JP2019178937A - 検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、ワークの整列と検査それぞれに最適なディスク材質を採用しながらも、よりコンパクトな装置構成によってワークの検査が可能な検査装置を提供する。【解決手段】上面に被検査物を乗せて回転可能な回転部材であって、前記上面に、第１領域と、前記回転部材の回転軌道の径方向において前記第１領域と並ぶように配置され、かつ前記第１領域よりも高い硬度を有する第２領域とを備える回転部材と；前記回転部材の上方に設けられ、前記回転部材の回転に伴って、前記被検査物を整列させながら前記第１領域から前記第２領域に導くガイド部材と；前記第２領域上の被検査物の外観を検査する検査部と、を備える検査装置。【選択図】図１

Description

本発明は、対象物を検査する装置および方法に関し、特に、微細なワークを搬送しながら、その外観その他の品質を検査する装置に関する。

電子部品等の微細な部品について、その外観から欠陥の有無を自動的に検査する装置が提案されている。検査する手段としては、カメラまたは各種センサが用いられる。

このような外観検査装置として、例えば特許文献１に記載されている外観検査装置は、ワーク整列供給部とワーク検査部とを有する。ワーク整列供給部は、ホッパからワークが投入される投入用回転ディスク、周方向にワークを整列させる整列用回転ディスク、ワークを投入用回転ディスクから整列用回転ディスクに受け渡す受け渡し用回転ディスク、ワークをワーク検査部に搬出する複数の搬送用回転ディスク等を有する。ワーク検査部は、周方向にワークの移送路を形成し、ワークを回転搬送する検査用回転ディスクを有し、その近傍には、ワークが移送路の所定位置にあるときにワークを上下から撮像する撮像手段が設けられている。検査用回転ディスクは、石英ガラス等の透明度の高い素材で形成されている。

特開２００８−１０５８１１号公報

ワーク（被検査物）を検査するには、まず整列させ、その後に外観を検査するが、整列に適したディスクの材質と検査に適したディスクの材質とが一致しない場合、上述の従来技術のように、複数のディスクを設けて、上流のディスクでワークを整列させ、それを下流のディスクに渡して検査する、というように複数のディスクを設けているため、装置が大型化しやすいという課題がある。

本発明は、ワークの整列と検査それぞれに最適なディスク材質を採用しながらも、よりコンパクトな装置構成によってワークの検査が可能な検査装置を提供する。

本発明の検査装置は、上面に被検査物を乗せて回転可能な回転部材であって、前記上面に、第１領域と、前記回転部材の回転軌道の径方向において前記第１領域と並ぶように配置され、かつ前記第１領域よりも高い硬度を有する第２領域とを備える回転部材と；前記回転部材の上方に設けられ、前記回転部材の回転に伴って、前記被検査物を整列させながら前記第１領域から前記第２領域に導くガイド部材と；前記第２領域上の被検査物の外観を検査する検査部と、を備える。

また、本発明の検査方法は、上記検査装置を用い、前記回転部材上に被検査物を供給する工程、前記回転部材を回転させ、前記ガイド部材によって前記被検査物を整列させながら前記回転部材の前記第１領域から第２領域に導く工程、および前記第２領域上の前記被検査物の外観を検査部によって検査する工程、を備える。

本発明によると、１つの回転部材が第１および第２領域を有するので、それぞれに検査対象物の整列に適した性質、検査に適した性質を持たせることができ、高い検査性能を維持しながら装置の小型化が可能となる。

本発明の検査装置の一実施形態を示す斜視図である。 図１の検査装置の平面図である。 （ａ）〜（ｄ）はワーク（被検査物）の傾きについて説明する図面である。 検査装置における回転部材の構造の一例を示す断面図である。 検査装置における回転部材の構造の他の例を示す断面図である。 検査装置における回転部材の構造のさらに他の例を示す断面図である。 検査装置における回転部材の構造のさらに他の例を示す断面図である。 検査装置における回転部材の構造のさらに他の例を示す断面図である。 （ａ）〜（ｃ）ワーク（被検査物）の外観と、それを内包する最小体積の仮想直方体を示す斜視図である。

１．検査装置
［概要］
以下に説明する検査装置１は、電子部品等のワーク（被検査物）Ｗの物理量や品位を計測、観察し、一定の基準をもとにワーク（被検査物）Ｗの良否を判定することのできる装置である。なおここで示す物理量とは主に寸法や形状、重量などを指し、品位とは色味や異物付着の有無、加工不良状態、材質などを指すが、一般的に入手可能な計測機によって計測・観察可能な検査項目であればこれに限られず、例えば電子部品の電気的特性などのワーク（被検査物）Ｗ固有の品質管理項目も含めることができる。

また本装置の目的を検査としているが、検査とは計測、観察結果に対して良否判定を施すことであり、本装置としては良否結果のみならず、その中間情報である計測、観察結果を仕分けに利用すること、保持（記録）あるいは装置外部へ出力することも可能である。

ここで図１、図２に示すように、検査装置１は、回転可能な回転部材２と、ガイド部材３と、計測・観察部５とを備える。ここで図１、図２では計測・観察部５としてカメラを採用することを前提に記載がなされているが、計測・観察部５としては上述の通り様々な物理量や品位を計測、観察可能な機器を採用することができるし、その設置台数も１台に限られるものではなく、同種あるいは異種の機器を併設することも可能である。また、検査装置１は、図示しないワーク供給部、回転機構、間引き機構、仕分け機構等を備えることもできる。

［ワーク供給部］
ワーク供給部は、ワーク供給位置１０にワークＷを供給する。ワーク供給部としてはホッパやベルトコンベアなどが主に採用されるが、ワーク（被検査物）Ｗをワーク供給位置に供給できる機構であればこれらに限らず、またオペレータが手動でワーク（被検査物）Ｗを供給してもよい。

［回転部材］
回転部材２は、その上面にワークを乗せて回転可能な部材であり、本実施形態では円形（円盤状）の部材である。ここで「回転」とは、ワーク供給部、ガイド部材３、計測・観察部５等の他の部材に対する相対的な回転をいう。本実施形態での回転方向は図中に矢印で示すとおり時計回りであるが、反時計回りを基本動作とした装置構成で設計することもできる。

回転部材２はその上面に、第１領域２１と、第１領域２１とは異なる構成を有する第２領域２２とを備える。「異なる構成」とは、組成または物性が異なることを意味する。本実施形態では、第２領域２２は第２領域２１よりも高い硬度を有する。言い換えると、第１領域２１は第２領域２２よりも高い柔軟性を有する。

第１領域２１は、後述する金属等の高硬度材料で製作されたガイド部材３２が接触するように配置されるため、この接触によって傷つきにくいような柔軟性があればよい。具体的には、第１領域２１は融点が５０℃以上、好ましくは６０℃以上の樹脂で構成される。

具体的には、第１領域２１に採用される樹脂としては、PET（ポリエチレンテレフタレート）、PP（ポリプロピレン）、PS（ポリスチレン）、PVC（塩化ビニル）、PE（ポリエチレン）、ABS（ABS樹脂）、PC（ポリカーボネート）などが挙げられるが、一般的に汎用の工業用材料として容易に入手可能な樹脂であればこの限りではない。

またこれらの中でもPETは安価かつ様々な販売先が様々なラインナップを有しているため、例えばシート状部材として本装置に採用しようと考えた場合に厚みの指定が簡単であって好ましい。またPET製品としては、PET材料にカーボン粉末を配合するなどして高い導電性を付与したものも一般的に存在しており、本装置で帯電性のワーク（被検査物）Ｗを取り扱う際にはワーク（被検査物）Ｗが帯びる静電気の影響を低減できる効果も期待できるので、より好ましい。

また、第１領域の表面粗さ（Ra）が7μm以下であることが、ワーク（被検査物）Ｗを整列させる点から好ましい。なお、表面粗さ（Ra）はJIS B 0031:2003で規定される算術平均粗さである。

第２領域２２は、後述の計測・観察部５による計測・観察において、ワーク（被検査物）Ｗの保持部材として適した構成であればよい。例えばその表面粗さ、透明度等は、計測・観察部５の計測・観察原理、ワーク（被検査物）Ｗの大きさ等によって適宜設定可能である。ここで計測・観察部５がカメラによる画像撮像を行うものである場合、第２領域２２を構成する材料としては、計測・観察に適した平面度を得やすく、また比較的薄い構成においてもワーク（被検査物）Ｗを計測・観察ごとのばらつきなく保持できるという観点から好ましくは、金属、ガラスを採用する。特に、回転部材２が、第２領域２２において表面から裏面までガラス等の透明な素材で構成されている場合、計測・観察部５はその裏面からワーク（被検査物）Ｗを観察することができるためより好ましい。

ここで、図３（ａ）〜（ｄ）に示すように、第２領域２２の平面度としては、ワーク（被検査物）Ｗを計測・観察部５の基準観察方向（図３では第２領域２２の表面に対する鉛直軸）に対して−26度〜26度に保持できることが精度のよい検査にとって好ましい。ワーク（被検査物）Ｗを計測・観察部５の基準観察方向に対して−26度〜26度に保持できれば、基準観察方向から見たワーク（被検査物）Ｗの見かけ寸法が実際の寸法に対して10%未満となり、様々な計測・観察原理において一般的に高精度が保てる範囲内であることが理由である。より好ましくは−15度〜15度、さらに好ましくは−10度〜10度である。

また、第２領域２２は、回転部材２の回転軌道が描く円の径方向（回転部材２の径方向）において、第１領域２１と並ぶように配置される。特に本実施形態では第１領域２１が回転部材２の径方向内側に、第２領域２２が第１領域２１を囲むように外側に配置される。ただし、本発明はこの配置に限定されない。

回転部材２が第１領域２１と第２領域２２とを「上面に」有する、とは、回転部材２の少なくとも上面が上述の各素材で構成されていればよく、内部または裏側に他の素材が配置されていてもよい。

図４〜図８に、第１領域２１を構成する第１部材２０１、第２領域２２を構成する第２部材２０２を備える回転部材２の構造例を示す。

図４では、第１領域２１つまり第１部材２０１の上面と、第２領域２２つまり第２部材２０２の上面とが、同じ高さで、かつ間隔を空けて配置されている。このように、第１領域２１と第２領域２２とは、必ずしも接している必要はなく、間に間隙または第３の領域が設けられていてもよい。回転部材２の回転の径方向における間隙の幅、つまり回転軸から第１部材２０１の端部までの距離（つまり第１部材２０１の半径）Riと、第２部材２０２までの距離（つまり第２部材２０２の内径）Roとの差は、ワークを内包する最小体積の仮想直方体の最短辺の長さＬｍよりも小さく設定される。つまりRo−Ri ＜ Lmが満たされることが好ましい。これによってワーク（被検査物）Ｗが間隙にはまり込むことを抑制できる。ワークを内包する最小体積の仮想直方体の例を図９に示す。第１領域２１と第２領域２２の位置関係は図４と同様として、図７のように、第１部材２０１が第２部材２０２の一部に重なるように配置してもよい。

図５、図６、図８に示すように、第１領域２１つまり第１部材２０１の下面が、第２領域２２つまり第２部材２０２の上面と、平面方向で（上面視で）接しており、かつ第１領域２１が第２領域２２より高くなっていてもよい。後述するように、ワーク（被検査物）Ｗは回転の径方向の内側から外側に向かって移動するので、高い面から低い面に移動することは容易であるためである。

ただし、第１領域の高さHi、第２領域の高さをHo、およびワークを仮想的に内包する最も体積が小さい直方体の最短辺Lmが、｜Hi−Ho｜ ≦ Lm / 2を満たすことが好ましい。

特に、図６〜図８のように、高硬度、高剛性の部材２０２が、柔軟な部材２０１を支持するように構成すると、回転部材２全体が円滑に回転し、変形等の不具合も生じにくくなるためより好ましい。

［ガイド部材３］
ガイド部材３として、回転部材２の上方には、少なくとも第２ガイド３２が、好ましくは加えて第１ガイド３１が設けられる。第１ガイド３１はワーク供給位置１０に供給されたワーク（被検査物）Ｗを第２ガイド３２に導く。

第２ガイド３２は第１ガイド３１によってワーク（被検査物）Ｗが供給される位置から、回転部材２の回転方向に沿って徐々に大きくなる外径を有する。第１ガイド３１および第２ガイド３２の径の小さい部分、つまりワーク（被検査物）Ｗの流路において第１ガイド３１に近い部分は、回転部材２の第１領域２１上に、第２ガイド３２の径の大きい部分は第２領域２２上に配置される。そして、第１ガイド３１および第２ガイド３２は、第１領域２１の上面に、その全部あるいは一部が接するように配置され、ワーク（被検査物）Ｗがガイド部材３と第１領域２１の間に噛み込まれることを防止している。

また第２ガイド３２と第２領域２２が接触してお互いに傷つけあうことを防止する意味で、第２ガイド３２が第２領域２２上に配置される部分は極小とし、なおかつお互いの間にワーク（被検査物）Ｗを噛み込むことがない程度に間隙を維持しながら設置されることが好ましい。

このような構成において回転部材上に供給されたワーク（被検査物）Ｗは、（１）ガイド部材３に触れていない場合は回転部材２に乗ったまま回転部材２と一体となって移動し、（２）ガイド部材３に触れている場合はガイド部材３と擦れながら回転部材２の表面とも擦れつつ移動する。

またガイド部材３は金属で構成されていることが好ましい。これは、ガイド部材３がワーク（被検査物）Ｗと接触した場合には必ずガイド部材３の特定部位（ワークを特定方向へ導くためのエッジ部分）とワーク（被検査物）Ｗとが繰り返し“擦れ”合い、ガイド部材３が樹脂のような比較的柔軟な材料で作られていると、本検査装置の扱う主な検査対象である電子部品（主に金属やセラミック、フェライト）のように高硬度材料からなるワーク（被検査物）Ｗを流動させた場合に短期間でエッジが削れてガイドとしての機能を発揮できなくなったり、削れカスが本検査装置以降の工程に流出して品質問題を引き起こす可能性があるためである。そして、このようにガイド部材３を金属で構成した場合に第１領域２１も金属やガラスのような比較的硬度が高いもので構成するとお互いに傷をつけ合う可能性が高まるため、上述の通り第１領域２１は比較的柔軟な性質を持つ樹脂で構成することが好ましい。

以上、第２ガイド３２が上記のような構造および配置であることで、図２に示すように回転部材２の回転にともなって、ワーク（被検査物）Ｗは整列しながら時計回りに移動しつつ回転部材２の外側に移動する。そして、乗り移り位置１１で、第１領域２１から第２領域２２に乗り移る。このように、第２ガイド３２は、ワーク（被検査物）Ｗを整列させながら第１領域２１から第２領域２２に搬送する。そして、ワーク（被検査物）Ｗはさらに計測・観察部５へと導かれる。

［計測・観察部］
計測・観察部５は、ワーク（被検査物）Ｗの物理量や品位を計測あるいは観察し、データ化する装置であり、公知の撮像装置（カメラ）、センサ等が適用される。また計測・観察結果（例えばカメラによるワークの撮像画像）は計測・観察部５自身が持つ計算機能によって良否判定を行わせてもよいし、図示しないパソコンなどの情報処理用外部機器にデータを転送し、そちらで良否判定を行ってもよい。さらに、計測・観察部５に採用する機器の原理によっては、その計測・観察ポイントにおいてワーク（被検査物）Ｗを一時停止させるような仕組みを設けることも、より高精度な計測・観察を実現するために好ましい。

［仕分け機構］
図示しない仕分け機構は、本装置の検査結果に基づいて、基準値を満たすワーク（被検査物）Ｗ（良品）と満たさないワーク（被検査物）Ｗ（不良品）とを仕分ける。あるいはこの仕分けの判断基準を計測・観察結果に基づく品位クラス分けとすることもできる。仕分け機構は、例えばエアの吹きつけによってワーク（被検査物）Ｗの軌道を変化させるものなど、従来公知の機構が適用される。なお、検査装置１は、計測・観察部５におけるワーク（被検査物）Ｗの姿勢不良などによって計測・観察に適さないと判断されたワーク（被検査物）Ｗ（判定不可品）を、再びガイド部材３による誘導に乗せて再検査させるようになっていてもよい。

［間引き装置］
本実施形態では、ワーク（被検査物）Ｗの搬送経路において、乗り移り位置１１の手前に間引き装置４を設けている。間引き装置４は、図示しないセンサによってワーク（被検査物）Ｗの間隔を測定し、間隔が所定値未満である場合に、エアの吹きつけ等の手段でワーク（被検査物）Ｗを間引くことで、ワーク（被検査物）Ｗの間隔を維持する機構である。図２に、エアの吹きつけによってワーク（被検査物）Ｗを周回軌道からワーク供給位置１０へ点線矢印の経路で戻す間引き装置４を示す。

（実施例１）
実施例１では、図１、図２に示す装置を用いた。なお本実施形態において検査対象とするワーク（被検査物）Ｗは“0603”と呼ばれる角柱型（図９（ａ）参照）のセラミックコンデンサ（サイズ：0.6×0.3×0.3mm）とするが、本検査装置の扱うワーク（被検査物）Ｗはこれ、あるいは図９に示す３種に限定されない。

回転部材２として、第１領域２１には導電性PETシート（厚み0.03mm）、第２領域２２には石英ガラスを採用した。配置は図６のとおりである。またガイド部材３として、第１ガイド３１、第２ガイド３２ともステンレスを採用した。また間引き装置４を備えることとし、計測・観察部５には２次元CCDカメラを採用し、LED照明でワーク（被検査物）Ｗを照らしてその画像を取得、データ化する構成とし、回転部材２は一定速度で回転し続ける運転方法とした。

加えて図示しないパソコンにより、撮像して得られた画像に対して画像処理を施し、基準観察方向（第２領域２２の表面に対する鉛直軸）から観察したワーク（被検査物）Ｗの縦横寸法及び、ワーク（被検査物）Ｗ表面への異物付着有無を計算して当該ワーク（被検査物）Ｗの良否を判定する構成とした。

また更に図示しない仕分け機構（エア吹付によってワークを周回軌道からはじき出すタイプ）により、良品ワーク（被検査物）Ｗを良品回収ボックスへ、不良品ワーク（被検査物）Ｗを不良品回収ボックスへ排出する構成とし、さらにはワーク（被検査物）Ｗの姿勢不良により検査が実施できないと判断した場合、回収ボックスよりも下流のポイントで当該ワーク（被検査物）Ｗを図示しないリターン機構（動作原理としては間引き装置と同じ）によって周回軌道上流に戻す構成とした。

上記のような構成の検査装置によって、ある生産ロットのセラミックコンデンサ“0603”１万個分の検査を実行したところ、（１）縦横寸法不良品が２５個、（２）異物付着品が１２個、（３）縦横寸法不良かつ異物付着不良品が２個、検出され、合計３９個の製品が不良品回収ボックスに回収された。そこでこれら３９個の製品を顕微鏡で観察したところ、本検査装置が仕分けた結果と同様にすべて不良品であることが確認された。また、良品判定された製品群のうち、１０００個を無作為に抜き出して顕微鏡で観察したところ、その中に不良品が含まれていないことが確認された。

（実施例２）
本実施例においては上述した実施例１の基本構成に対し、計測・観察部５としてカメラ・LED照明に変えて光干渉式の３次元測定器を採用した。また今回採用した３次元測定器はデータ取得のために基準観察方向（第２領域２２の表面に対する鉛直軸）に物理的なスキャンを要するため、ワーク（被検査物）Ｗが測定器の観察範囲に到達した時点で回転部材２の回転運動を一時停止してワーク（被検査物）Ｗを一旦静置させ、測定が完了した段階で回転運動を再開する構成とした。

さらに仕分け機構においては、３次元測定結果に基づく検査対象ワーク（被検査物）Ｗの縦・横・高さそれぞれの最大値を算出し、仕分け条件として設定された、（１）製品設計値＋10%を超える、（２）製品設計値±10%以内、（３）製品設計値−10%未満、において、いずれかの最大値がひとつでも条件（１）または条件（３）を満たした場合に当該製品をそれぞれ該当の回収ボックスへ排出、それ以外の製品は条件（２）に該当する回収ボックスへ回収する構成とした。

本実施形態において上述の実施例１同様、ある生産ロットのセラミックコンデンサ“0603”１万個分の検査を実行したところ、（１）製品設計値＋10%を超える製品が253個検出、回収され、（２）製品設計値±10%以内の製品が9656個検出、回収され、（３）製品設計値−10%未満の製品が91個検出、回収された。この結果から今回の生産ロットにおいては製品外形が大きめに製造される傾向が把握できたため、次のロット生産において一部の製造装置のセッティングを変更したことで、製品外形傾向が設計値を中央値としてばらつくように良化させることができた。

（実施例３）
本実施例においては上述した実施例１の基本構成に対し、計測・観察部５としてカメラ・LED照明に加えて線状視野を有した変位計を設置した。同変位計においては、線状視野での高さ測定による２次元情報（幅情報と高さ情報）に加え、ワーク（被検査物）Ｗを同変位計の線状視野と相対的に移動させながら連続的にデータを取得することでワーク（被検査物）Ｗの３次元情報を得ることが可能となる。検査項目としてはカメラによるワーク（被検査物）Ｗ表面への異物付着有無と変位計によるワーク（被検査物）Ｗの縦・横・高さの寸法検査を行う構成とした。

上記のような構成の検査装置によって、ある生産ロットのセラミックコンデンサ“0603”１万個分の検査を実行したところ、（１）異物付着品が２８個、（２）縦・横・高さ寸法不良品が７７個、検出され、合計１０５個の製品が不良品回収ボックスに回収された。なお（３）異物付着不良かつ縦・横・高さ寸法不良品は検出されなかった。実施例１と同様にこれら１０５個の製品を顕微鏡で観察したところ、本検査装置が仕分けた結果と同様にすべて不良品であることが確認された。また、良品判定された製品群のうち、１０００個を無作為に抜き出して顕微鏡で観察したところ、その中に不良品が含まれていないことが確認された。

本発明による検査装置は主としてセラミックコンデンサやインダクタに代表される電子部品に適用することが特に好ましい。また従来技術による検査装置においては上述の通り整列機能と検査機能を別々のディスクで実現することが前提のため装置自体が大型化しやすいという課題があったが、本発明によれば整列機能と検査機能を実質的に１枚のディスクで構成することができるため装置を小型化、シンプル化することが可能である。このような装置の小型化に伴い、従来は諦めていた狭い（＝従来型検査装置を設置するスペースがない）既存設備・工場への検査装置導入が可能となり、より生産プロセスに近い場所での検査工程を実現することで生産プロセスの品質保持・管理・改善に大きく寄与することができる。また当然、従来型検査装置よりも小型、シンプルである分、検査装置本体の製造コスト低減や製造期間削減、メンテナンスの容易化、ランニングコスト低減などにも大きな効果が期待できる。

Ｗ ワーク
１ 検査装置
１０ ワーク供給位置
１１ 乗り移り位置
２ 回転部材
２１ 回転部材の第１領域
２２ 回転部材の第２領域
２０１ 回転部材の第１部材
２０２ 回転部材の第２部材
３ ガイド部材
３１ 第１ガイド
３２ 第２ガイド
４ 間引き装置
５ 計測・観察部

Claims (8)

1. 上面に被検査物を乗せて回転可能な回転部材であって、前記上面に、第１領域と、前記回転部材の回転軌道の径方向において前記第１領域と並ぶように配置され、かつ前記第１領域よりも高い硬度を有する第２領域とを備える回転部材と；
   前記回転部材の上方に設けられ、前記回転部材の回転に伴って、前記被検査物を整列させながら前記第１領域から前記第２領域に導くガイド部材と；
   前記第２領域上の被検査物の外観を検査する検査部と、
   を備える検査装置。
2. 前記第１領域の表面粗さ（Ra）が7μm以下であることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
3. 前記第２領域の材料として、前記第１領域よりも高い硬度を持つ金属またはガラスを用いることを特徴とする
   請求項１または２に記載の検査装置。
4. 前記第１領域と前記第２領域とは、前記回転部材の回転軸を中心とした同心円状に配置される
   請求項１〜３のいずれか１項に記載の検査装置。
5. 前記第１領域は前記第２領域に外接しており、
   前記第１領域の外接半径Ri、前記第２領域の内接半径Ro、および被検査物を仮想的に内包する最も体積が小さい直方体の最短辺Lmが、下記の式（１）を満たす
   請求項１〜４のいずれかに記載の検査装置。
   Ro−Ri ＜ Lm ・・・式（１）
6. 前記第１領域と前記第２領域とは隣接しており、
   前記第１領域の高さHi、前記第２領域の高さをHo、および被検査物を仮想的に内包する最も体積が小さい直方体の最短辺Lmが、下記の式（２）を満たす
   請求項１から５のいずれかに記載の検査装置。
   ｜Hi−Ho｜ ≦ Lm / 2 ・・・式（２）
7. 前記回転部材上で、ガイド部材によって整列された被検査物の間隔を予め設定された値以上にするように被検査物の一部を間引くことのできる間引き手段を備える
   請求項１から６のいずれかに記載の検査装置。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の検査装置を用いる検査方法であって、
   前記回転部材上に被検査物を供給する工程、
   前記回転部材を回転させ、前記ガイド部材によって前記被検査物を整列させながら前記回転部材の前記第１領域から第２領域に導く工程、および
   前記第２領域上の前記被検査物の外観を検査部によって検査する工程、
   を備える検査方法。