JP2019184239A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】燃焼ガスの熱によるダイアフラムの歪の発生を抑制すること。【解決手段】 筒状の筐体と、筐体内に配置され、先端面から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、貫通孔が形成される遮熱板であり、先端面よりも先端側に配置され、筐体に接続される遮熱板と、ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、を備える圧力センサであって、遮熱板の貫通孔を形成する内周面には、凹凸が形成されている圧力センサ【選択図】図1
Description
本開示は、内燃機関の燃焼室内の圧力を測定する圧力センサに関する。
圧力センサとして、筒状の筐体と、筐体内に配置され、先端面から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、貫通孔が形成され、前記先端面の一部を覆うように前記筐体に接続される遮熱板と、前記ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、
を備えているものが知られている。
を備えているものが知られている。
圧力センサでは、燃料の燃焼で生じた熱がダイアフラムに伝導することによって、筒内圧力に依存しないダイアフラムの撓みが生じ得る。そのような撓みが生じた場合、熱に依存する出力信号と筒内圧力に依存する出力信号とを区別することが困難であるため、筒内圧力を精確に検知できない虞がある。上述した圧力センサでは、ダイアフラムの先端側に遮熱板が配置されており、遮熱板によって、燃焼ガスがダイアフラムに到達する前に、燃焼ガスの熱が奪われるため、燃焼ガスの熱によるダイアフラムの歪の発生が抑制される。
しかしながら、上記圧力センサでは遮熱板に燃焼ガスの熱を移動させるための十分な工夫がなされておらず、改善の余地があった。
本開示は、遮熱板の形状を改善することにより、燃焼ガスの熱によるダイアフラムの歪の発生を抑制できる技術を開示する。
本開示は、例えば、以下の適用例を開示する。
[適用例1]
筒状の筐体と、
筐体内に配置され、先端面から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
貫通孔が形成される遮熱板であり、先端面よりも先端側に配置され、筐体に接続される遮熱板と、
ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、
を備える圧力センサであって、
遮熱板の貫通孔を形成する内周面には、凹凸が形成されている
圧力センサ
筒状の筐体と、
筐体内に配置され、先端面から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
貫通孔が形成される遮熱板であり、先端面よりも先端側に配置され、筐体に接続される遮熱板と、
ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、
を備える圧力センサであって、
遮熱板の貫通孔を形成する内周面には、凹凸が形成されている
圧力センサ
本構成によれば、遮熱板の貫通孔を形成する内周面に凹凸が形成されているため、凹凸が形成されていない場合と比較して内周面の表面積を大きくすることができる。その結果、燃焼ガスが貫通孔を通過する際に、燃焼ガスをより高い頻度で内周面と接触させることができる。よって、燃焼ガスの熱を遮熱板に効率よく移動させることができ、燃焼ガスの熱によるダイアフラムの歪の発生を抑制することができる。
〔適用例2〕
筒状の筐体と、
筐体内に配置され、先端面から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
貫通孔が形成される遮熱板であり、先端面よりも先端側に配置され、筐体に接続される遮熱板と、
ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、
を備える圧力センサであって、
遮熱板の貫通孔を形成する内周面は、先端側向き面を含み、
貫通孔は、自身の先端側向き面における最小内径が、自身の先端側の開口端における内径よりも小さい
圧力センサ
筒状の筐体と、
筐体内に配置され、先端面から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
貫通孔が形成される遮熱板であり、先端面よりも先端側に配置され、筐体に接続される遮熱板と、
ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、
を備える圧力センサであって、
遮熱板の貫通孔を形成する内周面は、先端側向き面を含み、
貫通孔は、自身の先端側向き面における最小内径が、自身の先端側の開口端における内径よりも小さい
圧力センサ
本構成によれば、先端側向き面が、貫通孔を形成する内周面に、先端側の開口端から流入した燃焼ガスの流れを遮るように形成される。その結果、燃焼ガスが貫通孔を通過する際に、燃焼ガスをより高い頻度で内周面と接触させることができる。よって、燃焼ガスの熱を遮熱板に効率よく移動させることができ、燃焼ガスの熱によるダイアフラムの歪の発生を抑制することができる。
〔適用例3〕
先端側向き面における貫通孔の内径は、先端側に向かうにつれて大きくなる
適用例2に記載の圧力センサ
先端側向き面における貫通孔の内径は、先端側に向かうにつれて大きくなる
適用例2に記載の圧力センサ
本構成によれば、先端側向き面によって遮られた燃焼ガスが、後端側に向けて整流されるため、遮熱板に熱を奪われた燃焼ガスをダイアフラムに到達しやすくできる。
〔適用例4〕
貫通孔は、複数形成されている
適用例1から3のいずれかに記載の圧力センサ
貫通孔は、複数形成されている
適用例1から3のいずれかに記載の圧力センサ
本構成によれば、遮熱板に複数の貫通孔が形成されているため、1つの貫通孔が形成されている場合と比較して、より多くの燃焼ガスの熱を遮熱板に効率よく移動させることができる。
〔適用例5〕
遮蔽板の後端面には、凹凸が形成されている
適用例1から4のいずれかに記載の圧力センサ。
遮蔽板の後端面には、凹凸が形成されている
適用例1から4のいずれかに記載の圧力センサ。
本構成によれば、さらに、遮熱板の後端面に凹凸が形成されているため、凹凸が形成されていない場合と比較して遮熱板の表面積を大きくすることができる。その結果、貫通孔を通過してダイアフラムと遮熱板との間の空間に導入された燃焼ガスを、遮熱板に高い頻度で接触させることができる。よって、遮熱板に燃焼ガスの熱をさらに効率よく移動させることができ、燃焼ガスの熱によるダイアフラムの歪の発生を抑制することができる。
A.第1実施形態:
図1は、第1実施形態としての圧力センサ10を示す説明図である。本実施形態の圧力センサ10は、内燃機関に取り付けられて、内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するために用いられる。図1に示すように、圧力センサ10は、主な構成要素として、筒状の第1金具20、第2金具80と、第3金具35と、ダイアフラム40と、遮熱板90と、素子部50と、ケーブル60と、を備えている。中心軸CLは、圧力センサ10の中心軸である。以下、中心軸CLを軸線CLとも呼び、軸線CLに平行な方向を、「軸線方向」とも呼ぶ。軸線CLを中心とする円の径方向を、単に「径方向」とも呼び、軸線CLを中心とする円の周方向を、単に「周方向」とも呼ぶ。また、軸線CLに沿って第1金具20からダイアフラム40へ向かう方向を、「先端方向Df」と呼び、先端方向Dfの反対方向を、「後端方向Dr」と呼ぶ。先端方向Df側を「先端側」と呼び、後端方向Dr側を「後端側」とも呼ぶ。
図1は、第1実施形態としての圧力センサ10を示す説明図である。本実施形態の圧力センサ10は、内燃機関に取り付けられて、内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するために用いられる。図1に示すように、圧力センサ10は、主な構成要素として、筒状の第1金具20、第2金具80と、第3金具35と、ダイアフラム40と、遮熱板90と、素子部50と、ケーブル60と、を備えている。中心軸CLは、圧力センサ10の中心軸である。以下、中心軸CLを軸線CLとも呼び、軸線CLに平行な方向を、「軸線方向」とも呼ぶ。軸線CLを中心とする円の径方向を、単に「径方向」とも呼び、軸線CLを中心とする円の周方向を、単に「周方向」とも呼ぶ。また、軸線CLに沿って第1金具20からダイアフラム40へ向かう方向を、「先端方向Df」と呼び、先端方向Dfの反対方向を、「後端方向Dr」と呼ぶ。先端方向Df側を「先端側」と呼び、後端方向Dr側を「後端側」とも呼ぶ。
図1には、圧力センサ10の先端側の部分の軸線CL1よりも左側の断面構成が示されている。この断面は、軸線CL1と、後述する遮熱板90の貫通孔91の中心軸CL2を含む平断面(平面で切断された断面)である。また、図1には、圧力センサ10の他の部分の外観構成が示されている。本実施形態では、圧力センサ10の中心軸CL1は、第1金具20と第2金具80と第3金具35と受圧部40と遮熱板90と素子部50とのそれぞれの中心軸でもある。
第1金具20と第2金具80と第3金具35とは、中心軸CL1に垂直な断面(以下、横断面とも呼ぶ)が円環状であって軸線方向に延びる筒形状を有している。本実施形態では、第1金具20と第2金具80と第3金具35とは、ステンレス鋼で形成されている。ただし、他の材料(例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料)を採用してもよい。本実施形態では、第1金具20、第2金具80及び第3金具35とで形成された筒状部材が、特許請求の範囲に記載された「筐体」に相当する。
第1金具20には、中心軸CL1を中心とする貫通孔である軸孔21が形成されている。また、第1金具20の後端側外周面には、ねじ部22および工具係合部24が設けられている。ねじ部22は、圧力センサ10を内燃機関のシリンダヘッドに固定するためのねじ溝を備えている。工具係合部24は、圧力センサ10の取り付けおよび取り外しに用いられる工具(図示しない)に係り合う外周形状(例えば、横断面が六角形)を有する。
第2金具80には、中心軸CL1を中心とする貫通孔である軸孔81が形成されている。第3金具35には、中心軸CL1を中心とする貫通孔である軸孔39が形成されている。第1金具20の軸孔21と、第2金具80の軸孔81と、第3金具35の軸孔39とは、第1金具20の軸孔21に連通する連続な貫通孔を形成している。第2金具80の軸孔81内には、先端側から後端側に向かって順に、素子部50と押さえねじ32とが、配置されている。第3金具35の軸孔39内には、ダイアフラム40が配置されている。
図2は、圧力センサ10の先端部、具体的には図1に領域Xとして示す部位を拡大して示す断面図である。この断面は、軸線CL1と、後述する遮熱板90の2つの貫通孔91の中心軸CL2とを含む平断面である。第3金具35は、第2金具80の先端側に配置されており、第2金具80に接合部89を介して接合されている。接合部89は、第2金具80と第3金具35とが溶接(例えば、レーザ溶接)の際に、溶融した部分である(以下、接合部89を「溶融部89」または「溶接痕89」とも呼ぶ)。
ダイアフラム40は、ロッド部44と、フランジ部42を備えている。
ロッド部44は、軸線CL1を中心とする円柱状の部分であり、後端方向Dr側に向かって延びている。
ロッド部44は、軸線CL1を中心とする円柱状の部分であり、後端方向Dr側に向かって延びている。
フランジ部42は、ロッド部44の周囲から径方向外側に延びる略円形の膜である。フランジ部42の外周側の縁42oは、全周に亘って、第3金具35の内周面36に接続部45を介して接続されており(例えば、レーザ溶接)、ダイアフラム40は、筒状の筐体(具体的には、軸孔39を有する第3金具35)の先端側の開口を塞いでいる。
フランジ部42とロッド部44とは、ステンレス鋼を用いて、一体的に形成されている(例えば、鍛造や削り出し)。ただし、フランジ部42とロッド部44とを別々に形成した後に、溶接などによりフランジ部42とロッド部44とを一体化してもよい。また、他の材料(例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料)を採用してもよい。
ダイアフラム40は、燃焼ガスに曝される先端面43を有する。ダイアフラム40のうちフランジ部42は、自身の先端側から受けた燃焼室の圧力に応じて撓む(変形する)。ロッド44は、フランジ部42の撓み(変形)に応じて、軸線CL方向におおよそ平行に変位する。これにより、ロッド44は、圧力Pcに応じた荷重を、ロッド44の後端部に接続された後述する素子部50に伝達する。
遮熱板90は、軸線CL1を中心とする円盤状の板状部材である。遮熱板90には、軸線CL2を中心とする貫通孔91が形成されている。なお、本実施例においては、2つの貫通孔91が形成されている。遮熱板90は、ダイアフラム40の先端面43の先端側に配置されており、貫通孔91が形成されていない部位でダイアフラム40の先端面43を覆っている。
貫通孔91を形成する内周面92には、凹凸93が形成されている。本実施例では、内周面92にネジ加工を施すことで、内周面92の全体に亘って、凹凸93が形成されている。
遮熱板90は、後端面94に溝を掘ることで、後端面の全体に亘って凹凸95が形成されている。
遮熱板90は、ダイアフラム40の先端側で、第3金具35に接続されている。つまり、遮熱板90は、ダイアフラム40の先端面43よりも先端側に配置され、筐体(具体的には第3金具35)に接続される。本実施例では、遮熱板90と第3金具35とは、ステンレス鋼を用いて、例えば、削りだしによって一体的に形成されている。
遮熱版90の先端部には、先端側から後端側に向かって拡径する拡径部34が形成されている。圧力センサ10が内燃機関に取り付けられる場合、拡径部34は、内燃機関のシリンダヘッドに密着する。
押さえねじ32(図1参照)は、第2金具80の軸孔の後端側に取り付けられている。押さえねじ32には、軸線CL1を中心とする貫通孔である軸孔が形成されている。押さえねじ32の外周面には、雄ねじが形成されている。第2金具80の軸孔の後端側の部分の内周面には、押さえねじ32の雄ねじに対応する雌ねじが形成されている。押さえねじ32は、第2金具80の後端側から、軸孔内にねじ込まれている。押さえねじ32とダイアフラム40のロッド部44との間には、素子部50が挟まれている。押さえねじ32は、素子部50に対して、予荷重を印加する。押さえねじ32を第2金具80にねじ込む場合の押さえねじ32の回転数を調整することによって、適切な予荷重を容易に実現できる。従って、圧力測定の精度を向上できる。なお、押さえねじ32は、ステンレス鋼で形成されている。ただし、他の材料(例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料)を採用してもよい。
素子部50は、2個の電極52と、2個の電極52に挟まれたセンサ素子(本実施例では、圧電素子)51と、先端側の電極52の先端側に配置された押さえ板54と、後端側の電極52から後端方向Drに向かって順番に並ぶリード部53、押さえ板54、絶縁板55と、を備えている。図2に示すように、押さえ板54、電極52、センサ素子51、電極52、リード部53、押さえ板54、絶縁板55は、先端側から後端側に向かってこの順番に、積層されている。絶縁板55の後端側の面は、押さえねじ32の先端側の面に支持されている。ロッド部44の後端部は、先端側の押さえ板54の先端側の面に接触している。センサ素子51は、先端側の電極52と押さえ板54とを介して、ロッド部44に接続されている。
センサ素子51は、ダイアフラム40(具体的には、フランジ部42)の撓みの量に応じて出力信号が変化する。なお、センサ素子51としては、圧電素子を用いているが、その他のセンサ素子(例えば、ひずみゲージ式)を用いてもよい。
センサ素子51は、ダイアフラム40(具体的には、フランジ部42)の撓みの量に応じて出力信号が変化する。なお、センサ素子51としては、圧電素子を用いているが、その他のセンサ素子(例えば、ひずみゲージ式)を用いてもよい。
第1実施形態の圧力センサ10によれば、遮熱板90の貫通孔91を形成する内周面92に凹凸93が形成されているため、凹凸93が形成されていない場合と比較して内周面92の表面積を大きくすることができる。その結果、燃焼ガスが貫通孔91を通過する際に、燃焼ガスをより高い頻度で内周面92と接触させることができる。よって、燃焼ガスの熱を遮熱板90に効率よく移動させることができ、燃焼ガスの熱によるダイアフラム40の歪の発生を抑制することができる。
また、第1実施形態の圧力センサ10によれば、遮熱板90に複数の貫通孔が形成されているため、1つの貫通孔が形成されている場合と比較して、より多くの燃焼ガスをダイアフラムまで到達させることができる。
さらに、第1実施形態の圧力センサ10によれば、さらに、遮熱板90の後端面94に凹凸95が形成されているため、凹凸95が形成されていない場合と比較して遮熱板90の表面積を大きくすることができる。その結果、貫通孔91を通過してダイアフラム40と遮熱板90との間の空間に導入された燃焼ガスを、遮熱板90に高い頻度で接触させることができる。よって、遮熱板90に燃焼ガスの熱をさらに効率よく移動させることができ、燃焼ガスの熱によるダイアフラム40の歪の発生を抑制することができる。
B.第2実施形態:
図2は、第2実施形態の圧力センサ10aの説明図である。図中には、図2と同様に、圧力センサ10aの先端側の部分の軸線CL1と、後述する遮熱板aの貫通孔91aの中心軸CL2とを含む平断面が示されている。図2の第1実施形態との差異は、貫通孔91aを形成する内周面92aが凹凸の形成されていない平面である点と、貫通孔91aを形成する内周面92aに先端側向き面96を含んでおり、貫通孔91aの先端側向き面96における最小内径が、先端側の開口端97における内径よりも小さい点だけである。圧力センサ10aの他の部分の構成は、第1実施形態の圧力センサ10の対応する部分の構成と同じである。
図2は、第2実施形態の圧力センサ10aの説明図である。図中には、図2と同様に、圧力センサ10aの先端側の部分の軸線CL1と、後述する遮熱板aの貫通孔91aの中心軸CL2とを含む平断面が示されている。図2の第1実施形態との差異は、貫通孔91aを形成する内周面92aが凹凸の形成されていない平面である点と、貫通孔91aを形成する内周面92aに先端側向き面96を含んでおり、貫通孔91aの先端側向き面96における最小内径が、先端側の開口端97における内径よりも小さい点だけである。圧力センサ10aの他の部分の構成は、第1実施形態の圧力センサ10の対応する部分の構成と同じである。
第2実施形態では、遮熱板90aは、軸線CL1を中心とする円盤状の板状部材である。遮熱板90aには、貫通孔91aが形成されている。なお、本実施例においては、2つの貫通孔91aが形成されている。遮熱板90aは、ダイアフラム40の先端面43の先端側に配置されており、貫通孔91aが形成されていない部位でダイアフラム40の先端面43を覆っている。
貫通孔91aを形成する内周面92aには、先端側向き面96が形成されている。本実施形態では、先端側向き面96は、貫通孔91aの中心軸CL2に垂直な方向における中心軸CL2との距離が、先端側に向かうにつれて長くなるように形成されている。
貫通孔91aは、自身の先端側向き面96における最小内径(本実施例では、先端側向き面の後端における内径)が、自身の先端側の開口端97における内径よりも小さくなるように形成されている。なお、第2実施形態では、貫通孔91aの先端側の開口端97が、先端側向き面96の先端に相当する。
貫通孔91aは、自身の先端側向き面96における内径が、先端側に向かうにつれて大きくなるように形成されている。
遮熱板90aは、ダイアフラム40の先端側で、第3金具35に接続されている。つまり、遮熱板90aは、ダイアフラム40の先端面43よりも先端側に配置され、筐体(具体的には第3金具35)に接続される。本実施例では、遮熱板90aと第3金具35とは、ステンレス鋼を用いて、例えば、削りだしによって一体的に形成されている。
第2実施形態の圧力センサ10aによれば、先端側向き面96が、貫通孔91aを形成する内周面92aに、先端側の開口端97から流入した燃焼ガスの流れを遮るように形成される。その結果、燃焼ガスが貫通孔91aを通過する際に、燃焼ガスをより高い頻度で内周面92aに接触させることができる。よって、燃焼ガスの熱を遮熱板91に効率よく移動させることができ、燃焼ガスの熱によるダイアフラム40の歪の発生を抑制することができる。
また、第2実施形態の圧力センサ10aによれば、先端側向き面96に遮られた燃焼ガスが、後端側に向けて整流されるため、遮熱板90aに熱を奪われた燃焼ガスをダイアフラム40に到達しやすくできる。
C.変形例
(1)第1実施形態では、遮熱板90の内周面92にネジ加工を施すことにより凹凸93が形成されていた。しかしながら、ネジ加工以外にも、例えば、貫通孔91の中心軸CL2に沿って溝を掘ることで形成してもよい。
(1)第1実施形態では、遮熱板90の内周面92にネジ加工を施すことにより凹凸93が形成されていた。しかしながら、ネジ加工以外にも、例えば、貫通孔91の中心軸CL2に沿って溝を掘ることで形成してもよい。
(2)第1実施形態では、遮熱板90の内周面92の全体に亘って、凹凸93が形成されていた。しかしながら、内周面92の少なくとも一部に凹凸93が形成されてもよい。
(3)第1実施形態では、遮熱板90は、第3金具35と一体形成されている。しかしながら、遮熱板90は、第3金具35の先端に、例えば、レーザ溶接によって形成された溶融部(接合部)を介して接合されてもよい。
(4)第2実施形態では、貫通孔91aを形成する内周面92aに、凹凸が形成されていなかった。しかしながら、内周面92aには、第1実施形態のように、凹凸が形成されていてもよい。
(5)第2実施形態では、先端側向き面96は、貫通孔91aの中心軸CL2に垂直な方向における中心軸CL2との距離が、先端側に向かうにつれて長くなるように形成されていた。しかしながら、先端側向き面は、貫通孔91aの中心軸CL2に対して垂直に形成されてもよいし、貫通孔91aの中心軸CL2との距離が、先端側に向かうにつれて短くなるように形成されてもよい。
(6)なお、第2実施形態では、貫通孔91aの先端側の開口端97が、先端側向き面96の先端に相当していた。しかしながら、貫通孔91aの先端側の開口端97が、先端側向き面96の先端よりも先端側に位置していてもよい。貫通孔91aの先端側の開口端97における内径が、先端側向き面96の先端における内径よりも小さくてもよい。
(7)第1実施形態及び第2実施形態では、遮熱板90、90aに2つの貫通孔91、91aが形成されていた。しかしながら、貫通孔91、91aは、1つ形成されていてもよいし、2つ以上形成されていてもよい。
(8)第1実施形態及び第2実施形態では、遮熱版90の後端面94の全体に亘って、凹凸95が形成されていた。しかしながら、後端面94の少なくとも一部に凹凸95が形成されてもよい。
以上、実施形態、変形例に基づき本発明について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれる。
10,10a...圧力センサ、20...第1金具、21...軸孔、22...ねじ部、24...工具係合部、26...接合部、30...第2金具、34...拡径部、35...第3金具、36…第3金具の内周面、39...軸孔、40...ダイアフラム、42...フランジ部、42o...縁、43...先端面、44...ロッド部、45...接続部、50...素子部、51...センサ素子(圧電素子)、52...電極、53...リード部、54...押さえ板、55...絶縁板、56...端子部、60...ケーブル、80...第2金具、89...接続部、90,90a...遮熱板、91,91a...貫通孔、92,92a...貫通孔の内周面、93...貫通孔の内周面の凹凸、94...後端面、95...後端面の凹凸、96...先端側向き面、97...開口端、X...領域、CL1...中心軸(軸線)、CL2…遮熱板の貫通孔の中心軸、Df...先端方向、Dr...後端方向
Claims (6)
- 筒状の筐体と、
前記筐体内に配置され、先端面から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
貫通孔が形成される遮熱板であり、前記先端面よりも先端側に配置され、前記筐体に接続される遮熱板と、
前記ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、
を備える圧力センサであって、
前記遮熱板の前記貫通孔を形成する内周面には、凹凸が形成されている
圧力センサ - 筒状の筐体と、
前記筐体内に配置され、先端面から受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
貫通孔が形成される遮熱板であり、前記先端面よりも先端側に配置され、前記筐体に接続される遮熱板と、
前記ダイアフラムの撓みの量に応じて出力信号が変化するセンサ素子と、
を備える圧力センサであって、
前記遮熱板の前記貫通孔を形成する内周面は、先端側向き面を含み、
前記貫通孔は、自身の前記先端側向き面における最小内径が、自身の先端側の開口端における内径よりも小さい
圧力センサ - 前記先端側向き面における前記貫通孔の内径は、先端側に向かうにつれて大きくなる
請求項2に記載の圧力センサ - 前記遮熱板の前記貫通孔を形成する内周面には、凹凸が形成されている
請求項2又は3に記載の圧力センサ。 - 前記貫通孔は、複数形成されている
請求項1から4のいずれかに記載の圧力センサ - 前記遮蔽板の後端面には、凹凸が形成されている
請求項1から5のいずれかに記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018070522A JP2019184239A (ja) | 2018-04-02 | 2018-04-02 | 圧力センサ |
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