置決めされるときに粒子の生成を有利に低減することができる。
同じく提案されるのは、位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置ならびに/またはローディングおよび/もしくはアンローディングシステムを動作させる方法であり、ウェハ搬送容器とローディングおよび/またはアンローディングステーションとの間の連結プロセスの場合、ウェハ搬送容器は、ローディングおよび/またはアンローディングステーションに対して非接触式に位置決めされる。結果として、位置決め中の粒子の生成を低く抑えることが可能である。
ウェハ搬送容器は、外側の粗い位置決めに続いて、特に位置決め装置によって位置決めされることがさらに提案される。結果として、位置決めの高い有効性を有利に達成可能である。
本発明による位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置、本発明によるローディングおよび/もしくはアンローディングシステムならびに/または本発明による方法は、この関連において、上述の用途および実施形態に限定されない。特に、本発明による位置決め装置、特にウェハ搬送容器位置決め装置、本発明によるローディングおよび/もしくはアンローディングシステムならびに/または本発明による方法は、本明細書に記載の機能を満たすために、本明細書に記載された数から逸脱する数の個別の要素、構成要素、ユニットおよび方法ステップを含むことができる。
さらなる利点は、以下の図面の記載から生じる。本発明の4つの例示的な実施形態が図面に示されている。図面、記載および特許請求の範囲は、多数の特徴を組み合わせて含む。当業者は、各特徴を都合よく個別に見て、合理的なさらなる組合せを形成するためにそれらを組み合わせるであろう。