JP6195643B1 - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

【課題】受熱のための部材を用いて測定誤差を小さくする。【解決手段】圧力センサは、筐体と、筐体の先端側に接合部を介して接合され圧力に応じて撓むダイアフラムと、圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部と、ダイアフラムとセンサ部とを接続する接続部と、ダイアフラムの先端側に配置されダイアフラムに直接的または間接的に接続され熱を受ける受熱板と、を備えている。軸線に垂直な断面上で、受熱部からダイアフラムまでの部分の断面を包含し輪郭の全長が最小の仮想的な最小包含領域の面積の最小値を、接続面積Ｓｎとし、ダイアフラムと受熱板とを軸線に垂直な投影面上に投影する場合の投影面上において、接合部に囲まれた領域の面積を、ダイアフラム有効面積Ｓｄとし、受熱板の厚さをｔとする。ｔ≧０．２１ｍｍ、かつ、（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５、が満たされる。【選択図】 図２

Description

本明細書は、内燃機関の燃焼室内の圧力を測定する圧力センサに関する。

圧力センサとして、エンジンヘッドに装着される主体金具と、ダイアフラムと受圧ロッドとを有する受圧部材と、受圧ロッドにねじ込まれる押えねじと、押えねじの頭部と主体金具との間に挟まれた圧電センサと、を有するものが、提案されている。ダイアフラムが燃焼圧を受けると、ダイアフラムが後方に押されることで、受圧ロッドを介して、圧電センサへ荷重が伝わる。圧電センサは、荷重の変化を電気出力の変化に変換する。ここで、高温の燃焼ガスによるダイアフラムの熱変形量を少なくするために、ダイアフラムの前面に、熱遮蔽板が配設されている。

特開平７−３１８４４８号公報

ところが、熱遮蔽板のような受熱のための部材について、十分な工夫が成されていないために、ダイアフラムの変形量を十分に少なくすることができない場合があった。この結果、圧力センサの圧力の測定誤差を十分に小さくできない可能性があった。

本明細書は、受熱のための部材を有する圧力センサにおいて、圧力の測定誤差を小さくできる技術を開示する。

本明細書に開示される技術は、例えば、以下の適用例として実現することが可能である。

［適用例１］筒状の筐体と、
前記筐体の先端側に接合部を介して接合され、前記筐体の軸線に交差する方向に拡がり、受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
前記筐体内に配置され、前記圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部と、
前記ダイアフラムと前記センサ部とを接続する接続部と、
前記ダイアフラムの先端側に配置され、前記ダイアフラムに直接的または間接的に接続された、熱を受ける受熱板と、
を備える圧力センサであって、
前記軸線に垂直な断面上で、前記受熱板から前記ダイアフラムまでの部分の断面を包含し、かつ、輪郭の全長が最小となる仮想的な領域である最小包含領域の面積の最小値を、接続面積Ｓｎとし、
前記ダイアフラムと前記受熱板とを、前記軸線に垂直な投影面上に投影する場合に、前記投影面上において、
前記接合部に囲まれた領域の面積を、ダイアフラム有効面積Ｓｄとし、
前記受熱板の厚さをｔとする場合に、
ｔ≧０．２１ｍｍ、かつ、（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５、を満たすことを特徴とする、圧力センサ。

上記構成によれば、受熱板を用いて測定誤差を小さくできる。

［適用例２］ 適用例１に記載の圧力センサであって、
前記軸線を含む断面において、前記受熱板の後端側の面と、前記軸線と垂直な方向と、がなす角度θの絶対値は、２０度以内であることを特徴とする、圧力センサ。

上記構成によれば、測定誤差をより小さくできる。

なお、本明細書に開示の技術は、種々の態様で実現することが可能であり、例えば、圧力センサ、その圧力センサを搭載する内燃機関等の態様で実現することができる。

第１実施形態としての圧力センサ１０を示す説明図である。 圧力センサ１０の先端部を拡大して示す断面図である。 素子部５０の分解斜視図である。 圧力センサ１０の動作の説明図である。 参考例の圧力センサ１０ｘの動作の説明図である。 第１実施形態の圧力センサ１０のパラメータの説明図である。 圧力センサによって測定される圧力の波形の例を示すグラフである。 第２実施形態の圧力センサ１０ａの説明図である。 第２実施形態の圧力センサ１０ａ（図６）のパラメータの説明図である。 第３実施形態の圧力センサ１０ｂの説明図である。 第４実施形態の圧力センサ１０ｃの説明図である。 第２実施形態の変形例を示す図である。

Ａ．第１実施形態：
Ａ−１．圧力センサ１０の構成
図１は、第１実施形態としての圧力センサ１０を示す説明図である。本実施形態の圧力センサ１０は、内燃機関に取り付けられて、内燃機関の燃焼室内の圧力を検出するために用いられる。図１に示すように、圧力センサ１０は、主な構成要素として、筒状の第１金具２０、第２金具８０と、第３金具３５と、受圧部４０と、受熱部９０と、素子部５０と、ケーブル６０と、を備えている。中心軸ＣＬは、圧力センサ１０の中心軸である。以下、中心軸ＣＬを軸線ＣＬとも呼び、軸線ＣＬに平行な方向を、「軸線方向」とも呼ぶ。軸線ＣＬを中心とする円の径方向を、単に「径方向」とも呼び、軸線ＣＬを中心とする円の周方向を、単に「周方向」とも呼ぶ。また、軸線ＣＬに沿って第１金具２０から受圧部４０へ向かう方向を、「先端方向Ｄｆ」と呼び、先端方向Ｄｆの反対方向を、「後端方向Ｄｒ」と呼ぶ。先端方向Ｄｆ側を「先端側」と呼び、後端方向Ｄｒ側を「後端側」とも呼ぶ。

図１には、圧力センサ１０の先端側の部分の軸線ＣＬよりも左側の断面構成が示されている。この断面は、軸線ＣＬを含む平断面（平面で切断された断面）である。また、図１には、圧力センサ１０の他の部分の外観構成が示されている。本実施形態では、圧力センサ１０の軸線ＣＬは、第１金具２０と第２金具８０と第３金具３５と受圧部４０と受熱部９０と素子部５０とのそれぞれの中心軸でもある。

第１金具２０と第２金具８０と第３金具３５とは、軸線ＣＬに垂直な断面(以下、横断面とも呼ぶ）が円環状であって軸線方向に延びる筒形状を有している。本実施形態では、第１金具２０と第２金具８０と第３金具３５とは、ステンレス鋼で形成されている。ただし、他の材料（例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料）を採用してもよい。

第１金具２０には、軸線ＣＬを中心とする貫通孔である軸孔２１が形成されている。また、第１金具２０の後端側外周面には、ねじ部２２および工具係合部２４が設けられている。ねじ部２２は、圧力センサ１０を内燃機関のシリンダヘッドに固定するためのねじ溝を備えている。工具係合部２４は、圧力センサ１０の取り付けおよび取り外しに用いられる工具（図示しない）に係り合う外周形状（例えば、横断面が六角形）を有する。

図２は、圧力センサ１０の先端部、具体的には図１に領域Ｘとして示す部位を拡大して示す断面図である。この断面は、軸線ＣＬを含む平断面である。第２金具８０は、第１金具２０の先端側に配置されており、第１金具２０の先端に接合部２６を介して接合されている。接合部２６は、第１金具２０と第２金具８０とが溶接（例えば、レーザ溶接）の際に、溶融した部分である（以下、接合部２６を「溶接部２６」または「溶接痕２６」とも呼ぶ）。接合部２６は、第１金具２０と第２金具８０とが一体化した部分である。接合部２６は、第１金具２０の成分と第２金具８０の成分とを含んでいる。第３金具３５は、第２金具８０の先端側に配置されており、第２金具８０に接合部８９を介して接合されている。接合部８９は、第２金具８０と第３金具３５とが溶接（例えば、レーザ溶接）の際に、溶融した部分である（以下、接合部８９を「溶接部８９」または「溶接痕８９」とも呼ぶ）。接合部８９は、第２金具８０と第３金具３５とが一体化した部分である。接合部８９は、第２金具８０の成分と第３金具３５の成分とを含んでいる。第３金具３５の先端部には、先端側から後端側に向かって拡径する拡径部３４が形成されている。圧力センサ１０が内燃機関に取り付けられる場合、拡径部３４は、内燃機関のシリンダヘッドに密着する。

第２金具８０には、軸線ＣＬを中心とする貫通孔である軸孔８１が形成されている。第３金具３５には、軸線ＣＬを中心とする貫通孔である軸孔３９が形成されている。第１金具２０の軸孔２１と、第２金具８０の軸孔８１と、第３金具３５の軸孔３９とは、第１金具２０の軸孔２１に連通する連続な貫通孔を形成している。第２金具８０の軸孔８１内には、先端側から後端側に向かって順に、素子部５０と押さえねじ３２とが、配置されている。第３金具３５の軸孔３９内には、受圧部４０が配置されている。

受圧部４０は、ダイアフラム４２とロッド４４とを備えている。ダイアフラム４２は、軸線ＣＬを中心とする略円形の膜である。ダイアフラム４２の外周側の縁４２ｏは、全周に亘って、第２金具３０の先端部に溶接されている（例えば、レーザ溶接）。ダイアフラム４２の後端側の面の中央部には、ロッド４４が接続されている。ロッド４４は、軸線ＣＬを中心とする円柱状の部分であり、ダイアフラム４２から後端方向Ｄｒ側に向かって延びている。ロッド４４の後端部４９には、素子部５０が接続されている。ダイアフラム４２とロッド４４とは、ステンレス鋼を用いて、一体的に形成されている（例えば、鍛造や削り出し）。ただし、ダイアフラム４２とロッド４４とを別々に形成した後に、溶接などによりダイアフラム４２とロッド４４とを一体化してもよい。また、他の材料（例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料）を採用してもよい。

ダイアフラム４２の先端側の面には、受熱部９０が接合されている（例えば、レーザ溶接）。受熱部９０は、軸線ＣＬを中心とする円盤状の板状部材である（受熱板とも呼ぶ）。後端方向Ｄｒを向いて圧力センサ１０を見る場合、ダイアフラム４２のおおよそ全体が、受熱部９０によって隠されている。受熱部９０は、接合部９９を介して、ダイアフラム４２（ひいては、受圧部４０）に、接合されている。接合部９９は、受熱部９０とダイアフラム４２（ひいては、受圧部４０）とが溶接時に溶融した部分である（以下、接合部９９を「溶接部９９」または「溶接痕９９」とも呼ぶ）。このような接合部９９は、受熱部９０とダイアフラム４２とが一体化した部分である。また、接合部９９は、受熱部９０の成分とダイアフラム４２の成分とを含んでいる。接合部９９は、受熱部９０の中央部に形成されている。受熱部９０は、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。

ダイアフラム４２は、第３金具３５の先端において、軸孔３９を塞いでいる。ダイアフラム４２は、内燃機関の燃焼室内に露出し、ダイアフラム４２の先端方向Ｄｆ側の面４２ｆは、受圧面を形成する。本実施形態では、受圧面４２ｆは、ダイアフラム４２と受熱部９０との間の隙間９５を通じて、燃焼室内の圧力を受け得る。また、ダイアフラム４２は、受熱部９０を通じて、燃焼室内の圧力に応じた荷重を受け得る。そして、ダイアフラム４２は、燃焼室内の圧力に応じて変形する。ロッド４４は、ダイアフラム４２の変形に応じて軸線ＣＬに沿って変位することによって、ダイアフラム４２が受けた圧力に応じた荷重を、後端側の素子部５０に伝達する。ダイアフラム４２を薄くするほど、ダイアフラム４２が変形し易くなるので、圧力センサ１０の感度を高めることができる。

押さえねじ３２は、第２金具８０の軸孔８１の後端側に取り付けられている。押さえねじ３２には、軸線ＣＬを中心とする貫通孔である軸孔３６が形成されている。押さえねじ３２の外周面には、雄ねじ３７が形成されている。第２金具８０の軸孔８１の後端側の部分の内周面には、押さえねじ３２の雄ねじ３７に対応する雌ねじ８８が形成されている。押さえねじ３２は、第２金具８０の後端側から、軸孔８１内にねじ込まれている。押さえねじ３２と受圧部４０のロッド４４との間には、素子部５０が挟まれている。押さえねじ３２は、素子部５０に対して、予荷重を印加する。押さえねじ３２を第２金具８０にねじ込む場合の押さえねじ３２の回転数を調整することによって、適切な予荷重を容易に実現できる。従って、圧力測定の精度を向上できる。なお、押さえねじ３２は、ステンレス鋼で形成されている。ただし、他の材料（例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料）を採用してもよい。

素子部５０は、２個の電極５２と、２個の電極５２に挟まれた圧電素子５１と、先端側の電極５２の先端側に配置された押さえ板５４と、後端側の電極５２から後端方向Ｄｒに向かって順番に並ぶリード部５３、押さえ板５４、絶縁板５５と、を備えている。図２に示すように、押さえ板５４、電極５２、圧電素子５１、電極５２、リード部５３、押さえ板５４、絶縁板５５は、先端側から後端側に向かってこの順番に、積層されている。絶縁板５５の後端側の面は、押さえねじ３２の先端側の面に支持されている。ロッド４４の後端部４９は、先端側の押さえ板５４の先端側の面に接触している。圧電素子５１は、先端側の電極５２と押さえ板５４とを介して、ロッド４４に接続されている。ロッド４４と、先端側の押さえ板５４と電極５２との全体は、ダイアフラム４２と圧電素子５１とを接続する接続部１００を形成している。

図３は、素子部５０の分解斜視図である。図示するように、圧電素子５１と電極５２とは軸線ＣＬを中心とする円盤状の板状部材である。押さえ板５４と絶縁板５５とは、軸線ＣＬを中心とする円環状の板状部材である。圧電素子５１は、本実施形態では水晶を用いて形成されているが、他の材料で形成された圧電素子を採用してもよい。圧電素子５１上では、受圧部４０（図２）からロッド４４を通じて伝達された荷重に応じて、電荷が生じる。圧電素子５１は、荷重に応じた電荷（例えば、電気信号）を、２個の電極５２を通じて、出力する。出力された電気信号に基づいて、ダイアフラム４２の変形量、すなわち、燃焼室内の圧力を特定可能である。このように、圧電素子５１は、受圧部４０が受けた圧力によって変化する電気的特性を有している。電極５２と押さえ板５４とは、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。絶縁板５５は、リード部５３と押さえねじ３２（図２）との間を絶縁するための部材である。本実施形態では、絶縁板５５はアルミナで形成されているが、他種の絶縁性材料で形成されてもよい。

リード部５３は、略円盤状の板状部材である円盤部５７と、円盤部５７の中央部から後端方向Ｄｒに向かって延びる端子部５６と、を備えている。端子部５６は、押さえ板５４の貫通孔５４ｈと絶縁板５５の貫通孔５５ｈを通り抜けて、後端方向Ｄｒ側に突出している（図２）。リード部５３は、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。リード部５３は、円盤部５７と端子部５６とを合わせた形状をステンレス鋼の平板から打ち抜いた後に、端子部５６となる部分を折り曲げることにより作製することができる。

第２金具８０（図２）の軸孔８１内において、リード部５３は、円盤部５７が電極５２と面接触すると共に、端子部５６が後端側に延びるように配置される。端子部５６は、押さえ板５４の中央部の貫通孔５４ｈと絶縁板５５の中央部の貫通孔５５ｈとを貫通している。端子部５６の後端側の部分は、押さえねじ３２の軸孔３６の内壁面から離間した状態で、軸孔３６内に配置されている。

素子部５０を構成する各部材（絶縁板５５を除く）は、第２金具８０の軸孔８１内において、第２金具８０の内壁面から離間するように配置される。圧電素子５１の後端側の電極５２は、リード部５３（本実施形態では、更に、押さえ板５４）に電気的に接続されており、第１金具２０と第２金具８０と第３金具３５とからは電気的に離れている。圧電素子５１の先端側の電極５２は、先端側の押さえ板５４とロッド４４とダイアフラム４２とを通じて、第３金具３５に電気的に接続されている。なお、本実施形態では、圧電素子５１に掛かる荷重の分布を均等にするために、圧電素子５１の後端側だけでなく先端側にも押さえ板５４が配置されている。

第１金具２０の軸孔２１内には、ケーブル６０が配置されている。ケーブル６０は、圧電素子５１の電荷に基づいて内燃機関の燃焼圧を検出するための図示しない電気回路に対して、圧電素子５１の電荷を伝えるための部材である。本実施形態では、ケーブル６０として、多層構造を有するいわゆるシールド線を用いて、ノイズを低減している。ケーブル６０は、中心から外周側に向かって配置された、内部導体６５と、絶縁体６４と、導電コーティング６３と、外部導体６２と、ジャケット６１と、を備えている。内部導体６５は、複数の導線で構成されている。内部導体６５の径方向の外側は、絶縁体６４で囲まれている。絶縁体６４の外周面には、導電コーティング６３が設けられている。導電コーティング６３の径方向外側には、網シールドである外部導体６２が設けられている。外部導体６２の外周面は、ジャケット６１によって被覆されている。このように同軸上に配置された複数の部材を備えるケーブルは、同軸ケーブルとも呼ばれる。

図２に示すように、ケーブル６０の先端部では、ジャケット６１に覆われた部分から先端側に向かって、ジャケット６１に覆われない外部導体６２が露出している。また、外部導体６２が露出する部分から先端側に向かって、外部導体６２に覆われない絶縁体６４が露出している。さらに、絶縁体６４が露出する部分から先端側に向かって、絶縁体６４に覆われない内部導体６５が露出している。

ケーブル６０の先端部で露出する内部導体６５は、平板導線７５と細径導線７４とを介して、素子部５０の端子部５６に接続されている。具体的には、内部導体６５の先端には、平板導線７５が溶接されており、平板導線７５の先端には、コイル状に巻回された細径導線７４の後端が溶接されており、細径導線７４の先端は、端子部５６の後端部に溶接されている。平板導線７５と細径導線７４とは、圧電素子５１の電荷を、端子部５６から内部導体６５に伝達できる。なお、内部導体６５と端子部５６とを接続するための構成としては、平板導線７５と細径導線７４とを用いる構成に代えて、他の任意の構成を採用可能である。

端子部５６の先端から、端子部５６と細径導線７４とを接続する溶接部よりも後端側の位置まで、端子部５６の全体、および、細径導線７４の先端部を含む範囲が、熱収縮チューブ７２によって覆われている。これにより、端子部５６と押さえねじ３２との間の電気的な絶縁の信頼性が高められている。圧力センサ１０を製造する際には、端子部５６を有するリード部５３と細径導線７４との溶接による一体化と、熱収縮チューブ７２による被覆とを、全体の組み立てに先立って行なえばよい。

外部導体６２の先端部には、外部導体６２の先端からさらに先端側に延びる接地導線７６が接続されている。接地導線７６は、外部導体６２から連続して形成された撚り線で構成されている。接地導線７６の先端部は、押さえねじ３２の後端部に溶接されている。これにより、外部導体６２は、接地導線７６、押さえねじ３２、第２金具８０、第３金具３５、および内燃機関のシリンダヘッドを通じて接地される。

圧力センサ１０を製造する際には、第３金具３５の先端側から軸孔３９内に、ロッド４４が挿入される。ダイアフラム４２と第３金具３５とが溶接（例えば、レーザ溶接）されて、接合部４５が形成される。接合部４５は、ダイアフラム４２と第３金具３５とが溶接時に溶融した部分である（以下、接合部４５を「溶接部４５」または「溶接痕４５」とも呼ぶ）。このような接合部４５は、ダイアフラム４２と第３金具３５とが一体化した部分である。また、接合部４５は、ダイアフラム４２の成分と第３金具３５の成分とを含んでいる。また、接合部４５は、ダイアフラム４２と第３金具３５とを接合している。また、第２金具８０の後端側から軸孔８１内に、押さえねじ３２がねじ込まれる。この段階では、押さえねじ３２は、第２金具８０に、仮に固定される。その後、第２金具８０の先端側から軸孔８１内に、素子部５０が挿入される。素子部５０のリード部５３の端子部５６は、予め、細径導線７４及び熱収縮チューブ７２と一体化されている。そして、押さえねじ３２の軸孔３６の先端側から細径導線７４が挿入され、軸孔３６の後端側から細径導線７４が引き出される。絶縁板５５の後端側の面は、押さえねじ３２の先端側の面に支持される。これらの後に、第３金具３５が、第２金具８０の先端側に配置される。これにより、素子部５０は、押さえねじ３２とロッド４４とに挟まれる。そして、第３金具３５と第２金具８０とが溶接されて、接合部８９が形成される。その後、第２金具８０に対して押さえねじ３２を回転させることによって、素子部５０に予荷重を印加する。押さえねじ３２の回転数を調整することによって、予荷重を調整できる。

そして、押さえねじ３２（具体的には、軸孔３６）の後端側から引き出された細径導線７４の後端、および、内部導体６５の先端を、平板導線７５と溶接する。また、接地導線７６の先端部と押さえねじ３２の後端部とを溶接する。さらに、ケーブル６０を第１金具２０の軸孔２１内に通して、第１金具２０の先端と第２金具８０とを溶接し、接合部２６を形成する。その後、第１金具２０の軸孔２１内に溶融ゴムを注入して軸孔２１内をゴム層で満たし（図示せず）、圧力センサ１０を完成する。ゴム層を形成することにより、圧力センサ１０内の防水性を向上させ、かつ、防振性も高めている。なお、溶融ゴムに代えて溶融樹脂を軸孔２１内に注入してもよい。

なお、第２金具８０と第３金具３５と素子部５０と押さえねじ３２との組み立ての順番としては、上記の順番に代えて、他の種々の順番を採用可能である。例えば、第３金具３５にダイアフラム４２を溶接し、第３金具３５に第２金具８０を溶接し、第２金具８０の後端側から軸孔８１内に素子部５０を挿入し、第２金具８０の後端側から軸孔８１内に押さえねじ３２をねじ込む、という順番を採用してもよい。

Ａ−２．圧力センサ１０の動作
図４は、圧力センサ１０の動作の説明図である。図中には、圧力センサ１０の先端側の一部分の軸線ＣＬを含む平断面が示されている。ダイアフラム４２の受圧面４２ｆは、ダイアフラム４２と受熱部９０との間の隙間９５を通じて、燃焼室内の圧力Ｐｃを受け得る。また、ダイアフラム４２は、受熱部９０を通じて、圧力Ｐｃに応じた荷重を受け得る。ダイアフラム４２は、燃焼室内の圧力Ｐｃに応じて撓む（変形する）。図４の実施形態では、ダイアフラム４２は、軸線方向に撓む。ロッド４４は、ダイアフラム４２の撓み（変形）に応じて、軸線ＣＬにおおよそ平行に変位する。これにより、ロッド４４は、圧力Ｐｃに応じた荷重を、素子部５０に伝達する。

また、受熱部９０は、ダイアフラム４２よりも先端側、すなわち、燃焼室側に、配置されている。受熱部９０は、ダイアフラム４２の代わりに、燃焼室からの熱を受けることができる。例えば、燃料の燃焼で生じた熱が、燃焼室内のガスを通じて、受熱部９０の先端側の面に伝導し得る。また、高温の燃焼ガスが、受熱部９０の先端側の面に接触し得る。このように、受熱部９０（特に、先端側の面）の温度が、高くなり得る。ダイアフラム４２は、受熱部９０の後端側に配置されているので、受熱部９０と比べて、燃焼室からの熱を受け難い。従って、ダイアフラム４２の熱膨張が抑制される。

図５は、参考例の圧力センサ１０ｘの動作の説明図である。図中には、圧力センサ１０ｘの先端側の一部分の軸線ＣＬを含む平断面が示されている。図４の実施形態の圧力センサ１０との差異は、受熱部９０が省略されている点だけである。圧力センサ１０ｘの他の部分の構成は、実施形態の圧力センサ１０の対応する部分の構成と、同じである。

ダイアフラム４２の受圧面４２ｆは、図４の実施形態の受圧面４２ｆと同様に、燃焼室内の圧力Ｐｃを受ける。また、図５の参考例では、図４の実施形態とは異なり、受熱部９０が省略されているので、ダイアフラム４２の先端方向Ｄｆ側の部分（例えば、受圧面４２ｆ）は、燃焼室からの熱を受ける。これにより、ダイアフラム４２のうち、先端方向Ｄｆ側の部分が、局所的に、熱膨張し得る。参考例では、ダイアフラム４２の外周側の縁４２ｏは、第３金具３５に接合されている。従って、ダイアフラム４２は、熱膨張によって、内周側（軸線ＣＬ側）に向かって伸びようとする。この場合、ダイアフラム４２の熱膨張は、ロッド４４に、軸線ＣＬに平行な力を印加し得る。例えば、図５の参考例では、ダイアフラム４２の受圧面４２ｆの熱膨張は、ロッド４４に、先端方向Ｄｆの力Ｆを印加している。これにより、素子部５０に印加される荷重が小さくなる。このように、参考例の圧力センサ１０ｘでは、素子部５０に印加される荷重が、燃焼ガスの温度に依存して大きく変動し得るので、素子部５０からの信号の誤差が大きくなる。

図４に示す実施形態では、受熱部９０によって、ダイアフラム４２の熱膨張が抑制されている。従って、図５の参考例と比べて、第１実施形態では、素子部５０からの信号の誤差を小さくできる。

Ａ−３．受熱部９０、ダイアフラム４２近傍の構成の詳細
ここで、図２に示すように、板状部材である受熱部９０の厚さ（板厚）をｔとする。受熱部９０の厚さｔが大きい場合には、厚さｔが小さい場合に比べて、受熱部９０の体積が大きくなるために、受熱部９０が吸収できる熱の量（熱容量）が大きくなる。この結果、受熱部９０の厚さが厚いほど、燃焼室からの熱が、ダイアフラム４２まで伝達し難くなるために、ダイアフラム４２の熱膨張をより抑制することができ、ひいては、素子部５０からの信号の誤差を小さくできる。

図２に示すように、受熱部９０とダイアフラム４２との間の軸線方向の最小距離をｄとする。図２の実施形態では、ダイアフラム４２の受圧面４２ｆと、受熱部９０の後端側の面とが直接的に接合されている。従って、最小距離ｄは、ゼロである。最小距離ｄが小さい場合には、最小距離ｄが大きい場合と比べて、高温の燃焼ガスが隙間９５、９５ａに流入し難い。従って、最小距離ｄが小さいほど、ダイアフラム４２、４２ａの熱膨張をより抑制することができ、ひいては、素子部５０からの信号の誤差を小さくできる。例えば、最小距離ｄは、０．５ｍｍ以下であることが好ましく、０．３ｍｍ以下であることが特に好ましい。

さらに、図２に示すように、軸線ＣＬを含む断面において、受熱部９０の後端側の面９０ｆ（すなわち、ダイアフラム４２の受圧面４２ｆと対向する面）と、軸線と垂直な方向と、がなす角度をθとする。図２の例では、受熱部９０の後端側の面９０ｆは、僅かに湾曲している。このために、角度θは、軸線ＣＬと交差する位置では、０度であり、軸線ＣＬから径方向外側に向かうほど大きくなる。角度θが小さい場合には、角度θが大きい場合と比べて、高温の燃焼ガスが隙間９５に流入し難い。このために、角度θの絶対値は、２０度以内であることが好ましい。角度θの絶対値が、２０度以内である場合には、高温の燃焼ガスが隙間９５に流入することを抑制して、ダイアフラムに伝達される熱量をより低減できる。この結果、ダイアフラム４２の熱膨張をより抑制することができ、ひいては、素子部５０からの信号の誤差を小さくできる。

次に、第１実施形態のダイアフラム４２の有効面積Ｓｄと、接続面積Ｓｎと、受熱部９０の受熱面積Ｓｎ２と、について説明する。

図６は、第１実施形態の圧力センサ１０のパラメータＳｎ２、Ｓｎ、Ｓｄの説明図である。図６（Ａ）、図６（Ｃ）、図６（Ｅ）は、圧力センサ１０の先端部の斜視図を示し、図６（Ｂ）、図６（Ｄ）は、受熱部９０を軸線ＣＬに垂直な投影面上に投影して得られる投影図を示し、図６（Ｆ）は、ダイアフラム４２を軸線ＣＬに垂直な投影面上に投影して得られる投影図を示している。図６（Ｃ）、図６（Ｅ）は、受熱部９０が受圧部４０から取り外された状態を示している。

図６（Ａ）、図６（Ｂ）は、受熱面積Ｓｎ２を示している。図中では、受熱面積Ｓｎ２に対応する領域に、ハッチングが付されている。受熱面積Ｓｎ２は、図６（Ｂ）の投影図における受熱部９０の全体の面積である。第１実施形態では、受熱部９０の先端方向Ｄｆ側の面の面積が、受熱面積Ｓｎ２に対応している。受熱面積Ｓｎ２は、燃焼室からの熱をダイアフラム４２の代わりに受けることが可能な領域の面積を示している。受熱面積Ｓｎ２が大きい場合には、受熱面積Ｓｎ２が小さい場合と比べて、燃焼室からの熱がダイアフラム４２に伝わり難い。従って、受熱面積Ｓｎ２が大きいほど、ダイアフラム４２の熱膨張が抑制される、すなわち、素子部５０からの信号の誤差が小さくなる。

図６（Ｃ）、図６（Ｄ）は、接続面積Ｓｎを示している。図中では、接続面積Ｓｎに対応する領域に、ハッチングが付されている。接続面積Ｓｎは、軸線ＣＬに垂直な断面上で、受熱部９０からダイアフラム４２までの部分（以下、対象部分とも呼ぶ）の断面を包含し、かつ、輪郭の全長が最小となる仮想的な領域である最小包含領域の面積の最小値である。換言すれば、接続面積Ｓｎは、特定の軸線方向の位置における最小包含領域の面積である。特定の軸線方向の位置は、受熱部９０からダイアフラム４２までの範囲の軸線方向の位置のうち、軸線ＣＬと垂直な断面における最小包含領域が最小となる位置である。そして、特定の断面における最小包含領域は、その特定の断面上で、上記対象部分を包含する輪郭の全長が最小となる仮想的な領域である。最小包含領域は、凸包とも呼ばれる。最小包含領域は、１つの連続な領域である。このような最小包含領域の面積は、断面の軸線方向の位置に応じて、変化し得る。接続面積Ｓｎは、このように断面の位置に応じて変化し得る最小包含領域の面積の最小値である。本実施形態では、受熱部９０からダイアフラム４２までの部分は、受熱部９０と、ダイアフラム４２と、受熱部９０とダイアフラム４２とを接続する部分と、を含んでいる。

第１実施形態では、受熱部９０は、接合部９９によって直接的にダイアフラム４２に接続されているので、受熱部９０とダイアフラム４２とを接続する部分は、接合部９９のうちの受熱部９０の後端側の面とダイアフラム４２の先端側の面との間の部分である。接続面積Ｓｎ、すなわち、最小包含領域の最小面積は、第１実施形態では、受熱部９０からダイアフラム４２までの部分における断面のうち、受熱部９０とダイアフラム４２との接続面（すなわち、受熱部９０の後端側の面とダイアフラム４２の先端側の面）を含む断面上において、接合部９９の断面を含む最小包含領域の面積である。図６（Ｄ）の投影図には、受熱部９０の後端側の表面におけるダイアフラム４２に接合された接続部分９３が示されている。この接続部分９３は、受熱部９０とダイアフラム４２とを接合する接合部９９（図２）の断面に対応している。この接続部分９３を含む最小包含領域９４の面積が、接続面積Ｓｎである。第１実施形態では、接続部分９３の形状が略円形状であるので、最小包含領域９４の形状は、接続部分９３の形状とおおよそ同じであり、接続面積Ｓｎは、接続部分９３の面積（すなわち、接合部９９の断面積）と、おおよそ同じである。図６（Ｃ）の接続部分４３は、ダイアフラム４２のうちの接続部分９３に対応する部分である。

受熱部９０は、燃焼室からの熱を受けて、熱膨張し得る（すなわち、変形し得る）。受熱部９０のうちダイアフラム４２との接続部分９３が大きい場合、すなわち、接続面積Ｓｎが大きい場合には、受熱部９０の変形が、ダイアフラム４２に伝わりやすい。受熱部９０の変形に起因してダイアフラム４２が変形する場合、ダイアフラム４２の変形に起因して素子部５０に意図しない荷重が印加され得る。従って、接続面積Ｓｎが小さいほど、素子部５０からの信号の誤差が小さくなる。

図６（Ｅ）、図６（Ｆ）は、ダイアフラム有効面積Ｓｄ（以下、単に「有効面積Ｓｄ」とも呼ぶ）を示している。図中では、有効面積Ｓｄに対応する領域に、ハッチングが付されている。有効面積Ｓｄは、図６（Ｆ）の投影図において、接合部４５に囲まれた領域４６の面積である。ここで、接合部４５の内周側の輪郭４５ｉ（すなわち、領域４６の輪郭４５ｉ）としては、ダイアフラム４２の表面のうち第３金具３５に接続された表面上における接合部４５の内周側の輪郭が、採用される。例えば、図２、図６（Ｆ）の実施形態では、ダイアフラム４２の後端側の面における接合部４５の内周側の輪郭が、領域４６の輪郭４５ｉに対応する。

第１実施形態では、ダイアフラム４２と第３金具３５とを接合する接合部４５は、図６（Ｆ）の投影図において、環状である。従って、ダイアフラム４２のうち接合部４５に囲まれた領域４６内の部分が、燃焼室内の圧力に応じて、変形できる。

なお、ダイアフラム４２の有効面積Ｓｄに対する受熱部９０の受熱面積Ｓｎ２の比率（Ｓｎ２／Ｓｄ）が大きい場合には、ダイアフラム４２のうち受熱部９０の後端側に隠れている部分の割合が大きくなるので、燃焼室からの熱がダイアフラム４２に伝わり難い。従って、比率（Ｓｎ２／Ｓｄ）が大きいほど、ダイアフラム４２の熱膨張が抑制され、ひいては、圧力誤差Ｅｐを小さくできる。このために、比率（Ｓｎ２／Ｓｄ）は、圧力誤差Ｅｐを小さくする観点では、例えば、０．８以上であることが好ましく、０．９以上がさらに好ましく、１以上であることが特に好ましい。ただし、比率Ｓｎ２／Ｓｄが大きい場合には、受熱部９０が、内燃機関のシリンダヘッドの圧力センサ１０の取り付け孔に接触しやすい。従って、比率Ｓｎ２／Ｓｄの上限は、受熱部９０がシリンダヘッドの取り付け孔に接触しないように、決定されていることが好ましく、例えば、比率Ｓｎ２／Ｓｄが１．２以下であることが好ましい。

Ａ−４．評価試験
第１実施形態の圧力センサ１０について、受熱部９０の厚さｔと、上述した有効面積Ｓｄに対する接続面積Ｓｎの比率（Ｓｎ／Ｓｄ）と、が互いに異なる１２種類のサンプルを作成して、評価試験を行った。具体的には、表１に示すように、受熱部９０の厚さｔが０．１ｍｍ、０．２ｍｍ、０．２１ｍｍ、０．３ｍｍのいずれかであり、比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が、０．２４ｍｍ、０．２５ｍｍ、０．２６ｍｍのいずれかである、全ての組み合わせ（（４×３）個の組み合わせ）について、計１２種類のサンプルが作成された。

なお、有効面積Ｓｄを１６ｍｍ^２に固定し、接合部９９の寸法を変更することによって接続面積Ｓｎを変更することによって、比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が異なるサンプルが作成された。なお、各サンプルには、受熱面積Ｓｎ２が１６ｍｍ^２である受熱部９０が用いられた。したがって、各サンプルにおいて、有効面積Ｓｄに対する受熱面積Ｓｎ２の比率（Ｓｎ２／Ｓｄ）は、１である。また、各サンプルにおいて、最小距離ｄは、図２に示すように０とされた。

評価試験では、内燃機関の同じシリンダ（すなわち、燃焼室）にサンプルのセンサと、目標となる圧力センサ（「目標センサ」とも呼ぶ）と、を取り付けた。そして、内燃機関を運転させることによって、サンプルのセンサと目標センサとのそれぞれから圧力の波形を取得した。内燃機関としては、直列４気筒、排気量１．３Ｌ、自然吸気の内燃機関が用いられた。内燃機関は、燃焼室内の最大圧力が、２０ＭＰａとなる条件で運転された。

図７は、圧力センサによって測定される圧力の波形の例を示すグラフである。横軸は、クランク角度ＣＡを示し、縦軸は、圧力（単位は、kPa）を示している。ゼロ度のクランク角度ＣＡは、上死点を示している。グラフ中には、基準グラフＧ１と、サンプルグラフＧ２と、が示されている。基準グラフＧ１は、目標センサによって測定された圧力を示している。サンプルグラフＧ２は、圧力センサのサンプルによって測定された圧力を示している。

図示するように、圧力センサのサンプルによって測定された圧力Ｇ２が、目標の圧力センサによって測定された圧力Ｇ１と異なる場合があった（図７の例では、クランク角度ＣＡが、ゼロ度から１８０度の範囲内）。目標となる圧力センサは、十分に良好な精度で圧力を測定できるように、予め調整されている。本評価試験では、サンプルの圧力Ｇ２と目標の圧力Ｇ１とを、５サイクルに亘って測定した。同じタイミングでの２つの圧力Ｇ１、Ｇ２の差分を算出した。差分の最大値Ｅｍ（図７）を、各サイクル毎に特定した。そして、５個の最大差分Ｅｍの平均値を、サンプルの圧力センサの圧力誤差Ｅｐとして算出した。

そして、圧力誤差Ｅｐの絶対値が、２０ＭＰａの２％、すなわち、４００ｋＰａ以下であるサンプルの評価を「Ａ」とし、４００ｋＰａを超えるサンプルの評価を「Ｂ」とした。

評価結果は、表１に示す通りである。比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が０．２４である４種類のサンプルでは、受熱部９０の厚さｔが０．１ｍｍであるサンプルの評価は、「Ｂ」であり、受熱部９０の厚さｔが０．２ｍｍ以上、すなわち、０．２ｍｍ、０．２１ｍｍ、０．３ｍｍのサンプルの評価は、「Ａ」であった。

比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が０．２５である４種類のサンプルでは、受熱部９０の厚さｔが０．２ｍｍ以下、すなわち、０．１ｍｍ、０．２ｍｍであるサンプルの評価は、「Ｂ」であり、受熱部９０の厚さｔが０．２１ｍｍ以上、すなわち、０．２１ｍｍ、０．３ｍｍのサンプルの評価は、「Ａ」であった。

比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が０．２６である４種類のサンプルでは、受熱部９０の厚さｔが０．２１ｍｍ以下、すなわち、０．１ｍｍ、０．２ｍｍ、０．２１ｍｍであるサンプルの評価は、「Ｂ」であり、受熱部９０の厚さｔが０．３ｍｍのサンプルの評価は、「Ａ」であった。

以上の結果から、受熱部９０の厚さｔが、０．２１ｍｍ以上であり（ｔ≧０．２１ｍｍ）、かつ、比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が、０．２５以下である（（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５）場合に、すなわち、表１の点線で囲んだ範囲にて、圧力誤差Ｅｐを十分に小さくできることが解った。

この理由は、以下の通りである。上述したように、受熱部９０の厚さｔが大きいほど、ダイアフラム４２の熱膨張が抑制されるので、圧力誤差Ｅｐが小さくなる。そして、ダイアフラム４２ａの有効面積Ｓｄに対する接続面積Ｓｎの割合が小さいほど、すなわち、比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が小さいほど、ダイアフラム４２の変形に対する受熱部９０の変形の影響が小さくなるために、圧力誤差Ｅｐが小さくなる。このために、受熱部９０の厚さｔが比較的大きい、かつ、比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が比較的小さい範囲、具体的には、ｔ≧０．２１ｍｍ、かつ、（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５、を満たす範囲で、圧力誤差Ｅｐを十分に小さくできると考えられる。なお、厚さｔは、より大きい範囲、例えば、ｔ≧０．３ｍｍであることがより好ましいと考えられる。また、比率（Ｓｎ／Ｓｄ）は、より小さい範囲、例えば、（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２４であることがより好ましいと考えられる。

Ｂ．第２実施形態：
図８は、第２実施形態の圧力センサ１０ａの説明図である。図中には、図４と同様に、圧力センサ１０ａの先端側の部分の軸線ＣＬを含む平断面が示されている。図４の第１実施形態との差異は、ロッド４４ａが、ダイアフラム４２ａよりも先端方向Ｄｆ側まで延びている点と、このロッド４４ａの先端部に受熱部９０が接合されている点と、だけである。圧力センサ１０ａの他の部分の構成は、第１実施形態の圧力センサ１０の対応する部分の構成と、同じである。

第２実施形態では、受圧部４０ａは、ロッド４４ａと、ダイアフラム４２ａと、固定部４１ａとを、備えている。ダイアフラム４２ａは、軸線ＣＬを中心とする円環形状の膜である。ダイアフラム４２ａの外周側の縁４２ａｏは、全周に亘って、第３金具３５の先端部に溶接されている（例えば、レーザ溶接）。ダイアフラム４２ａと第３金具３５とを接合する接合部４５は、溶接時に溶融した部分である。ダイアフラム４２ａの内周側の縁４２ａｉには、固定部４１ａが接続されている。固定部４１ａは、軸線ＣＬを中心とする円筒状の部分であり、ダイアフラム４２ａの縁４２ａｉから先端方向Ｄｆ側に向かって延びている。固定部４１ａとダイアフラム４２ａとは、ステンレス鋼を用いて、一体的に形成されている（例えば、鍛造や削り出し）。ただし、固定部４１ａとダイアフラム４２ａとを別々に形成した後に、溶接などにより固定部４１ａとダイアフラム４２ａとを一体化してもよい。また、他の材料（例えば、低炭素鋼などの鋼、種々の金属材料）を採用してもよい。

固定部４１ａとダイアフラム４２ａとの内周側の貫通孔には、ロッド４４ａが挿入されている。ロッド４４ａは、軸線ＣＬを中心とする円柱状の部材である。ロッド４４ａの後端面は、素子部５０の先端側の押さえ板５４の先端側の面に接触している。ロッド４４ａの先端部は、固定部４１ａから先端側へ突出している。ロッド４４ａは、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。

固定部４１ａとロッド４４ａとは、全周に亘って、溶接されている（例えば、レーザ溶接）。このように、ダイアフラム４２ａは、固定部４１ａを介して、ロッド４４ａに接続されている。圧電素子５１は、先端側の電極５２と押さえ板５４とを介して、ロッド４４ａに接続されている。固定部４１ａと、ロッド４４ａと、先端側の押さえ板５４と電極５２との全体は、ダイアフラム４２ａと圧電素子５１とを接続する接続部１００ａを形成している。

受熱部９０は、ロッド４４ａの先端面に接合されている（例えば、レーザ溶接）。受熱部９０は、接合部９９ａを介して、ロッド４４ａに、接合されている。接合部９９ａは、受熱部９０とロッド４４ａとが溶接時に溶融した部分である（以下、接合部９９ａを「溶接部９９ａ」または「溶接痕９９ａ」とも呼ぶ）。このような接合部９９ａは、受熱部９０とロッド４４ａとが一体化した部分である。また、接合部９９ａは、受熱部９０の成分とロッド４４ａの成分とを含んでいる。このように、第２実施形態では、受熱部９０は、ロッド４４ａと固定部４１ａと介して、ダイアフラム４２ａに接続されている。接合部９９ａは、受熱部９０の中央部に形成されている。第２実施形態では、接合部９９ａは、ロッド４４ａの先端側の端面の全体に亘って、形成されている。受熱部９０は、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。

後端方向Ｄｒを向いて圧力センサ１０ａを見る場合、ダイアフラム４２ａのおおよそ全体が、受熱部９０によって隠されている。第１実施形態と同様に、受熱部９０は、ダイアフラム４２ａの代わりに、燃焼室からの熱を受けることができる。ダイアフラム４２ａは、受熱部９０の後端側に配置されているので、受熱部９０と比べて、燃焼室からの熱を受け難い。従って、ダイアフラム４２ａの熱膨張が抑制される。図５の参考例と比べて、第２実施形態では、素子部５０からの信号の誤差を小さくできる。

Ｂ−２．受熱部９０、ダイアフラム４２ａ近傍の構成の詳細
第２実施形態においても、図８に示すように、板状部材である受熱部９０の厚さ（板厚）をｔとする。また、図８に示すように、受熱部９０とダイアフラム４２ａとの間の軸線方向の最小距離をｄとする。図８の第２実施形態では、図２の第１実施形態とは異なり、受熱部９０は、ダイアフラム４２ａの先端方向Ｄｆ側の面である受圧面４２ａｆから先端方向Ｄｆへ離れた位置に配置されている。第２実施形態では、最小距離ｄは、受熱部９０の後端方向Ｄｒ側の面と、ダイアフラム４２ａの受圧面４２ａｆとの間の距離である。第１実施形態と同様に、例えば、最小距離ｄは、０．５ｍｍ以下であることが好ましく、０．３ｍｍ以下であることが特に好ましい。

さらに、図８に示すように、軸線ＣＬを含む断面において、受熱部９０の後端側の面９０ｆ（すなわち、ダイアフラム４２ａの受圧面４２ａｆと対向する面）と、軸線と垂直な方向と、がなす角度をθとする。図８の例では、受熱部９０の後端側の面９０ｆは、軸線ＣＬと垂直な面であるので、角度θは、０である。第１実施形態と同様に、角度θの絶対値は、２０度以内であることが好ましい。こうすれば、高温の燃焼ガスが隙間９５ａに流入することを抑制して、ダイアフラム４２ａの熱膨張をより抑制することができ、ひいては、素子部５０からの信号の誤差を小さくできる。

次に、第２実施形態のダイアフラム４２ａの有効面積Ｓｄと、接続面積Ｓｎと、受熱部９０の受熱面積Ｓｎ２と、について説明する。

図９は、第２実施形態の圧力センサ１０ａ（図６）のパラメータＳｎ２、Ｓｎ、Ｓｄの説明図である。図９（Ａ）、図９（Ｃ）、図９（Ｅ）は、圧力センサ１０ａの先端部の斜視図を示し、図９（Ｂ）、図９（Ｄ）は、受熱部９０を軸線ＣＬに垂直な投影面上に投影して得られる投影図を示し、図９（Ｆ）は、ダイアフラム４２ａを軸線ＣＬに垂直な投影面上に投影して得られる投影図を示している。図９（Ｃ）、図９（Ｅ）は、受熱部９０がロッド４４ａから取り外された状態を示している。

図９（Ａ）、図９（Ｂ）は、受熱面積Ｓｎ２を示している。図中では、受熱面積Ｓｎ２に対応する領域に、ハッチングが付されている。受熱面積Ｓｎ２は、図９（Ｂ）の投影図における受熱部９０の全体の面積である。第２実施形態では、受熱部９０の先端方向Ｄｆ側の面の面積が、受熱面積Ｓｎ２に対応している。第１実施形態と同様に、第２実施形態においても、受熱面積Ｓｎ２が大きいほど、ダイアフラム４２ａの熱膨張が抑制される、すなわち、素子部５０からの信号の誤差が小さくなる。

図９（Ｃ）、図９（Ｄ）は、接続面積Ｓｎを示している。図中では、接続面積Ｓｎに対応する領域に、ハッチングが付されている。第２実施形態では、受熱部９０（図８）は、ロッド４４ａと固定部４１ａとを介して、間接的にダイアフラム４２ａに接続されている（受熱部９０とロッド４４ａとは接合部９９ａによって直接的に接続されている）。受熱部９０からダイアフラム４２ａまでの部分は、受熱部９０と、ダイアフラム４２ａと、受熱部９０とダイアフラム４２ａとを接続する部分とを含んでいる。受熱部９０とダイアフラム４２ａとを接続する部分は、接合部９９ａのうちの受熱部９０の後端側の面とロッド４４ａの先端側の面との間の部分と、ロッド４４ａのうち固定部４１ａに接続された部分から受熱部９０に接続された部分までの部分と、固定部４１ａと、を含んでいる。接続面積Ｓｎ、すなわち、最小包含領域の最小面積は、第２実施形態では、受熱部９０からダイアフラム４２ａまでの軸線方向の範囲における軸線ＣＬに垂直な断面のうち、最小包含領域の面積が最も小さい特定の断面における最小包含領域の面積である。具体的には、受熱部９０の後端側の面と固定部４１ａの先端側の端との間の断面における最小包含領域の面積である。図９（Ｄ）の投影図には、受熱部９０の後端側の表面におけるロッド４４ａに接続された接続部分９３ａが示されている。この接続部分９３ａは、受熱部９０とロッド４４ａとを接合する接合部９９ａ（図６）の断面に対応している。第２実施形態では、接続部分９３ａの形状は、ロッド４４ａの断面形状と同じであるので、この接続部分９３ａを含む最小包含領域９４ａの面積が、接続面積Ｓｎである。第２実施形態では、接続部分９３ａの形状（すなわち、ロッド４４ａの断面形状）が略円形状であるので、最小包含領域９４ａの形状は、接続部分９３ａの形状とおおよそ同じであり、接続面積Ｓｎは、接続部分９３ａの面積（すなわち、接合部９９ａの断面積、ひいては、ロッド４４ａの断面積）と、おおよそ同じである。図９（Ｃ）の接続部分４３ａは、ロッド４４ａのうちの接続部分９３ａに対応する部分である。

第１実施形態と同様に、第２実施形態においても、受熱部９０は、燃焼室からの熱を受けて、熱膨張し得る（すなわち、変形し得る）。受熱部９０の接続部分９３ａが大きい場合、すなわち、接続面積Ｓｎが大きい場合には、受熱部９０の変形が、ダイアフラム４２ａに伝わりやすい。従って、接続面積Ｓｎが小さいほど、素子部５０からの信号の誤差が小さくなる。

図９（Ｅ）、図９（Ｆ）は、ダイアフラム有効面積Ｓｄ（有効面積Ｓｄ）を示している。図中では、有効面積Ｓｄに対応する領域に、ハッチングが付されている。有効面積Ｓｄは、図９（Ｆ）の投影図において、接合部４５に囲まれた領域４６ａの面積である。ここで、接合部４５の内周側の輪郭４５ｉ（すなわち、領域４６ａの輪郭４５ｉ）としては、ダイアフラム４２ａの表面のうち第３金具３５に接続された表面における接合部４５の内周側の輪郭が、採用される。例えば、図８、図９（Ｆ）の第２実施形態では、ダイアフラム４２ａの後端側の面における接合部４５の内周側の輪郭が、領域４６ａの輪郭４５ｉに対応する。

第２実施形態では、ダイアフラム４２ａと第３金具３５とを接合する接合部４５は、図９（Ｆ）の投影図において、環状である。従って、受圧部４０ａ（すなわち、ダイアフラム４２ａと固定部４１ａとロッド４４ａ）のうち、接合部４５に囲まれた領域４６内の部分が、燃焼室内の圧力に応じて、変形できる。有効面積Ｓｄは、接合部４５に囲まれた領域４６ａの全体の面積である。

第２実施形態においても、第１実施形態と同様に、受熱部９０の厚さｔが、０．２１ｍｍ以上であり（ｔ≧０．２１ｍｍ）、かつ、比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が、０．２５以下である（（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５）ことが好ましい。こうすれば、圧力誤差Ｅｐを十分に小さくできる。

Ｃ．第３実施形態：
図１０は、第３実施形態の圧力センサ１０ｂの説明図である。図１０（Ａ）は、圧力センサ１０ｂの先端側の一部分の軸線ＣＬを含む平断面を示し、図１０（Ｂ）、図１０（Ｃ）は、受熱部９０を軸線ＣＬに垂直な投影面上に投影して得られる投影図を示している。図４に示す第１実施形態との差異は、軸線方向を向いて見る場合に、受熱部９０とダイアフラム４２とを接合する接合部９９ｂが、環状である点だけである。接合部９９ｂは、受熱部９０とダイアフラム４２（ひいては、受圧部４０）とが溶接時に溶融した部分である（以下、接合部９９ｂを「溶接部９９ｂ」または「溶接痕９９ｂ」とも呼ぶ）。このような接合部９９ｂは、受熱部９０とダイアフラム４２とが一体化した部分である。また、接合部９９ｂは、受熱部９０の成分とダイアフラム４２の成分とを含んでいる。圧力センサ１０ｂの他の部分の構成は、第１実施形態の圧力センサ１０の対応する部分の構成と、同じである。

図１０（Ｂ）には、接続部分９３ｂと、接続部分９３ｂを含む最小包含領域９４ｂの輪郭とが示されている。接続部分９３ｂは、受熱部９０の後端側の表面のうちダイアフラム４２に接合された部分である。図中では接続部分９３ｂにハッチングが付されている。第３実施形態では、接続部分９３ｂは、受熱部９０の後端側の表面上における接合部９９ｂの断面に、対応している。このように、受熱部９０のうちダイアフラム４２に接続された部分（ここでは、接合部９９ｂ）が、孔を有する環状の部分であってもよい。

ここで、受熱部９０が熱膨張する場合、受熱部９０のうちの環状の接合部９９ｂに囲まれた部分の変形は、接合部９９ｂを通じてダイアフラム４２に伝わりやすい。接続面積Ｓｎは、このように受熱部の変形が伝わりやすい部分の最小面積を示している。第３実施形態では、接続面積Ｓｎとしては、接続部分９３ｂを含む最小包含領域９４ｂの面積を採用することが好ましい。第３実施形態では、接続部分９３ｂの外周側の輪郭の形状が略円形状であるので、最小包含領域９４ｂの輪郭の形状は、接続部分９３ｂの外周側の輪郭の形状とおおよそ同じである。本実施形態のように、受熱部からダイアフラムまでの範囲の軸線方向の位置のうち、特定の位置での断面が、例えば、接合部９９ｂの断面のように、環状である場合には、当該特定の位置での断面における最小包含領域は、当該環状の断面の外側の輪郭（外縁）に囲まれた領域である。図１０（Ｃ）では、接続面積Ｓｎに対応する領域に、ハッチングが付されている。そして、このような接続面積Ｓｎを用いて算出される比率Ｓｎ／Ｓｄが、上記の好ましい範囲内にあることが好ましい。これにより、良好な圧力誤差Ｅｐを実現できると、推定される。

なお、第３実施形態においても、受熱部９０の厚さｔ、受熱部９０の角度θ、比率Ｓｎ２／Ｓｄと、比率Ｓｎ／Ｓｄと、最小距離ｄから任意に選択された１種類以上のパラメータが、各パラメータの上記の好ましい範囲内であるような構成を採用することによって、良好な圧力誤差Ｅｐを実現できると推定される。

例えば、第３実施形態においても、第１、第２実施形態と同様に、受熱部９０の厚さｔが、０．２１ｍｍ以上であり（ｔ≧０．２１ｍｍ）、かつ、比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が、０．２５以下である（（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５）ことが好ましい。こうすれば、圧力誤差Ｅｐを十分に小さくできる。

なお、図１０の実施形態では、受熱部９０は、接合部９９ｂによって直接的にダイアフラム４２に接続されている。従って、最小距離ｄは、ゼロである。また、受熱部９０の後端側の面９０ｆは、軸線ＣＬと垂直である。したがって、受熱部９０の後端側の面９０ｆと、軸線ＣＬと垂直な方向と、がなす角度θは、０である。

Ｄ．第４実施形態：
図１１は、第４実施形態の圧力センサ１０ｃの説明図である。図中には、圧力センサ１０ｃの先端側の一部分の軸線ＣＬを含む平断面が、示されている。図８に示す第２実施形態との差異は、受熱部９０とロッド４４ｃとが１つの部材１２０によって形成されている点である（「受熱ロッド１２０」と呼ぶ）。圧力センサ１０ｃの他の部分の構成は、第２実施形態の圧力センサ１０ａの対応する部分の構成と、同じである。

受熱ロッド１２０は、受熱部９０と、受熱部９０の後端側に接続されたロッド４４ｃと、を備えている。受熱部９０の形状は、図８の受熱部９０の形状と同じである。ロッド４４ｃの形状は、軸線ＣＬを中心とする円柱に局所的に外径が小さい小径部４８を形成した形状である。ロッド４４ｃは、図８のロッド４４ａと同様に、固定部４１ａとダイアフラム４２ａとの内周側の貫通孔に挿入され、そして、固定部４１ａに溶接されている。小径部４８は、受熱部９０と固定部４１ａとの間に位置している。受熱ロッド１２０は、１つの部材として一体的に形成されている（例えば、鍛造や削り出し）。また、受熱ロッド１２０は、本実施形態ではステンレス鋼を用いて形成されているが、他の金属を用いて形成されてもよい。

圧電素子５１は、先端側の電極５２と押さえ板５４とを介して、ロッド４４ｃに接続されている。固定部４１ａと、ロッド４４ｃと、先端側の押さえ板５４と電極５２と、の全体は、ダイアフラム４２ａと圧電素子５１とを接続する接続部１００ｃを形成している。

第４実施形態では、受熱部９０は、ロッド４４ｃと固定部４１ａとを介して、間接的にダイアフラム４２ａに接続されている。受熱部９０からダイアフラム４２ａまでの部分は、受熱部９０と、ダイアフラム４２ａと、受熱部９０とダイアフラム４２ａとを接続する部分とを含んでいる。受熱部９０とダイアフラム４２ａとを接続する部分は、ロッド４４ｃのうち固定部４１ａに接続された部分から受熱部９０に接続された部分までの部分と、固定部４１ａと、を含んでいる。第４実施形態では、受熱部９０からダイアフラム４２ａまでの軸線方向の位置における軸線ＣＬに垂直な断面のうちの最小包含領域の面積が最小となる断面は、小径部４８の最も外径が小さい部分を通る断面である。接続面積Ｓｎは、すなわち、最小包含領域の最小面積は、ロッド４４ｃの小径部４８の最小外径部分の断面における最小包含領域の面積である（図示省略）。このように接続面積Ｓｎが小さい場合には、受熱部９０の変形がダイアフラム４２ａに伝わりにくいので、素子部５０からの信号の誤差が小さくなる。

受熱面積Ｓｎ２と有効面積Ｓｄと最小距離ｄとは、図８の第２実施形態と同様に算出される。そして、第４実施形態においても、受熱部９０の厚さｔ、受熱部９０の角度θ、比率Ｓｎ２／Ｓｄと、比率Ｓｎ／Ｓｄと、最小距離ｄとの３種類のパラメータから任意に選択された１種類以上のパラメータが、各パラメータの上記の好ましい範囲内であるような構成を採用することによって、良好な圧力誤差Ｅｐを実現できると推定される。

例えば、第４実施形態においても、第１〜第３実施形態と同様に、受熱部９０の厚さｔが、０．２１ｍｍ以上であり（ｔ≧０．２１ｍｍ）、かつ、比率（Ｓｎ／Ｓｄ）が、０．２５以下である（（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５）ことが好ましい。こうすれば、圧力誤差Ｅｐを十分に小さくできる。

なお、小径部４８が省略されてもよい。この場合、接続面積Ｓｎは、ロッド４４ｃのうち受熱部９０の後端側の面と固定部４１ａの先端側の端との間の部分の断面を含む最小包含領域の面積である。

なお、第４実施形態において、受熱部９０の後端側の面９０ｆは、軸線ＣＬと垂直である。したがって、受熱部９０の後端側の面９０ｆと、軸線ＣＬと垂直な方向と、がなす角度θは、０である。

Ｅ．変形例：
（１）上記第２〜第４実施形態では、受熱部９０の後端側の面９０ｆと、軸線ＣＬと垂直な方向と、がなす角度θは、０であるが、これに限られない。図１２は、第２実施形態の変形例を示す図である。図１２（Ａ）に示すように、軸線ＣＬを含む断面において、受熱部９０の後端側の面９０ｆは、径方向外側に向かうに連れて、先端側に傾斜していても良い。この場合には、角度θは、２０度以内であることが好ましい。こうすれば、隙間９５ａに高温の燃焼ガスが流入することを抑制して、ダイアフラム４２ａに伝達される熱量をより低減できる。この結果、ダイアフラム４２ａの熱膨張をより抑制することができ、ひいては、素子部５０からの信号の誤差を小さくできる。

また、図１２（Ａ）に示すように、軸線ＣＬを含む断面において、受熱部９０の後端側の面９０ｆは、径方向外側に向かうに連れて、後端側に傾斜していても良い。この場合にも、角度θは、２０度以内であることが好ましい。こうすれば、受熱部９０が、高温の燃焼ガスに曝されることで変形した場合であっても、受熱部９０とダイアフラム４２ａとが干渉することを抑制することができ、ひいては、素子部５０からの信号の誤差を小さくできる。

（２）受熱部とダイアフラムとを接続するための構成としては、種々の構成を採用可能である。例えば、図２や図１０の実施形態のように、受熱部９０とダイアフラム４２とが直接的に接続されていてもよい。また、図８や図１１の実施形態のように、受熱部９０とダイアフラム４２ａとは、他の要素（図８、図１１の例では、ロッド４４ａ、４４ｃと固定部４１ａ）を介して間接的に接続されていてもよい。

また、図２の実施形態において、受熱部９０とダイアフラム４２との間に、スペーサが配置されてもよい。スペーサとしては、例えば、軸線ＣＬを中心とする円柱状の部材を採用してもよい。ここで、ダイアフラム４２（ひいては、受圧部４０）とスペーサとの全体が、１つの部材として一体的に形成されてもよい（例えば、鍛造や削り出し）。代わりに、受熱部９０とスペーサとの全体が、１つの部材として一体的に形成されてもよい（例えば、鍛造や削り出し）。このようなスペーサも、ダイアフラム４２よりも先端側に配置されダイアフラム４２の代わりに熱を受けることができるので、受熱部の一部ということができる。また、受熱部９０とダイアフラム４２とを接合する接合部（例えば、溶接時に溶融した溶接部（溶接痕））は、受熱部９０から、スペーサを通って、ダイアフラム４２に至るように、形成されてもよい。このような接合部は、軸線方向を向いて見る場合に、スペーサの全体に亘って形成されてもよく、この代わりに、スペーサの一部分に形成されてもよい。接合部がスペーサの一部分に形成される場合、図２の隙間９５のように、接合部によって互いに接続されるスペーサとダイアフラムとの間に小さい隙間が形成され得る。この場合、最小距離ｄは、ゼロである。

いずれの場合も、受熱部（または、受熱部を備える部材）は、ダイアフラム、または、ダイアフラムに接続された他の要素に、溶接で接続されてよい。溶接の種類としては、レーザ溶接を採用してもよく、これに代えて、他の種類の溶接（例えば、抵抗溶接）を採用してもよい。溶接で接合される場合、受熱部（または、受熱部を備える部材）と、ダイアフラム（または、ダイアフラムに接続された他の要素）と、を接合する接合部は、溶接時に、溶接で接合される２つの部材が溶融した部分である。このような接合部は、溶接で接合される２つの部材が一体化した部分である。また、接合部は、溶接で接合される２つの部材のそれぞれの成分を含んでいる。また、このような接合部の構成としては、図２、図８、図１０の接合部９９、９９ａ、９９ｂの構成に代えて、他の種々の構成を採用可能である。例えば、軸線方向を向いて見る場合に、互いに離れた複数の接合部が形成されてもよい。例えば、軸線ＣＬを囲むように配置された３個、または、４個の接合部が形成されてもよい。互いに離れた複数の接合部が形成される場合、受熱部のうちの複数の接合部に囲まれる領域内での変形は、複数の接合部に囲まれる領域外での変形と比べて、複数の接合部を介して、ダイアフラムに伝わり易い。従って、接続面積Ｓｎとしては、複数の接合部を含む最小包含領域の面積が採用され得る。例えば、３個の接合部が形成される場合、接続面積Ｓｎとしては、３個の接合部の３個の断面を含む略三角形状の最小包含領域の面積を採用可能である。４個の接合部が形成される場合、接続面積Ｓｎとしては、４個の接合部の４個の断面を含む略四角形状の最小包含領域の面積を採用可能である。

いずれの場合も、受熱部とダイアフラムとの間の隙間の軸線に平行な方向の最小距離ｄとしては、ダイアフラムの燃焼室側の表面と、受熱部と、の間の距離を採用することが好ましい。

（２）ダイアフラム４２、４２ａと圧電素子５１とを接続する接続部の構成としては、図２の接続部１００の構成と、図８の接続部１００ａの構成と、図１１の接続部１００ｃの構成とに代えて、他の種々の構成を採用可能である。例えば、先端側の押さえ板５４が省略され、ロッド４４、４４ａ、４４ｃが、素子部５０の要素のうちの先端側の電極５２のみに接触していてもよい。また、先端側の押さえ板５４と電極５２が省略されて、ロッド４４、４４ａ、４４ｃに直接的に圧電素子５１が接続されてもよい。この場合、ロッド４４、４４ａ、４４ｃが、電極として機能する。また、図８、図１１の実施形態において、固定部４１ａが省略されて、ダイアフラム４２ａが直接的にロッド４４ａ、４４ｃに接合されてもよい。また、図８、図１１の実施形態において、ダイアフラム４２ａとロッド４４ａ、４４ｃとが、１つの部材として一体的に形成されてもよい（例えば、鍛造や削り出し）。この場合も、ロッド４４ａ、４４ｃにダイアフラム４２ａが接続されている、ということができる。

いずれの場合も、接続部は、ロッドを含み、ロッドのうち第１部分にダイアフラムが直接的または間接的に接続され、ロッドのうち第１部分よりも後端側の第２部分に圧電素子５１が直接的または間接的に接続されていることが好ましい。第２部分が第１部分よりも後端側に位置する理由は、一般的に、素子部５０は、燃焼室内の圧力を受けるダイアフラムよりも後端側に配置されるからである。ここで、ロッドのうち素子部５０（すなわち、圧電素子５１）に接続される第２部分としては、ロッドの後端部（例えば、図２の後端部４９、図８の後端部４９ａ）に代えて、ロッドの任意の部分を採用可能である。例えば、ロッドの外周面に、素子部５０（例えば、電極５２）が接続されてもよい。この場合、電極５２と圧電素子５１とが円環状に形成され、電極５２と圧電素子５１との貫通孔内にロッドが挿入されてもよい。

（３）素子部５０の構成としては、図２、図３の構成に代えて、他の種々の構成を採用可能である。例えば、先端側の押さえ板５４と後端側の押さえ板５４との少なくとも一方が省略されてもよい。また、端子部５６が、電極５２に直接的に接続されていてもよい。また、電極５２と圧電素子５１とは、軸線ＣＬ上に配置された円盤状の板状部材ではなく、軸線ＣＬを囲む円環状の板状部材であってもよく、特定の周方向の軸線ＣＬから離れた位置に配置された部材であってもよい。一般的には、素子部５０は、圧電素子を含み、圧電素子からの信号を圧力センサの外部に出力できるように構成されていることが好ましい。また、ダイアフラムが受けた圧力によって変化する電気的特性を有する装置としては、圧電素子に代えて、ダイアフラムと接続部とを通じて受ける荷重に応じて変化する電気的特性（例えば、電圧、抵抗値など）を有する種々の装置を採用可能である。例えば、ひずみゲージを採用してもよい。

（４）受熱部の構成としては、図２、図８、図１０、図１１の受熱部９０のような構成に代えて、ダイアフラムの代わりに燃焼室からの熱を受けることが可能な種々の構成を採用可能である。例えば、軸線方向を向いて見た受熱部の形状が、円ではなく矩形であってもよい。一般的には、受熱部は、ダイアフラムの先端側に配置され、ダイアフラムに直接的または間接的に接続されている板状の部材であることが好ましい。なお、受熱部の厚さｔは、上記各実施形態では一定であるが、例えば、径方向の位置によって、あるいは、周方向の位置によって、変化していても良い。この場合には、受熱部の厚さｔとしては、受熱部のうち、ダイアフラムと接続されている部分を除いた部分の平均の厚さが採用される。そして、当該平均の厚さｔが、０．２１ｍｍ以上であれば良い。

（５）上記の実施形態（例えば、図２、図８）では、第２金具８０と第３金具３５とで形成される筒状の筐体に、ダイアフラム４２、４２ａが接合され、そして、筐体の中に、素子部５０が収容されている。このような筐体の構成としては、第２金具８０と第３金具３５とを用いる構成に代えて、筒状の種々の構成を採用可能である。例えば、第２金具８０と第３金具３５との全体が、１つの部材で形成されていてもよい。また、第２金具８０と押さえねじ３２との全体が、１つの部材で形成されていてもよい。また、第２金具８０と第３金具３５と押さえねじ３２とが、１つの部材で形成されていてもよい。

いずれの場合も、ダイアフラムは、筐体に、溶接で接続されてよい。溶接の種類としては、レーザ溶接を採用してもよく、これに代えて、他の種類の溶接（例えば、抵抗溶接）を採用してもよい。いずれの場合も、溶接時にダイアフラムと筐体とが溶融した部分が、ダイアフラムと筐体とを接合する接合部を形成する。このような接合部は、ダイアフラムと筐体とが一体化した部分である。そして、接合部は、ダイアフラムの成分と筐体の成分とを含んでいる。有効面積Ｓｄに対応する領域の輪郭としては、ダイアフラムの表面のうち、筐体に接続された表面上において、筐体とダイアフラムとを接合する接合部の内周側の輪郭を採用可能である（例えば、図６（Ｆ）、図９（Ｆ）の接合部４５の輪郭４５ｉ）。

（６）素子部５０からの信号を圧力センサの外部に導くための構成としては、ケーブル６０を用いる構成に代えて、他の種々の構成を採用可能である。例えば、圧力センサ１０の後端側に端子金具が配置され、端子金具と素子部５０の端子部５６とが中軸によって接続されてもよい。この場合、端子金具と第１金具２０とを通じて、素子部５０からの信号を取得可能である。

以上、実施形態、変形例に基づき本発明について説明してきたが、上記した発明の実施の形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨並びに特許請求の範囲を逸脱することなく、変更、改良され得ると共に、本発明にはその等価物が含まれる。

１０、１０ａ、１０ｃ、１０ｘ...圧力センサ、２０...第１金具、２１...軸孔、２２...ねじ部、２４...工具係合部、２６...接合部、３０...第２金具、３４...拡径部、３５...第３金具、３６...軸孔、３９...軸孔、４０、４０ａ...受圧部、４１ａ...固定部、４２、４２ａ...ダイアフラム、４２ｆ、４２ａｆ...受圧面、４２ｏ、４２ａｉ、４２ａｏ...縁、４３、４３ａ...接続部分、４４、４４ａ...ロッド、４５...接合部、４５ｉ...輪郭、４６...、４６ａ...領域、４９、４９ａ...後端部、５０...素子部、５１...圧電素子、５２...電極、５３...リード部、５４...押さえ板、５４ｈ...貫通孔、５５...絶縁板、５５ｈ...貫通孔、５６...端子部、５７...円盤部、６０...ケーブル、６１...ジャケット、６２...外部導体、６３...導電コーティング、６４...絶縁体、６５...内部導体、７２...熱収縮チューブ、７４...細径導線、７５...平板導線、７６...接地導線、８０...第２金具、８１...軸孔、８９...接合部、９０...受熱部、９３、９３ａ、９３ｂ...接続部分、９４、９４ａ、９４ｂ...最小包含領域、９５、９５ａ...隙間、９７...板部、９８...脚部、９９、９９ａ、９９ｂ...接合部、１００、１００ａ、１００ｃ...接続部、Ｘ...領域、ｄ...最小距離、Ｇ１...基準グラフ（圧力）、Ｇ２...サンプルグラフ（圧力）、ＣＡ...クランク角度、ＣＬ...中心軸（軸線）、Ｐｃ...圧力、Ｓｄ...ダイアフラム有効面積（有効面積）、Ｄｆ...先端方向、Ｄｒ...後端方向、Ｅｍ...最大差分、Ｓｎ...接続面積、Ｅｐ...圧力誤差、Ｓｎ２...受熱面積

Claims (2)

1. 筒状の筐体と、
   前記筐体の先端側に接合部を介して接合され、前記筐体の軸線に交差する方向に拡がり、受けた圧力に応じて撓むダイアフラムと、
   前記筐体内に配置され、前記圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部と、
   前記ダイアフラムと前記センサ部とを接続する接続部と、
   前記ダイアフラムの先端側に配置され、前記ダイアフラムに直接的または間接的に接続された、熱を受ける受熱板と、
   を備える圧力センサであって、
   前記軸線に垂直な断面上で、前記受熱板から前記ダイアフラムまでの部分の断面を包含し、かつ、輪郭の全長が最小となる仮想的な領域である最小包含領域の面積の最小値を、接続面積Ｓｎとし、
   前記ダイアフラムと前記受熱板とを、前記軸線に垂直な投影面上に投影する場合に、前記投影面上において、
   前記接合部に囲まれた領域の面積を、ダイアフラム有効面積Ｓｄとし、
   前記受熱板の厚さをｔとする場合に、
   ｔ≧０．２１ｍｍ、かつ、（Ｓｎ／Ｓｄ）≦０．２５、を満たすことを特徴とする、圧力センサ。
2. 請求項１に記載の圧力センサであって、
   前記軸線を含む断面において、前記受熱板の後端側の面と、前記軸線と垂直な方向と、がなす角度θの絶対値は、２０度以内であることを特徴とする、圧力センサ。

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